CN101595307A - 真空泵 - Google Patents

真空泵 Download PDF

Info

Publication number
CN101595307A
CN101595307A CNA2008800032363A CN200880003236A CN101595307A CN 101595307 A CN101595307 A CN 101595307A CN A2008800032363 A CNA2008800032363 A CN A2008800032363A CN 200880003236 A CN200880003236 A CN 200880003236A CN 101595307 A CN101595307 A CN 101595307A
Authority
CN
China
Prior art keywords
bearing
supporting
supporting element
rotor
outer ring
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CNA2008800032363A
Other languages
English (en)
Other versions
CN101595307B (zh
Inventor
B·D·布鲁斯特
M·E·托尔纳
P·弗劳尔
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
BOC Group Ltd
Edwards Ltd
Original Assignee
BOC Group Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=37872918&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=CN101595307(A) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by BOC Group Ltd filed Critical BOC Group Ltd
Publication of CN101595307A publication Critical patent/CN101595307A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN101595307B publication Critical patent/CN101595307B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C27/00—Elastic or yielding bearings or bearing supports, for exclusively rotary movement
    • F16C27/04—Ball or roller bearings, e.g. with resilient rolling bodies
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/04—Shafts or bearings, or assemblies thereof
    • F04D29/046—Bearings
    • F04D29/0462—Bearing cartridges
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/04—Shafts or bearings, or assemblies thereof
    • F04D29/046—Bearings
    • F04D29/049—Roller bearings
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/05—Shafts or bearings, or assemblies thereof, specially adapted for elastic fluid pumps
    • F04D29/056—Bearings
    • F04D29/059—Roller bearings
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/60—Mounting; Assembling; Disassembling
    • F04D29/601—Mounting; Assembling; Disassembling specially adapted for elastic fluid pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/66—Combating cavitation, whirls, noise, vibration or the like; Balancing
    • F04D29/661—Combating cavitation, whirls, noise, vibration or the like; Balancing especially adapted for elastic fluid pumps
    • F04D29/668—Combating cavitation, whirls, noise, vibration or the like; Balancing especially adapted for elastic fluid pumps damping or preventing mechanical vibrations
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C19/00—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement
    • F16C19/02—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with bearing balls essentially of the same size in one or more circular rows
    • F16C19/14—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with bearing balls essentially of the same size in one or more circular rows for both radial and axial load
    • F16C19/16—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with bearing balls essentially of the same size in one or more circular rows for both radial and axial load with a single row of balls
    • F16C19/163—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with bearing balls essentially of the same size in one or more circular rows for both radial and axial load with a single row of balls with angular contact
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C19/00—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement
    • F16C19/02—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with bearing balls essentially of the same size in one or more circular rows
    • F16C19/04—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with bearing balls essentially of the same size in one or more circular rows for radial load mainly
    • F16C19/06—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with bearing balls essentially of the same size in one or more circular rows for radial load mainly with a single row or balls
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C2360/00—Engines or pumps
    • F16C2360/44—Centrifugal pumps
    • F16C2360/45—Turbo-molecular pumps
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00—Metal working
    • Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49229—Prime mover or fluid pump making
    • Y10T29/49236—Fluid pump or compressor making
    • Y10T29/49245—Vane type or other rotary, e.g., fan

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
  • Support Of The Bearing (AREA)
  • Mounting Of Bearings Or Others (AREA)
  • Vibration Prevention Devices (AREA)

Abstract

一种用于支撑泵的转子(14)的泵插入件(50)，包括用于接合泵的本体(26)的环形弹性支撑件(52)，所述支撑件(52)延伸在滚动轴承(10)的周围，所述滚动轴承(10)具有用于与转子(14)接合的内圈(12)、固定于所述支撑件(52)的轴向预加载的外圈16以及设置于所述圈之间的多个滚珠(18)。在组装期间，滚动轴承(10)能够被精确地定位在所述支撑件(52)中，使得当所述插入件(50)被固定到所述转子(14)时，存在非常低的容差堆叠(Tolerance Stack－up)。因此，即使当所述滚动轴承(10)在泵工作期间被更换，所述转子(14)的位置将几乎不变。

Description

真空泵
【技术领域】
本发明涉及泵的插入件，涉及包括这种插入件的真空泵，并且涉及组装泵插入件的方法。
【背景技术】
通常，真空泵包括本体和转子，转子被支撑以相对于本体旋转，用于从与泵的入口连接的工具抽取气体。转子被轴承装置支撑，该轴承装置包括分别位于转子端部或者介于转子端部之间的两个轴承。通常，上轴承为磁轴承形式，而下轴承为滚动轴承形式。
如图1所示，常规的滚动轴承10包括在转子14的周围延伸的内圈12、外圈16以及多个由支架20支撑的滚珠18。滚动轴承10被润滑以便建立分开滚动和滑动接触的轴承元件的承载膜，从而使得摩擦和磨损最小化，并且设置防护元件22以防止从滚动轴承10泄露润滑油。径向制动环24径向地设置于外圈16的径向端面和泵的本体26之间，用于制动外圈16的径向运动。轴向制动环28设置于外圈16的轴向端面和本体26之间，用于制动外圈16的径向运动。滚动轴承10通过螺纹螺母30固定于转子14，其螺接于转子的端部使得内圈12的上(如图示)轴向端面32与转子14的靠接面34接触。
上磁轴承(未示出)通常包括安装在转子14上的一堆磁轴承转子圈和一堆安装于可轴向调整的基座上的与转子圈同心并位于其中的磁轴承定子圈，所述可轴向调整的基座的从泵的入口进入的。调整基座的轴向位置使得一堆圈被轴向地偏移。由于圈之间的排斥力，转子14在轴向上被偏置，使得轴向预加载施加于转子14。
当泵服务时，滚动轴承10和制动环24、28通常被更换。由于轴承的内圈12的上(如所示的)轴向端面和轴向制动环28的上轴向端面36之间存在容差层叠(Tolerance Stack-up)，随着这些部件的更换这可能导致转子14位于不同的轴向方向。转子14在该位置的变化将改变通过磁轴承施加于转子14的预负载；如果该预负载太高，则滚动轴承10可能遭受过度磨损，同时如果该预负载太低，则在使用泵期间转子14的部件可能与泵本体26的部件碰撞。因此，一旦滚动轴承10被更换，泵不得不从所述工具脱离使得用于磁轴承定子环的基座能够被调整，以便确保轴向预负载位于所需的值。这会可观地增加服务于泵所需要的时间。
【发明内容】
本发明提供包括本体和转子的真空泵，所述转子被插入在其周围的插入件支撑来相对于本体旋转，插入件包括金属的环形弹性支撑件，其包括由多个柔性构件连接的内和外环形部分，弹性支撑件在滚动轴承的周围延伸，所述滚动轴承具有内圈、固定于弹性支撑件的内环形部分的轴向预加载外圈以及多个位于所述圈之间的滚珠。
在组装期间，滚动轴承能够被精确定位于支撑件中，使得当插入件装配到转子时存在非常低的容差堆叠。结果，一批插入件全部能够与滚动轴承组装在同样位置。结果，当滚动轴承在泵服务期间被更换时，转子的位置将不改变，这样转子的轴向预加载不存在变化，这样在服务期间不需要将泵从工具分离。通过轴向地预加载轴的外圈，轴承中的任何内部间隙被去除，从而消除了径向和轴向游隙，并且提高了系统稳定性。
本发明延伸到插入件本身，因此还提供用于插入在泵的转子周围的插入件，所述插入件包括金属、环形弹性支撑件，其包括由多个柔性构件连接的内外环形部分，所述弹性支撑件在滚动轴承的周围延伸，所述滚动轴承具有内圈、固定于所述弹性支撑件的内环部分的轴向预加载的外圈以及位于所述圈之间的多个滚珠。
内圈的轴向端面优选地相对于所述弹性支撑件的轴向端面被轴向地移位。内圈的端面相对于弹性支撑件端面被优选地轴向地移位1到3毫米的距离，并且在优选的实施方案中，被轴向地移位1.8毫米的距离。
外圈的外表面优选地附接于支撑件的内环形部分的内表面。
各柔性构件优选地为延伸的弓形构件，基本于内外环形部分同心。在优选的实施方案中，这些构件沿圆周对准。因此，弹性支撑件的柔性构件能够提供所述弹性支撑件的整体的板片弹簧，并且因此决定所述弹性支撑构件的径向刚度。弹性支撑件的径向柔性可以被容易地设计(例如使用有限元方法)，以具有适合驱动轴的振动特性的预定的弯曲特性。可以获得50到500牛顿/毫米范围的低径向刚性，从而满足泵所需的转子动力学；降低径向刚性减少了泵的第二模式自然频率，其又减少泵满速时的振动的传递，并且因此减少致使特定的轴失去平衡的泵振动的水平。鉴于此，在不需要进行高速平衡的情况下，可以获得失去平衡的振动传输的可接受水平，提供每个泵显著的费用减少。
弹性支撑件优选地由金属材料(例如退火钢、铝、钛、磷青铜、铍青铜、铝合金或者钛合金)形成。在这种情况下，弹性支撑件的径向和轴向刚性不会随着温度或者随着时间(即通过蠕变)而改变。
支撑件优选地使用粘合剂粘接于外圈。
本发明还提供组装泵插入件的方法，所述方法包括步骤：将环形弹性支撑件定位于滚动轴承的周围，所述滚动轴承具有内圈、外圈和多个设置在所述圈之间的滚珠；将所述轴承相对于支撑件的轴向端面设置在支撑件中期望的位置；以及在该位置，将所述支撑件固定到轴承的外圈，同时施加预负载于轴承的外圈。
如上述讨论的，在期望的位置，内圈的轴向端面相对于弹性支撑件的轴向端面被优选地轴向移位。可以使用隔离片以便将所述轴承定位在期望的位置，使得内环的端面相对于弹性支撑件的端面被轴向地移位期望的量。例如，隔离片可以具有用于与支撑件的端面接合的支撑接合部分，以及当支撑端面被隔离片的支撑接合部分接合时以期望的量突出到支撑件的孔中的轴承接合部分。轴承能够容易地设置在支撑件中，使得内圈的端面接合隔离片的轴承接合部分，因此使得轴承能够被精确地设置在支撑件中的期望位置。弹性构件例如弹簧能够被设置在隔离片和外圈之间，用于当弹性构件被设置在期望位置时施加轴向负载到轴承上。
本发明进一步提供组装真空泵的方法，所述真空泵包括本体和被支撑用于相对于本体旋转的转子，所述方法包括步骤：将如上所述的插入件滑动越过转子直到支撑件的轴向端面接合本体以及轴承内圈的轴向端面接合转子；以及将插入件固定到转子。
【附图说明】
现在将仅通过示例的方式参考附图来描述本发明优选的特征，其中：
图1示出了支撑泵的转子的已知滚动轴承的横截面视图；
图2示出了包含滚动轴承的泵插入件的横截面视图；
图3示出了图2中的插入件的弹性支撑件的透视图；
图4示出了组装图2中的插入件的方法；以及
图5示出了图2中的插入件支撑泵转子的横截面视图。
【具体实施方式】
图2示出了泵插入件50的横截面视图，其形成了泵轴承装置的部分。插入件50包括如上参考图1所述的已知的滚动轴承10，并且滚动轴承10包括内圈12、外圈16以及多个由支架20支撑的以允许内圈12和外圈16相对旋转的滚珠18。滚动轴承10被润滑以便建立分开以滚动和滑动接触的轴承部件的承载膜，使得磨擦和磨损最小，并且提供防护元件22以防止润滑油从滚动轴承10泄露。
滚动轴承10设置于环形弹性支撑件52中，环形弹性支撑件52更详细的细节由图3示出。弹性支撑件52包括具有整体的内外环形部分54、56的金属构件，其中内外环形部分54、56由支撑件52中的加工槽60形成的多个整体的柔性构件58连接。各柔性构件58通过第一弹性铰链62连接于内部分54，并且通过第二弹性铰链64连接于外部分56。各柔性构件58为延长的弓形构件，并基本与内外环形部分54、56同心，并且如图3所示，柔性构件58优选沿周向对准。因此，弹性支撑件52的柔性构件58提供弹性支撑件52的整体板片弹簧。
返回图2，优选地使用粘合剂，将轴承10的外圈16的外径向表面38固定于支撑件52的内部分54的轴向延伸的内圆筒形表面66。轴承10优选地设置于支撑件52中的适当位置，在该位置轴承10的内圈12的轴向端面32由径向端面68轴向地位移了期望的量y，所述期望的量y优选地介于1到3毫米的范围，并且其在优选的实施方案中为1.8毫米。
图4示出了组装插入件50的方法。使用隔离片80以便将轴承10设置在支撑件52中期望的位置。隔离片80具有用于接合支撑件52的轴向端面68的支撑接合部分82，以及用于接合轴承10的内圈的轴向端面32的轴承接合部分84。支撑接合部分82具有设置于支撑件52的轴向端面68上的环形平面86，使得隔离片80的轴承接合部分84通过期望的量y突出到支撑件52的孔70中。轴承10被插入到支撑件52的孔70中，并且被向前推动直到内圈12的轴向端面32接合隔离片80的轴承接合部分84的轴向端面88。随后轴承10被固定于支撑件52，优选地使用粘合剂将轴承10的外圈16的外径向表面38粘接到支撑件52的内部分54的内圆筒形表面66。
仍然如图4所示，弹性构件90(优选地为拉簧)被设置于隔离片80和轴承10之间。弹性构件90优选地使得一端连接于隔离片80的环形表面86，从而使得弹性构件保持在适当位置。随着轴承10向着隔离片80移动，弹性构件90在隔离片80和轴承10的外圈16之间被压缩，从而将轴向负载施加在外圈16上。当将轴承10设置在期望位置时，该弹性构件90将已知的轴向负载施加于外圈16上，使得外圈16在组装完的插入件50中被轴向地预加载。
使用隔离片80能够这样依次对一批插入件50进行组装，使得在该批中每个滚动轴承10相对于其支撑件52被设置在同样的位置，并且各滚动轴承10具有同样的轴向预加载。
图5示出了插入件50位于真空泵的转子14周围的现场情况。在泵的组装期间，并且在转子14被保持以防止其旋转的情况下，插入件50被设置跨越过转子14的端部15，并且沿着转子14滑动直到支撑件52的轴向端面68接合泵本体26，并且轴承10的内圈12的轴向端面32接合转子14的对接表面34。随后油性螺母(oil nut)30被螺接于转子14的端部直到将轴承10的内圈12固定于转子14。如果泵还具有形成用于支撑转子的轴承装置的部分的磁轴承，用于磁轴承的磁定子环的基座被调整，从而施加期望的轴向预负载于转子14上。
在泵的工作期间，当泵在拆卸工具的现场时，转子14再次被抑制以防止其旋转，将油螺母从转子14上旋开取下，并且插入件50被从泵去除。随后新插入件50被插入到转子14上，并且被滑入到适当的位置，将油螺母30旋回转子14上而将插入件50定位。由于在支撑件52的轴向端面68和轴承10的内圈12的轴向端面32之间存在非常低的容差堆叠，因此，即使更换插入件50，其根本结果，转子14的轴向位置将几乎不变。因此，不需要将泵从工具断开来调整转子14上的预加载。

Claims (19)

1.一种组装泵插入件的方法，所述方法包括步骤：
将环形弹性支撑件设置在滚动轴承的周围，所述滚动轴承具有内圈、外圈以及设置在所述圈之间的多个滚珠；
将轴承相对于所述支撑件的轴向端面设置在所述支撑件中的期望位置；以及
在该位置，将所述支撑件固定于所述轴承的外圈，同时施加预加载于所述轴承的所述外圈。
2.根据权利要求1所述的方法，其中，在所述期望的位置，所述内圈的轴向端面相对于所述弹性支撑件的轴向端面被轴向地移位。
3.根据权利要求2所述的方法，其中使用隔离片以便将轴承设置在期望的位置，使得内圈的端面相对于弹性支撑件的端面被轴向地移位期望的量。
4.根据权利要求3所述的方法，其中所述隔离片具有用于接合所述支撑件的端面的支撑接合部分，以及当所述支撑件的端面被隔离片的支撑接合部分接合时以期望的量突出到支撑件的孔中的轴承接合部分，并且其中所述轴承设置在支撑件中，使得内圈的端面接合所述隔离片的轴承接合部分。
5.根据权利要求4所述的方法，其中在所述隔离片和所述外圈之间设置有弹性构件，用于当其被设置在期望的位置时，将轴向负载施加于轴承。
6.根据前述权利要求任一项所述的方法，其中所述支撑件使用粘合剂粘接于所述外圈。
7.根据前述权利要求任一项所述的方法，其中所述弹性支撑件包括通过多个柔性构件连接的内外环形部分，并且其中所述外圈的所述外表面被固定于所述支撑件的所述内环形部分的内表面。
8.用于插入到泵的转子周围的插入件，所述插入件包括金属的环形弹性支撑件，其包括通过多个柔性构件连接的内外环形部分，所述弹性支撑件在滚动轴承的周围延伸，所述滚动轴承具有内圈、固定于所述弹性支撑件的内环形部分的被轴向预加载的外圈以及设置在所述圈之间的滚珠。
9.根据权利要求8所述的插入件，其中所述内圈的轴向端面相对于所述弹性支撑件的轴向端面被轴向地移位。
10.根据权利要求8或者9所述的插入件，其中内圈的轴向端面以介于1到3毫米范围的距离相对于所述弹性支撑件的端面被轴向移位。
11.根据权利要求8到10任一项所述的插入件，其中所述外圈的外表面附接于所述弹性支撑件的内环形部分的内表面。
12.根据权利要求8到11任一项所述的插入件，其中各柔性构件是延长的弓形构件，其基本与所述内外环形部分同心。
13.根据权利要求12所述的插入件，其中所述柔性构件沿周向对准。
14.根据权利要求8到13任一项所述的插入件，其中所述柔性构件提供所述弹性支撑件的多个整体板状弹簧。
15.根据权利要求8到14任一项所述的插入件，其中所述金属材料包括退火钢、铝、钛、磷青铜、铍铜、铝合金以及钛合金之一。
16.根据权利要求8到15任一项所述的插入件，其中所述弹性支撑件使用粘合剂粘接于外圈。
17.一种真空泵，包括本体和被轴承装置支撑用于相对于所述本体旋转的转子，所述轴承装置包括根据权利要求8到16任一项所述的插入件。
18.一种真空泵，包括本体和转子，该转子被插入在该转子周围的插入件支撑以相对于所述本体旋转，所述插入件包括金属的环形弹性支撑件，其包括由多个柔性构件连接的内外环形部分，所述弹性支撑件延伸在滚动轴承的周围，所述滚动轴承具有内圈、固定于所述弹性支撑件的内环形部分的轴向预加载外圈以及多个设置在所述圈之间的滚珠。
19.一种组装真空泵的方法，所述真空泵包括本体和被支撑以相对于所述本体旋转的转子，所述方法包括步骤：
使得根据权利要求8到16任一项所述的插入件滑动越过所述转子直到所述支撑件的轴向端面接合所述本体，并且所述轴承的内圈的轴向端面接合所述转子；以及
将所述插入件固定到所述转子上。
CN200880003236.3A 2007-01-29 2008-01-09 组装泵插入件的方法、插入件及真空泵 Active CN101595307B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB0701609.0 2007-01-29
GBGB0701609.0A GB0701609D0 (en) 2007-01-29 2007-01-29 Vacuum pump
PCT/GB2008/050022 WO2008093134A1 (en) 2007-01-29 2008-01-09 Vacuum pump

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN101595307A true CN101595307A (zh) 2009-12-02
CN101595307B CN101595307B (zh) 2014-06-04

Family

ID=37872918

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN200880003236.3A Active CN101595307B (zh) 2007-01-29 2008-01-09 组装泵插入件的方法、插入件及真空泵

Country Status (8)

Country Link
US (2) US8851829B2 (zh)
EP (1) EP2126365B2 (zh)
JP (1) JP5585082B2 (zh)
CN (1) CN101595307B (zh)
CA (1) CA2675682C (zh)
GB (1) GB0701609D0 (zh)
TW (1) TW200840945A (zh)
WO (1) WO2008093134A1 (zh)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102884329A (zh) * 2010-05-06 2013-01-16 谢夫勒科技股份两合公司 带有液压阻尼装置的滚动轴承设备
CN103370553A (zh) * 2011-02-16 2013-10-23 厄利孔莱博尔德真空技术有限责任公司 用于真空泵的快速转动的轴的轴承装置
CN110685950A (zh) * 2019-11-13 2020-01-14 上海裕达实业有限公司 分子泵轴承结构
CN111417788A (zh) * 2017-10-05 2020-07-14 爱德华兹有限公司 轴承保持架限位器
CN112032094A (zh) * 2020-08-21 2020-12-04 瑞卡斯(南京)精密机械有限公司 一种叶轮传动轴及冷却水泵
CN113924418A (zh) * 2019-06-10 2022-01-11 爱德华兹有限公司 转子支撑件和具有这种转子支撑件的真空泵

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB0701609D0 (en) 2007-01-29 2007-03-07 Boc Group Plc Vacuum pump
JP2010203504A (ja) * 2009-03-03 2010-09-16 Ihi Corp スクイーズフィルムダンパ軸受
JP5919745B2 (ja) * 2011-11-15 2016-05-18 株式会社島津製作所 真空ポンプ
ITTO20120651A1 (it) * 2012-07-25 2014-01-26 Skf Ab Gruppo cuscinetto-mozzo per un disco per la lavorazione della terra
DE202012007700U1 (de) 2012-08-09 2013-11-12 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Vakuumpumpe
DE202013002018U1 (de) 2013-03-01 2014-06-02 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Vakuumpumpe
DE202013003683U1 (de) * 2013-04-19 2014-07-21 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Vakuumpumpe
DE102015100048B4 (de) 2015-01-06 2018-02-08 Pfeiffer Vacuum Gmbh Anordnung zur Lagerung einer Welle einer Vakuumpumpe
DE202016000655U1 (de) 2016-02-02 2017-05-03 Leybold Gmbh Lager-Dämpfungselement, Lageranordnung sowie Vakuumpumpe
WO2017145345A1 (ja) * 2016-02-25 2017-08-31 日本精工株式会社 センサ
GB2552700A (en) * 2016-08-04 2018-02-07 Edwards Ltd Turbomolecular pump lubricant supply systems
GB2557676A (en) * 2016-12-15 2018-06-27 Edwards Ltd Bearing support for a vacuum pump
BE1025345B1 (nl) * 2017-06-26 2019-02-05 Atlas Copco Airpower Naamloze Vennootschap Lagerdemperelement, lager en compressorelement uitgerust met dergelijk lagerdemperelement en werkwijze om dergelijk lagerdemperelement te vervaardigen
KR20220127908A (ko) * 2020-01-16 2022-09-20 생-고뱅 퍼포먼스 플라스틱스 렌콜 리미티드 조향 조립용 베어링

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60149524U (ja) * 1984-03-15 1985-10-04 株式会社安川電機 回転電機の軸受支持装置
US5895202A (en) * 1995-06-16 1999-04-20 Alcatel Cit Molecular drag pump
US20030111628A1 (en) * 1999-11-01 2003-06-19 Denso Corporation Method for assembling a valve in a passage in a valve system
US20050241164A1 (en) * 2004-04-28 2005-11-03 Glantz Michael F Laser level rotor assembly addressing angular drift
US20060018774A1 (en) * 2004-07-20 2006-01-26 Fausto Casaro Annular support for rolling bearings
WO2006131694A1 (en) * 2005-06-10 2006-12-14 Edwards Limited Vacuum pump

Family Cites Families (32)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2487343A (en) * 1948-04-23 1949-11-08 Laval Separator Co De Bearing assembly for centrifuges and the like
DE1425987A1 (de) 1964-07-08 1969-04-03 Matsuo Mishima Kleinstkugellager
US3639014A (en) * 1968-03-26 1972-02-01 Nat Res Dev Damped bearing
US3672699A (en) 1970-07-13 1972-06-27 Eaton Corp Automatic restraint system arming control
DE2052120A1 (de) * 1970-10-23 1972-04-27 Pfeiffer Vakuumtechnik Lageranordnung für Molekularpumpen und Turbomolekularpumpen
GB1397172A (en) 1973-05-19 1975-06-11 V Ni In K I Khim Mash Resilient rotor support for centrifugal machines
DE2359456A1 (de) 1973-11-29 1975-06-05 Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg Turbomolekularvakuumpumpe mit gasgelagertem rotor
DE3148191C2 (de) 1981-01-20 1984-03-29 Skf Kugellagerfabriken Gmbh, 8720 Schweinfurt Anordnung für die Montage einer Lagerung
CH658499A5 (en) 1982-05-26 1986-11-14 Bbc Brown Boveri & Cie Resilient supporting device for shaft bearings of high-speed rotors, in particular those of turbo machines
JPH0818989B2 (ja) 1984-01-12 1996-02-28 株式会社ミドリ十字 脂肪乳剤中のプロスタグランジンの安定化方法
US4872767A (en) 1985-04-03 1989-10-10 General Electric Company Bearing support
DE3537822A1 (de) 1985-10-24 1987-04-30 Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg Vakuumpumpe mit gehaeuse und rotor
ATE58331T1 (de) 1986-06-02 1990-11-15 Akerlund & Rausing Ab Verfahren zum abfallfreien herstellen beschichteter profile und warmgeformter behaelter.
JPH0633938A (ja) † 1992-07-13 1994-02-08 Chuo Spring Co Ltd 回転軸の軸受構造
DE19613471A1 (de) 1996-04-04 1997-10-09 Asea Brown Boveri Lagerabstützung für schnellaufende Rotoren
DE19709205A1 (de) 1997-03-06 1998-09-10 Leybold Vakuum Gmbh Vakuumpumpe mit Wellenlagerung
DE19834111A1 (de) 1998-07-29 2000-02-03 Asea Brown Boveri Radiallager
JP4426049B2 (ja) 1999-03-31 2010-03-03 エドワーズ株式会社 磁気軸受装置及び真空ポンプ
JP2001132480A (ja) * 1999-11-01 2001-05-15 Denso Corp 内燃機関用吸気制御装置
FR2804476B1 (fr) * 2000-01-31 2002-04-12 Cit Alcatel Systeme amortisseur et centreur de roulement pour pompe a vide sur palier magnetique
US6515288B1 (en) 2000-03-16 2003-02-04 Applied Materials, Inc. Vacuum bearing structure and a method of supporting a movable member
FR2817289B1 (fr) 2000-11-30 2003-01-31 Snecma Moteurs Dispositif de centrage d'un tube dans un arbre de turbine
JP4669510B2 (ja) 2004-04-22 2011-04-13 オットー ボック ヘルスケアー エルピー 衝撃吸収及び制御回転を有する補綴デバイス用の真空ポンプ
GB2415019A (en) * 2004-06-07 2005-12-14 Boc Group Plc A supporting arrangement for a roller bearing
CN100432446C (zh) 2004-06-25 2008-11-12 株式会社大阪真空机器制作所 涡轮分子泵的轴承支承结构
CN2821259Y (zh) * 2004-12-07 2006-09-27 范海晓 滚珠式磁力单向轴承
CN2789499Y (zh) * 2005-01-06 2006-06-21 常州滚针轴承厂有限公司 改进型拉式自调心离合器分离轴承总成
GR20050100216A (el) 2005-05-04 2006-12-18 i-sieve :����������� ����������� ������������ ����������� �.�.�. Πιθανοθεωρητικη μεθοδος συντηξης πληροφοριας για διηθηση πολυγλωσσικου, ημιδομημενου και πολυμεσικου ηλεκτρονικου περιεχομενου
GB0509190D0 (en) 2005-05-05 2005-06-15 Boc Group Plc Vacuum pump
JP2008002650A (ja) * 2006-06-26 2008-01-10 Hitachi Powdered Metals Co Ltd 動圧軸受ユニット及びその製造方法並びにスピンドルモータ
DE102006037187A1 (de) * 2006-08-09 2008-02-21 Pfeiffer Vacuum Gmbh Anordnung zur Lagerung einer Welle einer Vakuumpumpe
GB0701609D0 (en) 2007-01-29 2007-03-07 Boc Group Plc Vacuum pump

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60149524U (ja) * 1984-03-15 1985-10-04 株式会社安川電機 回転電機の軸受支持装置
US5895202A (en) * 1995-06-16 1999-04-20 Alcatel Cit Molecular drag pump
US20030111628A1 (en) * 1999-11-01 2003-06-19 Denso Corporation Method for assembling a valve in a passage in a valve system
US20050241164A1 (en) * 2004-04-28 2005-11-03 Glantz Michael F Laser level rotor assembly addressing angular drift
US20060018774A1 (en) * 2004-07-20 2006-01-26 Fausto Casaro Annular support for rolling bearings
WO2006131694A1 (en) * 2005-06-10 2006-12-14 Edwards Limited Vacuum pump

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102884329A (zh) * 2010-05-06 2013-01-16 谢夫勒科技股份两合公司 带有液压阻尼装置的滚动轴承设备
CN102884329B (zh) * 2010-05-06 2015-05-20 谢夫勒科技股份两合公司 带有液压阻尼装置的滚动轴承设备
CN103370553A (zh) * 2011-02-16 2013-10-23 厄利孔莱博尔德真空技术有限责任公司 用于真空泵的快速转动的轴的轴承装置
CN111417788A (zh) * 2017-10-05 2020-07-14 爱德华兹有限公司 轴承保持架限位器
CN111417788B (zh) * 2017-10-05 2021-11-05 爱德华兹有限公司 轴承保持架限位器
US11506212B2 (en) 2017-10-05 2022-11-22 Edwards Limited Bearing cage retainer
CN113924418A (zh) * 2019-06-10 2022-01-11 爱德华兹有限公司 转子支撑件和具有这种转子支撑件的真空泵
CN113924418B (zh) * 2019-06-10 2024-05-07 爱德华兹有限公司 转子支撑件和具有这种转子支撑件的真空泵
CN110685950A (zh) * 2019-11-13 2020-01-14 上海裕达实业有限公司 分子泵轴承结构
CN110685950B (zh) * 2019-11-13 2021-05-25 上海裕达实业有限公司 分子泵轴承结构
CN112032094A (zh) * 2020-08-21 2020-12-04 瑞卡斯(南京)精密机械有限公司 一种叶轮传动轴及冷却水泵

Also Published As

Publication number Publication date
WO2008093134A1 (en) 2008-08-07
JP2010516972A (ja) 2010-05-20
TW200840945A (en) 2008-10-16
US9759256B2 (en) 2017-09-12
US20140369831A1 (en) 2014-12-18
US8851829B2 (en) 2014-10-07
JP5585082B2 (ja) 2014-09-10
GB0701609D0 (en) 2007-03-07
EP2126365B1 (en) 2012-05-30
EP2126365B2 (en) 2015-12-09
US20100135784A1 (en) 2010-06-03
CA2675682A1 (en) 2008-08-07
CN101595307B (zh) 2014-06-04
EP2126365A1 (en) 2009-12-02
CA2675682C (en) 2014-04-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101595307A (zh) 真空泵
US8186937B2 (en) Vacuum pump
EP2093439B1 (en) Frustoconical ball bearing and preloaded ball bearing assemblies
US9115756B2 (en) Replaceable axial journal for auxiliary bearings
AU2007355000A1 (en) Radial foil bearing with sealing function
WO2010024473A1 (en) Thrust foil bearing
JP2006525466A (ja) 真空ポンプ
CN101944791B (zh) 发电机转子轴承预压的方法和设备
CN105423077B (zh) 一种精密转台垂直轴系
CN103850978A (zh) 滚动轴承的支承件
CN104254699A (zh) 滚子轴承组以及对应的旋转机器
JP2011525589A (ja) 高速回転軸のための軸配置
WO2006117515A1 (en) Vacuum pump
JP2014506981A (ja) 真空ポンプの軸を高速に回転するための軸受構造
CN102135135B (zh) 组合轴承
CN105889315A (zh) 滚动轴承以及包括该滚动轴承的机械系统
JP2004526107A (ja) 先細りころ軸受組立体を形成する方法
US20130022303A1 (en) Angular contact bearing assembly with clearance control
CN1923609A (zh) 踏板
CN208982511U (zh) 一种自带安装定位的异性滚针轴承
CN218598650U (zh) 一种采用单列角接触结构的轴连轴承
CN112072829B (zh) 旋转传递组件及电机
GB2552964A (en) Rotating machine and method of manufacture
EP3056853A1 (en) Bearing assembly with overload protection
CN113565587A (zh) 低压涡轮转子动平衡工装、组件及方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C53 Correction of patent of invention or patent application
CB03 Change of inventor or designer information

Inventor after: Siew Chan-Cheong

Inventor after: Tollner Ernst M.

Inventor after: FLOWER PAUL

Inventor before: Siew Chan-Cheong

Inventor before: Tollner Ernst M.

Inventor before: Flower Paul

COR Change of bibliographic data

Free format text: CORRECT: INVENTOR; FROM: B. D. BREWSTER M . E . TAHLNER P. FLOER TO: B. D. BREWSTER M . E . TAHLNERP. D. FLOER

C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant