200941542 六、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明關於燈單元及光感測器，特別係關於不會受到 因紫外線被照射於大氣所引起之氧濃度變動之影響’能夠 檢測紫外線之光感測器及具備該光感測器的燈單元。 【先前技術】 ^ 在半導體基板、液晶基板等的製造製程，使用具備以 基板的洗淨爲目的而照射真空紫外線的激分子燈之燈單元 〇 以往，在這種的燈單元，在成爲框體的開口部之半導 體基板、液晶基板等的被照射物與激分子燈之間，設置有 由石英玻璃所構成之窗。但，由於由石英玻璃所構成之窗 昂貴，在近年的燈單元，如專利文獻1所記載，採用除去 由石英玻璃所構成之窗，使被照射物與激分子燈接近之構 〇 造。 另外，激分子燈，因伴隨其使用之劣化，所照射的真 '空紫外線的強度逐漸降低。當所照射的真空紫外線的強度 降低時，用來洗淨被照射物的表面之能力也降低。因此， 隨時檢測來自於激分子燈之真空紫外線的強度，使強度不 會降低至預定値以下地，進行反饋以提昇燈輸入，卻無法 使強度成爲預定値以上之情況時，需要更換激分子燈。在 專利文獻1，記載設有檢測來自於激分子燈之真空紫外線 的強度之光感測器。 -4- 200941542 圖1 4係顯示專利文獻1所記載之沿著對激分子燈20 1 的長方向呈垂直方向之燈單元200的槪略結構的斷面圖’ 圖1 5係顯示圖1 4所示的激分子燈2 0 1的結構之斜視圖。 如圖15所示，具備長方體的放電容器202之激分子 燈201，對其長方向呈垂直方向的剖面爲長方形’在放電 容器202的上下兩面，以沿著放電容器202的長方向延伸 的方式分別設有外部電極203、204。設置於上面之一方的 0 外部電極203構成爲板狀，設置於下面之另一方的外部電 極2 04構成爲網狀。且，在放電容器202的上面，設有與 後述的光感測器205相對向且構成爲板狀之外部電極203 的一部分被切削所形成之開口部2 0 6。 如圖14所示，激分子燈201係以構成爲網狀之另一 方的外部電極204與被照射物W相對向的方式，呈複數 支如圖所示之3支，設置於燈單元200的框體207的內部 。框體2 07係構成爲一面呈開口之箱狀，在與該開口面平 φ 行的方向，搬送被照射物W。在框體207之與前述開口面 相對向的面，設有導出用來測定來自於激分子燈201的真 空紫外線之光感測器205的貫通孔208。因該貫通孔208 導出光感測器205，所以，設置於與激分子燈20 1的開口 部206相對向的位置。 在由框體207的貫通孔208導出入之光感測器205， 設有由激分子燈201被照射真空紫外線之營光體209 •，及 檢測藉由螢光體209變換之可見光之光檢測元件210。光 感測器205係當檢測來自於激分子燈201之真空紫外線時 200941542 ，藉由汽缸211，由框體207的貫通孔208 207的內部，朝激分子燈201的開口部206 J； 並接近。接近開口部206之光感測器205係ά 2 09將真空紫外線變換成可見光，藉由光檢測 檢測可見光。當檢測結束時，光感測器205 I ，再次通過貫通孔208而被導出至框體207序 感測器205的導出入係藉由連接於光感測器 2 1 1來進行。 [專利文獻1]日本特開2004-97986公報 【發明內容】 [發明所欲解決之課題] 但，因此燈單元200，框體207的一面呈 ，框體2 07的內部會成爲大氣狀態。因此， 201點燈時，由激分子燈201所照射的真空紫 φ 氣中的氧產生反應，故，大氣中氧濃度會變動 隨利用未圖示的搬送機構之被照射物W的搬适 的內部會產生氧濃度變動之大氣的對流C。因 流C，造成光感測器205與激分子燈201之間 動，使得由激分子燈20 1所放射之真空紫外 量產生變動，藉由光感測器205所檢測的真 度產生變動。 如此，在框體207的一面呈開口之燈單 搬送被照射物W’無法將框體207的內部之 導入至框體 .一定量移動 藉由螢光體 元件2 1 0來 ί由汽缸21 1 外部。此光 2〇5之汽缸 開口，所以 當激分子燈 外線會與大 。另外，伴 ，框體207 此，因該對 的氧濃度變 的氧之吸收 紫外線的強 200 ，藉由 濃度作成爲 200941542 均等，在激分子燈201與接近此激分子燈接近的光 2〇5之間之氧濃度、和激分子燈201與被照射物w 氧濃度不會成爲相同。因此，當依據藉由光感測器 檢測到的真空紫外線的強度，控制激分子燈20 1的 ’會有對被照射物W照射預定値以上的真空紫外 會有照射預定値以下的真空紫外線之情事，無法對 物W照射均等的真空紫外線。 φ 爲了防止因氧濃度變動之大氣的對流所引起的 燈201與光感測器205之間的氧濃度產生變動，可 激分子燈201與光感測器205抵接。但，因激分子 的放電容器202係藉由石英玻璃所形成，所以，當 外部之按壓力大時，會有破損之虞，又，爲了使光 205抵接’必須使來自於汽缸211之按壓力變小。 在所製造之激分子燈201會有製造上的偏差程度， 子燈201至光感測器205爲止的距離並非一定，無 φ 利用汽缸211之光感測器205的移動量L3。因此 考量另外設置用來檢測光感測器205抵接於激分子 一事之例如C C D照相機來控制汽缸2 1 1，但即使如 產生燈單元200複雜化、高成本化之問題。 本發明係有鑑於上記的問題點而開發完成之發 目的在於提供’以簡單的構造，可防止因不期望的 致的激分子燈之破損，並且能夠抑制因氧濃度產生 大氣的對流所致的紫外線的測定値變動之光感測器 此光感測器的燈單元。 感測器 之間之 205所 輸入時 線，亦 被照射 激分子 考量使 燈20 1 來自於 感測器 然而， 由激分 法決定 ，必須 燈20 1 此，會 明，其 負荷所 變動之 及具備 200941542 [用以解決課題之手段] 本發明爲了解決上記的課題，而採用以下的手段。 第1手段’ 一種燈單元，係由用來放射紫外線之激分 子燈、接收前述紫外線之光感測器、及至少收納保持該光 感測器之框體所構成之燈單元，其特徵爲： 前述光感測器具備有：檢測可見光之光檢測體；附設 Φ 於該光檢測體之筒狀的保持體；及能夠移動地保持於該保 持體，並且可與前述激分子燈抵接地被設置之筒狀或柱狀 的可動體， 可供來自於前述激分子燈之紫外線透過的透過構件、 與將透過該透過構件之紫外線變換成可見光的變換構件係 被設置成，受到該光檢測體與該保持體與該可動體所包圍 〇 第2手段係如第1手段的燈單元，其中，將前述透過 〇 構件與前述變換構件設置於該可動體抵接於前述激分子燈 之側。 第3手段係如第1手段或第2手段的燈單元，其中， 使用兼具前述透過構件與前述變換構件的兩功能之構件， 來代替前述透過構件與前述變換構件。 第4手段係如第1手段至第3手段中之任一手段的燈 單元，其中，前述可動體的抵接於前述準分子燈之抵接面 係形成爲，吻合前述激分子燈抵接於前述可動體的位置之 外面形狀。 -8 - 200941542 第5手段係如第1手段至第4手段中之任一手段的燈 單元，其中，前述框體係具備封住除了供前述保持體貫通 之貫通孔外的前述框體之框體蓋構件，前述光檢測體係由 光檢測元件與處理該光檢測元件之受光訊號的電裝體所構 成，在前述光檢測體與前述保持體之間介裝有第1封裝體 ，在前述保持體與前述框體蓋構件之間介裝有第2封裝體 〇 φ 第6手段係如第1手段至第5手段中之任一手段的燈 單元，其中，前述可動體對前述保持體可滑動地被設置著 〇 第7手段係如第1手段至第6手段中之任一手段的燈 單元，其中，設有對前述保持體使前述可動體分離地發揮 作用的彈性構件。 第8手段’ 一種光感測器，其特徵爲：具備有：檢測 可見光之光檢測體；附設於該光檢測體之筒狀的保持體； Q 及能夠移動地保持於該保持體，並且紫外線可射入地加以 設置之筒狀或柱狀的可動體，供紫外線透過之透過構件、 與將透過該透過構件之紫外線變換成可見光的變換構件係 被設置成，受到該光檢測體與該保持體與該可動體所包圍 〇 第9手段係如第8手段的燈單元，其中，將前述透過 構件與前述變換構件設置於該可動體的前述紫外線射入口 側。 第1〇手段係如第8手段或第9手段的燈單元，其中 -9 - 200941542 ，使用兼具前述透過構件與前述變換構件的兩功能之構件 ，來代替前述透過構件與前述變換構件。 第11手段係如第8手段至第10手段中之任一手段的 燈單元，其中，前述可動體對前述保持體可滑動地被設置 著。 第1 2手段係如第8手段至第1 1手段中之任一手段的 燈單元，其中，設有對前述保持體使前述可動體分離地發 φ 揮作用的彈性構件。 [發明效果] 若根據第1手段所記載之發明的話，藉由設置對保持 體移動之可動體，使得當可動體抵接於激分子燈時，能夠 利用由可動體的移動，來吸收來自於激分子燈之反作用力 。因此，不期望的負荷不會施加於激分子燈，故能夠防止 激分子燈破損。又，即使因激分子燈的製造分歧造成形狀 φ 產生偏差程度，也能藉由可動體的移動來吸收該偏差程度 量，所以，不期望的負荷不會施加到激分子燈，能夠防止 激分子燈破損。 又，藉由使能夠移動之可動體抵接於激分子燈，能夠 使得受到該光檢測體與該保持體與該可動體所包圍之區域 ’不會受到因對流而流入到框體內之氧濃度產生變動的大 氣的影響。藉由在受到光檢測體與該保持體與該可動體所 包圍之區域設置透過構件與變換構件，能夠檢測激分子燈 的真空紫外線。 -10- 200941542 又，不需要CCD照相機等之昂貴的電子機器，能以 簡單的構造，不會對激分子燈施加不期望的負荷，來檢測 真空紫外線。 且，即使排列複數支激分子燈，也因保持體構成爲筒 狀，所以，能夠防止來自於未抵接之週邊的激分子燈之可 見光被光檢測體所接收。 若根據第2手段所記載之發明的話，由於使能夠移動 ^ 之可動體抵接於激分子燈，藉由透過構件立即使來自於激 分子燈之真空紫外線透過，再藉由變換構件變換成可見光 ，故，射入至可動體之真空紫外線不會被氧濃度產生變動 之大氣所吸收，而能變換成可見光。 若根據第3手段所記載之發明的話，不需個別使用透 過構件與變換構件，能夠利用1個構件來具備前述各構件 的功能，可將光感測器作成簡單的結構。 若根據第4手段所記載之發明的話，因可動體卡合於 0 欲抵接之激分子燈的外形狀，所以，能夠無間隙地配置可 動體與激分子燈之間。因此，在可動體與激分子燈之間， 能夠抑制因對流所致之氧濃度產生變動的大氣的流入，可 抑制因以可動體的變換構件所變換之真空紫外線的氧濃度 產生變動所引起之強度的變動。 若根據第5手段所記載之發明的話，通常，電裝體係 以樹脂構成印刷基板等，會有被臭氧分解而劣化之虞’但 ，因電裝體被配置於臭氧無法進入之密閉空間內，所以， 遮斷了與臭氧之接觸，可防止因臭氧所引起之電裝體的劣 -11 - 200941542 化。 若根據第6手段所記載之發明的話，當可動體對保持 體移動時，保持體作爲導件來發揮功能，能使可動體圓滑 地移動。 . 若根據第7手段所記載之發明的話，對激分子燈，可 由任意的方向使光感測器的可動體抵接，可將光感測器配 置於任意位置。 若根據第8手段所記載之發明的話，藉由設置對保持 體移動之可動體，使得當可動體抵接於激分子燈時，能夠 利用由可動體的移動，來吸收來自於激分子燈之反作用力 。因此’不期望的負荷不會施加於激分子燈，故能夠防止 激分子燈破損。又，即使因激分子燈的製造分歧造成形狀 產生偏差程度，也能藉由可動體的移動來吸收該偏差程度 量’所以，不期望的負荷不會施加到激分子燈，能夠防止 激分子燈破損。 且’即使排列複數支激分子燈，也因保持體構成爲筒 狀’所以，能夠防止具有來自於未抵接之週邊的激分子燈 之可能性的可見光被光檢測體所接收。 若根據第9手段所記載之發明的話，由於使能夠移動 之可動體抵接於激分子燈，藉由透過構件立即使來自於激 分子燈之真空紫外線透過，再藉由變換構件變換成可見光 ，故，射入至可動體之真空紫外線不會被氧濃度產生變動 之大氣所吸收，而能變換成可見光。 若根據第1 〇手段所記載之發明的話，不需個別使用 -12- 200941542 透過構件與變換構件，能夠利用1個構件來具備前述各構 件的功能，可將光感測器作成簡單的結構。 - 若根據第11手段所記載之發明的話，當可動體對保 持體移動時，保持體作爲導件來發揮功能，能使可動體圓 滑地移動。 若根據第1 2手段所記載之發明的話，對紫外線放射 體’可由任意的方向使光感測器的可動體抵接，可將光感 0 測器配置於任意位置。 【實施方式】 使用圖1至圖5，來說明本發明的第1實施形態。 圖1係顯示具備本實施形態的發明之燈單元2，沿著 對激分子燈5的長方向呈垂直方向之紫外線照射裝置1的 槪略結構的圖，圖2係由圖1所示的紫外線照射裝置1的 A-A切斷面觀看之紫外線照射裝置丨的斷面圖。 〇 如這些圖所示’紫外線照射裝置1大致係由在構成爲 箱狀之框體4內具有激分子燈5與光感測器6之燈單元2 (圖面上方）；及載置燈單元2並且搬送被照射物W之 搬送機構3 (圖面下方）所構成。 如這些圖所示，燈單元2係由激分子燈5、設置成可 抵接於激分子燈5之光感測器6、及收納激分子燈5與光 感測器6並予以支承之框體4所構成。又，搬送機構3係 具備有：供燈單元2的框體4載置，並且排列配置於內部 之複數個滾子7;及設置於各滾子7的兩端，並且將滾子 -13- 200941542 7回轉驅動之驅動部8。從搬送機構3的搬入口 9被搬送 之被照射物W被載置於滾子7，藉由回轉驅動滾子7，將 ^其朝激分子燈5的正下方搬入。已被搬入之被照射物W 係與激分子燈5接近例如3 m m的距離，所以，來自於激 分子燈5之真空紫外線不會完全被氧所吸收而可充分地照 射。受到真空紫外線所照射之被照射物W由搬出口 1 0被 搬出。 φ 圖3 ( a )係圖1及圖2所示的激分子燈5的放大斜視 圖’圖3(b)係由圖3(a)的B-B切斷面所觀看之激分 子燈5的斷面圖’圖3(c)係由圖3(a)的C-C切斷面 所觀看之激分子燈5的斷面圖。 如這些圖所示’激分子燈5具有長方體的放電容器51 ，此放電容器51係由照射真空紫外線之石英玻璃所構成 。在放電容器51的內部，封裝有例如氙氣。放電容器51 ’對其長方向呈垂直方向的剖面爲長方形。在放電容器51 φ 的上下兩面’設有於放電容器51的長方向全範圍上連接 於高頻電源之一對的外部電極52、53。外部電極52、53 係藉由例如將混合有銅與低融點玻璃之導電性膠體呈網眼 狀地塗佈於放電容器51的外面並加以燒成來形成的。在 放電容器51的上部內壁面’設有用來反射真空紫外線之 例如由二氧化矽膜所構成之紫外線反射膜55。紫外線反射 膜55被設置於放電容器51的上部內壁面的長方向及短方 向全範圍。 圖4係圖1所示的燈單元2的放大斷面圖。 -14- 200941542 如同圖所示，激分子燈5係將紫外線反射膜55配置 於光感測器6側，與光感測器6相對向。因此，光感測器 6，爲了檢測由激分子燈5所放射之真空紫外線，形成於 放電容器51的上部內面之紫外線反射膜55在光感測器6 所抵接之位置，設有紫外線反射膜5 5被削除之開口部5 5 ! 。在開口部551存在之放電容器51的外面，光感測器6 的可動體64可抵接地被設置著。光感測器6由可動體64 0 、在內部設有供可動體64能夠移動的貫通孔634之筒狀 的保持體63'及連接於此保持體63的上端之光檢測體61 所構成。 可動體64具備有在內部具有貫通孔644之圓筒狀的 筒狀構件64 1，在可動體64的筒狀構件641的一端，設有 朝內部的貫通孔644側突出之突出部642，在筒狀構件 641的另一端，設有朝其外周方向延伸之環狀的防止落下 部643。可動體64藉由具電氣絕緣性之例如塊滑石這樣的 Q 陶瓷所形成的。 保持體63係具有圓筒構件63 1，在其內部具有可供可 動體64能夠移動之貫通孔634。在圓筒構件63 1的一端， 設有朝貫通孔634側突出之突出體632，在圓筒構件631 的另一端’設有朝其外周方向延伸之鍔體63 3。保持體63 係藉由例如鋁所形成的。可動體64的筒狀構件641可通 過突出體632所包圍之圓狀的開口導出地被設置著，可動 體64的防止落下部643與保持體63的突出體632可抵接 地被設置著。 -15- 200941542 在設置於保持體63的另一端之鍔體63 3的上 檢測體61經由例如由氟樹脂所構成之環狀的第1 62 ^被接合。在光檢測體6 1，設置有供真空紫外線: 例如由石英玻璃所構成的透過構件645，在透過構 之與突出部642側的面相反側之面，塗佈有例如由 所構成且可將紫外線變換成可見光之變換構件646 光檢測體6 1具有檢測可見光之光檢測元件6 1 1，光 0 件6 1 1係以與變換構件646相對向的方式接合於保ί 的鍔體633。在光檢測元件611的上方，設有電裝 ，其內裝有用來處理利用光檢測元件6 1 1所接收到 訊號之電裝零件。 藉由上述結構，使得透過構件645與變換構件 到光檢測體61、保持體63和可動體64所包圍。 框體4係設置成，激分子燈5側的一面呈開口 激分子燈5的四面（激分子燈5之未設有一對的外 Q 52、53的四面之外側）。且，在框體4，設有框體 41來對框體4加蓋，在框體蓋構件41，設有用來 分子燈5的兩端之燈支承體42 (參照圖2 )’並且 光感測器6揷入之貫通孔43。被插入至框體蓋構件 貫通孔43之光感測器6，其設置於可動體64的一 出部64 2抵接於激分子燈5。由於激分子燈5呈長 故光感測器6所抵接的一面爲平坦狀，光感測器6 之突出部642的面也同樣呈平坦，因此，光感測器 動體64能以無間隙的方式載置於激分子燈5。保并 方，光 封裝體 透過之 件 64 5 螢光體 。且， 檢測元 寺體63 體612 的受光 646受 ，包圍 部電極 蓋構件 支承激 設有供 41的 端之突 方體， 所抵接 6的可 ί體63 -16- 200941542 的鍔體633，以介裝有例如由氟樹脂所構成的第2封裝體 65之方式接合於框體4的框體蓋構件41的上面。 以介裝有第1封裝體62的方式接合於保持體63的鍔 體633之光檢測體61，由於位於框體蓋構件41的上方位 置，故配置於框體蓋構件41的上方之光檢測體61的外方 係設置成，受到構成爲箱狀之框體4及框體蓋構件4 1所 包圍。即，光感測器6的光檢測體61係配置於受到框體4 0 、框體蓋構件41、第2封裝體65、鍔體633、及第1封裝 體62所包圍的密閉空間S 1。因此，能夠防止配置於光檢 測體6 1之電裝體6 1 2受到因臭氧所產生之壞影響。 其次，使用圖4來說明燈單元2的動作。激分子燈5 ，當高頻的高電壓被施加於一對的外部電極52、53時， 在放電容器51的內部，作爲發光氣體之氙氣被激發，由 所激發之發光氣體，產生具有172 nm以下的峰値波長之真 空紫外線。在放電容器51的內部，所產生之真空紫外線 Q 係與受到設置於放電容器5 1的內部的紫外線反射膜5 5所 反射之真空紫外線一同從放電容器51的外部電極53側朝 外部被放射。由激分子燈5所放射之真空紫外線之一部分 被大氣中的氧所吸收而產生臭氧。 另外，從激分子燈5的削除紫外線反射膜55的一部 分所形成之開口部5 5 1，朝與其相對向的光感測器6放射 真空紫外線。光感測器6的可動體64的筒狀構件641的 突出部6 42與激分子燈5卡合地被抵接，在可動體64與 激分子燈5之間，能夠防止朝框體4的內部S2對流而來 -17- 200941542 之氧濃度產生變動後之大氣的流入。通過了紫外線反 55的開口部551之真空紫外線係通過網眼狀的外部 52的網眼（開口部54)，再通過受到可動體64的突 642所包圍之開口部，射入至透過構件645。 再者，在圖4，圖示成使激分子燈5的外部電極 53突出，但實際上的外部電極52、53的厚度，因外 極52、53係以例如網版印刷等所形成的，所以非常 0 幾乎不會有從網眼狀的外部電極52、53的開口部54 之氧濃度產生變動後之大氣。因此，由激分子燈5的 線反射膜5 5的開口部5 5 1所放射之真空紫外線，不 到氧濃度產生變動後之大氣的影響，可理想地朝透過 645射入。 又，從激分子燈5亦會射出真空紫外線以外之可 ，但如圖4所示，在具有複數支激分子燈5之燈單元 自於位於該光感測器6所測定的激分子燈5的週邊之 0 子燈5之可見光被照射於例如位於中央之光感測器6 此，當位於中央之光感測器6的光檢測元件6 1 1接收 自於位於週邊之激分子燈5之可見光時，無法正確地 測來自於所測定之中央的激分子燈5之紫外線的強度 ，因保持構件63形成爲筒狀，所以可遮斷來自於位 邊之激分子燈之可見光，位於中央之光感測器6的光 元件611可防止來自於週邊之其他激分子燈5之可見 受光。即，光感測器6的光檢測元件6 1 1能僅測定可 64所抵接之激分子燈5的紫外線強度。 射膜 電極 出部 52、 部電 薄， 流入 紫外 會受 構件 見光 ，來 激分 。因 到來 僅檢 。但 於週 檢測 光的 動體 -18- 200941542 若根據本實施形態的發明的話，即使對被照射物W 照射真空紫外線之際所產生之氧濃度產生變動後之大氣因 對流而進入厕框體4的內部S2，也可使光感測器6抵接 於激分子燈5，將射入到光感測器6之真空紫外線在不會 受到氧濃度產生變動後之大氣的影響的狀態下變換成可見 光並進行檢測，所以，能夠將真空紫外線對被照射物W 之強度設定於期望的預定値。 φ 其次，使用圖5，說明關於激分子燈5更換時之光感 測器6的狀態。圖5 ( a )係顯示由燈單元2取下激分子燈 5時的光感測器6的狀態之圖，圖5 ( b )係顯示將激分子 燈5設置於燈單元2時的光感測器6的狀態之圖。 首先，如圖5(a)所示，當由燈單元2取下激分子燈 5時，光感測器6，光感測器6的可動體64藉由自重下降 ，設置於可動體64的另一端之防止落下部643抵接到設 置於保持體63的一端之突出體632，可動體64被保持於 φ 保持體63。因保持體63被支承於框體蓋構件41，所以可 動體64經由保持體63被支承於框體蓋構件41。在此下降 時，藉由筒狀的圓筒構件631的內周面與防止落下部643 的外周面滑動，可動體64被筒狀的圓筒構件631的內周 面所導引，而能理想地下降。 其次’如圖5 ( b )所示，當在燈單元2以抵接於可動 體64的突出部642之方式配置激分子燈5時，可動體64 的圓筒構件641被壓於激分子燈5，在保持體63的圓筒構 件631的貫通孔634內朝上方移動。因貫通孔634形成爲 -19- 200941542 與可動體64的防止落下部643的外形相同或該外形以上 ’被壓於激分子燈5之可動體64能容易在貫通孔634內 移動。因可動體64在抵接於激分子燈5之狀態下可在貫 通孔634內移動，所以不會有不期望的負荷施加於激分子 燈5，僅施加有光感測器6的可動體64的重力。又，藉由 圓筒構件63 1的內周面與防止落下部643的外周面滑動， 使得可動體64被導引於圓筒構件631的內周面而能理想 φ 地朝上方移動。因此，即使在激分子燈5更換時及交換後 ，不會有不期望的負荷施加到激分子燈5。又，即使在因 激分子燈5的製造偏差程度造成燈形狀等不同之情況，也 因保持體63的貫通孔634形成爲具有充分高度，所以可 動體64能夠移動相當於貫通孔634的高度量，可充分地 吸收製造偏差程度。 如此，可動體64雖可在保持體63的貫通孔634內移 動，但過度增大貫通孔634的中心軸方向的長度L1時， φ 造成設置於可動體64的一端之突出部642抵接到保持體 63的突出部632，可動體64進入至圓筒構件631的內部 ，會產生無法由突出部632導出可動體64的筒狀構件641 之虞。因此，如圖5(a)所示’將由突出部63 2之與光檢 測體61相對向的面至連接到鍔體633之第1封裝部62中 抵接於光檢測體61的面爲止之距離L1作成爲較由突出部 642至防止落下部643爲止之可動體64的全長L2小。藉 此，即使可動體64上升使防止落下部643底接到光檢測 體6 1，也能從受到突出部642所包圍的開口部導出突出部 -20- 200941542 642，藉此能夠防止可動體64進入到保持體63的貫通孔 63 1° 在此，光感測器6與放電容器51的數値例係例如以 下所示。針對光感測器6，保持體63的貫通孔634的直徑 爲19mm、環狀的鍔體633的直徑爲38mm。可動體64的 貫通孔644的直徑爲16mm、環狀的防止落下部643的直 徑爲19mm。由設置於保持體63的一端的突出部632之與 φ 檢測體61相對向的面至連接到保持體63的另一端的鍔體 633之第1封裝部62中抵接於光檢測體61的面爲止之距 離L1爲23mm，由設置於可動體64的一端之突出部642 至設置於另一端的防止落下部64 3爲止之可動體64的全 長L2爲3 5mm。又，針對激分子燈5，放電容器51的長 方向之長度爲904mm。在沿著對放電容器51的長方向呈 垂直方向之長方形的剖面，長邊爲43mm、短邊爲15mm。 封裝於放電容器51的內部之氙氣例如爲10〜l〇〇kP a。 φ 使用圖6及圖7’說明關於本發明的第2實施形態。 再者’顯示第2實施形態之紫外線照射裝置丨的槪略結構 的圖係與在第1實施形態所使用之圖1共通，又第2實施 形態之紫外線照射裝置1的斷面圖係與圖2共通，因此， 在第2實施形態的說明，使用圖1及圖2進行說明。 圖6係圖1所示的燈單元2的放大斷面圖。 如同圖所示’激分子燈5，紫外線反射膜55配置於光 感測器6側，與光感測器6相對向。因此，光感測器6， 爲了檢測由激分子燈5所放射之真空紫外線，形成於放電 -21 - 200941542 容器51的上部內面之紫外線反射膜55係在光感測器6所 抵接之位置，設置有削除了紫外線反射膜5 5之開口部5 5 1 。在開口部551所存在之放電容器51的外面，光感測器6 的可動體64可抵接地被設置著。光感測器6係由可動體 64、在內部設有可供可動體64能夠移動之貫通孔634的 筒狀的保持體63、及連接於此保持體63的上端之光檢測 體6 1所構成。 φ 再者，搬送機構3的結構及功能係爲與第1實施形態 之圖1所作過之說明相同者，故在此省略其說明。 可動體64係具備有在內部具有貫通孔644之圓筒狀 的筒狀構件64 1，在可動體64的筒狀構件64 1的一端，設 有朝內部的貫通孔644側突出之突出部642，在筒狀構件 64 1的另一端，設有朝其外周方向延伸之環狀的防止落下 部643。可動體64藉由具有電氣絕緣性之例如塊滑石這樣 的陶瓷所形成。在突出部642，設有供真空紫外線透過之 φ 例如由石英玻璃所構成的透過構件645，在透過構件645 的與突出部642側之面相反側的面，塗佈有由例如螢光體 所構成之可將紫外線變換成可見光之變換構件646。 保持體63具有圓筒構件63 1，在其內部具有可供可動 體64能夠移動之貫通孔634。在圓筒構件631的一端，設 有朝貫通孔634側突出之突出體632，在圓筒構件631的 另一端，設有朝其外周方向延伸之鍔體63 3。保持體63係 藉由例如鋁所形成的。可動體64的筒狀構件641可通過 突出體63 2所包圍之圓狀的開口導出地被設置著，可動體 -22- 200941542 64的防止落下部64 3與保持體63的突出體632可抵接地 被設置著。 在設置於保持體63的另一端之鍔體633的上方’光 檢測體61經由例如由氟樹脂所構成之環狀的第1封裝體 62被接合。光檢測體6 1係具有檢測可見光之光檢測元件 611，光檢測元件611以與設置於可動體64之變換構件 646相對向的方式接合於保持體63的鍔體633。在光檢測 ^ 元件611的上方，設有電裝體612’其內裝有用來處理被 光檢測元件6 1 1所接收到的受光訊號之電裝零件。 藉由上述結構，使得透過構件645與變換構件646受 到光檢測體6 1、保持體63和可動體64所包圍。 框體4係激分子燈5側的一面呈開口，包圍激分子燈 5的四面（激分子燈5之未設有一對的外部電極52、53的 四面之外側）。且，在框體4，設有框體蓋構件41來對框 體4加蓋，在框體蓋構件41，設有用來支承激分子燈5的 φ 兩端之燈支承體42 (參照圖2) ’並且設有供光感測器6 揷入之貫通孔43。被插入至框體蓋構件41的貫通孔43之 光感測器6，其設置於可動體64的一端之突出部64 2抵接 於激分子燈5。由於激分子燈5呈長方體’故光感測器6 所抵接的一面爲平坦狀，光感測器6所抵接之突出部642 的面也同樣呈平坦，因此，光感測器6的可動體64能以 無間隙的方式載置於激分子燈5。保持體63的跨體633’ 以介裝有例如由氟樹脂所構成的第2封裝體6 5之方式接 合於框體4的框體蓋構件41的上面。 -23- 200941542 以介裝有第1封裝體62的方式接合於保持體63的鍔 體633之光檢測體61，係由於位於框體蓋構件41的上方 位置，故配置於框體蓋構件41的上方之光檢測體61的外 方係設置成，受到構成爲箱狀之框體4及框體蓋構件41 所包圍。即，光感測器6的光檢測體61係配置於受到框 體4、框體蓋構件41、第2封裝體65、鍔體633、及第1 封裝體62所包圍的密閉空間S 1。因此，能夠防止配置於 0 光檢測體61之電裝體612受到因臭氧所產生之壞影響。 其次，使用圖6，說明關於燈單元2的動作。激分子 燈5，當高頻的高電壓被施加於一對的外部電極52、53時 ，在放電容器51的內部，作爲發光氣體之氙氣被激發， 由所激發之發光氣體，產生具有172nm以下的峰値波長之 真空紫外線。在放電容器51的內部，所產生之真空紫外 線係與受到設置於放電容器51的內部的紫外線反射膜5 5 所反射之真空紫外線一同從放電容器5 1的外部電極5 3側 〇 朝外部被放射。由激分子燈5所放射之真空紫外線之一部 分被大氣中的氧所吸收而產生臭氧。 另外’從激分子燈5之削除紫外線反射膜55的一部 分所形成之開口部551，朝與其相對向的光感測器6放射 真空紫外線。光感測器6的可動體64的筒狀構件641的 突出部642與激分子燈5卡合地被抵接，在可動體64與 激分子燈5之間’能夠防止朝框體4的內部S2對流而來 之氧濃度產生變動後之大氣的流入。通過了紫外線反射膜 55的開口部551之真空紫外線係通過網眼狀的外部電極 -24- 200941542 52的網眼（開口部54)，再通過受到可動體64的突出部 642所包圍之開口部，射入至透過構件64 5。 再者，在圖6中，雖圖示有使激分子燈5的外部電極 52、53突出之狀態，但實際上的外部電極52、53的厚度 ，其因外部電極52、53係以例如網版印刷等所形成的， 所以非常薄，幾乎不會有從網眼狀的外部電極52、53的 開口部54流入之氧濃度產生變動後之大氣。因此，由激 0 分子燈5的紫外線反射膜5 5的開口部5 5 1所放射之真空 紫外線，不會受到氧濃度產生變動後之大氣的影響，可理 想地朝透過構件645射入。 透過透過構件64 5之真空紫外線，藉由塗佈於透過構 件645的上面之由螢光體所構成的變換構件646，變換成 可見光。在圓筒構件631內部的貫通孔634，爲了使可動 體64的保持構件641可移動，而不將保持體63與可動體 54之間予以封裝，這會有使對流來之氧濃度變動後的大氣 〇 流入之虞。但，通過貫通孔644及貫通孔634之光，由於 藉由變換構件656將真空紫外線變換成可見光，故，不會 被可動體64與保持體63的內部的氧濃度產生變動之大氣 所吸收。即被變換構件646所變換之見光，不會被氧所吸 收，因此其強度不會降低，而能藉由對向配置之光檢測元 件61 1所檢測。又，流入到保持體63的內部之真空紫外 線與氧反應所產生之臭氧，可藉由設置於保持體63的鍔 體63 3與光檢測體61之間的第1封裝體62，防止臭氧流 入至密閉空間S1側，而能夠防止臭氧對電裝體6 1 2內的 -25- 200941542 電裝零件產生壞影響。 又，從激分子燈5亦會射出真空紫外線以外之可見光 ，但如圖6所示，在具有複數支激分子燈5之燈單元，來 自於位於該光感測器6所測定的激分子燈5的週邊之激分 子燈5之可見光被照射於例如位於中央之光感測器6。因 此，當位於中央之光感測器6的光檢測元件6 1 1接收到來 自於位於週邊之激分子燈5之可見光時，無法正確地僅檢 φ 測來自於所測定之中央的激分子燈5之紫外線的強度。但 ，因保持構件63形成爲筒狀，所以可遮斷來自於位於週 邊之激分子燈之可見光，位於中央之光感測器6的光檢測 元件611可防止來自於週邊之其他激分子燈5之可見光的 受光。即，光感測器6的光檢測元件6 1 1能僅測定可動體 64所抵接之激分子燈5的紫外線強度。 若根據本實施形態的發明的話，即使對被照射物W 照射真空紫外線之際所產生之氧濃度產生變動後之大氣因 ❹ 對流而進入到框體4的內部S 2，也可使光感測器6抵接 於激分子燈5，將射入到光感測器6之真空紫外線在不會 受到氧濃度產生變動後之大氣的影響的狀態下變換成可見 光並進行檢測，所以，能夠將真空紫外線對被照射物W 之強度設定於期望的預定値。 其次，使用圖7，說明關於激分子燈5更換時之光感 測器6的狀態。圖7 ( a )係顯示由燈單元2取下激分子燈 5時的光感測器6的狀態之圖，圖7(b)係顯示將激分子 燈5設置於燈單元2時的光感測器6的狀態之圖。 -26- 200941542 首先，如圖7(a)所示，當由燈單元2取下激分子燈 5時，光感測器6，光感測器6的可動體64藉由自重下降 ，設置於可動體64的另一端之防_止落下部643抵接到設 置於保持體63的一端之突出體632，可動體64被保持於 保持體63»因保持體63被支承於框體蓋構件41，所以可 動體64經由保持體63被支承於框體蓋構件41。在此下降 時，藉由筒狀的圓筒構件631的內周面與防止落下部643 φ 的外周面滑動，可動體64被筒狀的圓筒構件631的內周 面所導引，而能理想地下降。 其次，如圖7 ( b )所示，當在燈單元2以抵接於可動 體64的突出部642之方式配置激分子燈5時，可動體64 的圓筒構件64 1被壓於激分子燈5，在保持體63的圓筒構 件631的貫通孔634內朝上方移動。因貫通孔634形成爲 與可動體64的防止落下部643的外形相同或該外形以上 ，被壓於激分子燈4之可動體64能容易在貫通孔634內 _ 移動。因可動體64在抵接於激分子燈5之狀態下可在貫 通孔63 4內移動，所以不會有不期望的負荷施加於激分子 燈5，僅施加有光感測器6的可動體64的重力。又，藉由 圓筒構件631的內周面與防止落下部643的外周面滑動， 使得可動體64被導引於圓筒構件63 1的內周面而能理想 地朝上方移動。因此，即使在激分子燈5更換時及交換後 ，不會有不期望的負荷施加到激分子燈5。又，即使在因 激分子燈5的製造偏差程度造成燈形狀等不同之情況，也 因保持體63的貫通孔634形成爲具有充分高度，所以可 -27- 200941542 動體64能夠移動相當於貫通孔634的高度量，可充分地 吸收製造偏差程度。 如此，可動體64雖可在保持體_63的貫通孔634內移 動，但過度增大貫通孔634的中心軸方向的長度L1時， 造成設置於可動體64的一端之突出部642抵接到保持體 63的突出部632，可動體64進入至圓筒構件63 1的內部 ，會產生無法由突出部632導出可動體64的筒狀構件64 1 ^ 之虞。因此，如圖7(a)所示，將由突出部632之與光檢 測體61相對向的面至連接到鍔體63 3之第1封裝部62中 抵接於光檢測體61的面爲止之距離L1作成爲較由突出部 642至防止落下部643爲止之可動體64的全長L2小。藉 此，即使可動體64上升使防止落下部643底接到光檢測 體61，也能從受到突出部642所包圍的開口部導出突出部 642，藉此能夠防止可動體64進入到保持體63的貫通孔 63 1° @ 在此，光感測器6與放電容器5 1的數値例係例如以 下所示。針對光感測器6，保持體63的貫通孔634的直徑 爲19mm、環狀的鍔體633的直徑爲38mm。可動體64的 貫通孔644的直徑爲16mm、環狀的防止落下部643的直 徑爲19mm。由設置於保持體63的一端的突出部632之與 檢測體61相對向的面至連接到保持體63的另一端的鍔體 63 3之第1封裝部62中抵接於光檢測體61的面爲止之距 離L1爲23mm，由設置於可動體64的一端之突出部642 至設置於另一端的防止落下部643爲止之可動體64的全 -28- 200941542 長L2爲35 mm。又，針對激分子燈5，放電容器51的長 方向之長度爲904mm。在沿著對放電容器51的長方向呈 垂直方向之長方形的剖面，長邊爲43mm、短邊爲1 5mm。 封裝於放電容器51的內部之氙氣例如爲10〜10 OkPa。 使用圖8至圖10，說明關於本發明的第3實施形態。 圖8係顯示具備本實施形態的發明之燈單元2，沿著 激分子燈11的長方向之紫外線照射裝置1的槪略結構之 〇圖。 如同圖所示，紫外線照射裝置1，大致由在呈箱狀的 框體4內具備有激分子燈11與光感測器6之燈單元2(圖 面上方）、及載置燈單元2並且搬送被照射物W之搬送 機構3 (圖面下方）所構成。燈單元2係由激分子燈11、 可與激分子燈5抵接地被設置之光感測器6、及收納激分 子燈1 1與光感測器6並加以支承的框體4所構成。再者 ，搬送機構3的結構及功能，因與在第1實施形態之圖1 Q 作過說明者相同，故在此省略其說明。 圖9(a)係沿著圖8所示的激分子燈11的管軸方向 之放大斷面圖，圖9(b)係由圖9(a)的D-D切斷面所 觀看之激分子燈11的斷面圖。 如這些圖所示，激分子燈1 1係藉由由圓筒狀的例如 石英玻璃所形成，且塡充有作爲放電氣體的氙氣之放電管 111、與將放電管111的管軸方向的兩端予以氣密地封裝 之封裝部112所構成。 內側電極11 3係在例如由線圈狀的鎢所構成之內側電 -29- 200941542 極1 1 3的長方向的兩端，將由例如棒狀的鎢所構成之內側 電極1 1 3以線圈狀的內側電極1 1 3與棒狀的內側電極1 1 3 朝長方向之中心軸一致的方式加以配置，藉由熔接等予以 接合來形成。內側電極1 1 3係被配置成延伸於放電管1 1 1 的大致管軸方向。 在放電管1 1 1內，設有由例如石英玻璃所構成之作爲 圓筒狀的介電質來發揮功能的內管114，內管114的管軸 U 方向的兩端係不會與放電管111接觸地離隔著，並且，包 圍內側電極113的外周之方式配置著。內管114，在其外 周配置有由圖示圓盤狀之由例如石英玻璃所構成之支承構 件，藉由此支承構件支承於放電管111內部。 在封裝部的兩端，設有突出之由例如鎢所構成之 外部導線117，封裝部112係藉由將放電管111的管軸方 向的兩端之管體作成爲熔融狀態並壓潰之收縮密封法來形 成。在封裝部112，內側電極113與外部導線117在由例 φ 如鉬所構成之箔116被電性連接並埋設。又’封裝部112 ，亦可藉由將管體作成熔融狀態後再將內部予以減壓形成 之收縮密封法來形成。藉此，在內側電極113，於內管 114的管軸方向的兩端與封裝部112之間，形成內側電極 113的徑方向不會被內管114所覆蓋並且朝未被封裝部 112所埋設的徑方向露出之內側電極113。 在放電管111的外周面’密接形成有由例如網狀的 銅-鎳合金所構成之外側電極115 ’在放電管111的管軸方 向，較內管114的管軸方向的兩端短的方式配置著。由封 -30- 200941542 裝部112突出之一對的外部導線117中，一方的外部導線 117連接於未圖示的交流電源。 激分子燈11的具體的數値例，放電管ηι爲管軸方 向的長度2250mm、外徑1 8.5mm、內徑16.5mm、封入之 氙氣的封入量 66.5 kP a。內管114爲管軸方向的長度 2200mm、外徑4mm、內徑2mm。線圈狀的內側電極113 ，長方向的長度2030mm、外徑1.8mm，外側電極115的 0 厚度〇.2mm。被供給至激分子燈11之電壓波形爲例如矩 形波，峰値電壓爲5kV、頻率爲60kHz。 圖10係圖8所示的燈單元2的放大斷面圖。 如同圖所示，本實施形態的發明之激分子燈1 1的外 形爲圓柱狀。因此，在光感測器6的可動體64的底部之 突出部642，形成爲激分子燈11抵接之面成爲呈圓弧狀凹 陷之卡合面642 1。再者，其他結構係與第2實施形態之圖 6所示的同符號的結構相對應，在此省略其說明。 Q 如圖10所示，藉由將可動體64的突出部642抵接於 激分子燈11之面作成爲圓弧狀的卡合面642 1，使得卡合 面6421抵接成卡合於圓柱狀的激分子燈11，能夠防止對 流至框體4的內部S2之氧濃度產生變動之大氣進入到可 動體64與激分子燈11之間。 在本實施形態的發明，即使對被照射物W照射真空 紫外線之際所產生的氧濃度產生變動之大氣因對流而進入 到框體4的內部S2，也能使光感測器6抵接於激分子燈5 ，可將真空紫外線在不會受到氧濃度產生變動之大氣的影 -31 - 200941542 響的狀態變換成可見光，能夠將真空紫外線對被照射物w 之強度設定於期望的預定値。 再者，在第3實施形態的說明，以將透過構件645與 變換構件6 4 6設置於可動體6 4側爲例進行了說明，但， 即可爲如第1實施形態的光感測器6般設置於光檢測體6 1 側之情況，亦可獲得相同的效果。 使用圖1 1，說明關於本發明的第4實施形態。 ❹ 圖11係顯示本實施形態的發明，與第2實施形態之 圖6所示的燈單元2和光感測器6的可動體64的結構一 部分不同之燈單元2的結構之局部放大圖。 如同圖所示，本實施形態的光感測器6的可動體66， 使用由例如石英玻璃所構成之圓柱狀的透過構件661，來 代替第1實施形態之圖6所示的可動體64的透過構件645 。即，與激分子燈5抵接之透過構件661的一端，形成有 平坦部663，來與平坦之激分子燈5卡合，在透過構件 _ 661的另一端，形成有與保持體63的突出部632抵接之鍔 狀的防止落下構件662，並且在其上面塗佈有由例如螢光 體所構成之變換構件646。 再者，此燈單元2的其他結構係與圖6所示的燈單元 2的同符號之結構相對應，在此省略其說明。 在本實施形態的發明，即使對被照射物W照射真空 紫外線之際所產生的氧濃度產生變動之大氣因對流而進入 到框體4的內部S2，也能使光感測器6抵接於激分子燈5 ，也能藉由以透過構件661構成可動體66全體，使得由 -32- 200941542 激分子燈5所接收之真空紫外線通過透過構件661’直接 射入至塗佈於透過構件661的上面之變換構件646，因此 ，在激分子燈5與變換構件646之間，不會有讓臭氧進入 到框體4的內部S2之多餘空間。因此，能夠將真空紫外 線在不受到氧濃度產生變動之大氣的影響的狀態下變換成 可見光，能夠將真空紫外線對被照射物W之強度設定於 期望的預定値。 0 使用圖1 2，說明關於本發明的第5實施形態。 圖1 2係顯示本實施形態的發明，與第1實施形態之 圖6所示的燈單元2和光感測器6的可動體64的結構一 部分不同之燈單元2的結構之局部放大圖。 如同圖所示，本實施形態的光感測器6的可動體64， 使用一倂具有發揮作爲真空供紫外線透過之透過構件的功 能、及作爲將真空紫外線變換成可見光之變換構件的功能 之螢光玻璃647，來代替第1實施形態之圖6所示的可動 Q 體64的透過構件645及變換構件646。 再者，此燈單元2的其他結構，係與圖6所示的燈單 元2的同符號的結構相對應，在此省略其說明。 在本實施形態的發明，即使對被照射物W照射真空 紫外線之際所產生的氧濃度產生變動之大氣因對流而進入 到框體4的內部S2，也能藉由設置於可動體64之螢光玻 璃647，使得由激分子燈5所受光之真空紫外線射入至透 過構件兼變換構件之螢光玻璃647，所以，在激分子燈5 與螢光玻璃647之間，不會有讓臭氧進入到框體4的內部 -33- 200941542 S2之多餘空間。因此，能夠將真空紫外線在不受到氧濃 度產生變動之大氣的影響的狀態下變換成可見光，能夠將 真空紫外線對被照射物W之強度設定於期望的預定値 再者，在第5實施形態的說明，以將螢光玻璃647設 置於可動體64側爲例進行了說明，但在如第1實施形態 的光感測器6般，設置於光檢測體6 1側之情況，亦可獲 得相同的效果。 使用圖1 3，說明關於本發明的第6實施形態。 圖1 3係顯示本實施形態的發明，沿著對激分子燈5 的長方向呈垂直方向之燈單元2的結構之斷面圖。 如同圖所示，本實施形態的燈單元2，係配置成將彈 性構件63 5插入至保持體63的貫通孔634，使光感測器6 的可動體64的一端朝激分子燈5接收彈性力，將光感測 器6由激分子燈5之未配置有外部電極52、53之橫向抵 接於激分子燈5，來代替第1實施形態之圖6的燈單元。 再者，此燈單元2的其他結構，係與圖6所示的燈單 元2的同符號的結構相對應，在此省略其說明。 彈性構件635係配置於保持體63的貫通孔634並以 例如例如線圈彈簧等的構件所構成，彈性構件635的一端 抵接於可動體64的防止落下部64 3，其另一端抵接於檢測 體61。藉此，作用成設置於可動體64的另一端之防止落 下部6 43與保持體63的突出體632抵接。 因彈性構件63 5使可動體64朝激分子燈5作用，所 以’不需要藉由可動體64的自重進行對激分子燈5之抵 -34- 200941542 接。即，即使朝激分子燈4的横向（對重力方向呈垂直方 向）設置光感測器6，也能經常地使光感測器6抵接於激 分子燈5。在激分子燈5，雖會被施加有因彈性構件6 J 5 所產生之負荷，但，彈性構件635的彈性力不會造成激分 子燈5破損程度，能適宜地選擇該彈性構件。再者，彈性 構件635，在第1實施形態的圖6所示的燈單元2中，亦 可設置於朝激分子燈5的一方的外部電極52、53抵接之 q 光感測器6。 在本實施形態的發明，即使對被照射物W照射真空 紫外線之際所產生的氧濃度產生變動之大氣因對流而進入 到框體4的內部S2，也可使光感測器6抵接於激分子燈5 ’將射入到光感測器6之真空紫外線在不會受到氧濃度產 生變動後之大氣的影響的狀態下變換成可見光並進行檢測 ’所以，能夠將真空紫外線對被照射物W之強度設定於 期望的預定値。 @ 再者，在第6實施形態的說明，以將透過構件645與 變換構件6 4 6設置於可動體6 4側爲例進行了說明，但在 如第1實施形態的光感測器6般，設置於光檢測體61側 之情況，亦可獲得相同的效果。 【圖式簡單說明】 圖1係顯示具備第1實施形態的發明之燈單元2，且 沿著激分子燈5的長方向之紫外線照射裝置1的槪略結構 的圖。 -35- 200941542 圖2係由圖1所示的紫外線照射裝置1的A-A切斷面 觀看紫外線照射裝置1的斷面圖。 圖3係圖1及圖2所示的激分子燈5的放大斜視圖及 放大斷面圖。 圖4係圖1所示的燈單元2的放大斷面圖。 圖5係顯示由燈單元2取下激分子燈5時的光感測器 6的狀態、及將激分子燈5設置於燈單元2時的光感測器 0 6的狀態之圖。 圖6係第2實施形態的發明之燈單元2的放大斷面圖 〇 圖7係顯示由燈單元2取下激分子燈5時的光感測器 6的狀態、及將激分子燈5設置於燈單元2時的光感測器 6的狀態之圖。 圖8係顯示具備第3實施形態的發明之燈單元2，且 沿著激分子燈11的長方向之紫外線照射裝置1的槪略結 Q 構之圖。 圖9係圖8所示的激分子燈11的放大斜視圖及放大 斷面圖。 圖10係圖8所示的燈單元2的放大斷面圖。 圖11係第4實施形態的發明，顯示一部分與第2實 施形態之圖6所示的燈單元2和光感測器6的可動體64 的結構不同之燈單元2的結構的局部放大圖。 圖12係第5實施形態的發明，顯示一部分與第2實 施形態之圖6所示的燈單元2和光感測器6的可動體64 -36- 200941542 的結構不同之燈單元2的結構的局部放大圖。 圖1 3係第6實施形態的發明，顯示沿著對激分子燈5 的長方向呈垂直方向之燈單元2的結構之斷面圖。 圖1 4係顯示專利文獻1所記載，沿著對激分子燈2〇 1 的長方向呈垂直方向之燈單元200的槪略結構之斷面圖。 圖1 5係顯示圖1 4所示的激分子燈20 1的結構之斜視 圖。 ❹ 【主要元件符號說明】 1 :紫外線照射裝置 2 :燈單元 3 :搬送機構 4 :框體 4 1 :框體蓋構件 42 :燈支承體 ❹ 43 :貫通孔 5 :激分子燈 51 :放電容器 52、53 :外部電極 54 :開口部 55 :紫外線反射膜 5 5 1 :開口部 6 :光感測器 61 :光檢測體 -37- 200941542 〇 :光檢測元件 ’·電裝體 第1封裝體 保持體 :圓筒構件 :突出體 :鍔體 :貫通孔 :彈性構件 可動體 =筒狀構件 :突出部 1 :卡合面 :防止落下部 :貫通孔 =透過構件 :變換構件 =螢光玻璃 第2封裝體 可動體 :透過構件 =鍔體 :平坦部 :突出部 200941542 7 :滾子 8 :驅動部 9 :搬入口 10 :搬出口 1 1 :激分子燈 1 1 1 :放電管 112 :封裝部 ^ 1 1 3 :內側電極 1 14 :內管 1 1 5 :外側電極 1 1 6 :鉬箔 1 1 7 :外部導線 W :被照射物 S 1 :框體內部（密閉空間 S2 :框體內部 ❹