200819755 (1) 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明，係有關於爲了以檢查機器來進行電子 導通確認等的電路檢查，而被使用於連接電子構件 機器之間的檢查探針。 【先前技術】 0 •被組合於電子機器中之印刷電路板、積體電路 面板等之電子構件，其印刷佈線或電路元件係爲精 其佈線，已被精細化至數百〜數十μιη左右。此些 件，被組合於電子機器裡之前，係對印刷佈線或電 件等，進行有導通確認、絕緣確認、動作確認之類 性能檢查。 在性能檢查時，爲了與檢查機器連接，將使用 構件檢查之探針。檢查探針，係以複數之針銷探針 φ 線所構成。各各針銷探針等之間，將依據電子構件 佈線或電路、元件等之檢查點的大小與節距的距離 開，被絕緣。將檢查探針，與檢查點接觸，而後進 確認等之所期望的性能檢查。 檢查探針，係如圖1所示，係將被絕緣之多數 線20，貫通並被支撐於電子構件側之托板支架16 機器側之托板支架23。先前之探針線20,係如圖 ，電子構件Π之各檢查點12與朝向檢查機器（未 之各導線26的端面26Α，係經由探針線20之金屬 構件之 與檢查 、液晶 細者。 電子橇 路、元: 的電氣 有電子 或探針 之印刷 而被分 行導通 的探針 與檢查 9所示 圖示） 芯線18 200819755 (2) 而並列於一直線上。此檢查探針，將電子構件1 1推壓付 著於托板支架1 6上，則檢查點1 2會抵接於從托板支架1 6 所突出之金屬芯線1 8的頂端而推壓，金屬芯線1 8具有彈 簧性其會稍微被壓彎並同時，被推壓付著於導線端面2 6 A 而接觸。此結果，檢查點12會通過金屬芯線1 8而與導線 20導通。 舉例而言，在日本特開2004-23 9667號公報中，係記 φ 載有：一種探針線單元，其係具備有：具有尖銳頂端之探 針線前端部所通過的前保持部；和將探針線後部固定的後 保持部，並從前保持部將探針線前端部向前方，從後保持 部將可與計測機器相連接的探針線後端部向後方突出，前 端部係與電子構件端子相接觸而產生朝向後部之推壓力， 因應於此，前保持部與後保持部之間的探針線會彈性變形 而在壓彎的前端部產生反作用力。 又，在日本特開2004-2791 33號公報中，係記載有一 • 種電路板檢查用探針及使用有其之電路板檢查裝置，其係 具備有：當2條之金屬芯線的端面形成向外傾斜面，並使 其頂部相連接保持一體化的保持構件，並使此保持構件與 1點之檢查點相接觸，而在各別之金屬芯線同時進行電壓 測定及電流供給，使用四端電極測定法等來進行配線導線 的檢查。 然而，如日本特開2004-239667號公報所記載的情況 ，若是探針線之頂端係爲尖銳，則會在檢查點的中心留下 瑕疵，並惡化其電子構件之品質。且說，若將平坦之探針 -5- 200819755 (3) 線的頂端面，與檢查點的中心相接觸，則該檢查點係不會 受到損害，但會因其表面之氧化被膜等容易引起接觸不良 。又，由於2根尖銳探針線相鄰接時之頂端的間隔距離， 係較檢查點之最大寬幅爲更大，因此將此些探針線的頂端 ，同時與1點的檢查點相接觸係非常困難的。 【發明內容】 Φ [發明所欲解決之課題] 本發明係爲了解決前述課題而進行者，其目的，係爲 提供一種能確實地與作爲被檢查物之精細化後的電子構伴 之印刷佈線或電路元件接觸的簡易檢查探針。 [用以解決課題之手段] 爲了達成前述之目的而進行的申請專利範圍第1項觸 記載之檢查探針，係爲具備有多數檢查點的電子構件，和 • 具備有多數輸入導線的檢查機器之間，介入存在有使各別 爲相互絕緣之多數的金屬芯線，並藉由將該電子構件推壓 付著，使各檢查點與各輸入端子之間接觸於各金屬芯線的 兩端而使電氣導通的檢查探針，其特徵爲：在朝向前述金 屬芯線之檢查點之側的端面，係構成爲端緣（edge)，該 端緣，係接觸於起從該檢查點之中心偏移向外的位置。 申請專利範圍第2項所記載之檢查探針，係如申請專 利範圍第1項所記載者，其中，前述檢查點係爲銲錫突點 200819755 (4) 申請專利範圍第3項所記載之檢查探針，係如申請專 利範圍第1項所記載者，其中，複數之前述金屬芯線的端 緣，係接觸於1個的前述檢查點。 申請專利範圍第4項所記載之檢查探針，係如申請專 利範圍第3項所記載者，其中，前述複數之金屬芯線，係 .起從前述檢查點的中心呈對稱性的接觸。 申請專利範圍第5項所記載之檢查探針，係如申請專 φ. 利範圍第3項所記載者，其中，前述複數之金屬芯線，係 起從1個的前述檢查點的中心呈非對稱性的接觸。 申請專利範圍第6項所記載之檢查探針，係如申請專 利範圍第1項所記載者，其中，係使前述金屬芯線之前述 端面軸呈對稱地來構成前述端緣。 申請專利範圍第7項所記載之檢查探針，係如申請專 利範圍第3項所記載者，其中，使兩條爲一組之前述金屬 芯線，分別接觸於配線兩端之前述檢查點，該組中之每側 φ 的該金屬芯線彼此係連接於電源，而該組之每個另外一側 的該金屬芯線彼此係連接於電壓計。 [發明效果] 本發明之檢查探針，由於金屬芯線之端面的端緣，. 接觸於起從檢查點之中心偏移向外的位置，因此金屬芯線 能確實地接觸於檢查點。 又，由於檢查點表面之氧化被膜等經該端緣被削去， 所以其接觸性優良，而能作正確的測定。 200819755 (5) 因此，若藉由本發明之檢查探針，則能確實且正確地 進行對印刷電路板、積體電路、液晶面板等之類的電子構 件之印刷佈線或是電路元件等的導通確認、絕緣確認之類 的檢查。特別是，當檢查點之形狀如像焊接突點之半球狀 時係爲有用。 【實施方式】 φ 以下，對本發明之實施例作詳細說明，但本發明之範 圍，係不限定於此些實施例。 圖1，係爲顯示本發明之實施的其中一種形態。 檢查探針，係爲在以支柱27所固定之電子構件側的 托板支架1 6與檢查機器側的托板支架23裡，以被絕緣之 多數對的探針線20來貫通並做支撐。檢查機器側之托板 支架23，係被連接於具備有多數的輸入導線26之檢查機 器（未圖示）。 • 探針線20，如圖2所示，係由具有彈簧性，且以絕緣 被覆17加以絕緣之金屬芯線18所構成。在其兩端附近， 使其表面露出。 在電子構件側之托板支架1 6，係藉由鑽頭加工而被鑽 開有圓形之孔1 5。探針線20之金屬芯線1 8，係貫通於此 孔15。在此孔15與金屬芯線18之間，係具備有餘寬。探 針線2 0，由於絕緣被覆1 7之厚度，而成爲較此孔1 5之口 徑爲更粗。從電子構件側之托板支架16所突出的金屬芯 線1 8，在其端面係具有端緣。 -8 - 200819755 (6) 另一方面，在檢查機器側之托板支架2 3，亦同樣地被 鑽開有圓形的孔21。探針線20之金屬芯線18，係被插入 於此孔2 1。在此孔21與金屬芯線2 0之間，係亦具備有餘 寬。探針線2 0，係藉由其彈性，能維持在剛好不會鬆驰而 拉張的狀態下，以檢查機器側之托板支架23而被支撐。 在檢查機器側，金屬芯線1 8之端面，係相對於軸心而成 爲垂直。 φ 檢查機器側之托板支架23，係被固定於從電子構件檢 查機器所延伸出之多數的輸入導線之托板支架2 5上。各 金屬芯線1 8之檢查機器側的端面24，和各導線26，雖彼 此有差距，但能以一部份相接觸。 此檢查探針之動作，係如下述。 如圖2 ( a )所示，將電子構件1 1，使用未圖示之模 具而使其朝向檢查探針垂直降下。如此這般，則如同同圖Γ (b )所示，探針線2 0之金屬芯線1 8，在檢查點側之端緣 φ 與檢查點1 2接觸並強力地被推壓付著，而朝向檢查機器 側之托板支架23的方向被推壓。伴隨此，探針線20將藉 由彈簧性而壓彎潰曲。其結果，探針線20之金屬芯線1 8 在檢查機器側的端面24，與輸入導線26強力地接觸。檢 查點12，將通過金屬芯線18而與導線26導通。 從檢查機器流通電流，而進行檢查點12之導通確認 、絕緣確認、動作確認、阻抗値測定等之類的性能檢查。 探針線2 0之金屬芯線1 8的軸，與檢查點12的中心 ，係呈彼此有差距的位置關係。因此，如圖3所示’金屬 -9 - 200819755 (7) 芯線1 8之端緣，和檢查點1 2，係起從檢查點1 2之中心向 外偏離的位置相互接觸。此時，由於該端緣係將該檢查點 之中心以外的表面削去些許，因此接觸性佳，而且在該檢 查點1 2之中心，不會殘留下瑕疵。 進行積體電路之性能檢查的檢查探針，係如圖1所示 ’在各邊數cm的四方形裡，具備有數千根，例如有25 00 〜4000根的探針線20。各探針線20，係對應於積體電路 • 之佈線、各元件、又或是焊接突點。 針對探針線20之彈簧性，在此圖示起因於金屬芯線 之彈性的例子，亦可爲經由附設於金屬芯線之中間的彈簧 來實現者。 圖4，係爲顯示其他實施形態之頂端面附近的形狀例 〇 本發明所適用之金屬芯線，如圖4 ( a )〜（d )所示: 即使在端面具有些許凹凸的軸對稱之形狀亦可，只要是在 _ 端面具有端緣者即可。 圖5，係爲顯示其他實施形態之頂端面附近的形狀例 〇 2根之金屬芯線1 8，其頂端面係爲平坦，在端面具有 端緣，且係爲相互連接。此些2根之金屬芯線的頂端之間 隙距離，較檢查點12之最大寬幅爲更小。因此，能將2 根的金屬芯線18同時接觸於1點的檢查點12。由於此些 係接觸於起從檢查點1 2之中心向外偏移的位置，因此和 如圖3所示之1根的金屬芯線的情況相同，不會在中心殘 -10- 200819755 (8) 留下瑕疵，且不會引起和該檢查點12之接觸不 上，由於使2根的金屬芯線1 8與其接觸，因此拆 根的金屬芯線1 8接觸於1點的檢查點12時，能 的接觸精確度。 具有如圖3〜5之頂端形狀的金屬芯線，與 較，其加工較爲容易，且所花費之成本亦較低。 接下來，顯示檢查探針與檢查點之接觸時的 在圖6 ( a )中，2根的金屬芯線1 8，係起 1 2之中心Ο，呈對稱地與該檢查點1 2相接觸。 ，在同圖（b )中，2根的金屬芯線1 8，係起從; 之中心〇，呈非對稱地與該檢查點1 2相接觸。 種情況，將2根之金屬芯線1 8與檢查點1 2相接 沒有什麼不同地，皆能得到高接觸精確度。 又，如圖7所示，檢查探針亦可迴轉而與檢 在圖7(a)中，2根之金屬芯線18係起從 之中心〇呈相對稱地位置，並迴轉而與該檢查S 心〇相接觸。另一方面，同圖（b )中，2根之 18起係從檢查點12之中心〇呈非對稱地位置， 與該檢查點12之中心Ο相接觸。不論是何種情 * 根之金屬芯線1 8與檢查點1 2相接觸之事並沒有 地，並藉由使其迴轉將削去在檢查點1 2上所形 的氧化被膜等，而能得到更高的接觸精確度。 良。更加 較於使1 得到更高 尖銳者相 位置關係 從檢查點 另一方面 翁查點12 不論是何 觸之事並 查點接觸 檢查點1 2 12之中 金屬芯線 並迴轉而 況，將2 什麼不同 成之表面 -11 - 200819755 (9) 檢查探針，係如圖8所示，在電路板1 1上相連接的 配線32之導線的兩端之一對的檢查點12a、12b，係分別 與以2根爲1組的金屬芯線18a〗、18a2、. 18b]、18b2枏接 觸，每組之其中一方的金屬芯線18ai以及18b!，係分別 作爲電流供給用，而經由托板支架25內之輸入導線26a 1 以及261與檢查機器31內之變壓器的電源28相連接， 每組之另外一方的金屬芯線1 8 a2以及1 8b2，係分別作爲 φ 電壓測定用，而經由托板支架25內之輸入導線26a2以及 2 6b2與檢查機器31內之電壓計29相連接者亦可。使用此 ，能對配線3 2之導線的阻抗作測定。具體而言，係使用 :將金屬芯線18ai以及18a2的1組，和18b!以及18b2的 1組，分別以各金屬芯線端面之端緣與1對的檢查點相接 觸，從電源28流出電流，並以電壓計29來測定電壓之所 謂的四端電極測定法，並藉由所得到的電壓及電流，計算 出配線3 2之導線的阻抗。 φ 另外，於圖8，係顯示配線導線的兩端之檢查點係爲 焊接突點的例子，亦可使配線導線的其中一方爲焊接突點 ，而另外一方爲貫通孔或是墊片。 [產業上之利用可能性] 本發明之檢查探針，係被使用於針對印刷電路板、積 體電路（1C )封裝、液晶面板、半導體之類的各種電子構 件，所進行的導通確認、絕緣確認、動作確認、及以四端 電極測定法來做阻抗値測定之類的性能檢查。 -12- 200819755 (10) 【圖式簡單說明】 【圖1】 顯示適用於本發明之檢查探針的其中一種實施形態之 使用途中的全體圖。 【圖2】 顯示適用於本發明之檢查探針的其中一種實施形態之 使用途中的部分圖。 【圖3】 顯示適用於本發明之檢查探針的金屬芯線之前端面附 近的部分圖。 【圖4】 顯示適用於本發明之檢查探針的其他金屬芯線之頂端 面附近的部分圖。 【圖5】 顯示適用於本發明之檢查探針的其他之金屬芯線之頂 端面附近的部分圖。 【圖6】 顯示適用於本發明之檢查探針的與檢查點接觸時之位 置關係的部分圖。 【圖7】 顯示適用於本發明之其他的檢查探針的與檢查點接觸 時之位置關係的部分圖。 【圖8】 -13- 200819755 (11) 顯示將適用於本發明之檢查探針使用於四端電極測定 法的其中一種實施形態之使用途中的部分圖。 【圖9】 顯示未適用於本發明之先前的檢查探針之使用途中的 部分圖。 【主要元件符號說明】 φ 1 1 :電子構件 12 、 12a 、 12b :檢查點 13:電子構件側之頂端面 15 :孔 16:電子構件側之托板支架 1 7 :絕緣被覆 18、18a〗、18a2、18b〗、18b2:金屬芯線 2 0 :探針線 _ 21 :孔 23 :檢查機器側之托板支架 24 :檢查機器側之端面 25 :輸入導線之托板支架 2 6 :輸入導線 20A :輸入導線之端面 27 :支柱 28 :變壓器 29 :電壓計30 :探針線之前端 -14- 200819755 (12) 3 1 :檢查機器 32 :配線 〇 :檢查點之中心