TW200823123A - Conveyer of surface treatment device - Google Patents

Description

200823123 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於表面處理裝置的輸送機。亦即，關於在 基板的製造步驟中使用，藉由處理液來對基板材進行表面 處理的表面處理裝置之輸送機。 【先前技術】 <<技術背景>> 被電子機器所使用的電路用之基板的小型輕量化、極 薄化、撓性化的進展係異常顯著，形成的電路也明顯地微 型化、高密度化。 然後，在這種基板製造步驟中，使用了表面處理裝置， 藉由藥液或洗淨液等等的處理液來對基板材進行處理表 面。 <<習知技術>> 在這種表面處理裝置中，藉由輸送機的直滾子和轉輪 製之上下搬送滾子來對基板材進行水平搬送，從噴嘴噴射 處理液，因此依序實施表面處理，形成電路並製造基板。 然後，在大多數情況下，輸送機和噴嘴係配設在大氣 中·空氣中，藉由在大氣中·空氣中噴射的處理液來對基 板材進行處理表面。 相對於此，也正在開發將輸送機和噴嘴配設在處理液 中並進行表面處理的表面處理裝置。亦即，也出現了在充 滿處理液的液槽中配設輸送機和噴嘴，因此藉由液中噴射 的處理液，來對極薄且柔軟的基板材進行表面處理的表面 200823123 處理裝置。 < <先行技術文獻資訊> > 作爲這種表面處理裝置，能舉出例如下述專利文獻1、 2中所示者。專利文獻1係關於空中噴射方式者，專利文 獻2係關於液中噴射方式者。 [專利文獻1]特開2002-6 84 3 5號公報 [專利文獻2]特開平1 0-079565號公報 <<關於特願 2006-264 1 89〉〉 此外，本發明者以及申請人係在液中噴射方式的表面 處理裝置方面，進一步進行硏究開發，在平成18年9月28 號申請了專利特願2006-264 1 89。 此專利申請之宗旨係在表面處理裝置的輸送機方面， 於基板材之電路形成面上，採用以無接觸之方式只運送兩 側端面的夾持滾子來作爲搬送滾子。 然後，期待能有以下效果：關於極薄且柔軟的基板材， 解決空中噴射方式中被指摘的噴射藥液造成之渦流、液體 停滯，或是其壓力或重量造成的變形事故等等，同時也能 防止液中噴射方式中被指摘的電路形成面之損傷（本發明 係此專利申請的改良發明）。 【發明內容】 [發明欲解決的問題] 不過，關於這種習知範例的表面處理裝置，則被指出 了以下問題。 <<第1問題>> 200823123 第1，被指出了被搬送的基板材容易在搬送滾子之間 發生下垂的事故，無法穩定地搬送基板材。 亦即，這種基板材係因極薄化而虛弱柔軟，但這種基 板材係在輸送機的搬送滾子之間的間隔縫隙中’容易因噴 射之藥液的壓力或重量而下垂。因而，無法穩定搬送基板 材，容易變成基板材之變形、彎曲、折斷、皺折、捲縮、 落下等等之搬送事故的發生原因。 <<第2問題>> 第2，被指出了容易發生被搬送的基板材容易捲附在 搬送滾子的事故，從這點看來，也無法穩定地搬送基板材。 亦即，本身虛弱柔軟且被處理液浸濕的基板材係特別 容易附著且捲附於輸送機的上段搬送滾子。因此，從這點 看來，容易妨礙基板材之穩定搬送，演變成各種搬送事故 的發生原因。 <<第3問題〉〉 第3，被指出了在上下的搬送滾子之間，常無法以適 當的夾持壓力來確實地夾持基板材，從這點看來，也無法 穩定地搬送基板材。 亦即，在表面處理裝置的基板材搬送方面，有時候會 達到數m〜數1 0m，此時，並不容易將輸送機的各搬送滾 子設定成分別以適當均等的夾持壓力來運送極薄的基板 材。藉由搬送滾子，因爲表面處理裝置內各處微妙的上下 高度準位差異，容易造成上下之間夾持壓力超過或不足， 因此無法確保搬送精度，從這點看來，容易妨礙基板材之 200823123 穩定搬送，演變成各種搬送事故的發生原因。 <<關於本發明>> 本發明的表面處理裝置係有鑑於這種情況，爲解決上 述習知例的問題，發明者專心硏究努力的結果而成者。 然後，本發明之目的係在於提供一種表面處理裝置的 輸送機：第1，防止基板才的下垂等等；第2，也能防止蜷 曲等等，第3，能夠以適當的夾持壓力來實現高精密度的 搬送。 [解決問題的辦法] <<關於申請專利範圍〉> 解決這種問題的本發明之技術手段係如同以下。首 先，關於申請專利範圍第1項，如下所述。 申請專利範圍第1項的表面處理裝置之輸送機係使用 於基板的製造步驟。表面處理裝置的輸送機，其特徵爲： 具有：液槽，其充滿處理液；輸送機，其配設在該液槽內 且對該基板材進行液中搬送；以及噴嘴，其配設在該液槽 內，使該處理液進行液中噴射。該輸送機係以在搬送方向 上排列設置有夾持滾子，該夾持滾子係以不接觸基板材電 路形成面的方式，僅夾持其兩側端面並運送之。然後，該 夾持滾子係在外周形成溝槽，並且利用該溝槽來設置該基 板材的穩定搬送手段。 關於申請專利範圍第2項如下。申請專利範圍第2項 的輸送機在申請專利範圍第1項中，該輸送機係水平搬送 該基板材，該夾持滾子係在上下成對的同時被配置在左 200823123 右’從上下夾持該基板材之左右兩側端面並運送之。 關於申請專利範圍第3項如下。申請專利範圍第3項 的輸送機在申請專利範圍第2項中，在下段的各該夾持滾 子中，線材係架設在相互的該溝槽之間，以作爲用於防止 該基板材下垂等等的該穩定搬送手段。 關於申請專利範圍第4項如下。申請專利範圍第4項 的輸送機在申請專利範圍第3項中，該線材係由線絲所組 成，而且其直徑係比該溝槽寬度還要小。 關於申請專利範圍第5項如下。申請專利範圍第5項 的輸送機在申請專利範圍第2項中，在上段的該夾持滾子 中，圓環係嵌入該溝槽內，以作爲用於防止捲附至該基板 材等等的該穩定搬送手段。 關於申請專利範圍第6項如下。申請專利範圍第6項 的輸送機在申請專利範圍第5項中，該圓環係不動地固定 於該溝槽，並且一部份突出至該溝槽外。 關於申請專利範圍第7項如下。申請專利範圍第7項 的輸送機在申請專利範圍第2項中，下段的該夾持滾子之 上下高度準位係保持一定。然後，上段的該夾持滾子係被 保持爲上下高度準位可變更，並且根據所附設之重壓手段 的壓下力而壓接於下段的該夾持滾子，藉以夾持該基板並 運送之。 關於申請專利範圍第8項如下。申請專利範圍第8項 的輸送機在申請專利範圍第7項中，該重壓手段係介由緩 衝材料及軸承金屬而被載置於上段的該夾持滾子之軸。 -10- 200823123 關於申請專利範圍第9項如下。申請專利範圍第9項 的輸送機在申請專利範圍第1、3、5或7項中，該輸送機 係可也以用於在該表面處理裝置和該表面處理裝置之間的 間隔空間中搬送該基板材。 關於申請專利範圍第1 0項如下。申請專利範圍第1 〇 項的輸送機在申請專利範圍第1、3、5或7項中，該表面 處理裝置係被使用於基板之製造步驟的顯影步驟、蝕刻步 驟、剝離步驟或者洗淨步驟；該處理液係由顯影液、鈾刻 液、剝離液或者洗淨液所組成；該基板材係由撓性基板材、 其他極薄之軟性基板材所組成。 <<關於作用等等〉〉 本發明係因爲由這種手段所構成，所以如下所述。 (1) 此表面處理裝置係在基板製造步驟中被使用，對極薄且 柔軟的基板材進行表面處理。 (2) 然後，在塡滿與被噴射之處理液相同的處理液的液槽 中，配設輸送機和噴嘴。 (3) 另外，在輸送機中，夾持滾子係夾持基板材的兩側端面 並運送之。 (4) 那麼，藉由此表面處理裝置的輸送機，如下所述。首先， 在下段的夾持滾子的溝槽之間，因爲架設有線絲等等的 線材，所以能防止基板材因夾持滾子之間的間隔縫隙而 下垂的事故。 (5) 另外，因爲在上段的夾持滾子的溝槽中嵌入圓環，且部 分地突出至溝槽外，所以能防止基板材捲附在夾持滾子 -11- 200823123 上。 (6) 此外，上段的夾持滾子係依據重壓手段的壓下力，調整 至恰到好處且均等的夾持壓力，並壓接至下段的夾持滾 子。 (7) 此外，此輸送機係也被用於在表面處理裝置之間的間隔 空間中搬送基板材。然後，前述（5)之防止捲附的優點 在此間隔空間中特別有效。 [發明的效果] <<第1效果>> 第1，能防止被搬送之基板材的下垂，且能實現基板 材的穩定搬送。亦即，在本發明的表面處理裝置之輸送機 中，在下段的夾持滾子的溝槽之間，架設有線絲等等的線 材。 因此，基板材係在滾子之間，能夠避免前述這種習知 例般地下垂，進而穩定地搬送，另外，也能迴避基板材之 變形、彎曲、折斷、皺折、捲縮、落下等等事故。 <<第2效果>> 第2，能防止被搬送之基板材捲附到滾子上等等，從 這點看來，也能實現基板材的穩定搬送。 亦即，在本發明的表面處理裝置的輸送機中，在上段 的夾持滾子的溝槽中嵌入圓環。因此’基板材係不會如前 述這種習知例般地發生捲附在滾子上的情形’可穩定地被 搬送，從這點看來，能防止發生各種搬送事故。 <<第3效果>> 200823123 第3，以適當的夾持壓力來搬送基板材，從這點看來， 也能實現基板材的穩定搬送。 亦即，在本發明之表面處理裝置的輸送機中，上段的 夾持滾子係藉由重壓手段而壓接至下段的夾持滾子。因 此，基板材係被高精度且確實地夾持搬送，從這點看來， 相較於前述這種習知例，能更正確地被穩定搬送，並防止 發生各種搬送事故。 如這般，這種習知範例中存在的問題係全部被解決等 等，本發明的發揮效果係顯著且龐大。 【實施方式】 < <關於圖式> > 以下，根據用於實施圖面所示之發明的最佳形態，來 詳細說明本發明的表面處理裝置。 第1圖〜第4圖係提供實施本發明之最佳形態的說。 然後，第1(1)圖係主要部分的側面圖，第1(2)圖係主要部 分的正面圖，第1(3)圖係上段的夾持滾子的側面圖。第2 圖係正截面圖，第3圖係間隔空間等等的側截面說明圖’ 第4圖係側截面說明圖。 < <關於基板> > 本發明的表面處理裝置1係在基板的製造步驟中被使 用。因而，首先就基板進行說明。 被用於電子機器的印刷接線基板等等的電路基板係小 型輕量化、極薄化、微細電路化、高密度電路化、多層化 等等的進展顯著。關於電路基板的軟硬，和一直以來的硬 200823123 固基板之硬性基板相比，撓性基板之其他極薄且柔軟之軟 性基板的進展、增加很顯著，半導體零件與電路被組合成 一體的半導體封裝基板的普及化也急速進行。 因此，作爲最近的基板要求度，係被極薄化、微細化 至板厚爲50//m〜25//m左右，電路寬度L和電路之間的 空間S爲30/zm〜20//m左右。 然後，這種基板係藉由例如跟隨以下的製造步驟而被 製造。亦即，在由銅張力積層板所形成的基板材A的外表 面上，塗佈或者貼上光敏阻蝕劑之後，-安排電路的負 片並將之曝光後，—藉由顯影來溶解除去電路形成部分之 外的光阻，—藉由蝕刻來溶解除去電路形成部分之外的銅 箔以後，-> 藉由剝膜除去電路形成部分的光阻，—藉由銅 箔，在基板材A的外表面上形成電路，-因此，製造出基 板。 基板就成爲這種型態。 <<關於表面處理裝置1>> 表面處理裝置1係被用於這種基板的製造步驟，且藉 由處理液B來對基板材A進行表面處理。關於表面處理裝 置1，將參照第4圖來進一步詳述。 此表面處理裝置1係在基板的製造步驟（例如顯影步 驟、蝕刻步驟、剝離步驟、或者洗淨步驟）中，被用作爲 顯影裝置、蝕刻裝置、剝離裝置或者洗淨裝置。然後，在 此處理室2內，從噴嘴4對輸送機3所搬送的基板材A， 噴射例如顯影液、蝕刻液、剝離液、或是洗淨液等等的處 -14- 200823123 理液B，因而，基板材A被進行了藥液處理或洗淨處理、 表面處理。 然後，表面處理裝置1係在此處理室2內，具有液槽 5、輸送機3、噴嘴4、貯槽6等等。 液槽5係被處理液B所塡滿。亦即，液槽5係被形成 在處理室2的上部，並使用兼作爲輸送機框架的框架劃分 壁7而被形成，且被與從噴嘴4噴射之處理液B相同的處 理液B所塡滿。 輸送機3係被配設在液槽5的處理液B內，在搬送方 向C上對基板材A進行液中搬送，並具備多數夾持滾子8、 9。多數噴嘴4係配設在液槽5的處理液B內，且位於面對 被搬送之基板材A的電路形成面C，並液中噴射處理液B。 處理液B係從處理室2下部的貯槽6，介由泵浦1 0和 配設管線1 1，被各噴嘴4以壓力推送，因而朝向基板材A 噴射。然後，後從基板材A反射，反彈回來的處理液B係 被液槽5中的處理液B所吸收，其結果，從液槽5溢出的 處理液B係在下部的貯槽6被回收並儲存，事後再被循環 使用。 此外，圖示的噴嘴4係朝向基板材A的內外兩面而被 配設成互相面對，但是也考慮到了基板材A在電路开彡$ ® D只有單面的單面基板之情況下，僅朝向此單面而被配設 成互相面對的情況。 表面處理裝置1係以此方式形成。 <<關於輸送機3的槪要>> -15- 200823123 以下，首先，參照第2圖、第4圖說明關於這種表面 處理裝置1的輸送機3。 在輸送機3中，不接觸到基板材A的電路形成面D， 僅夾持基板材A的兩側端面E並運送之的多數夾持滾子 8、9係在液槽5內沿著搬送方向C而排列設置。亦即，基 板材A係由中央部的電路形成面d、以及其外周緣的前後 端面或左右兩側端面E所構成，前後端面及兩側端面E係 被稱爲耳部，且成爲非電路形成面。 然後，上段側的夾持滾子8與下段側的夾持滾子9係 從上下夾持並運送這種基板材A的左右兩側端面E，所以 在上下成對，並且被排列設置在左右。此外，圖示範例的 輸送機3係如這般地以水平搬送基板材A的方式所形成， 但也有可能是夾持滾子8、9在左右成對或傾斜成對，藉以 垂直搬送或傾斜搬送基板材A的方式。 又，夾持滾子8、9係由被轉動驅動的驅動滾子所形 成，並介由軸1 2、1 3、傳達齒輪1 4、驅動齒輪1 5、驅動軸 1 6等等，而被連接至馬達等等的驅動機構（未圖示）。 輸送機3係槪略以此方式形成。。 <<關於下段的夾持滾子9的溝槽1 7和線絲1 8等等> > 接著，參照第1(1)圖、第1(2)圖、第2圖等等來說明 關於下段的夾持滾子9的溝槽1 7和線絲1 8等等。 下段的夾持滾子9係在外周形成溝槽1 7的同時，利用 這溝槽1 7來設置基板材A的穩定搬送手段。亦即，此輸送 機3之下段的左右各個夾持滾子9係分別在前後相互的溝 -16- 200823123 槽1 7之間架設線絲1 8等等的線材，來作爲用以防止基板 材A下垂的穩定搬送手段。 在圖示範例中，使用線絲1 8來作爲這種線材，但也可 使用線絲1 8之外的其他各種線材。另外，此線絲1 8等等 的線材係使用了其直徑此溝槽1 7之寬度還要小者，因此， 不會成爲被迴轉驅動之夾持滾子9的負擔。 夾持滾子9的溝槽1 7和線絲1 8等等係以此方式形成。 <<關於上段的夾持滾子8的溝槽19和圓環20>> 接著’參照第1圖、第2圖等等來說明關於上段的夾 持滾子8的溝槽19和圓環2 0。 上段的夾持滾子8係在外周形成溝槽1 9的同時，利用 此溝槽1 9來設置基板材A的穩定搬送手段。亦即，此輸送 機3上段的夾持滾子8係分別將圓環20嵌入至其溝槽1 9， 以作爲用於防止基板材A捲附等等的穩定搬送手段。 然後，此圓環20係不動地固定嵌入至溝槽1 9的同時， 有一部分突出至溝槽1 9外。例如，粗細大略與溝槽1 9的 寬度相同之橢圓形的金屬製圓環20係於溝槽1 9內融熔加 工並嵌入的同時，橢圓之直徑較大的部分係突出露出至溝 槽1 9外，這種圓環20係與夾持滾子8 —起旋轉。 夾持滾子8的溝槽1 9和圓環20係以此方式形成。 <<關於上段的夾持滾子8的重壓手段21>> 接著，參照第2圖來說明關於上段的夾持滾子8的重 壓手段21。 在此輸送機3中，下段的夾持滾子9係被保持在一定 -17- 200823123 的上下高度準位。相對於此，上段的夾持滾子8係將上下 高度準位保持爲可變更的同時，根據所附設之重壓手段2 i 的壓下力，而被壓接至下段的夾持滾子9，而可夾持基板 材A並運送之。 亦即’下段的夾持滾子9之軸1 3係藉由穿透設置於框 架劃分壁7等等而可輕易插入之大略相同直徑的軸孔等 等，而能夠固定地保持在上下位置和左右位置上。相對於 此’上段的夾持滾子8之軸1 2係藉由穿透設置於框架劃分 壁7等等而可輕易插入之縱長孔等等，而能夠固定地保持 在上下位置和左右位置上。 同時’重壓手段2 1係介由緩衝材料2 2和軸承金屬2 3 而被載置於上段的夾持滾子8之軸1 2上。使用例如按壓金 屬片，以單獨地於各個夾持滾子8、或者共同用於複數夾 持滾子8的連續板狀而放置作爲重壓手段2 1。在軸1 2被貫 插的同時，僅藉由軸1 2來保持軸承金屬2 3。 夾持滾子8的重壓手段2 1係以此方式形成。 <<作用等等>> 本發明的表面處理裝置1係如同以上所說明地構成。 因而，如以下所形成。 (1)此表面處理裝置1，係被用於基板之製造步驟中，藉由 處理液B來對基板材A進行表面處理。亦即，在撓性基板、 其他的軟性基板之製造步驟中被使用，因而，用輸送機3 來液中搬送極薄且柔軟的基板材A，從噴嘴4噴射處理液 B，對電路形成面進行表面處理。 -18- 200823123 (2) 然後，此表面處理裝置1係在塡滿與被噴射之處理液 相同的處理液的液槽5中，配設輸送機3和噴嘴4。 從噴嘴4噴射的處理液B係在液槽5之處理液B中一 直前進之後’直射於基板材A的電路形成面D並進行表面 處理。然後，因爲不流動於電路形成面D，而被反射且在 液槽5之處理液B中被吸收，所以在電路形成面〇不會形 成亂流、液體停滯、滯留等等。 (3) 另外，在此表面處理裝置1中，輸送機3之夾持滾子8、 9係因爲夾持作爲基板材A之非電路形成面的兩側端面E 並運送之，所以電路形成面D在搬送期間不會有接觸、損 傷。 (4) 那麼，所以藉由此表面處理裝置1的輸送機3，如下 所述。首先，在此輸送機3中，在下段各夾持滾子9的各 溝槽1 7之間，架設有線絲1 8等等的線材。 亦即，被搬送的基板材A係極薄化且虛弱柔軟，如這 般地藉由線絲1 8等等，從下方支撐著兩側端面E。因此， 能夠防止在夾持滾子9之間的間隔縫隙中，由被噴射之處 理液B和液槽5中之處理液B所造成的基板材A下垂之事 故，進一步防止基板材A被捲附於夾持滾子9的事故。 (5) 另外，在此輸送機3中，關於上段各夾持滾子8的溝 槽19係嵌入有圓環20，圓環20係一部分突出於溝槽19 外。 因此，被搬送的基板材A係極薄化且虛弱柔軟，而且 被處理液B所浸濕，但由於這種圓環20的存在，可防止捲 -19- 200823123 附於夾持滾子8。不希望被吸附、捲附、黏著的基板材A 係被圓環20之突出露出部分所剝離。 (6) 此外，在此輸送機3中，上段各夾持滾子8係藉由根 據重壓手段2 1之重量的壓下力，介由緩衝材料2 2、軸承金 屬23、軸1 2等等，利用已調整之恰好適當、均等的夾持壓 力，而壓接至對應之下段的夾持滾子9上。 亦即，表面處理裝置1的處理室2係有可能達到數m 〜數10m，嚴格來說，在各處都存在有微妙的上下高度準 位差異等等，但根據重壓手段21的壓下力，在該處，自動 調整至對夾持滾子8而言是最適當的夾持壓力，並壓接至 下段的夾持滾子9上。藉由微妙之高低差所對應之均等的 夾持壓力來搬送基板材A。 (7) 此外，此輸送機3係亦可使用於在表面處理裝置1與 表面處理裝置1之間的間隔空間F中搬送基板材A。 亦即，如第3圖所示，此輸送機3係不僅是用在表面 處理裝置1之處理室2的液槽5內（換言之，不僅是液中搬 送用），也可用在表面處理裝置1之處理室2的間隔空間 F(換言之，液外搬送用），因此發揮前述（4)、（5)、（6)的作 用。特別是，前述（5)之圓環20對防止捲附的作用係在容易 發生捲附的液體外部也非常有效。 (8) 另外，關於輸送機3的上下夾持滾子8、9，也考慮了 事先對外周面賦予傾斜斜度。此情況下，基板材A變得更 加確實地被穩定搬送。 亦即，關於從上下夾持基板材A之兩側端面E的上下 -20- 200823123 夾持滾子8、9，分別在其外周面預先附加形成上下對應的 傾斜斜度，藉由這種傾斜斜度，在夾持滾子8、9的外周面 內側和外周面外側上，轉動速度稍有不同，因此兩側端面 E被夾持且被運送的基板材A係被左右拉緊而被穩定地搬 送。 若極薄且柔軟的基板材A係被液中搬送時，在搬送中 容易發生搖動、變形、蜷曲等等。而且，液中搬送係有可 能達到數m〜數1 0m，欲使前述各夾持滾子8、9之間的所 有夾持壓力均等化係如同前述般地困難，就這點看來，也 會發生搖動、變形、蜷曲等等。相對於此，藉由預先以傾 斜斜度對左右附加拉緊力，平衡度良好地修正上下之間的 夾持壓力，因此基板材A之左右係同時在上下的夾持滾子 8、9之間被牢固地夾持並確實地保持，避免搖動、變形、 蜷曲等等而被穩定地搬送。 此外周面的傾斜斜度係在例如上段的夾持滾子8方 面，使其直徑形成爲在內側較大、在外側較小，相反地， 在與其相互糾結之下段的夾持滾子9方面，使其直徑形成 爲在內側較小、在外側較大，因此，在上下接觸方面無高 低差，成爲上下對應的傾斜斜度。 【圖式簡單說明】 第1圖係對於本發明之表面處理裝置的輸送機，提供 用以實施發明之最佳形態的說明，第1 (1)圖係主要部分的 側面圖，第1(2)圖係主要部分的正面圖，第1(3)圖係上段 的夾持滾子的側面圖。 -21 - 200823123 ' 第2圖係提供用以實施相同發明之最佳形態的正截面 說明圖。 第3圖係提供用以實施相同發明之最佳形態的間隔空 間等等之側截面說明圖， 第4圖係提供用以實施相同發明之最佳形態的側截面 說明圖。 【主要元件符號說明】 1 表面處理裝置 2 處理室 3 輸送機 4 噴嘴 5 液槽 6 貯槽 7 框架劃分壁 8 夾持滾子（上段） 9 夾持滾子（下段） / ^ 1 〇 泵浦 11 配設管線 12 軸（上段） 13 軸（下段） 14 傳達齒輪 15 驅動齒輪 16 驅動軸 17 溝槽（下段） -22- 200823123 18 線 絲 19 溝 槽 (上段） 20 圓 I四 21 重 壓 手 段 22 緩 衝 材 料 23 軸 承 金 屬 A 基 板 材 B 處 理 液 C 搬 送 方 向 D 電 路 形 成面 E 兩 側 端 面 F 間 隔 空 間 -23

Claims (1)

1. 200823123 十、申請專利範圍： 1 · 一種表面處理裝置的輸送機，其係使用於基板的製造步 驟中的基板材之表面處理裝置的輸送機，其特徵爲： 具有：液槽，其充滿處理液；輸送機，其配設在該 液槽內且對該基板材進行液中搬送；以及噴嘴，其配設 在該液槽內，使該處理液進行液中噴射， 該輸送機係以在搬送方向上排列設置有夾持滾子， 該夾持滾子係以不接觸基板材電路形成面的方式，僅夾 持其兩側端面並運送之， 該夾持滾子係在外周形成溝槽，並且利用該溝槽來 設置該基板材的穩定搬送手段。 2 ·如申請專利範圍第1項之表面處理裝置的輸送機，其中， 該輸送機係水平搬送該基板材，該夾持滾子係在上下成 對並且被配置在左右，從上下夾持該基板材之左右兩側 端面並運送之。 3 ·如申請專利範圍第2項之表面處理裝置的輸送機，其中， 在下段的各該夾持滾子中，線材係架設在相互的該溝槽 之間’以作爲用於防止該基板材下垂等等的該穩定搬送 手段。 4 ·如申請專利範圍第3項之表面處理裝置的輸送機，其中， 該線材係由線絲所組成，而且其直徑係比該溝槽寬度還 要小。 5 ·如申請專利範圍第2項之表面處理裝置的輸送機，其中， 在上段的該夾持滾子中，圓環係嵌入至該溝槽，以作爲 -24- 200823123 用於防止捲附至該基板材等等的該穩定搬送手段。 6. 如申請專利範圍第5項之表面處理裝置的輸送機，其中， 該圓環係不動地固定於該溝槽，並且一部份突出至該溝 槽外。 7. 如申請專利範圍第2項之表面處理裝置的輸送機，其中， 下段的該夾持滾子之上下高度準位係保持一定， 上段的該夾持滾子係被保持爲上下高度準位可變 更，並且根據所附設之重壓手段的壓下力而壓接於下段 的該夾持滾子，且夾持該基板並運送之。 8 .如申請專利範圍第7項之表面處理裝置的輸送機，其中， 該重壓手段係介由緩衝材料及軸承金屬而被載置於上段 的該夾持滾子之軸。 9.如申請專利範圍第1、3、5或7項中任一項之表面處理 裝置的輸送機，其中，該輸送機係可也以用於在該表面 處理裝置和該表面處理裝置之間的間隔空間中搬送該基 板材。 10.如申請專利範圍第1、3、5或7項中任一項之表面處理 裝置的輸送機，其中，該表面處理裝置係被使用於基板 之製造步驟的顯影步驟、蝕刻步驟、剝離步驟或者洗淨 步驟；該處理液係由顯影液、鈾刻液、剝離液或者洗淨 液所組成；該基板材係由撓性基板材、其他極薄之軟性 基板材所組成。 -25 -