TW200824797A - Coating device - Google Patents

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200824797 九、發明說明： [相關申請案] 本申明案係，主張基於曰本專利申請案2〇〇6一 u號之優先權。 【發明所屬之技術領域】 m 本發明係有關使設置有用以供給塗布液之呈裂缝狀之 流出口之塗布用模具對於被塗布物相對地移動，而使從上 述流出口供給塗布液至被塗布物表面之塗布裝置，特別 籲是’具有即使在使用高黏度塗布液之情形，也能將此^莴 黏度塗布液薄而平滑且平均地塗布至被塗布物表面之特徵 者。 【先前技術】 以往以來’在製造電漿顯示面板、有機電激發光 ^leCtr〇luminescence )顯示器面板、液晶顯示器面板等之 時，進行於玻璃基板、樹脂薄膜、金屬箱等各種被塗布物 鲁表面’經由塗布裝置塗布各種塗布液。 而且，以此種塗布裝置而言，例如，如第]圖所示， 使用將於尖端設置有呈裂缝狀之流出口 u之塗布用模具 1 〇設置於自呈板狀之被塗布物i表面隔著所需間隔之間隙 GP之位置，一面使此塗布用模具1〇相對於上述被塗布物 1移動，同時從此塗布用模具1〇之呈裂缝狀之流出口 n 供給塗布液2至上述被塗布物丨表面，於被塗布物丨表面 塗布塗布液2者。 而且，近年來，正研究在如上述般進行塗布塗布液2 319276 5 200824797 於被塗布物i表面之時，為了使塗布液2等之成本減低， 隨著使塗布液2中含有之溶劑量減少，同時使於塗布於被 塗布物1表面之塗布液2厚度變薄之方法。 ， 在此，若如上述般使塗布液2中含有之溶劑量減少， 則此塗布液2黏度增加，而為了如此般將黏度高之塗布液 2»如上述般進行薄塗布於被塗布物丨表面，若加速塗布用 模具10之移動速度，則供給於被塗布物丨表面之塗布液2 蠢被金布用核具1〇拖行，因此有出現塗布不均 生冷布 •液中斷等之問題。 ）土布 —此外’為了抑制如上述之塗布不均和塗布液中斷，在 ，小塗布甩模具10與被塗布物i表面之間隙g/時，即如 弟2圖所示般，呈現從流出口 11至被塗布物1表面所供给 之塗^液2轉入至與塗布用模具1〇之移動方向相反側部= 之狀態被塗布至被塗布物丨表面，雨於被塗布物i表面所 塗布之塗布液2表面有出現凹凸不平之問題。 鲁此外，近年來，在從如上述之塗布用模具將塗布液塗 布於由全被支承輥（backup r〇11)架設移動之網（Mb)組 成之被塗布物之時，如日本專利公開2〇〇3_ 236434號公報 所不般，提出有相對於上述塗布用模具於由網組成之被塗 布物之私動方向上流侧設置減壓室，經由此減壓室使從塗 f用模具至被塗布物供給塗布液之上錢部分呈現減壓狀 控制供給於被塗布物之塗布液後跟部分，而抑制 不均產生等者。 然而，如第3圖所示，於塗布用模具1〇之移動方向下 319276 6 200824797 _設置減Μ室3，讀此朗室3㈣㈣㈣經由減 昼泵3b減壓至預定壓力，使從塗布用才莫具ι〇至被塗布物 表面供給塗布液2之下游側部分呈減壓狀態之情形，若此 .減壓室3下緣與被塗布物！表面間之間隙間隔s變大，則 外部空氣透過關隔流人至減壓室3内，而變的益法使供 給於被塗布物i表面塗布液2之下游側部份適當地減慶， 特別是，在如上述般將高黏度之塗布液2薄塗布於被塗布 物1表面時，依然有出現塗布不均等之問題。 、另-方面，為了抑制外部空氣透過減壓室3下緣與被 塗布物1表面間之間隙流入減壓室3内而使此間隙間隔S 縮至非常小時，因塗布用模具1〇移動時之震動或被塗布物 1表面之凹凸等，此減壓室3下緣接觸被塗布物i表面， 而有使被塗布物1表面損傷等之問題。 【發明内容】 (發明欲解決的課題） 本發明係以解決在使於尖端設置有用以供給塗布液之 呈裂缝狀之流出口之塗布用模具對於被塗布物相對地移 動，而從上述流出口供給塗布液至被塗布物表面之塗布裝 置中之如上述之問題做為課題者。 換言之，在本發明中，即使在使用高黏度塗布液之情 形，也能將此高黏度塗布液薄而平滑且平均地塗布至被塗 布物表面做為課題者。 土 (解決課題的手段） 本發明係使在為了解決如上述之課題而提供一種塗布 319276 7 200824797 裝置’使於尖端設置有用以供給塗布液之呈裂 之 口之塗布用槙具對於被塗布物相對地移動，而從上述^出 口供給塗布液至被塗布物表面，其中，在從上述流出口供 •給塗布液至被塗布物之位置附近設置使氣體向塗布用模具 -之移動方向下游側部分喷出之氣體喷出裝置，且使此氣體 喷出裝置向塗布用模具之移動方向下游側傾斜噴出氣體。 在此’為了經由上述氣體噴出裝置，而在供給塗布液 之位置附近使氣體向塗布用模具之移動方向下游側部分穩 定的噴出，將此氣體喷出裝置安裝於上述塗布用模具較為 此外，在上述塗布裝置巾，係以將上述氣體噴出裝置 中之氣體喷出口在上述呈裂缝狀之流出口之全报# 連續之裂缝狀較為理想。白开/成 此外，在如上述般使氣體噴出裝置於塗布用模具之浐 動方向下游㈣使氣體從氣时出裝置喷出之時，、使二 二= 上述被塗布物之垂直方向向塗布用模具之移動方： =側傾斜1〇。至70。之範圍而喷出較為理想，更理相俜 使其傾斜在20。至40。之範圍使氣體噴出。 -糸 (發明的效果） 柄明之”裝置中，係在如上述般—面使塗布用 ，、對於被塗布物相對地移動，同時從設置於塗布用模且， 端之呈裂縫狀之流出π供給塗布液至被塗布夕了 因在供給塗布液之位置附近於塗布用模具之移動方向= 側部分’使氣體喷出裝置向塗布用模具之移動方向下㈣ 319276 8 200824797 喷出氣體，而在供給塗布液之位置附近塗布用模具之移動 方向下游側部分中之空氣被上述氣體拖行而呈減壓狀態。 因此，變的能適當地控制於被塗布物所供給之塗布液之後 •跟（heel)部份同時，即使於被塗布物表面有灰塵等存在， •此灰塵等也會被上述氣體從被塗布物表面去除。 斤結果，於已去除灰塵等之被塗布物表面能使塗布液 呈適當狀態而平均地塗布，即使在使甩高黏度塗布液之情 形’也能將此種高黏度塗布液薄而平滑且均勻地塗布至被 •塗布物表面。 二此外，若使上述氣體喷出裝置中之氣體喷出口於塗布 用杈具大端之王裂缝狀之流出口之全長中皆形成連續之裂 =狀’則經由從上述氣體噴出口使其喷出之氣體，從上述 流^口適當地去除在供給塗布液之被塗布物表面之灰塵之 同％ ’在塗布用模具中之流出口之全長中塗布用模具之移 動方向下游側部分中之空氣皆平均被拖行而呈現均勻之減 此…果’塗布液以較均句之狀態被供給至被塗布物名 面，而塗布液較均勾地被塗布至被塗布物表面，且即使名 :吏用高黏度塗布液之情形，也能將此種高黏度塗布液薄雨 較平滑且均勻地塗布至被塗布物表面。 在如上述般使氣體喷出裝置傾斜於塗布用模且 =動方向下游側而使氣體從氣體噴出裝置嘴出之時，、I :::被塗布物之垂直方向喷出之情形，使其傾斜 用权具之移動方向下游側在1〇。至7〇。之範圍而使氣體 319276 9 200824797 噴出，則在供給塗布液之位置附近塗布用模具之移動方向 I游側部分中之空氣被上述氣體適當地拖行而呈現減壓狀 態，而塗布液以適當狀態被供給至被塗布物表面。特別是， •若使其傾斜在20。至40。之範圍而使上述氣體，則即使減 、少使其喷出之氣體量，也得到適當之藏壓狀態。 本發明之此等與其他目的、優點及特徵可萨甴社人下 【實施方式】 壯以下，依據附圖具體說明有關本發明之實施例之塗布 裝置。再者，有關本發明之塗布裝置係不被如下述實施例 所示者所限定，在不變更發明主旨之範圍中，即能適當變 更實施。 即使在此實施例中之塗布裝置中，如第4圖所示般， ^尖㈣置有呈裂缝狀之流出口 u之塗布賴具⑽設 置於自呈板狀之被塗布物！表面隔著所需間隔隙Gp 之位置。 ^然後’一面使此塗布用模具1〇相對於上述被塗布物」 亦:太液2至上返被塗布物1表面，於被塗布物1表面塗 布塗布液2。 5圖二此加在此實施例中之塗布裝置中，係如第4圖及第 面右在如上述般使塗布液2塗布至被塗布物1表 曲之際之塗布用模呈1〇 ψ ?Λ ^ 、/、 私動方向下游側，將氣體喷出裝 南模具1〇之縱向安震，而從氣體供給泵21 319276 10 200824797 藉由壓力調整閥22供給高壓氣體至此氣體喷出裝置2〇。 此外，從此氣體喷出裝置20使氣體喷嘴從上述塗布用 模具10之流出口 Π向供給塗布液2之被塗布物1表面侧 •延伸同時，將此氣體喷嘴23尖端部朝塗布用模具1〇之移 *動方向下游侧折彎，且在此氣體喷嘴23尖端設置有呈裂缝 狀之氣體喷出口 23a。然後，使此氣體喷出口 20傾斜於塗 布用模具1〇之移動方向下游側而使高壓氣體從此氣體噴 出裝置贺出。再者，在此氣體喷嘴23尖端之呈裂缝狀之氣 體喷出口 23a係，在上述塗布用模具1〇尖端之呈裂缝狀之 流出口 11之全長中皆形成連續之裂缝狀。 而且，在此實施例中之塗布裝置中，在塗布塗布液2 於被塗布物1表面之時，係如上述般一面使塗布用模具 相對於被塗布物1移動，同時從此塗布用模具1〇之呈裂縫 狀之流出口 11供給塗布液2至上述被塗布物〗表面。然 後，如此般從塗布液2被供給至被塗布物1表面之位置至 ⑩塗布用模具10之移動方向下游侧附近，經由上述氣體噴出 裝置顧氣體噴嘴23尖端之呈裂缝狀之氣體喷= 23a，使其傾斜於塗布用模具1() <移動方向下游側使而高 壓氣體喷出。 若如此般從氣體噴嘴23尖端之呈裂缝狀之氣體喷出 口 2 3 a使其傾斜於塗布用模具丨Q之移動方向下游側而使高 麼氣體喷出’則存在於被塗布物^表面之灰塵等被此高壓 氣體從被塗布物1表面被去除同時，如第6圖所示般，供 給塗布液2之位置至塗布用模具1〇之移動方向下游側附近 319276 11 200824797 之空氣，如上述般被所喷出之高壓氣體拖行而呈減壓狀 態，而因此能適當地控制於被塗布物1所供給之塗布液2 之後跟部分2a 〇 ^ 然後，如此般經由使於被塗布物1所供給之塗布液2 a之後跟部份2a適當地控制，即使在使用高黏度塗布液2 之情形，擴大塗布用模具1〇尖端之呈裂鏠狀之流出口 n 與被塗布物1表面之間隙Gp，也能進行將此種高黏度塗布 液2薄而平滑且平均地塗布至被塗布物1表面。 在此，如上述般從塗布用模具〗〇尖端之呈裂缝狀之流 出口 11供給塗布液2至被塗布物〗表面，在塗布塗布液1 於被塗布物1表面之時，例如，使黏度1〇〇〇〇cps程度之高 黏度塗布液2,塗布於被塗布物i表面至1〇至3〇#m範圍 預定膜厚d時，在以往中，係若塗布用模具1〇尖端之 呈裂，狀之流出口 11與被塗布物1表面之間隙Gp變大， 如月il述第2圖所不般’從流出口 ^】至被塗布物工表面所 =之塗布液2呈轉人至與塗布用模具1Q之移動方向相反 出頰之狀怎，於被塗布物1表面所塗布之塗布液2表面 出現凹凸，而將如上述之高黏度㈣液 布 於被塗布物i表面有_。 畅千^地皇布 i於此如上述實施例所示之塗布 氣體噴嘴23,丨、唑+ D 邛衣置奴，右使從 用模具10之=古壬裂縫狀之氣體喷出口 23&傾斜於塗布 塗布用模具^ 下游側而使高壓氣體噴出，則即使將 八 大碥之呈裂縫狀之流出口11盥|泠^# 面之間隙Gp相對#ώ破塗布物表 相對於預疋厚度d設定於 319276 12 200824797 之l(L圍’不會產生塗布不均和塗布液中斷此種問題，也能 將高黏度塗布液2薄而平滑且平均地塗布至被塗布物i表 面。 Λ再者，在上述實施例中之塗布裝置中，使塗布用模具 ▲ 10相對於被塗布物1移動，但使此塗布用模具1〇固定而 使被塗布物1移動也是為可能。 _本發明雖已以實施例方式完整說明，但咸信於此項技 傷術領域中具有通常知識者，可明顯瞭解各種變化與修改。 斤因此’除非S亥等變化與修改悖離本發明之範疇，否則 該等變化與修改皆應包含於本發明中。 【圖式簡單說明】 、、第1圖係表示在以往之塗布裝置中，使塗布液塗布至 被塗布物之狀態之示意說明圖。 第2®係表示在以往之塗布裝置中，在縮小塗布用模 鲁：ί、給，塗布液轉入至與塗布用模具之移動方向相反側部 分之狀態之示意說明圖。 第3圖係表不在設置減壓室於塗布用模具之移動方向 下游1 則之以往塗布裝置中，使塗布液塗布至被塗布物表面 之狀悲之示意說明圖。 ,第4圖係表示在有關本發明之一實施例之實施裝置 中，，塗布液塗布至被塗布物表面之狀態之示意說明圖。 =5圖係在同實施例中之塗布裝置中，從設置氣體喷 才之^布用模具之移動方向下游側之示意說明圖。 319276 13 200824797 塗布至被塗布物表面之狀態置尹 【主要元件符號說明】 1 被塗布物 2 塗布液 2a 後跟部份 3 減壓室 3a 調整閥 3 b 減壓泵 10 塗布用模具 11 流出口 20 驅動裝置 21 氣體供給泵 22 23a 壓力調整閥 氣體喷出口 23 氣體噴嘴 d 於被塗布物所塗布之塗布液之膜厚 Gp s 塗布用模具尖端 間隔 之流出口 與被塗布物表 使塗布液 間之間隙 319276 14

Claims (1)

1. 200824797 十、申請專利範圍·· 1· 一種塗布裝置，使於尖端設置有用以供給塗布液之呈裂 缝狀之流出口之塗布用模具對於被塗布物相對地移 , 動，而從上述流出口供給塗布液至被塗布物表面，其 ：中，在從上述流出口供給塗布液至被塗布物之位置附近 没置使氣體向塗布用模具之移動方向下游側部分喷出 之氣體噴出裝置，且使此氣體喷出裝置向塗布用模具之 移動方向下游側傾斜喷出氣體。 2.如申請專利範圍第丨項之塗布裝置’其中’上述氣體 出裝置係安裝於上述塗布用模具。、 3·=申晴專利範圍第1項之塗布裝置，其巾，上述氣體 入且山孔版贺出口，係在上述呈裂缝狀之流出口之 王長中皆形成連續之裂缝狀。 出利2項之塗布裝置，其中，上述氣體噴 王長中皆形成連續之裂縫狀。 ra之 5.如中請專難圍第」項之塗布襄置，並伯 體噴出裝置向涂布用炉 ，、，在使上述氣 “之¥，從對於被塗布垂 計貝出 移動方向下游側傾斜10。至7〇 ::向塗布用模具之 噴出。 之靶圍而使上述氣體 6.如申請專利範圍第2 壯 體噴出裝置向塗:/布衣置，其中，在使上述氣 •時，從對於被塗布物之垂直傾斜喷出 罝方向向塗布用模具之 319276 15 200824797 移動方向下游侧傾斜10°至7(Γ之範圍而使上述氣體 % 喷出。 7.如申請專利範圍第3項之塗布裝置，其中，在使上述氣 ； 體喷出裝置向塗布用模具之移動方向下游侧傾斜喷出 ' 氣體之時，從對於被塗布物之垂直方向向塗布用模具之 ♦ 移動方向下游侧傾斜10°至70°之範圍而使上述氣體 喷出。

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