TW200840945A - Vacuum pump - Google Patents

Vacuum pump Download PDF

Info

Publication number
TW200840945A
TW200840945A TW097102531A TW97102531A TW200840945A TW 200840945 A TW200840945 A TW 200840945A TW 097102531 A TW097102531 A TW 097102531A TW 97102531 A TW97102531 A TW 97102531A TW 200840945 A TW200840945 A TW 200840945A
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
rotor
bearing
insert
support member
face
Prior art date
Application number
TW097102531A
Other languages
English (en)
Inventor
Barrie Dudley Brewster
Paul Flower
Martin Ernst Tollner
Original Assignee
Edwards Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=37872918&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=TW200840945(A) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Edwards Ltd filed Critical Edwards Ltd
Publication of TW200840945A publication Critical patent/TW200840945A/zh

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C27/00—Elastic or yielding bearings or bearing supports, for exclusively rotary movement
    • F16C27/04—Ball or roller bearings, e.g. with resilient rolling bodies
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/04—Shafts or bearings, or assemblies thereof
    • F04D29/046—Bearings
    • F04D29/0462—Bearing cartridges
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/04—Shafts or bearings, or assemblies thereof
    • F04D29/046—Bearings
    • F04D29/049—Roller bearings
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/05—Shafts or bearings, or assemblies thereof, specially adapted for elastic fluid pumps
    • F04D29/056—Bearings
    • F04D29/059—Roller bearings
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/60—Mounting; Assembling; Disassembling
    • F04D29/601—Mounting; Assembling; Disassembling specially adapted for elastic fluid pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/66—Combating cavitation, whirls, noise, vibration or the like; Balancing
    • F04D29/661—Combating cavitation, whirls, noise, vibration or the like; Balancing especially adapted for elastic fluid pumps
    • F04D29/668—Combating cavitation, whirls, noise, vibration or the like; Balancing especially adapted for elastic fluid pumps damping or preventing mechanical vibrations
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C19/00—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement
    • F16C19/02—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with bearing balls essentially of the same size in one or more circular rows
    • F16C19/14—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with bearing balls essentially of the same size in one or more circular rows for both radial and axial load
    • F16C19/16—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with bearing balls essentially of the same size in one or more circular rows for both radial and axial load with a single row of balls
    • F16C19/163—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with bearing balls essentially of the same size in one or more circular rows for both radial and axial load with a single row of balls with angular contact
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C19/00—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement
    • F16C19/02—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with bearing balls essentially of the same size in one or more circular rows
    • F16C19/04—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with bearing balls essentially of the same size in one or more circular rows for radial load mainly
    • F16C19/06—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with bearing balls essentially of the same size in one or more circular rows for radial load mainly with a single row or balls
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C2360/00—Engines or pumps
    • F16C2360/44—Centrifugal pumps
    • F16C2360/45—Turbo-molecular pumps
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00—Metal working
    • Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49229—Prime mover or fluid pump making
    • Y10T29/49236—Fluid pump or compressor making
    • Y10T29/49245—Vane type or other rotary, e.g., fan

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
  • Support Of The Bearing (AREA)
  • Mounting Of Bearings Or Others (AREA)
  • Vibration Prevention Devices (AREA)

Description

200840945 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種用於一幫浦之插件，一種包括該插件 之真空幫浦及一種裝配一幫浦插件之方法。 【先前技術】 真空幫浦通常包含一殼體及一轉子，該轉子經支撐以便 相對於該殼體旋轉以自與該幫浦之入口連接之一工具抽取 氣體。該轉子藉由-包含兩個位於轉子之兩端或兩端中間 之軸承的軸承布置支樓。通常，上部轴承係呈磁性轴承之 形式’且下部軸承係呈滾動軸承之形式。 如圖1中所說明，一典型的滾動軸承10包含一圍繞轉子 14延展的内環12; 一外環16;及複數個藉由一罩籠2〇支撐 以容許該内環12與該外環16相對旋轉的滚動元件18。滾動 軸承10經潤滑以建立-在滾動及滑動接觸中將轴承組件隔 開的負載膜，以便使摩擦及磨損最小化，且提供遮護元件 22以防濁滑劑自滾動軸承1〇渗出。一徑向阻尼環24徑向安 置於外環16之-徑向端面與該幫浦之殼體^之間，以便阻 f外環16之徑向移動。—軸向阻尼物提供於外環16之- =面與殼體26之間’以便阻尼外環⑽轴向移動。滚 =承1〇藉由一旋接於轉子14之末端上的螺紋螺母30緊固 於轉子14，以使得内環12之上 喷合轉子Μ之-鄰接表面34。（圖所說明）軸向端面32 上部磁性軸承（未展示）通常包含一蟲〜壯 磁性軸承轉子浐及»彳 宜女裝於轉子14上的 轉子％及—$與該等轉子環同心絲於轉子環内 12^297.doc 200840945 的磁性軸承定子環，該等定子環安裝於—軸向可調整之座 架上，該座架可經由幫浦之人σ接取。該座架之軸向位置 經調整以使得環之堆疊軸向偏置。由於環之間存在排斥 力，因此轉子14在軸向上偏置以便對轉子14施加轴向預加 負荷。 滾動軸承10及阻尼環24、28通常在幫浦維護時置換。軸 承之内裱12之上部（如所說明）軸向端面與軸向阻尼環μ之 上部軸向端面36之間當存在一公差層疊時，此會導致在該 等組件置換後，轉子14處於不同軸向位置。轉子14之位= 的變化將改變磁性軸承施加於轉子14的軸向預加負荷；若 此預加負荷過高’則滾動軸承1〇會經受過度磨損；而若此 預加負荷過低，則在幫浦使用期間，轉子14之組件會與幫 浦殼體26之組件碰撞。因&，一旦置換滾動軸承ι〇，則須 將幫浦與工具斷接，以便可調整磁性軸承定子環之座架以 確保軸向預加負荷為所需值。此會大大增加維護幫浦所需 的時間。 【發明内容】 本發明提供-種包含一殼體及一轉子的真空幫浦，該轉 子經一圍繞該轉子插入之插件支撐以相對於該殼體旋轉， 該插件包含—金屬環形彈性支撐件，該彈性支撐件包含藉 由複數個可撓性部件連接的内側環形部分及外側環形部 刀’該彈性支撐件圍繞一滾動軸承延展，該滾動車由承具有 内％、一固定於該彈性支撐件之内側環形部分的軸向預 加負荷式外環及複數個位於該等環之間的滾動元件。 128297.doc 200840945 該滾動軸承可準確安置於該支撐件内，以使 :虽：插件與該轉子配合時存在一極低的公差層疊。因 於支件可經裝配使得在整個插件組中滾動軸承相對 於相同位置中。因此’在幫浦維護期間置換 承時，轉子位置不會改變，從而轉子之軸向預加負 可不而在維護期間無需使幫浦與1具斷接。藉由將 =二環轴向預加負荷’移除轴承中之任何： 從而清除徑向及軸向遊隙且增強系統剛性。 本發明擴展至插件本身 之 +本身1因此亦提供-種圍繞一幫浦 入、插件’該插件包含-金屬環形彈性支撐 環开生支撐件包含藉由複數個可撓性部件連接的内側 延展形部分，該彈性支撐件圍繞一滾動轴承 内側環形:分二環、一固定於該彈性支撐件之 之間的滾動=預加負荷式外環及複數個位於該等環 端H衰之—轴向端面較佳相對於該彈性支樓件之一轴向 端面/移位。該内環之端面較佳相對於該彈性支撐件之 知面軸向移位1至3 m 中，轴向移位1.8 _。 之距離’且在較佳實施例 内表面Γ之外表面#父佳附接於該支撐件之内側環形部分之 各可撓性部件較佳為一 大體同心的細長弓形部件 圓周對齊。彈性支撐件之 與内側環形部分及外側環形部分 。在較佳實施例中，該等部件沿 可撓性部件因此可提供彈性支撐 128297.doc 200840945 件之整體式板片彈簧，且由此確定彈性支撐件之經向硬 度。彈性支撐件之徑向可撓度可例如使时限元分析容易 地口又汁’以具有與驅動軸之振動特性相適應的預定撓曲特 性。可達成5GS5GGN/mm範圍内的低徑向硬度，以滿足幫 浦所需之轉子動力[降低徑向硬度會減少幫浦之第二模 式自然頻率，#而在幫浦全轉速下降低振動可傳性，且由 此減少特定轴失衡時幫浦振動之程度。因&，可達成可接 ，程度之傳遞不平衡振動，而無f執行高速平衡，從而使 每幫浦成本大幅降低。 該彈性支撐件較佳由金屬材料形成，諸如回火鋼、鋁、 鈦' 鱗青銅、鈹銅、銘合金或鈦合金。在此情況下，該彈 I*生支撐件之徑向硬度及軸向硬度不隨溫度而變或不隨時間 而變，亦即不轉變。 該支撐件較佳使用黏著劑黏附於外環。 本發明亦提供一種裝配一幫浦插件之方法，該方法包含 以下步驟：使一環形彈性支撐件圍繞-滾動軸承定位，該 滾動軸承具有—内環、_外環及複數個位於該等環之間的 滾動兀件；將該軸承相對於該支撐件之一軸向端面安置於 該支撐件内之所要位置；及在此位置，固定該支撐件於該 軸承之外環，同時向該軸承之外環施加一預加負荷。 如上所述，在所要位置，該内環之一軸向端面較佳相對 於遠彈性支樓件之軸向端面轴向移位。可使用—間隔件將 該軸承安置於所要位置，以使得内環之端面相對於彈性支 撐件之端面軸向移位所要量。舉例而言，該間隔件可具有 128297.doc 200840945 端I:::二::之端面的切件嗜合部分及當支#件之 支擇推件喷合部分嗦合時以所要量伸入 支撐件内以使得内環之端面^承可容易地安置於 從而使軸承能夠準二 間隔件之_合部分， 性部件（例如彈箬）可提供 要位置 弹 安晉Μ ’、獒供於間隔件與外環之間，以便當其 置於所要位置時向軸承施加軸向負荷。 進一步提供一種裝配一真空幫浦的方法，該真空 殼體及—經支❹相對於該殼體旋轉的轉子， Γ 以下步称：將上述插件沿該轉子滑動直至支撐 :之-轴向端面唾合該殼體且該軸承之内環之一軸向端面 嚙合该轉子為止；及緊固該插件於該轉子。 現參考隨附圖式，惟舉例描述本發明之較佳特徵。 【實施方式】 圖2說明形成一幫浦之一軸承布置的一部分之幫浦插件 5〇的橫截㈣。插件50包含一如上參考^所述的已知滾 動軸承10，且該滾動軸承10包含一内環12、一外環16及複 數個由罩籠20支撐以容許内環12與外環16相對旋轉的滾 動元件18。滾動軸承1〇經潤滑以建立一在滾動及滑動接觸 中使軸承組件隔開的負載膜，以便使摩擦及磨損最小化， 且提供遮護元件22以防潤滑劑自滾動軸承10滲出。 滾動軸承10位於一環形彈性支撐件52内，該彈性支撐件 更詳細地說明於圖3中。彈性支撐件52包含一具有整體式 内側環形部分54及外側環形部分56的金屬部件，該等環形 128297.doc -10- 200840945 部分藉由複數個整體式可撓性部件58連接在
性支撐件52之整體式板片彈簧。 撓性部件58藉由在切件52巾機械加工狹槽 撓性部件58締士 ^...... 回顧圖2 ’軸承1 〇之外環i 6之外側徑向表面3 8較佳使用 黏著J固疋於支撐件52之内側部分54之内側軸向延展圓柱 面66。軸承1〇較佳安置於支撐件52内、軸承ι〇之内環a之 軸向端面32自軸向端面68軸向移位所要量^之位置處，乂較 佳在1至3 mm範圍内，且在較佳實施例中7為18 mm。 圖4說明一種裝配插件5〇之方法。一間隔件肋用於將軸 承10女置於支撐件52内之所要位置處。該間隔件80具有一 嚙合支撐件52之軸向端面68的支撐件嚙合部分82及一嚙合 軸承10之内環12之軸向端面32的軸承嚙合部分84。該支撐 件唾合部分82具有一位於支撐件52之軸向端面68上的環形 平坦表面86，以使得間隔件80之軸承嚙合部分84以所要量 y伸入支撐件52之孔70内。軸承1〇插入支撐件52之孔70 中’且被推向間隔件80直至内環12之軸向端面32嚙合間隔 件80之軸承嚙合部分84之軸向端面88。接著較佳使用黏著 劑將軸承10固定於支撐件52，以使軸承10之外環16之外側 控向表面3 8與支撑件5 2之内侧部分5 4之内側圓柱面6 6黏 128297.doc 11 200840945 著。 亦如圖4中所說明，一彈性部件9〇(較佳拉力彈簧）位於 間隔件80與軸承10之間。該彈性部件9〇較佳一端連接至間 隔件8〇之環形表面86,以使彈性部件位置保持不變。當軸 承1〇向間隔件80移動時，彈性部件9〇被壓縮於間隔件8〇與 軸承10之外環16之間以向外環16施加㈣負荷。當將轴承 安置於所要位置時，該彈性部件9〇向外環16施加已知軸 向負荷，以使得在所裝配之插件50内，向外環16軸向預加 負荷。 >因此，一組插件50可使用間隔件8〇依序裝配，以使得在 該插件組内，各滾動軸承1〇相對於其支撐件”定位於相同 位置處，且各滾動軸承1〇具有相同的軸向預加負荷。 、圖5說明就地圍繞一真空幫浦之轉子M的插件％。在幫 浦裝配期間且在約束轉子14以抑制其旋轉的情況下，將插 件50定位於轉子14之末端15上，且沿轉子14滑動直至支樓 件52之軸向端面68嚙合幫浦殼體％且軸承ι〇之内環η之軸 向端面32唾合轉子14之鄰接表面34為止。接著將上油螺母 3〇方疋接於轉子14之末端以緊固軸承1()之内環12於轉子。 右4幫浦亦具有-形成其軸承布置之部分以支撐轉子的磁 ^軸豕貝J用於該磁性軸承之磁性定子環的座架經調整向 轉子14施加所要的軸向預加負荷。 在幫浦維護期間，當其就地用於抽空一工具時，再次約 束轉子14以防止其旋轉，將上油螺母自轉子μ旋下且將插 件50自該幫浦中移除。接著將一新插件$峨在轉子Η上且 128297.doc •12- 200840945 滑動就位，且將上油螺母30旋回轉子上以使插件50持留在 原位置。因為支撐件52之軸向端面68與軸承1〇之内環12之 軸向、面32之間存在極低的公差層疊，轉子μ之軸向位置 幾乎不變，即使改變，亦為更換插件5〇所致。因此，不必 為调整轉子14之軸向預加負荷而將幫浦與工具斷接。 【圖式簡單說明】 圖1说明支撐一幫浦之轉子之一已知滾動軸承的橫戴面 圖；
圖2說明一包括一滾動軸承之幫浦插件之橫截面圖； 圖3說明圖2之插件之彈性支撐件之透視圖； 圖4說明圖2之插件之裝配方法；及 圖5說明支撐一幫浦之轉子的圖2之插件之橫截面圖。 【主要元件符號說明】 10 滾動軸承/軸承 12 内環 14 轉子 16 外環/軸向預加負荷式外環 18 滾動元件 20 罩籠 22 遮護元件 24 阻尼環 26 殼體/幫浦殼體 28 阻尼環/轴向阻尼零 30 螺紋螺母/上油螺母 128297.doc * 13 - 200840945 32 34 36 38 50 52 54 56 58 60 62 64 66 68 70 80 82 84 86 88 90 軸向端面 鄰接表面 上部軸向端面 外側徑向表面 插件/幫浦插件 支撐件/環形彈性支撐件/彈性支撐件 内側環形部分/内側部分 外側環形部分/外側部分 可撓性部件 狹槽 第一彈性鉸鏈 第二彈性鉸鏈 圓柱面/内側圓柱面 軸向端面 孔 間隔件 支撐件嚙合部分 軸承嚙合部分 環形平坦表面 軸向端面 彈性部件 128297.doc -14-

Claims (1)

  1. 200840945 十、申請專利範圍： 1· -種裝配-幫浦（bump)插件的方法，該方 驟： ό / 二環形彈性支撐件圍繞—滾動軸^位，該滚動轴 動Γ杜―〜、—外環及複數個定位於該等環之間的滚 動几件； :該軸承相對於該支撐件之—軸向端㈣置於該支撐 件内之一所要位置處；及 向：：：置處：將該支撐件固定於該軸承之外環，同時 σ 承之外環施加一預加負荷。 項1之方法，其中在該所要位置處，該内環之一 面相對於該彈性支撲件之軸向端面軸向移位。 •置^項2之方法’其中—間隔件經使用以將該軸承安 #杜'^要位置’以使得該内環之端面相對於該彈性支 聲之端面軸向移位所要量。 4·二：：項3之方法，其中該間隔件具有-用於嚙合該支 二牛：端面的支擇件喷合部分及一輛承唾合部分，當該 料承由該間隔件之支撐㈣合部㈣合時， 中該轴承係經安置支撐件之孔内，且其 人於該支撐件内以使得該内環之端面嚙 D 5亥間隔件之軸承嚙合部分。 5 ·如請求項*之太 件與該外環之間，’/、中—彈性部件係經提供於該間隔 向令 0，以便當將該軸承安置於該所要位置時 μ軸承施加軸向負荷。 128297.doc 200840945 6·如請求項1之方法，i中兮±捧从〆 該外環。 、μ牛係使用黏著劑黏附於 月求員1之方去，其中該彈性支撐件 :挽性部件連接的内侧環形部分及外側環:；：： 中该外環之外表面係經固定於該支刀-之一内表面。 之内側環形部分 8.:::其圍繞一幫浦之-轉子插入，該插件包含一 撓性部件連接的内側環形部分及外側環形 支撐件圍繞一滾動軸承延展，該滾 Α生 於該彈性支撑件之内側環形部分的二=荷 …衣及稷數個定位於該等環之間的滾動元件。 9. =Γ之插件，其中該内環之-軸向端面係相對於 _性支撐件之-軸向端面㈣移位。 10·如請求項8之插件，豆中 支^ /、 Μ衣之為面係相對於該彈性 牙件之端面軸向移位e3mm範圍内之距離。 u.2求項8之插件，其中該外環之外表面係附接於該彈 性支標件之内側環形部分之一内表面。接於轉 12.如：求項8之插件，其中該等可撓性部件中之每一者為 二、該等内側及外側環形部分大體同心的細長弓形部 13^請求項12之插件，其中該等可撓性部件係沿圓周對 其中該等可撓性部件提供該彈性支 128297.doc 200840945 撐件之複數個整體式板片彈簧。 15 ·如明求項8之插件，其中該金屬材料包含回火鋼、銘、 欽、鱗青銅、鈹鋼、鋁合金及鈦合金中之一者。 16.如請求項8之插件，其中該彈性支撐件係使用黏著劑黏 附於該外環。 17· —種真空幫浦，其包含一殼體及一轉子，該轉子藉由一
    包各如請求項8之插件的軸承布置支撐以便相對於該 殼體旋轉。 18· -種真空幫浦，丨包含—殼體及—轉子，該轉子經—圍 繞該轉子插入之插件A擇以便相對於該殼體旋轉，該插 件包含一金屬環形彈性支撐件，該彈性支撐件包含藉由 複數個可撓性部件連接的内側環形部分及外側環㈣ 分’該彈性支撐件圍繞-滾動軸承延展，該滾動轴承且 有-内環、-固定於該彈性支撐件之内側環形部分⑲ 向預加負荷式外環及複數個位於該等環之間的滾動元 .〆 i, "、吊順巴έ 一殼體及 一經支撐以便相對於該殼體旋轉的轉子， 邊万法包含以 下步驟··將-如請求項8之插件沿該轉子滑動直 撐件之一軸向端面嚙合該殼體且該軸承之内環 端面嚙合該轉子為止；及緊固該插件於該轉：之-軸向 128297.doc
TW097102531A 2007-01-29 2008-01-23 Vacuum pump TW200840945A (en)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GBGB0701609.0A GB0701609D0 (en) 2007-01-29 2007-01-29 Vacuum pump

Publications (1)

Publication Number Publication Date
TW200840945A true TW200840945A (en) 2008-10-16

Family

ID=37872918

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW097102531A TW200840945A (en) 2007-01-29 2008-01-23 Vacuum pump

Country Status (8)

Country Link
US (2) US8851829B2 (zh)
EP (1) EP2126365B2 (zh)
JP (1) JP5585082B2 (zh)
CN (1) CN101595307B (zh)
CA (1) CA2675682C (zh)
GB (1) GB0701609D0 (zh)
TW (1) TW200840945A (zh)
WO (1) WO2008093134A1 (zh)

Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB0701609D0 (en) 2007-01-29 2007-03-07 Boc Group Plc Vacuum pump
JP2010203504A (ja) * 2009-03-03 2010-09-16 Ihi Corp スクイーズフィルムダンパ軸受
DE102010019528A1 (de) * 2010-05-06 2011-11-10 Schaeffler Technologies Gmbh & Co. Kg Wälzlagervorrichtung und Turbolader mit einer solchen Wälzlagervorrichtung
DE202011002794U1 (de) * 2011-02-16 2012-06-06 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Lageranordnung für schnell drehende Wellen von Vakuumpumpen
JP5919745B2 (ja) * 2011-11-15 2016-05-18 株式会社島津製作所 真空ポンプ
ITTO20120651A1 (it) * 2012-07-25 2014-01-26 Skf Ab Gruppo cuscinetto-mozzo per un disco per la lavorazione della terra
DE202012007700U1 (de) 2012-08-09 2013-11-12 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Vakuumpumpe
DE202013002018U1 (de) 2013-03-01 2014-06-02 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Vakuumpumpe
DE202013003683U1 (de) * 2013-04-19 2014-07-21 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Vakuumpumpe
DE102015100048B4 (de) 2015-01-06 2018-02-08 Pfeiffer Vacuum Gmbh Anordnung zur Lagerung einer Welle einer Vakuumpumpe
DE202016000655U1 (de) 2016-02-02 2017-05-03 Leybold Gmbh Lager-Dämpfungselement, Lageranordnung sowie Vakuumpumpe
WO2017145345A1 (ja) * 2016-02-25 2017-08-31 日本精工株式会社 センサ
GB2552700A (en) * 2016-08-04 2018-02-07 Edwards Ltd Turbomolecular pump lubricant supply systems
GB2557676A (en) * 2016-12-15 2018-06-27 Edwards Ltd Bearing support for a vacuum pump
BE1025345B1 (nl) * 2017-06-26 2019-02-05 Atlas Copco Airpower Naamloze Vennootschap Lagerdemperelement, lager en compressorelement uitgerust met dergelijk lagerdemperelement en werkwijze om dergelijk lagerdemperelement te vervaardigen
GB2567202A (en) 2017-10-05 2019-04-10 Edwards Ltd Bearing cage retainer
GB2584676B (en) * 2019-06-10 2021-11-10 Edwards Ltd Rotor support and vacuum pump with such a rotor support
CN110685950B (zh) * 2019-11-13 2021-05-25 上海裕达实业有限公司 分子泵轴承结构
KR20220127908A (ko) * 2020-01-16 2022-09-20 생-고뱅 퍼포먼스 플라스틱스 렌콜 리미티드 조향 조립용 베어링
CN112032094B (zh) * 2020-08-21 2022-04-22 瑞卡斯(南京)精密机械有限公司 一种叶轮传动轴及冷却水泵

Family Cites Families (38)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2487343A (en) * 1948-04-23 1949-11-08 Laval Separator Co De Bearing assembly for centrifuges and the like
DE1425987A1 (de) 1964-07-08 1969-04-03 Matsuo Mishima Kleinstkugellager
US3639014A (en) * 1968-03-26 1972-02-01 Nat Res Dev Damped bearing
US3672699A (en) 1970-07-13 1972-06-27 Eaton Corp Automatic restraint system arming control
DE2052120A1 (de) * 1970-10-23 1972-04-27 Pfeiffer Vakuumtechnik Lageranordnung für Molekularpumpen und Turbomolekularpumpen
GB1397172A (en) 1973-05-19 1975-06-11 V Ni In K I Khim Mash Resilient rotor support for centrifugal machines
DE2359456A1 (de) 1973-11-29 1975-06-05 Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg Turbomolekularvakuumpumpe mit gasgelagertem rotor
DE3148191C2 (de) 1981-01-20 1984-03-29 Skf Kugellagerfabriken Gmbh, 8720 Schweinfurt Anordnung für die Montage einer Lagerung
CH658499A5 (en) 1982-05-26 1986-11-14 Bbc Brown Boveri & Cie Resilient supporting device for shaft bearings of high-speed rotors, in particular those of turbo machines
JPH0818989B2 (ja) 1984-01-12 1996-02-28 株式会社ミドリ十字 脂肪乳剤中のプロスタグランジンの安定化方法
JPS60149524U (ja) * 1984-03-15 1985-10-04 株式会社安川電機 回転電機の軸受支持装置
US4872767A (en) 1985-04-03 1989-10-10 General Electric Company Bearing support
DE3537822A1 (de) 1985-10-24 1987-04-30 Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg Vakuumpumpe mit gehaeuse und rotor
ATE58331T1 (de) 1986-06-02 1990-11-15 Akerlund & Rausing Ab Verfahren zum abfallfreien herstellen beschichteter profile und warmgeformter behaelter.
JPH0633938A (ja) † 1992-07-13 1994-02-08 Chuo Spring Co Ltd 回転軸の軸受構造
FR2735535B1 (fr) * 1995-06-16 1997-07-11 Cit Alcatel Pompe turbomoleculaire
DE19613471A1 (de) 1996-04-04 1997-10-09 Asea Brown Boveri Lagerabstützung für schnellaufende Rotoren
DE19709205A1 (de) 1997-03-06 1998-09-10 Leybold Vakuum Gmbh Vakuumpumpe mit Wellenlagerung
DE19834111A1 (de) 1998-07-29 2000-02-03 Asea Brown Boveri Radiallager
JP4426049B2 (ja) 1999-03-31 2010-03-03 エドワーズ株式会社 磁気軸受装置及び真空ポンプ
JP2001132480A (ja) * 1999-11-01 2001-05-15 Denso Corp 内燃機関用吸気制御装置
EP1096124B1 (en) * 1999-11-01 2006-02-15 Denso Corporation Valve system for intake air controller for internal combustion engine and manufacturing the same
FR2804476B1 (fr) * 2000-01-31 2002-04-12 Cit Alcatel Systeme amortisseur et centreur de roulement pour pompe a vide sur palier magnetique
US6515288B1 (en) 2000-03-16 2003-02-04 Applied Materials, Inc. Vacuum bearing structure and a method of supporting a movable member
FR2817289B1 (fr) 2000-11-30 2003-01-31 Snecma Moteurs Dispositif de centrage d'un tube dans un arbre de turbine
JP4669510B2 (ja) 2004-04-22 2011-04-13 オットー ボック ヘルスケアー エルピー 衝撃吸収及び制御回転を有する補綴デバイス用の真空ポンプ
US7082691B2 (en) * 2004-04-28 2006-08-01 Trimble Navigation Limited Laser level rotor assembly addressing angular drift
GB2415019A (en) * 2004-06-07 2005-12-14 Boc Group Plc A supporting arrangement for a roller bearing
CN100432446C (zh) 2004-06-25 2008-11-12 株式会社大阪真空机器制作所 涡轮分子泵的轴承支承结构
EP1619400B1 (en) 2004-07-20 2009-11-11 VARIAN S.p.A. Annular support for rolling bearings
CN2821259Y (zh) * 2004-12-07 2006-09-27 范海晓 滚珠式磁力单向轴承
CN2789499Y (zh) * 2005-01-06 2006-06-21 常州滚针轴承厂有限公司 改进型拉式自调心离合器分离轴承总成
GR20050100216A (el) 2005-05-04 2006-12-18 i-sieve :����������� ����������� ������������ ����������� �.�.�. Πιθανοθεωρητικη μεθοδος συντηξης πληροφοριας για διηθηση πολυγλωσσικου, ημιδομημενου και πολυμεσικου ηλεκτρονικου περιεχομενου
GB0509190D0 (en) 2005-05-05 2005-06-15 Boc Group Plc Vacuum pump
GB0511877D0 (en) † 2005-06-10 2005-07-20 Boc Group Plc Vacuum pump
JP2008002650A (ja) * 2006-06-26 2008-01-10 Hitachi Powdered Metals Co Ltd 動圧軸受ユニット及びその製造方法並びにスピンドルモータ
DE102006037187A1 (de) * 2006-08-09 2008-02-21 Pfeiffer Vacuum Gmbh Anordnung zur Lagerung einer Welle einer Vakuumpumpe
GB0701609D0 (en) 2007-01-29 2007-03-07 Boc Group Plc Vacuum pump

Also Published As

Publication number Publication date
WO2008093134A1 (en) 2008-08-07
JP2010516972A (ja) 2010-05-20
US9759256B2 (en) 2017-09-12
US20140369831A1 (en) 2014-12-18
US8851829B2 (en) 2014-10-07
JP5585082B2 (ja) 2014-09-10
GB0701609D0 (en) 2007-03-07
EP2126365B1 (en) 2012-05-30
EP2126365B2 (en) 2015-12-09
US20100135784A1 (en) 2010-06-03
CA2675682A1 (en) 2008-08-07
CN101595307B (zh) 2014-06-04
EP2126365A1 (en) 2009-12-02
CA2675682C (en) 2014-04-22
CN101595307A (zh) 2009-12-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW200840945A (en) Vacuum pump
JP5297190B2 (ja) 真空ポンプ
EP2562436B1 (en) Bearing Assembly
US5752774A (en) Zero clearance auxiliary bearing for providing rotor shock tolerance
EP2093439B1 (en) Frustoconical ball bearing and preloaded ball bearing assemblies
EP0172129A1 (en) A flexible damped bearing assembly
JP2006525466A (ja) 真空ポンプ
US6244751B1 (en) Adjustable spacer having a generally axially curved bearing interface portion
US7594760B2 (en) Bearing cup rotational lock assembly
KR101059147B1 (ko) 주축 지지용 베어링 예압장치
KR100656649B1 (ko) 고속회전을 위한 주축의 베어링 지지구조
EP3056853A1 (en) Bearing assembly with overload protection
JP2000039020A (ja) 転がり軸受装置
JP2000087964A (ja) モータ支持軸受構造
WO2016118854A1 (en) Bearing assembly with swaged can
KR100514650B1 (ko) 축의 편심 보정형 저널 베어링
US6293705B1 (en) Annular gimbal assembly suitable for disc drive spindle bearings and method of making same
JP2002206554A (ja) ベアリングユニット及びそれを用いた駆動装置、回転円板支承装置
JP2007232129A (ja) ボールねじ装置の芯合せ治具およびそれを用いた芯合せ方法
JPH0673439U (ja) 気体ジヤーナル軸受
JPH11148517A (ja) スイングアーム用玉軸受装置