TW200849447A - Systems and methods for transport through curved conveyance sections - Google Patents

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200849447 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明大體係關於沿著傳送路徑傳送物品之輸送系統及 方法，且在一些實施例中係用於在製造設備中傳送半導體 基板或其類似物。 【先前技術】 輸送系統廣泛用於工業製造設備中用以在工作站之間傳 送物品。最初，此等系統為人工的，且工人們用手或用手 推車移動物品。現代工廠已研發出專門的器材來自動傳送 物品。詳言之，半導體製造設備當前在製造過程期間使用 自動輸送糸統來移動半導體晶圓。通常，可將一批晶圓在 稱作前開式晶圓盒（FOUP)之容器中一起傳送。半導體晶圓 製造商已設法藉由使用快速且有效地將晶圓在機器間傳送 而不使晶圓暴露至過多污染、過度振動或過度加速及減速 力之輸送系統來增加製造生產率。半導體製造工業中所使 用的現有輸送系統之一問題為難以在不瞬間停止其向前運 動之情況下改變或轉變物品（諸如F〇UP)之傳送方向。此等 待導致限制此等輸送系統之輸送量及效率之瓶頸。 圖1A說明先前技術輸送轉彎系統之俯視圖。此系統包含 包括帶111及帶112之傳送機110及包括帶121及帶122之傳 送機120。此系統亦包含轉盤13〇，其經組態以自傳送機 110接收物mi 140，使物品140旋轉且將物品！4〇傳遞至傳送 機120。轉盤130包含在轉盤13〇每一側上之帶m及帶 132 ’及旋轉軸133。拐角區域ι6〇在圖1B、1€及11：)中放大 124906.doc 200849447 展示用以展示當轉盤130將物品14〇自傳送機11〇傳遞至傳 达機120時連績旋轉階段中之轉盤13〇。傳送機11〇使用帶 111及帶112朝向轉盤13〇輸送物品14〇，在轉盤13〇處物品 140轉向且傳遞至傳送機12〇。旋轉軸133通常安置於轉盤 130上之帶131與帶132之間。因此，物品14〇之傳送路徑穿 過旋轉軸133。 田物口口 140到達拐角區域16〇且中心大致處於旋轉轴η) 上時，物品140通常停止，同時轉盤13〇旋轉以定位物品 使/、可被傳遞至傳送機丨2〇。轉盤丨3〇通常在既定時間 具有僅載運一個物品14〇之能力。物品14〇通過拐角區域 的母單位日守間行進之距離通常低於物品1在傳送機 〇或傳送機120上每單位時間行進之距離。為補償此，在 傳达機110及120上的相鄰物品14〇之間保留間距。因此， 知角區域1 60通常成為輸送系統中之瓶頸。因此，需要用 ;製k又備巾改變或轉變物品傳送方向之3文良的系統及方 法。 【發明内容】 ▲種實知例中’本發明包含一種輸送系統，其包括經 心用於/口著★曲傳送路徑移動物品之彎曲傳送區段。在 各種實施例中，該彎曲傳送區段包含兩個大致垂直之帶， 1冉乍^礼角▼及内部拐角帶。外部拐角帶係安置於該 專迟路裎之外部邊緣上，而内部拐角帶係安置於該彎 r、志1Γ路仏之内部邊緣上。夕卜部拐角帶及内部拐角帶通常 糸、績彎曲的通過該彎曲傳送區段。 124906.doc 200849447 2種實施例中’回轉輪經組態圍繞共 回轉輪之旋轉轴）導引内部拐角帶及外部拐角帶。如(= I進：步描逃’各帶之路徑由回轉輪之各別表 於回轉輪之此等表面共用同-旋轉轴，因此基本上以相： 角：度導引内部拐角帶及外部拐角帶。另外，由於回轉二 之表面在連續彎曲路徑中行進，因此内^ 角帶係在連續f曲路徑中經導弓卜 Ο Ο 輪部分安置於傳送路徑之下或之上以導引内部拐角 :::!拐角帶之移動及/或位置。此組態視情況允許經 =:以大致等於該物品接近弯曲傳送區段時之速度的 通過該彎曲傳送區段，例如該物品可穿過該彎曲 傳达區&而不停止及/或顯著減速。在本發明之-此實施 二Ρ)Γ:曲傳送區段經組態用以輸送稱作前開式晶圓盒 )之谷益及/或經組態用於製造顯示器裝置之基板。 本發明之一例示性傳送區段經組態以沿著由内部曲線及 卜：^線限定之彎曲傳送路徑傳送物品。該傳送區段包含 構：枝線之一段安置之内表面’由外部拐角帶支撐結 牙之外部拐角帶，及複數個支揮突起，其安置於外部 :=上且經組態用以支樓物品。該外部拐角帶係緊靠外 之一段安置。另外，内表面及外部拐角帶經組態以 曲傳送路徑導引物品，使得緊靠内部曲線之 的^务°°之第一側之角速度大致等於緊靠外部曲線之段 的該物品之第二侧之角速度。 本發明之一例示性傳送區段經組態以沿著由内部曲線及 124906.doc 200849447 外部曲線限定之彎曲傳送路徑傳送物品。該傳送區段包含 =恶以-角速度繞-軸旋轉之内表面，經組態以該角速 :、…亥軸旋轉之外表面’及由該外表面支撐之外部拐角 y該内表面係緊靠内部曲線之—段安置，該外表面係緊 罪外部曲線之一恐忠罢 0 >丨 、 a— 奴女置，且該外部拐角帶係緊靠該外部曲 女置°亥外部拐角帶及該内表面經組態以在1間 著彎曲傳送路徑導引物品。 /、 ^本毛月t W不性輸送系統包含直傳送區段及彎曲傳送 區’又’忒直傳送區段包括兩條經組態用以在其間輸送物品 ^帶2該彎曲傳送區段經組態以自該直傳送區段接收物 口口且沿者由内部曲線及外部曲、線限定之彎曲傳送路徑傳送 該物…胃、芎曲傳送區段包括經組態以一角速度繞一軸旋 轉之回轉輪。該回轉輪經組態具有緊靠内部曲線之一段安 置之内表面及緊靠外部曲線之一段安置之外表面。另外， 該彎曲傳送區段包括外部拐角帶，其由該外表面支撐且緊 靠該外部曲線之段安置。 、 用於/σ著由内部曲線及外部曲線限定之彎曲傳送路徑傳 送物品的本發明之-例示性方法包含以-角速度旋轉内表 :，以該角速度旋轉外表φ，圍繞連續迴路移料部拐角 帶’將該物品提供至該外部拐角帶與該内表面之間該傳送 路徑之-端及沿著該f曲傳送路徑導引該物品。該内表面 係緊靠内部曲線之一段安置且該外表面係緊靠外部曲線之 -段安置。外部拐角帶由該外表面支撲且緊靠該外部曲線 之段安置。 124906.doc 200849447 【實施方式】 本發明之各種實施例包括用於自動轉變或改變物品（諸 如FOUP或經組態用於製造顯示器裝置之基板）傳送方向之 改良的系統及方法。舉例而言，一些實施例包括使用垂直 * 的輥及帶有效地沿著傳送路徑推進物品通過拐角，藉此改 變物品之傳送方向而不停止及/或顯著減速物品。各種實 施例亦包括使用回轉輪，其經組態以控制在傳送路徑每一 f、 側上之垂直輥及帶之相對速度，且因此以大致恆定速度在 傳送方向上推進物品通過拐角。在各種實施例中，拐角包 括漸近或急轉曲線，例如介於1度與18〇度之間。 圖2A說明根據本發明之各種實施例之輸送轉彎系統2〇〇 之俯視圖。輸送轉彎系統2〇〇包含彎曲傳送區段2〇1、入口 傳送&段202及出口傳送區段2〇3。彎曲傳送區段2〇1包含 圍繞旋轉軸225旋轉之回轉輪21〇、外部拐角帶23〇、複數 個外部拐角帶導引輪235及内部拐角帶260。自第一外部曲 〇 線點231至第二外部曲線點232的内部拐角帶260與外部拐 角帶230之間的區域包括物品28〇之彎曲傳送路徑。外部拐 角帶230係沿著該彎曲傳送路徑之外邊緣安置。内部拐角 - 常260係沿著該彎曲傳送路徑之内邊緣安置。複數個物品 280可進入輸送轉彎系統200通過該彎曲傳送路徑輸送而在 回轉輪210之一部分之上或之下穿過且圍繞旋轉軸225旋 轉。 回轉輪210包含外部回轉輪表面215及内部回轉輪表面 220。外部回轉輪表面215經組態以導引該外部拐角帶 124906.doc -10- 200849447 23 0而内部回轉輪表面220經組態以導引該内部拐角帶 260外部回轉輪表面215及内部回轉輪表面22〇經組態圍 繞/、同的垂直定向之旋轉轴225旋轉。在各種實施例中， 外部回轉輪表面215係完全安置於待經傳送通過彎曲傳送 . 區段201之物品280之下。在一些實施例中，内部回轉輪表 面220及外部回轉輪表面215為同一實體回轉輪21〇之組成 部分。在其他實施例中，内部回轉輪表面22〇為第一回轉 p 輪組件之組成部分，而外部回轉輪表面21 5為第二回轉輪 組件之組成部分。第一回轉輪組件與第二回轉輪組件可例 如藉由共同軸桿耦接在一起以共同形成回轉輪21〇總成。 在其他實施例中，第一回轉輪組件與第二回轉輪組件彼 此實體分離。舉例而言，包含内部回轉輪表面22〇之第一 回轉輪組件可不實體接觸包含外部回轉輪表面215之第二 回轉輪組件，且該第一回轉輪組件可與該第二回轉輪組件 圍繞單獨的軸桿旋轉。在此等實施例中，對外部回轉輪表 〇 面215之旋轉及内部回轉輪表面220之旋轉進行控制以使得 其各者以相同角速度旋轉。在一些實施例中，該第一回轉 輪組件與該第二回轉輪組件在共同電源之動力下旋轉。在 其他實施例中，該第一回轉輪組件在第一電源之動力下旋 轉，而該第二回轉輪組件在第二電源之動力下旋轉，該第 一電源與該第二電源彼此實體分離。 在一些實施例中，外部回轉輪表面215經組態在外部拐 角帶230與外部回轉輪表面215接觸之部分中維持連續彎 曲。同樣地，内部回轉輪表面220可經組態在内部拐角帶 124906.doc -11 - 200849447 260與内部回轉輪表面220接觸之部分中維持連續彎曲。因 此，外部拐角帶及内部拐角帶視情況連續彎曲的通過彎曲 傳送區段。此與以下系統（諸如2〇〇6年4月18日申請之題為 "Transport System Including Vertical Rollers”之美國專利第 - 11/406,569號中揭示之系統，該案以引用的方式併入本文 中）不同·在該糸統中改變物品傳送方向之傳送路徑係_ 由在該傳送路徑之每一側上置放帶子來形成且由一系列導 ^ 引輪導引，該等導引輪彼此偏移以使得帶之行進方向在導 引輪彼此之間改變。在此系統中，該等帶及因此該傳送路 徑為分段線性的，其中自一個導引輪至下一導引輪基本上 為直的，且僅在數個導引輪之各者處改變方向。 在一些實施例中，外部拐角帶230在第一外部曲線點23ι 處與外部回轉輪表面開始接觸，且在第二外部曲線點2U 處停止與外部回轉輪表面接觸。内部回轉輪表面22〇與外 部回轉輪表面215經組態在相同角速度下圍繞旋轉轴奶移 〇 動内部拐角帶260及外部拐角帶230。因此，外部拐角帶 230之線速度大於内部拐角帶26〇之線速度。 在各種實施例中’-或多個外部拐角帶導引輪235及外 • 部回轉輪表面215在外部拐角帶230之相對側上與外部拐角 帶23G接觸。在-些實施例中，外部拐角帶導引輪235之一 些個例在與外部回轉輪表面215接觸外部拐角帶之一點 正好相對的一點處接觸外部拐角帶23〇，諸如在第一外部 曲線點231及第二外部曲線點232處。在—些實施例中，外 部拐角帶導引輪235之一個例接觸外部拐角帶23〇處之一點 124906.doc -12- 200849447 與外部回轉輪表面215接觸外部拐角帶230處之一點沿著帶 長彼此移位。 在各種實施例中，入口傳送區段202自安置於輸送轉彎 系統200之外之一來源接收物品28〇且將所接收之物品28〇 傳遞至彎曲傳送區段201。入口傳送區段2〇2包含外部入口 帶240、複數個外部入口帶導引輪245、内部拐角帶26〇及 一部分内部拐角帶導引輪265。複數個外部入口帶導引輪 245經組態以導引外部入口帶24〇。複數個内部拐角帶導引 輪265經組態以導引内部拐角帶26〇。内部拐角帶26〇與外 部入口帶240之間的區域包括物品280之入口傳送路徑。外 部入口帶240經組態以與内部拐角帶26〇相同的線速度移 動，且因此將物品280導引至輸送轉彎系統2〇〇中。由於外 部拐角帶230與内部拐角帶260經組態以相同的角速度及不 同的線速度移動，因此外部入口帶24〇與外部拐角帶23〇以 不同的線速度移動。外部拐角帶230相對於内部拐角帶260 較快之線速度結合外部拐角帶230圍繞旋轉軸225之曲率引 起進入、，4曲傳送區段201之物品280開始轉向出口傳送區段 203之方向。當物品280離開入口傳送區段2〇2，進入彎曲 傳送£ ^又201且改變其行進方向時’入口傳送區段2與彎 曲傳送區段201之間的過渡區域270對其提供必要的導引及 支撐。過渡區域270在圖2B及2C中放大。在一此實施例 中，可將類似於過渡區域270之過渡區域（未圖示）安置於彎 曲傳送區段201之内側上。在此等實施例中，在彎曲傳送 區段201之外侧上的過渡區域270之個例係可選的。在各種 124906.doc -13- 200849447 實施例中，可將類似於過渡區域270之過渡區域（未圖示）安

置於4曲傳达區段2()1與出^傳送區段謝之間彎曲傳送區 段201之内側或外側上。 D 在各種實施例中，出口傳送區段2〇3自彎曲傳送區段2〇ι •接收物品28G且將其傳遞至安置於輸送轉f系統⑽之外的 位4丨口傳$區段203包含外部出口帶250、複數個外部 出f V引輪255、内部拐角帶26〇及一部分内部拐角帶 引輪265。 〇 複數個外部出口料引輪255經組態以導料部出口帶 250。複數個内部拐角帶導引輪265經組態以導引内部拐角 帶260。内部拐角帶26〇與外部出口帶25〇之間的區域Z括 物品280之出口傳送路徑。外部出口帶㈣經組態以與内部 拐角帶260相同的線速度移動，且因此將物品28叫引出輸 送轉彎系統200。 ^ 圖2B說明根據本發明之各種實施例之輸送轉彎系統2⑽ C， 之一部分，其經擴大以達放大之目的用以說明水平偏移。 為清晰起見，圖2A中過渡區域270中所示之回轉輪21〇之一 部分未展示於圖2B中。過渡區域270包含部分外部拐角帶 . 230、部分外部入口帶240、外部入口帶導引輪245及外部 拐角帶導引輪235。過渡區域270通常經組態以在外部入口 帶240之位置與外部拐角帶23〇之位置之間提供水平偏移距 離275。此水平偏移與物品28〇通過傳送路徑之行進方向 285垂直。在一些實施例中，水平偏移距離275經組態以使 傳送路徑内之物品280能夠在物品280由外部拐角帶23〇嗜 124906.doc -14· 200849447 合之刚脫離外部入口帶240。因此，物品280之一側通常不 會同時由兩個以不同速度行進之不同帶子嚙合。當將過渡 區域270安置於經組態以在不同方向上輸送f〇up之輸送區 段之間時’則水平偏移經組態而允許該FOUP開始在過渡 區域270内改變方向。 圖2C說明根據本發明之各種實施例之輸送轉彎系統200 之一部分，其經擴大以達放大之目的用以說明在過渡區域 270内可選支撐結構29〇之置放。為清晰起見，圖2A中過渡 區域270中所示之回轉輪21〇之一部分未展示於圖2C中。在 各楂實施例中，一或多個支撐結構290可經組態用以在物 品280自由外部入口帶240導引轉換為由外部拐角帶230導 引時對物品280提供導引及/或支撐。在一些實施例中，支 撐結構290可經組態成大致匹配物品280之水平或旋轉移 動。舉例而言，一或多個支撐結構290可經組態用以在物 品280接觸外部拐角帶230且開始圍繞旋轉軸225旋轉時， 大致垂直於物品280通過傳送路徑之行進方向285垂直或水 平移動離開物品280。 在各種實施例中，一或多個支撐結構290包括一或多個 過渡輪。該等過渡輪可經組態以匹配物品280之速度的速 度旋轉。此可減小由於速度不匹配所引起之潛在的摩擦及 應力。在一些實施例中，過渡輪磁耦接至促使該過渡輪以 指定速度旋轉之驅動機構。舉例而言，促使外部入口帶導 引輪245旋轉之驅動機構亦可磁耦接至促使過渡輪旋轉之 驅動機構。在一些實施例中，過渡輪可連接至一槓桿及/ 124906.doc -15- 200849447 或彈餐’該槓桿及/或彈簧使過渡輪能夠在物品280接觸外 Ρ才刀角^230或開始圍繞旋轉轴225旋轉時，大致垂直於物 °° 280通過傳送路徑之行進方向285垂直或水平移動離開物 品 2 8 0 〇 在各種實施例中，一或多個支撐結構290包括由一或多 個空氣軸承產生器提供之一或多個空氣軸承。如本文中他 處所描述之空氣軸承產生器可經組態用以在物品28〇在外 Ο ϋ 部入口帶240與外部拐角帶23〇之間行進時使用氣墊向物品 280提供無接觸之實體支撐。 圖3說明根據本發明之一些實施例之外部拐角帶及内 部拐角帶260之線速度及角速度與回轉輪21〇之旋轉轴225 之間的關係。圖3說明彎曲傳送區段2〇1，其包含彎曲傳送 區段入口 310及彎曲傳送區段出口 32〇。彎曲傳送路徑由外 部曲線330及内部曲線34〇限定。外部曲線33〇表示外部拐 角帶230與外部回轉輪表面215接觸之段。内料線34〇表 示内部拐角帶260與内部回轉輪表面22〇接觸之段。指定圍 繞旋轉轴225在彎曲傳送區段人口加與彎曲傳送區段出口 320之間的方走轉角θ。外部曲線33〇之第一端點At定位於彎 曲傳送區段入口 31〇處，且對應於圖2A中所示之第一外部 曲線點231。外部曲線33G之第二端點A,,定位於彎曲傳送區 段出口 320處，且對應於圖2A中所示之第二外部曲線點 232。内部曲線340之第-端點B，定位於f曲傳送區段入‘口 3!0處’且内部曲線34G之第二端點^位於f曲傳送區段 出口 320處。 124906.doc -16- 200849447 在各種實施例中’物品280之内側沿著内部曲線34〇穿過 彎曲傳送區段201所需要之時間與物品280之外側沿著外部 曲線330穿過彎曲傳送區段201所需要之時間大致相等；因 此，外部拐角帶230沿著外部曲線33〇之角速度與内部拐角 • 帶260沿著内部曲線34〇之角速度大致相等。由於外部曲線 長度3)2大於内部曲線長度342 ’因此外部拐角帶230沿著 外部曲線330之線速度大於内部拐角帶26〇沿著内部曲線 340之線速度。 更具體言之，線速度由以下公式確定·· v^d/t 其中V為線速度，J為行進距離，且,為物體（未圖示）經過距 離d所需要之時間。角速度由以下公式確定： ω = θ/ί 其中ω為角速度，0為圍繞曲線行進距離d之兩個端點之間 的角度，且ί為物經過距離j所需要之時間。 〇 參看圖3，經組態沿著外部曲線330自端點a,行進至端點 A’’的外部拐角帶230之線速度如下定義：

vA = dA/tA • 其中〜為外部拐角帶230之線速度，心為外部拐角帶23〇自 • 端點A，行進至端點A"之外部曲線長度332，且Q為外部拐 角帶230經過距離a所需要之時間。經組態沿著外部曲線 330自端點A’行進至端點AM的外部拐角帶23〇之角速度如下 定義： ωΑ = θ/ίΑ 124906.doc •17- 200849447 其中W為經組態沿著外部曲線wo自端點A，行進至端點A，, 的外部拐角帶230之角速度，0為端點a，與端點A，，之間的角 度，且~為外部拐角帶230經過距離A所需要之時間。 同樣地，經組態沿著内部曲線340自端點端點B，行進至 端點B"的内部拐角帶260之線速度如下定義：

vB = dB/tB 其中h為内部拐角帶26〇之線速度，心為内部拐角帶26〇自 端點B’行進至端點B，，之内部曲線長度342，且心為内部拐角 帶260經過距離心所需要之時間。經組態沿著内部曲線34〇 自端點端點B’行進至端點B，，的内部拐角帶26〇之角速度如 下定義：

C〇B = 0/tB 其中㈣為經組態沿著内部曲線340自端點B，行進至端點B, 的内部拐角帶260之角速度，0為端點B，與端點B，，之間的角 度，且心為内部拐角帶260經過距離心所需要之時間。 〇 為使開始平行於彎曲傳送區段入口 310的物品280之前表 面在通過彎曲傳送區段2〇1輸送後能夠與彎曲傳送區段出 口 320平行，本發明之各種實施例經組態成使得最靠近外 . 部曲線330的物品280之前面上之一點自端點A，行進至端點 A所需要之時間〜大致等於最靠近内部曲線的物品 之刖面上之一點自端點B，行進至端點B，，所需要之時間心。 口此外邛曲線330之角速度大致等於内部曲線34〇之角 速度_。在本發明之各種實施例中，心大於心，且因此若 G與G大致相專’則v a大於以。 124906.doc •18· 200849447 圖4A、4B、4C及4D說明根據本發明之各種實施例之外 部拐角帶230、回轉輪210及複數個外部拐角帶導引輪235 之替代實施例之截面圖。在此等實施例中，外部拐角帶 230之一側由回轉輪210支撐，且另一側由一或多個導引輪 • 235支撐。在沿著外部拐角帶230之長度的各個點處，外部 拐角帶230可由回轉輪210或外部拐角帶導引輪235，或回 轉輪210與外部拐角帶導引輪235兩者支撐及/或導引。外 部拐角帶230、回轉輪210及外部拐角帶導引輪235之說明 f \ 性實施例中之多種變化均在本發明之範疇内。 圖4A說明外部拐角帶導引輪235及外部拐角帶23〇之各種 實施例。在此等實施例中，外部拐角帶導引輪235包括圓 柱形表面410及凹口或凹槽，諸如輪v形槽42〇，其經組態 用以接收外部拐角帶230之突出部分440。外部拐角帶導引 輪235經組態圍繞垂直旋轉軸43〇旋轉。輪v形槽42〇包括圓 錐形支撐表面415，其經組態用以支撐外部拐角帶23〇。圓 〇 錐形支撐表面415承載外部拐角帶23〇之重量及經由安置於 外部拐角帶230之外表面上的複數個支撐突起46〇停留在支 撐突起表面465上的物品280(未圖示）之重量。支撐突起表 ， 面465視情況包括低摩擦塗層（未圖示）。在一些實施例中， 支撐突起表面465係安置於外部拐角帶23〇之上部邊緣485 之下的距離480處。因此，經輸送物品28〇之部分可在外部 拐角帶230之部分之下。在各種實施例中，距離彻等於或 大於〇、10、20或50 mm。外部拐角帶導引輪加可在兩側 上(如圖4A中所說明)或在單一側上支撐外部拐角帶⑽。 124906.doc -19- 200849447 在各種實施例中，外部拐角帶導引輪235可經組態成高 於、咼度上等於或低於外部拐角帶23〇。 在典型實施例中，外部拐角帶230進一步包含帶V形槽 470。該帶V形槽470經組態用以接收沿著外部回轉輪表面 215安置之外部回轉輪支撐突起49〇且由其支撐。該外部回 轉輪支撐突起490包括經組態用以支撐外部拐角帶23〇之外 W回轉輪圓錐形支撐表面495。該外部回轉輪圓錐形支撐 表面495可經組態為水平的而非圓錐形的。 圖4B說明外部拐角帶導引輪235及外部拐角帶23〇之替代 實她例之截面圖。此等實施例包括可選擇之捕捉唇45〇。 捕捉唇450視情況包括於本文中說明之其他實施例中。捕 捉唇450連接至外部拐角帶23〇且經組態以限制物品28〇之 垂直移動。捕捉唇450視情況與支撐突起46〇形成整體或連 接至支撐突起460。在替代實施例中，捕捉唇45〇連接至單 獨的，視情況固定的支撐結構（未圖示）。 圖4C說明外部拐角帶導引輪235及外部拐角帶230之替代 實施例之截面圖。此等實施例包括可選擇之支撐475。支 撐475經組態以在外部拐角帶230與外部拐角帶導引輪235 及/或回轉輪210接觸時支撐外部拐角帶230。在一些實施 例中，支撐4 7 5包括固定的低摩擦表面，外部拐角帶2 3 〇經 組態在其上滑動。在一些實施例中，支撐475包括諸如滾 珠軸承之滾動元件或水平安置輥（未圖示）。此等水平安置 輥視情況小於外部拐角帶導引輪235且比外部拐角帶導引 輪235更密集。支撐475經組態承載外部拐角帶230之重 124906.doc -20- 200849447 量° 在二實知例中，外部拐角帶230經組態包括可選擇之 捕捉元件455。捕捉元件455視情況連接至支撐突起或 與支撐突起460形成整體。捕捉元件455經組態對物品28〇 • 之一側施加壓力以便將物品280牢固固持於外部拐角帶23〇 與内邛拐角T 260之間（圖2A中所示）。捕捉元件455通常為 柔性材料，諸如胺基甲酸酯。 奋圖4〇說明外部拐角帶導引輪235及外部拐角帶23〇之替代 κ施例之截面圖。在此等實施例中，外部拐角帶導引輪 235絰組恶包括支撐表面425。支撐表面425經組態用以支 撐外部拐角帶230且與圓柱形表面41〇同時且同步圍繞垂直 旋轉軸430旋轉。支撐表面425視情況經組態成與垂直旋轉 軸430垂直或朝向外部拐角帶導引輪235之外邊緣427向下 逐漸變細（如圖所示）。外邊緣427可視情況經組態成距垂直 旋轉軸430之距離小於、等於或大於外部拐角帶23〇之任一 〇 部分之寬度。支撐表面425視情況包含低摩擦材料，諸如

Teflon™。支撐表面425經組態承載外部拐角帶之重 量。 • 在各種實施例中，内部回轉輪表面22〇及内部拐角帶26〇 可具有與本文中針對外部回轉輪表面215及外部拐角帶 所說明之構形相類似之構形。在各種實施例中，除外部回 轉輪支撐突起490之外或代替外部回轉輪支撐突起49〇,外 部回轉輪表面215可包含類似於輪v形槽42〇之外部回轉輪 v形槽（未圖示）。在此等實施例中，外部拐角帶23〇可進一 124906.doc • 21 - 200849447 步包含類似於突出部分440(圖4A)之突出部分（未圖示），其 經組態與外部回轉輪v形槽相配合。除帶v形槽47〇之外或 代替帶V形槽470，可將此另外的突出部分（未圖示）安置於 外部拐角帶230上。 圖5A及5B說明回轉輪210、内部拐角帶26〇及外部拐角 帶230之替代實施例之截面圖。回轉輪21〇包含寬回轉輪元 件560及窄回轉輪元件52〇，兩者經共同軸桿51〇耦接且經 組態圍繞共同的旋轉軸225旋轉。在如圖5A中所說明之一 些實施例中，寬回轉輪元件560與窄回轉輪元件52〇彼此形 成整體，而在如圖5B中所說明之其他實施例中，寬回轉輪 元件560與窄回轉輪元件52〇彼此實體分離。在一些實施例 中，寬回轉輪元件560可耦接至軸桿51〇,而窄回轉輪元件 520了搞接至單獨的軸桿（未圖示）且經組態圍繞共同的旋轉 軸225旋轉。在一些實施例中，寬回轉輪元件56〇與窄回轉 輪元件520在共同電源之動力下或在獨立電源之動力下旋 〇 #0 寬回轉輪元件560包含外部回轉輪表面215，而窄回轉輪 元件520包含内部回轉輪表面22〇。外部回轉輪表面215與 ^ 内部回轉輪表面220經組態圍繞同一旋轉軸225旋轉。在各 ‘ 種實施例中，内部回轉輪表面22〇及外部回轉輪表面215經 、、且態以疋位連接至内部拐角帶26〇之支撐突起46〇與連接至 外部拐角帶230之支撐突起460相對於彼此處於大致相同之 古危 π ! 〇 在各種實加例中，回轉輪頂表面5 3 〇經組態成自内部拐 124906.doc •22- 200849447 角帶260至外部回轉輪表面215大致水平，且因此與旋轉轴 225垂直。在各種實施例中，回轉輪頂表面53〇自内部拐角 帶260至外部回轉輪表面215向上或向下傾斜。回轉輪頂表 面530在高度上可為不規則的。通常，在内部拐角帶26〇與 • 外部拐角帶230之間回轉輪頂表面530之最大高度經組態為 在内部拐角帶260之底表面540之下。 在各種實施例中，回轉輪底表面55〇經組態成自軸桿51〇 至外部回轉輪表面215大致水平，且因此與旋轉軸225垂 直。回轉輪底表面550在高度上可為不規則的及/或自軸桿 510至外部回轉輪表面215向上或向下傾斜。 在各種實施例中，外部拐角帶23〇、内部拐角帶26〇、外 部入口帶240、外部出口帶25〇、回轉輪21〇、外部拐角帶 導引輪235、外部入口帶導引輪245、内部拐角帶導引輪 265及外部出口帶導引輪255可包含2〇〇6年*月η曰申請之 題為”Transport System Including 細―"之美國專 O 利申請案第1 1/406,569號中所揭示之垂直帶之任何特徵， 該案以引用的方式併入本文中。 圖6說明根據本發明之久錄奢 乃 < 各種實鞑例之通過拐角傳送物品 " 之方法0在此專方法中，脾私7 口壯莽— 將物口口裝載至包含拐角之輸送系 統，諸如本文中他處所描诚齡 €之輸运糸統上，通過彎曲傳送 區段輸送且告Ρ載。在一此眚絲加士 、 隹二只施例中，此等方法使物品能夠 牙過4刀角而不顯著減速或睡門γ古 疋戎_間分止，精此使物品可彼此更 加密集，且在既定時間單位 干仅円興先刖技術相比使更多物品 124906.doc -23- 200849447 在步驟610中，將待傳送之物品置放於輸送轉彎系統之 傳送區段上。視情況將物品藉由經組態成與外部入口帶及 内部拐角帶相鄰之另一輸送系統裝載至該輪送轉彎系統之 區段上。視情況將物品置放於經特定組態用於裝載及卸載 物品之輸送轉彎系統之一實施例之區段處，諸如包含升降 機及/或運動界面之區段。在各種實施例中，將物品置放 於其上之輸送區段包含外部入口帶、至少一個外部入口帶 導引輪、内部拐角帶及至少一個内部拐角帶導引輪。 在步驟620中，沿著傳送路徑通過彎曲傳送區段輸送在 步驟6U)中裝載之物品。在各種實施例中，彎曲傳送區段 包含回轉輪、内部拐角帶及外部拐㈣。回轉輪包含外部 回轉輪表面及内部回轉輪表面。外部回轉輪表面與内部回 轉輪表面經組態圍繞同一旋轉轴旋轉。外部回轉輪表面及 =部回轉輪表面進一步與外部拐角帶及内部拐角帶一起組 態以傳送物品通過弯曲傳送區段，其中該物品圍繞旋轉轴 ϋ 旋轉。視情況在不減速或不瞬間停止物品之情況下穿過該 傳送路控。 在步驟㈣中’自輸送轉彎系統之傳送區段卸載在步驟 620中傳达之物品。視情況藉由經組態成與外部出口 内部拐角帶相鄰之另一輸送系統自該輸送轉彎系統之：段 Ρ载該物品。視情況將物品自經特定組態用於 物品之輸送轉彎车鲚夕^ 取及卸載 、褥之-κ ^例之區段卸載，諸如 降機及/或運動界面之區段。在 之給# Μ Α 在各種只施例中，卸載物品 之輸达^包含外部出口帶、至少—個外部出口帶導引 124906.doc -24- 200849447 輪、内部拐角帶及至少—個内部拐角帶導引輪。 圖7A况明根據本發明之各種實施例之輸送轉彎系統彻 之俯視圖。輪送轉彎系統扇為輸送轉彎系統之一替代 實^例輸送轉彎系統700包含彎曲傳送區段7〇丨、入口傳 區奴702及出口傳送區段7〇3。輸送轉彎系統7〇〇與輸送 轉’着系統200之不同之處在於導引物品28〇通過輸送轉彎系 統200之内部拐角帶26〇由經組態以導引物品：肋通過入口 傳送區段702之内部入口帶72〇、經組態以導引物品28〇通 過彎曲傳送區段701之内部回轉輪拐角帶71〇及經組態以導 引物品280通過出口傳送區段7〇3之内部出口帶73〇替換。 彎曲傳送區段701包含經組態圍繞旋轉轴225旋轉之回轉 輪210、外部拐角帶23〇及複數個外部拐角帶導引輪235。 回轉輪210包含外部回轉輪表面215及内部回轉輪表面 220。内部回轉輪表面220視情況由内部回轉輪拐角帶71〇 包圍。在包含内部回轉輪拐角帶710之實施例中，内部回 轉輪拐角帶71 0經組態用以在物品280穿過彎曲傳送區段 701時導引及/或支撐物品280。在各種實施例中，内部回 轉輪拐角帶710經組態具有與本文中他處所描述之内部拐 角帶260大致相同的構形及構造。 在不包含内部回轉輪拐角帶710之實施例中，内部回轉 輪表面220經組態用以在物品280穿過彎曲傳送區段70丨時 導引及/或支撐物品280。在此等實施例中，如圖7Β中所說 明，複數個支撐突起460被安置於内部回轉輪表面220上， 支撐突起460經組態用以支撐物品280。 124906.doc -25- 200849447 由内4回轉輪表面22 〇或内部回轉輪拐角帶71〇、外部拐 角帶230、第一外部曲線點231及第二外部曲線點232限定 之區域包括物品280之彎曲傳送路徑。外部拐角帶23〇係沿 著該彎曲傳送路徑之外邊緣安置。内部回轉輪表面220或 内部回轉輪拐角帶710係沿著該彎曲傳送路徑之内邊緣安 置。複數個物品280可進入輸送轉彎系統700通過該彎曲傳 送路徑輸送而在回轉輪21〇之一部分之上或之下穿過且圍 繞旋轉軸225旋轉。 在一些實施例中，外部回轉輪表面215經組態以支撐及 維持外部拐角帶230之連續彎曲。在此等實施例中，内部 回轉輪表面220與外部回轉輪表面215經組態在相同角速度 下圍繞旋轉軸225移動外部拐角帶230、内部回轉輪表面 220及/或内部回轉輪拐角帶710。因此，外部拐角帶230之 線速度大於内部回轉輪拐角帶710或内部回轉輪表面22〇之 線速度。 在各種實施例中’入口傳送區段7 0 2自安置於輸送轉彎 糸統7 0 0之外之一來源接收物品2 8 0且將所接收之物品2 § 〇 傳遞至彎曲傳送區段701。入口傳送區段702包含外部入口 帶240、複數個外部入口帶導引輪245、内部入口帶720及 複數個内部入口帶導引輪725。複數個外部入口帶導引輪 245經組態以導引外部入口帶240。複數個内部入口帶導引 輪725經組態以導引内部入口帶720。内部入口帶72〇與外 部入口帶240之間的區域包括物品280之入口傳送路徑。外 部入口帶240經組態以與内部入口帶720相同的線速度移 124906.doc -26- 200849447 動’且因此將物品28G導引至輸送轉f系統700中。 在各種貝知例中，外部入口帶經組態以與外部才 帶23〇大致相同的線速度移動。在此等實施例中，内：入 口 W20與内部回轉輪拐角帶71〇及/或内部回轉輪表面咖 經組態以不同的線速度移動。在其他實施例中，内部入口 帶720經組態以與内部回轉輪拐角帶7職/或内部回轉輪 表面220大致㈣的線速度移動。在此等實施例中，外部 入口帶240與外部拐角帶23〇經組態以不同的線速度移動。 在其他實施例中，内部入口帶72〇經組態以與内部回轉輪 拐角帶710及/或内部回轉輪表面22〇不同的線速度及不同 的角速度移動。 在各種實施例中，界定入口傳送路徑之寬度的内部入口 帶720與外部入口帶240之間的距離小於外部拐角帶23〇與 内部回轉輪拐角帶710或内部回轉輪表面22〇之間的距離。 此距離差視情況為本文中他處所說明之水平偏移距離 275 〇 當物品280離開入口傳送區段702，進入彎曲傳送區段 701且改變其行進方向時，入口傳送區段702與彎曲傳送區 段701之間的過渡區域270視情況對物品280提供導引及支 撐。過渡區域270在圖2B及2C中放大。在各種實施例中， 將類似於過渡區域270之過渡區域安置於彎曲傳送區段7〇 1 與出口傳送區段703之間彎曲傳送區段7〇1之外側上。 在一些實施例中，將一或多個類似於圖2C中所說明之支 撐結構290之支撐結構（未圖示）安置於内部入口帶720與内 124906.doc -27- 200849447 部回轉輪表面220之間，該等支撐結構經組態以在物品28〇 自由内部入口帶720導引轉換為由内部回轉輪表面22〇或内 部回轉輪拐角帶710導引時對物品280提供導引及/或支 >同樣地在些實施例中，將一或多個類似於圖2 (^中 所說明之支撐結構290之支撐結構（未圖示）安置於内部出口 帶730與内相轉輪表面22G之間，該結構經組態以 在物π〇 280自由内部回轉輪表面220或内部回轉輪拐角帶 710導引轉換為由内部出口帶73〇導引時對物品28〇提供導 引及/或支撐。 在各種實施例中，出口傳送區段7〇3自彎曲傳送區段7〇1 接收物品280且將物品28〇傳遞至安置於輸送轉彎系統7〇〇 之外的位置。出口傳送區段7〇3包含外部出口帶25〇、複數 個外部出口帶導引輪255、内部出口帶別及複數個内部出 口帶導引輪735。複數個内部出口帶導引輪735經組態以導 引内邛出口 f 730。内部出口帶73〇與外部出口帶之間 的區域包括物品28G之出口傳送路徑。外部出口帶25〇經組 態以與内部出口帶730相同的線速度移動，且因此將物品 280導引出輸送轉彎系統7〇〇。 在各種貝細例中’外部出口帶25〇經組態以與外部拐角 帶230大致相同的線速度移動。在此等實施例中，内部出 口帶730與内部回轉輪拐角帶71()及/或内部回轉輪表面22〇 經組態以不同的線速度移動。在其他實施例中，内部出口 帶730經組態以與内部回轉輪拐角帶7H)及/或内部回轉輪 表面220大致相同的線速度移動。在此等實施例中，外部 124906.doc •28- 200849447 出口帶250與外部拐角帶2遍組態以不同的線速度移動。 在各種實施例中’界定出口傳送路徑之寬度的内部出口 帶730與外部出α帶㈣之間的距離小於外部拐角帶咖與 内部回轉輪拐角帶71G或内部回轉輪表面22。之間的距離了 ' &差異視情況等於本文中他處所說明之水平偏移距離 275 〇 圖8說明根據本發明之各種實施例之輸㈣彎系統 ζ) 俯視圖輸送轉彎系統800為輸送轉彎系統2〇〇及輸送轉彎 系統700之替代實施例。輸送轉彎系統8〇〇包含彎曲傳送 區段801、入口傳送區段8〇2及出口傳送區段8们。彎曲傳 送區奴8〇1包含圍繞旋轉軸225旋轉之回轉輪210、外部拐 角帶810及複數個外部拐角帶導引輪235之一部分。 由内部回轉輪表面220或内部回轉輪拐角帶71〇、外部拐 角帶810'第一外部曲線點811及第二外部曲線點η]限定 之區域包括物品28〇之彎曲傳送路徑。外部拐角帶81〇係沿 1 / 著/秦曲傳送路徑之外邊緣安置。内部回轉輪表面220或 内邛回轉輪拐角帶71 〇係沿著該彎曲傳送路徑之内邊緣安 置複數個物品280可進入輸送轉彎系統8〇〇通過該彎曲傳 ，廷路徑輸送而在回轉輪210之一部分之上或之下穿過且圍 繞旋轉軸225旋轉。 在些實施例中，外部回轉輪表面2丨5經組態以支撐及 維持外部拐角帶810之連續彎曲。在此等實施例中，内部 回轉輪表面220與外部回轉輪表面215經組態在相同角速度 下圍繞旋轉軸225移動外部拐角帶81〇、内部回轉輪表面 124906.doc •29- 200849447 220及/或内部回轉輪拐角帶71〇。因此，外部拐角帶81〇之 線速度大於内部回轉輪拐角帶710及/或内部回轉輪表面 2 2 0之線速度。 在各種實施例中，外部拐角帶81〇經組態具有與本文中 他處所描述之外部拐角帶230大致相同的構形及構造。在 一些實施例中，外部拐角帶810在第一外部曲線點811處開 始與外部回轉輪表面215接觸，且在第二外部曲線點812處 〇 停止與外部回轉輪表面215接觸。與在輸送轉彎系統2〇〇及 / 輸送轉彎系統7〇〇中說明之本發明之實施例不同，由輸送 轉彎系統800說明之實施例包含連續導引及支撐物品28〇通 過入口傳送區段802、彎曲傳送區段8〇1及出口傳送區段 803之外部拐角帶810。因此，在輸送轉彎系統8⑽中，可 不需要沿著彎曲傳送路徑之外邊緣的過渡區域27〇。輸送 轉彎系統800經組態成在第一外部曲線點8丨丨與第二外部曲 線點8 12之間沿著外部回轉輪表面2丨5之線性距離大於如參 ^ 照輸迗轉彎系統200及輸送轉彎系統700所說明之在第一外 部曲線點23 1與第二外部曲線點232之間沿著外部回轉輪表 面215之線性距離。複數個外部拐角帶導引輪235經組態以 在外部扣角帶810移動通過入口傳送區段8〇2、彎曲傳送區 段801及出口傳送區段8〇3之路程時導引外部拐角帶。 在各種實施例中，一或多個外部拐角帶導引輪235及外 部回轉輪表面215在外部拐角帶81〇之相對側上與外部拐角 帶810接觸。在一些實施例中，外部拐角帶導引輪235之一 些個例在與外部回轉輪表面215接觸外部拐角帶之一點 124906.doc -30- 200849447 正好相對的一點處接觸外部拐角帶8 1 0，諸如在第一外部 曲線點811及第二外部曲線點812處。在一些實施例中，外 部拐角帶導引輪235之一個例接觸外部拐角帶81〇處之一點 與外部回轉輪表面21 5接觸外部拐角帶810處之一點沿著帶 . 長彼此移位。 在各種實施例中，入口傳送區段8〇2自安置於輸送轉彎 系統800之外之一來源接收物品28〇且將所接收之物品28〇 、 傳遞至彎曲傳送區段801。入口傳送區段802包含外部拐角 ( 帶810、複數個外部拐角帶導引輪235之一部分、内部入口 帶720及複數個内部入口帶導引輪725。内部入口帶72〇與 外部拐角帶810之間的區域包括物品28〇之入口傳送路徑。 内部入口帶720經組態以與外部拐角帶81〇相同的線速度移 動’且因此將物品280導引至輸送轉彎系統8〇〇中。 在各種實施例中，外部拐角帶810經組態以與内部入口 帶720大致相同的線速度移動。在此等實施例中，内部入 (J 口 Τ 720與内部回轉輪拐角帶710及/或内部回轉輪表面22〇 經組態以不同的線速度移動。在各種實施例中，界定入口 傳送路徑之寬度的内部入口帶72〇與外部拐角帶81〇之間的 . 距離小於外部拐角帶81〇與内部回轉輪拐角帶710或内部回 轉輪表面220之間的距離。 在各種只％例中，出口傳送區段8〇3自彎曲傳送區段8^ 接收物品280且將物品280傳遞至安置於輸送轉彎系統8〇〇 之外的位置。出口傳送區段8〇3包含外部拐角帶81 〇、複數 個外邛扣角帶導引輪235之一部分、内部出口帶及複數 124906.doc 31 200849447 個内部出口帶導引輪735。内部出口帶73〇與外部拐角帶 8 10之間的區域包括物品28〇之出口傳送路徑。内部出口帶 730經組態以與外部拐角帶81〇相同的線速度移動，且因此 將物品280導引出輸送轉彎系統8〇〇。 在各種實施例中，外部拐角帶8 1〇經組態以與内部出口 帶730大致相同的線速度移動。在此等實施例中，内部出 口帶730與内部回轉輪拐角帶71〇及/或内部回轉輪表面22〇 經組態以不同的線速度移動。在各種實施例中，界定出口 傳送路徑之寬度的内部出口帶73〇與外部拐角帶81〇之間的 距離小於外部拐角帶810與内部回轉輪拐角帶71〇或内部回 轉輪表面220之間的距離。 圖9A說明根據本發明之各種實施例之輸送轉彎系統9〇〇 之俯視圖。輸送轉彎系統900為輸送轉彎系統2〇〇、7〇〇及 800之一替代實施例。與在輸送轉彎系統2〇〇、7〇〇及8〇()中 說明之本發明之實施例不同，輸送轉彎系統9〇〇中說明之 本發明之實施例不包含回轉輪210,而是代替地包含複數 個自第一外部曲線點231至第二外部曲線點232導引外部拐 角帶230且對其提供支撐之外部拐角導引輪gw及内部拐角 導引輪940，及代替内部回轉輪表面22〇、内部拐角帶26〇 及/或内部回轉輪拐角帶710導引物品28〇通過彎曲傳送路 徑之内部拐角輪910及可選擇之内部拐角輪帶92〇。 與輸送轉彎系統200、700及800由於回轉輪21〇之直徑可 允許的情況相比，輸送轉彎系統9〇〇之組態使輸送轉彎系 統900之多個個例能夠彼此置放得更加靠近，例如當入口 124906.doc •32· 200849447 傳送區段702彼此相鄰且出口傳送區段7〇3彼此相鄰時。與 輸送轉彎系統200、700及800不同，在第一外部曲線點231 與第二外部曲線點232之間，複數個外部拐角導引輪93〇及 内部拐角導引輪940界定外部拐角帶23〇之分段線性路徑， ， 而外部回轉輪表面215界定外部拐角帶230之連續彎曲路 徑。 輸送轉彎系統900包含彎曲傳送區段9〇1、入口傳送區段 ❹ 7〇2及出口傳送區段703。彎曲傳送區段9〇1包含圍繞旋轉 轴225旋轉之内部拐角輪91〇、外部拐角帶23〇及複數個外 部拐角帶導引輪235。内部拐角輪91〇視情況由内部拐角輪 帶920包圍。在包含内部拐角輪帶92〇之實施例中，内部拐 角輪帶920經組態以在物品28〇穿過彎曲傳送區段％丨時導 引及/或支撐物品280。在各種實施例中，内部拐角輪帶 920經組態具有與本文中他處所描述之内部拐角帶及/ 或内部回轉輪拐角帶71〇大致相同的構形及構造。 〇 由内部拐角輪910或内部拐角輪帶920、外部拐角帶 230、第一外部曲線點231及第二外部曲線點232限定之區 域包括物品280之彎曲傳送路徑。外部拐角帶23〇係沿著該 • ”弓曲傳运路徑之外邊緣安置。内部拐角輪910或内部拐角 • 輪常920係石著该彎曲傳送路徑之内邊緣安置。複數個物 α口 280可進入輸送轉彎系統9〇〇通過該彎曲傳送路徑輸送而 在内。Η刀角輪91〇與外部拐角帶23〇之間穿過且圍繞旋轉軸 225旋轉。 在一實施例中，複數個外部拐角導引輪930及内部拐 124906.doc -33 - 200849447 角導引輪940沿著彎曲傳送路徑之外邊緣在外部拐角帶230 之每一側上安置且經組態以支撐及維持在第一外部曲線點 231與第二外部曲線點232之間外部拐角帶23〇之分段線性 彎曲。 在一些實施例中，一或多個外部拐角帶導引輪235經組 悲在動力下移動外部拐角帶230，同時内部拐角輪9丨〇經組 怨自由旋轉以在物品2 8 0穿過彎曲傳送區段時對物品2 8 〇提 供導引。在其他實施例中，内部拐角輪9丨〇經組態在動力 下旋轉，使得内部拐角輪910或内部拐角輪帶920之外表面 圍繞旋轉軸225以與第一外部曲線點23丨與第二外部曲線點 232之間的外部拐角帶23〇相同的角速度移動。因此，外部 才刀角f230之線速度大於内部拐角輪91〇及/或内部拐角輪 帶920之線速度。 在各種實施例中，入口傳送區段7〇2自安置於輸送轉彎 系統900之外之一來源接收物品28〇且將所接收之物品28〇 傳遞至彎曲傳送區段9〇1。在各種實施例中，出口傳送區 段703自彎曲傳送區段9〇1接收物品280且將物品280傳遞至 安置於輸送轉彎系統900之外的位置。 圖9B說明根據本發明之各種實施例之内部拐角輪之截面 圖。在不包含内部拐角輪帶92〇之實施例中，内部拐角輪 910經組態以在物品280穿過彎曲傳送區段9〇1時導引及/或 支撐物品280。在此等實施例中，複數個支撐突起46〇被安 置於内部拐角輪910上，該等支撐突起46〇經組態用以支撐 物品2 8 0。 124906.doc -34· 200849447 圖9C說明根據本發明之各種實施例之外部拐角帶23〇、 内部拐角導引輪940及外部拐角導引輪93〇之截面圖。外部 拐角導引輪930及内部拐角導引輪940通常在高度及/或直 徑上小於外部拐角帶導引輪235，且通常經組態在低於外 • 部拐角帶導引輪235之外部拐角帶230之垂直截面部分上支 撐外部拐角帶230。外部拐角導引輪930相對於外部拐角帶 230之高度較低之高度使外部拐角帶23〇能夠在可撓性區域 950内伸曲且在物品280經導引通過彎曲傳送區段9〇1時與 物品280—致〇外部拐角導引輪93〇通常經組態圍繞垂直軸 935旋轉，且内部拐角導引輪94〇通常經組態在與外部拐角 導引輪930相對之旋轉方向上圍繞垂直軸945旋轉。 圖10A說明根據本發明之各種實施例之輸送轉彎系統 1〇〇〇之俯視圖。輸送轉彎系統1〇〇〇包含彎曲傳送區段 1001入口傳送區#又702及出口傳送區段703。輸送轉彎系 統1000為輸送轉彎系統900之一替代實施例。與如在輸送 G 轉考系統900中說明之本發明之實施例不同，在輸送轉彎 系統1000中說明之實施例不包含複數個外部拐角導引輪 93 0及内部拐角導引輪94〇，而是代替地包含外部拐角帶導 * 軌1010，其在第一外部曲線點231至第二外部曲線點232之 ”引外部拐角帶23G且對其提供支撑。與輸送轉彎系統 900不同，在第一外部曲線點231與第二外部曲線點η〗之 間，使用外部拐角帶導軌1010之輸送轉彎系統1〇〇〇界定外 部拐角帶230之連續彎曲路徑，而複數個外部拐角導引輪 930及内部拐肖導引輪94〇界定外部拐角帶23〇之分段線性 124906.doc -35- 200849447 路徑。支撑外部拐角帶230之導軌1 〇 1 〇之表面經組態具有 低摩擦，且可包含諸如Tefl〇n之低摩擦材料或可塗佈其他 潤滑液體或材料，使得外部拐角帶23〇可在導軌1〇1〇内滑 動而無連結。

Ο 與輸送轉彎系統200、700及800由於回轉輪21〇之直徑可 允許的情況相比，輸送轉彎系統丨〇〇〇之組態使輸送轉彎系 統1000之多個個例能夠彼此置放得更加靠近，例如當入口 傳送區段彼此相鄰且出口傳送區段彼此相鄰時。 在各種實施例中，彎曲傳送區段1001可包含外部軌道 1030及内部拐角導引輪94〇而無内部軌道1〇2〇，或包含内 部軌道1020及外部拐角導引輪93〇而無外部軌道1〇3〇。 圖10B及10C說明根據本發明之各種實施例之外部拐角 帶導軌之截面圖。外部拐角帶導軌1〇1〇包含外部軌道1〇3〇 及内部軌道1020。外部拐角帶導軌1〇1〇可包含如圖i〇b中 所說明之作為整體特徵或組件之外部軌道1〇3〇及内部軌道 1020，或外部拐角帶導軌1〇1〇可包含如圖i〇c中所說明之 作為經組態以共同導引外部拐角帶23〇之分別安置之組件 的外部軌道1030及内部軌道102〇。在一些實施例中，拐角 軌道支撐10 4 0可經組態用以支樓外部拐角帶2 3 〇、外:軌 道胸及/或内部軌道1020。外部軌道胸相料外部拐 角帶230之高度較低之高度可使外部拐角帶23〇能夠在可： 性區域職内伸曲且在物品經導引通過彎曲傳送區: 1001時與物品280-致。在其他實施例中，外部執道^ 相對於外部拐㈣23〇之高度相#或較大之高度可在外部 124906.doc • 36 · 200849447 拐角帶230導引物品280通過彎曲傳送區段1〇〇1時對外部拐 角帶230提供較堅固之支撐。 圖11說明根據本發明之各種實施例之經組態以沿著入口 傳送路徑提供空氣軸承之傳送區段702之俯視圖。入口傳 送區段702包含外部入口帶24〇及内部入口帶72〇。入口傳 送區段702經組態以在外部入口帶240與内部入口帶72〇之 間沿著入口傳送路徑提供空氣軸承。提供一或多個空氣轴 承用以在外部入口帶240及内部入口帶720在傳送方向285 上導引物品的同時額外地導引及/或支撐物品。如圖U中 所說明，區域1140表示可提供此等空氣軸承之位置，其處 於物品之下或之上。用於在區域114〇内提供空氣軸承之例 示性空氣軸承產生器參照圖！2A至圖12C進行描述。 在一些實施例中，將一或多個空氣軸承安置於相鄰傳送 區段之間’諸如入口傳送區段702與彎曲傳送區段7〇ι。在 此等實施例中，空氣軸承通常經組態以在物品沿著傳送方 向285在入口傳送區段702與彎曲傳送區段701之間輸送時 支撐該物品。可將一或多個空氣軸承作為參照圖2C所描述 之支#部件290之實施例來安置。雖然描述空氣軸承結合 入口傳送區段7〇2之例示性布局，但亦可在如本文中他處 所描述之傳送區段之各種實施例中安置空氣轴承，諸如安 置於輸送轉彎系統200、700、800、900及1000内之彼等入 口傳送區段、彎曲傳送區段及出口傳送區段。 空氣軸承可充當氣墊無接觸支撐系統，如題為”High_ Perf〇rmance Non-Contact Support Platforms"之美國專利申 124906.doc -37- 200849447 請公開案2006/0054774中所描述，該案以引用的方式併入 本文中。在一些實施例中，複數個空氣軸承係彼此緊靠地 提供且大致與沿著傳送路徑之傳送方向285平行地排成一 行。在其他實施例中，複數個空氣軸承係彼此緊靠地提供 且大致與沿著傳送路徑之傳送方向285垂直地排成一行。 在其他實施例中，複數個空氣軸承係在二維分組中彼此緊 靠地提供。在額外實施例中，一或多個空氣軸承係以不規

則位置及圖案提供於内部入口帶720與外部入口帶240之 間0 在一些實施例中，空氣軸承經組態以在由内部入口帶 720與外部入口帶24〇支撐物品之邊緣之間的物品之中心區 域中額外地支撐該物品。在各種實施例中，物品包含包括 玻璃 物或半導體材料之基板。物品亦可包含用於製 ^液09、有機發光二極體或其他類型顯示器裝置之基板、 記憶體基板（諸如硬磁盤基板或光儲存裝置基板）、光伏打 裝置基板、電池基板或其類似物。藉由支撐物品之中心區 域，空氣軸承可減小物品上之應力，且防止因在外部入口 帶240與内部入口帶72〇之間的物品之寬度上不均勾之支樓 :引起之彎曲而造成的損壞或破壞。在一些實施例中，空 乱軸承可支撐以小Mi平方公尺、i平方公尺與$平方公尺 之間、5平方公尺與6平方公尺之間❹平方公尺與7平方公 尺之間之面積為特徵的諸如基板之物品。 僖輥之替代支樓部件相比’空氣軸承亦可減少入口 b & 7G2與物品之間的實體接觸，由此減少摩擦及振 124906.doc -38- 200849447 動。接觸及摩擦減少亦可減少物品及周圍環境之污染， 如精由使輸送期間接觸物品之材料的擦洗減至最少 圖12A、12B及12C說明經組態以產生圖丨丨中所說 氣軸承的空氣軸承產生器之截面圖。圖丨2 a說明空氣轴ι 產生器1210之各種實施例。在此等實施例中，空氣轴承產 生器1210可經組態藉由產生向上空氣流122〇來產生空氣車由 承1290。該向上空氣流1220藉由當物品沿著傳送路徑在空 氣軸承1290上行進時對物品提供實體支撐來形成空氣軸承 1290。空氣轴承產生器1210可經組態以發射自管或支撐部 件中之一或多個孔洞散發的一或多股空氣流122〇。一或多 股空氣流1220内之空氣之速度及量確定一或多股空氣流 1220對物品（諸如基板）所提供之支撐程度。 空氣軸承產生器12 10可視情況經組態以在物品不處於空 氣流1220之路徑中時輸出顯著減少之空氣流1220或無空氣 流1220輸出。舉例而言，空氣軸承產生器1210可經組態僅 在物品處於空氣軸承1290上時直向上輸出空氣流1220，且 在空氣軸承1290上不存在物品時輸出減少之空氣流1220。 在一些實施例中，可使用擾流限制孔（諸如，題為 "Apparatus for Inducing Forces by Fluid Injection”之美國 專利第6,523,5 72號中所述，該案以引用的方式併入本文 中）在空氣軸承1290上不存在物品時限制空氣流1220。 圖12B說明利用超音懸浮之空氣軸承產生器1230之替代 實施例。題為’Object Levitating Apparatus Object Transporting

Apparatus and Object Levitating Bearing Along with an 124906.doc -39- 200849447

Object Levitating Process and Object Transporting Process11 之美國專利第5,8 10,155號（該案以引用的方式併入本文中） 揭示使用超音激發之物體懸浮儀器之各種實施例。超音懸 浮通常可用以在支撐表面1240上懸浮以約1 mm至2 mm之 厚度為特徵之物品。超音懸浮使用在支撐表面1240與物品 之間產生之超音波來驅動氣流進入物品與支撐表面1240之 間的空間中，及抑制空氣流出物品與支撐表面1240之間的 空間。以此方式，空氣轴承產生器1230在物品與支撐表面 1240之間製造出與物品四周之周圍空氣壓力相比之空氣壓 力差。該空氣壓力差產生形成空氣轴承1290之向上力 1250 ’空氣軸承1290繼而使該物品在支撐表面1240上懸 浮。 圖12C說明利用文氏管（Venturi)真空支撐系統之空氣軸 承產生器1260之替代實施例。文氏管真空支撐系統自上而 非自下支撐物品（諸如基板）。當空氣流丨27〇經由安置於空 氣軸承產生器1260中之文氏喷嘴向下散發時，在文氏喷嘴 之中心中產生渦旋或文氏氣流。文氏氣流或渦旋之中心之 特徵為低於周圍空氣壓力之空氣壓力，藉此產生局部真空 及吸力1280，該吸力1280傾向於朝向文氏喷嘴之中心向上 抬升物品。在空氣軸承產生器126〇中之文氏噴嘴之下逸出 之空氣流1270形成空氣軸承129〇。空氣軸承129〇產生向上 吸力1280與由自空氣軸承產生器126〇内之文氏噴嘴散發之 空氣流1270所引起之向下力之間的平衡。然而，應瞭解在 不背離所附申請專利範圍之精神及目標範疇之情況下，以 124906.doc 200849447 上教示涵蓋修改及變化且其在所附申請專利範圍之範疇 内。舉例而言，雖然在本文中已使用半導體製造過程中 FOUP之輸送作為說明性實例，但本發明之系統及方法可 經組態用於輸送替代材料，諸如用於製造液晶、有機發光 二極體或其他類型顯示器裝置之基板、記憶體基板（諸如 硬磁盤基板或光儲存裝置基板）、光伏打裝置基板、電池 基板或其類似物。 另外，本文中所論述之垂直輥及垂直帶不需要完全垂 直。如本文中所說明之垂直輥之間距僅用於說明目的。在 各種實施例中，可以廣泛多種之間距來安置垂直輥，從緊 密排列到較寬分離，包括單一輥或僅位於帶之各端處之 輕。在各種實施例中，輸送系統可包含經組態用以將物品 傳遞至彎曲傳送區段或自彎曲傳送區段接收物品之直的、 水平、傾斜及/或下傾區段。 在各種實施例中，彎曲傳送區段2〇1、7〇 i、8〇1、901 及/或1 001可沿著連續彎曲路徑輸送物品通過至多且包括 10度、至多且包括45度、至多且包括90度或至多且包括 1 80度之轉彎。在各種實施例中，彎曲傳送區段、 701、801、901及/或1〇〇1可朝向入口傳送區段2〇2、7〇2及/ 或8 02中之初始傳送路徑之左側或右側彎曲。在各種實施 例中’可將過渡區域安置於彎曲傳送區段1、7〇丨、9〇 j 及/或1001與出口傳送區段203及/或703之間。此過渡區域 大體上類似於安置於入口傳送區段202與彎曲傳送區段201 之間的過渡區域270。在一些實施例中，輸送轉彎系統 124906.doc -41 - 200849447 200 ' 700、800、900及/或1000可經組態以藉由反轉以下 輪之旋轉方向而在向前及向後兩個方向上輸送複數個物品 280 :回轉輪210、複數個外部拐角帶導引輪235、複數個 内部拐角帶導引輪265、複數個外部出口帶導引輪255、複 • 數個外部入口帶導引輪245、複數個内部入口帶導引輪725 及複數個内部出口帶導引輪735，及/或其他導引輪（若應 用）。複數個外部拐角帶導引輪235、複數個内部拐角帶導 p 引輪265、複數個外部出口帶導引輪255、複數個外部入口 帶導引輪245、複數個内部入口帶導引輪725、複數個内部 出口帶導引輪735及/或其他導引輪之各個例在半徑、高 度、構形、組成或其他物理特徵方面可彼此不同。 在各種實施例中，輸送轉彎系統200、700、8〇〇、9〇〇 及/或1〇〇〇經組態每分鐘輸送至少6個、12個、15個或3〇個 FOUP。 在各種實施例中，本文中所論述之各種帶中之各者可由 c, ㊉條或兩條以上帶替換。同樣地，本文中所論述之各種帶 中之各者可由帶與導引輪之組合替換，導引輪經組態以直 接支樓FOUP而不使用導引輪與F〇up之間的帶子。在各種 • f施例中，本文中所論述之帶中之任何一或多者各自由兩 個、3個、4個、5個或5個以上導引輪支撐。在各種實施例 中’本文中所論述之帶中之任何一或多者係水平帶而非垂 直帶。在各種實施例中，彎曲傳送區段可不為水平的。舉 例而言，可以類似於赛車軌道中之緊急彎曲及轉彎組態之 方式構築諸如輸送轉彎系統2〇〇、7〇〇、_、9〇〇及議之 124906.doc -42- 200849447 輸送轉彎系統以改良通過彎曲傳送區段傳送之物品的導引 及支撐。 本文中所論述之實施例用以說明本發明。已參照圖示描 述本發明之此等實施例，由此熟習此項技術者可清楚瞭解 所述方法及/或特定結構之各種修改或改變。依賴於本發 明之教示且此等教示經由其提高技術水平之所有此等修 改、改變或變化均視為在本發明之精神及範疇内。因此， 不應將此等描述及圖式視為具有限制性意義，因為應理解 本發明決不僅限於所說明之實施例。 【圖式簡單說明】 圖1A說明先前技術輸送轉彎系統之俯視圖； 圖IB、1C及1D說明圖1A之一部分，其展示在通過拐角 之連續旋轉階段中之物品； 圖2 A說明本發明之各種實施例之輸送轉彎系統之俯視 圖； 圖2B說明圖2A之一部分，其經擴大以達放大之目的用 以說明根據本發明之各種實施例之水平偏移； 圖2C說明圖2A之一部分，其經擴大以達放大之目的用 以說明根據本發明之各種實施例在過渡區域内可選支撐会士 構之置放； 圖3說明根據本發明之一些實施例外部拐角帶及内部拐 角帶之線速度及角速度與回轉輪之旋轉軸之間的關係； 圖4A' 4B、4C及4D說明根據本發明之各種實施例之外 部拐角帶、回轉輪及複數個外部拐角帶導引輪之替代實施 124906.doc -43- 200849447 例之截面圖； 圖5 A及5 B說明根據本發明之各種實施例之回轉輪、内 部拐角帶及外部拐角帶之替代實施例之截面圖； 圖6說明根據本發明之各種實施例之通過拐角傳送物品 之方法； 圖7 A說明根據本發明之各種實施例之輸送轉彎系統之俯 視圖； 圖7B說明根據本發明之各種實施例之回轉輪之截面圖； 圖8說明根據本發明之各種實施例之輸送轉彎系統之俯 視圖； 圖9 A說明根據本發明之各種實施例之輸送轉彎系統之俯 視圖； 圖9B說明根據本發明之各種實施例之内部拐角輪之截面 圖； 圖9C說明根據本發明之各種實施例之外部拐角帶、内部 拐角導引輪及外部拐角帶導引輪之截面圖； 圖10 A說明根據本發明之各種實施例之輸送轉彎系統之 俯視圖； 圖10B及10C說明根據本發明之各種實施例之外部拐角 帶導執之截面圖； 圖11說明根據本發明之各種實施例之經組態以沿著入口 傳送路徑提供空氣軸承之入口傳送區段之俯視圖；且 圖12A、12B及12C說明經組態以產生圖^中所說明之空 氣軸承之空氣轴承產生器之截面圖。 124906.doc •44- 200849447 【主要元件符號說明】 110 傳送機 111 帶 112 帶 120 傳送機 121 帶 122 帶 13 轉盤 131 帶 132 帶 133 旋轉軸 140 物品 160 拐角區域 200 輸送轉彎系統 201 彎曲傳送區段 202 入口傳送區段 203 出口傳送區段 210 回轉輪 215 外部回轉輪表面 220 内部回轉輪表面 225 旋轉軸 230 外部拐角帶 231 第一外部曲線點 232 第二外部曲線點 124906.doc >45- 200849447 Γ 235 外部拐角帶導引輪 240 外部入口帶 245 外部入口帶導引輪 250 外部出口帶 255 外部出口帶導引輪 260 内部拐角帶 265 内部拐角帶導引輪 270 過渡區域 275 水平偏移距離 280 物品 285 傳送方向 290 支撐結構 310 彎曲傳送區段入口 320 彎曲傳送區段出口 330 外部曲線 332 外部曲線長度 340 内部曲線 342 内部曲線長度 410 圓柱形表面 415 圓錐形支撐表面 420 輪V形槽 425 支撐表面 427 外部拐角帶導引輪之外邊緣 430 垂直旋轉軸 124906.doc .46. 200849447 440 突出部分 450 捕捉唇 455 捕捉元件 460 支撐突起 465 支撐突起表面 470 帶V形槽 475 支撐 480 距離 485 外部拐角帶之上部邊緣 490 外部回轉輪支撐突起 495 外部回轉圓錐形支撐表面 510 軸桿 520 窄回轉輪元件 530 回轉輪頂表面 540 内部拐角帶之底表面 550 回轉輪底表面 560 寬回轉輪元件 700 輸送轉彎系統 701 彎曲傳送區段 702 入口傳送區段 703 出口傳送區段 710 内部回轉輪拐角帶 720 内部入口帶 725 内部入口帶導引輪 124906.doc -47- 200849447 730 内部出口帶 735 内部出口帶導引輪 800 輸送轉彎系統 801 彎曲傳送區段 802 入口傳送區段 803 出口傳送區段 810 外部拐角帶 811 第一外部曲線點 Ο 1 812 第二外部曲線點 900 輸送轉彎系統 901 彎曲傳送區段 910 内部拐角輪 920 内部拐角輪帶 930 外部拐角導引輪 935 垂直軸 , 940 Ο 内部拐角導引輪 945 垂直轴 950 可撓性區域 1000 輸送轉彎系統 1001 彎曲傳送區段 1010 外部拐角帶導執 1020 内部執道/可撓性區域 1030 外部執道 1040 拐角軌道支撐 124906.doc -48- 200849447 1140 區域 1210 空氣軸承產生器 1220 空氣流 1230 空氣軸承產生器 1240 支撐表面 1250 向上力 1260 空氣軸承產生器 1270 空氣流 1280 吸力 1290 空氣軸承 ii 124906.doc -49-

Claims (1)

1. 200849447 十、申請專利範圍： 1 · 一種傳送區段，复伤 ^ .. ”，、用於沿著一由一内部曲線及一外部 曲線限定之彎曲僂详 • 、 馒傳送一物品，該傳送區段包 含： -内表面’其經安置成緊靠該内部曲線之—段； 一外部拐角帶，Α ώ ^ ' /、由—外部拐角帶支撐結構支撐且經 女置成緊靠該外部曲線之一段；及 fs At複數個支撐大起’其係安置於該外部拐角帶上且經組 1 1 悲用以支撐該物品； ::内表面及忒外部拐角帶經組態以在其間沿著該彎曲 傳^徑^引該物品’使得緊靠該内部曲線之該段的該 第側之角速度大致等於緊靠該外部曲線之該 段的該物品之一第二側之角速度。 124906.doc 200849447 該外部拐角帶及該内表面經組態以在其間 傳送路徑導引該物品。 考曲 月求項3之傳送區段’其進—步包含—回轉輪，其中 以回轉輪包括該外表面。 八 5. 2請求項4之傳送區段，其中該回轉輪亦包括該内表 6. 項3之傳送區段，其進—步包含—内部拐角帶， :中该内表面接觸該内部拐角帶之一側，且該内部拐角 ▼之—相對側經組態用以支撐該物品。 /求項3之傳送區段，其進一步包含一入口傳送區 奴其經組態以在該傳送路徑之一端將該物品傳送至談 外^毛7角帶與該内表面之間。 月求項7之傳送區段，其中該入口傳送區段包一 直帶。 V ?'求項3之傳送區段，其進一步包含一支撐結構，其 經組態用以至少部分支撐該物品。 1〇·=求項9之傳送區段，其中該支撐結構包括一 承產生器。 其中該支撐結構磁耦接至一驅 11·如請求項9之傳送區段 動機構。 12.如請，項3之傳送區段，其中該外部拐角帶包括複數個 、、二組恶用以支撐該物品之支撐突起。 •如明求項3之傳送區段，其進一步包含該物品，其中哕 物品包合—^ t ^ a 包括一半導體晶圓之FOUP。 124906.doc 200849447 I4·如請求項13之傳送區段，其中該FOUP在沿著該傳送路 徑被傳送時具有110毫米或更小之橫向移動自由度。 15.如請求項3之傳送區段，其進一步包含該物品，其中該 物品包含一用於製造一顯示器裝置之基板。 1 6·如請求項3之傳送區段，其經組態以每分鐘至少6個物口口 通過該傳送區段之傳送速率操作。 1 7 · —種輸送系統，其包含： Ο Ο 一直傳送區段，其包括： 兩條帶，其經組態以在其間輸送一物品；及 一彎曲傳送區段，其經組態以自該直傳送區段接收該 物品且沿著一由一内部曲線及一外部曲線限定之彎曲傳 送路徑傳送該物品，該彎曲傳送區段包括 一回轉輪，其經組態以一角速度圍繞一軸旋轉，且 具有 一内表面，其係安置成緊靠該内部曲線之一段， 一外表面，其係安置成緊靠該外部曲線之一 段，及 一外部拐角帶，其由該外表面支撐且係安置成緊靠 該外部曲線之該段。 18·如請求項17之輸送系 其中該直傳送區段之該等帶各 自包括複數個經組態用以支撐該物品之支撐突起 19·如請求項18之輸送系統 20·如請求項17之輸送系統 含複數個外部拐角帶導 ’其中該等帶包含垂直帶。 ’其中該彎曲傳送區段進一步包 引輪，其中該等外部拐角帶導引 124906.doc 200849447 輪經組態接觸該外部拐角帶之一側 外部拐角帶之一相對側。 ^表面接觸該 2 1 · —種用於沿著一. … ώ 一内^線及-外部曲線限定之彎曲 傳达路徑傳送一物品之方法，該方法包含. ^曲 以=速度且緊靠該内部曲線之—段旋轉一内表面； =亥角速度且緊靠該外部曲線之—段旋轉一外表面； 圍繞一連續迴路移動—外 外邛拐角f，該外部拐角帶由 该外表面支教係安置成緊靠該外部曲線之該段； 將該物品提供至該外部拐角帶與該内表面之間該傳送 路徑之一端；及 Ά者該幫曲傳送路徑在兮冰 仅隹这外部拐角帶與該内表面之間 導引該物品。 2 2 ·如請求項21之方法，盆φ你击击斗r 八T旋轉该内表面及該外表面包含 旋轉一包括該内表面及該外表面之回轉輪。 23·如請求項21之方法，其中沿著該彎曲傳送路徑導引該物 ϋ 品包括在自該内表面及該外部拐角帶伸出之支撐突起上 支撐該物品。 24·如請求項21之方法，其中沿著該彎曲傳送路徑導引該物 品包括在自該外部拐角帶伸出及自接觸該内表面之一内 部拐角帶伸出之支撐突起上支撐該物品。 25.如請求項21之方法，其中沿著該彎曲傳送路徑導引該物 品係在該角速度下進行。 124906.doc