TW200808636A - Conveyor apparatus for brittle substrate - Google Patents

Description

200808636 九、發明說明： 【相關申請案之交互參照】 本申請案主張200648月24日申請之韓國專利申請 2006-0080626號之優先權，其整體於此作為參考。’、 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於雜基板之傳妓備，更特麟是關… 之 用脆性基板找f之魏料送級肖，㉟防止傳送^ 下部污染之脆性基板之傳送設備。 【先前技術】 隨著資訊軌技術領_快速發展，呈現想要#訊 裝置重，性與日聚增。直到最近’於資訊顯示裝置類別中卞 ^射線管(CRT抽於錄的自純彩再雜及高亮度榮幕，; 廣泛地被使用。 而 然而，對於大型、可攜式及高解析度顯示器的需求 平面顯不器之發展而取代陰極射線管。 平賴示☆廣泛地細於不同的場合，如電腦榮幕、 飛^器、太空船料。平面顯示器可概分為薄膜電晶體液晶顯 不器(TFT-LCDS)、有機發光顯*器（〇LEDs)以及電聚顯示 6 200808636 器（PDPs)等等。 平面顯示器-般製造藉由在脆性基板上形成複數個裝 置、切割基板成個別的裝置單元，並分離該些裝置。 切割跪性絲（如_、喊陶総板）之方法典型地區 分H h ·使$具有2G〜2GG〃m厚度之快·轉鑽石刀 • 以於基板上形成切割槽之切割脆性基板的方法；以及使用 具有0.6〜2 mm厚度之鑽石尖端之劃痕輪具，以於厚度方向產 生裂痕之形成切割槽的劃割法。 於液晶顯示器(LCDs)的案例中，同時形成至少二 單元胞於-^型脆性基板(稱為母板)上。在單一母板上形成至 少二個LCD單元胞後，LCD單元胞藉由特殊製程自母板分離。 • 母板使用於LCD的案例中，於特殊製程中，雜基板因 其基板本身的特性而具有高脆性。於切割程序中，產生於脆性 基板邊緣處的細微魏快速地沿弱點處傳播，_割不要的部 份，因而由切割面產生許多微粒。 亦即’特殊S程包括：在母板中形成預定深度之割割線， 及應用實體衝擊母板，㈣在應力針於_壯，以沿著脆 性基板切割線，使LCD單元胞由母板分離。 7 200808636 在下文中，將翏閱第1圖而描述習知具有傳送帶用以切割 基板之設備。 如第1圖所示，具有傳送帶用以切割基板之設備包括以一 預定間隔配置ϋ送帶裝置％及第二傳送帶裝置8〇，且 其上置有一被移動並待切割母板6〇 ;伺服馬達9〇設置於第一 傳送帶裝置70及第二傳送帶裝置8〇之一端，以驅動第一傳送 • $裝置7G及第二傳送帶裝置80 ;以及-咖裝置觸，配 於第-傳送帶裝置70及第二傳送㈣置⑽之間，以於 60上劃割出一預切割線。 、土 於此，第-及第二傳送帶裂置％、8〇包括複數個傳送支 樓樑，配置於傳达帶裝置70及8〇下方γ轴方向一 處，以及複數個樑支撐柱框72及82配置於χ Β : 撐傳送支撐樑。 U句’以支 此外，姻裝置100包括一劃割頭1〇1 ;劃割頭⑼ 於其上的導桿；㈣支料桿二設_鱗桿iG4;以及ς 行地设置以移動支撐桿104的導執1仍。 習知切割基板的設備中，當伺服馬達9G驅 裝置70，置於第-傳送帶裝置7G上之基板6()移動於帶 8 200808636 接著，當被移動基板60的預切割線置於第一傳送帶裝置 70及第二傳送帶裝置80之間的位置時(基板60 —端設置於第 一傳送帶裝置70上，另一端設置於第二傳送帶裝置80上）， 劃割頭101移動於垂直於基板60移動之方向，以於基板60 之預切割線上進行劃割程序。 當已劃割的基板60由第一傳送帶裝置70移至第二傳送帶 裝置80時，新的基板會置於第一傳送帶裝置70上，並於一特 定時間後通過此劃割程序。 使用於切割基板裝置的傳送帶裝置之結構，將參閱第2 圖描述。 第2圖為使用於傳送帶裝置之傳送帶構件之橫斷面圖。第 2(a)圖為傳送帶構件之橫斷面圖，以及第2(b)圖顯示傳送帶構 件之操作情形。 在第2圖中，參考標號10表示橡膠構成的傳送帶，參考 標號11表示支撐傳送帶10之傳送帶支撐部件，參考標號12 表示保護傳送帶支撐部件11之傳送帶支撐部件罩，以及參考 標號13表示於特定方向轉動傳送帶10之一對輥輪。 第2圖所示之傳送帶構件中，輥輪13由例如第1圖所示 9 200808636 伺服馬達之驅動裝置轉 ^因而傳送置於傳送㈣上之雜基=13周圍之傳送帶 件罩㈣的摩擦支撐部及傳送帶支撐部

驅動期門吝斗1、木“產生於傳送页下方。由於傳送帶 ♦…1生之污祕，結果會降低傳送精確度。 潔，應於相應於傳送帶驅動 因此’造成裝置結構複雜且 此外，為了維持脆性基板的清 邛件之各位置處，提供清潔裝置。 管理成本增加。 送帶傳；f構件_舰。為了延長傳 /月限傳送耶需頻繁地更新替換，如此降 工作效率。 午臥」

再者’於基板細時，傳送帶下方之污染物會減低基板的 平坦度，域無法於基板场確地劃割。 【發明内容】 本發明一方面提供一種脆性基板之傳送設備，其能移除產 生於傳达耐生基板之傳送帶下方的污染物，因此改善此傳送設 備的維修保養問題。 200808636 ftSM 明另一方面提供一種脆性基板之傳送設備，其能吸除 、、-二^置於其上之傳送帶運轉_產生之污雜，以延長傳 达V部件之使用期限。 括用—具體實施例提供—種脆性基板之傳送設傷，包 詈夕^待切割膽性基板之傳送裝置，以及用以鶴傳送裝 Ρ_運轉以傳送 ：罝=威路徑_咖 件之一傳—傳聊部件、肋支撐傳送帶部 附、⑽肋純傳㈣部件了方污染物 帶：傳====:_ 抽吸 以及用 以連接抽料件及妓社㈣管物之—真空泵；以 撐部件之 間。再者’抽吸部件可配置於傳送帶部件與傳送帶支 此>卜’紐基板讀送設備更包括—第 輪，而傳送帶部件係設置於1上，复 輥輪及一第 ^中，抽吸部件係設於 200808636 粒 微粒，及去降由禮、、，册/ 干间厚傺屋生 。 除由傳聊部件及傳送帶支撐部件罩產生之微 抽吸部射具有與傳送帶部叙傳送帶相 同的寬度 當第一輥輪及第二輥輪轉動時， 此抽吸裝置可被運轉 =親輪及第二輥輪轉動時，此抽吸裝 置可於預定時間 間隔被運轉 内 此外，紐基板之傳送設備更包括 一刷，安裝於抽吸裝置 部件内，且接附於傳、、,女攻於田轉第—輥輪之抽吸 m魏部伽’且脑於較撐部件。 I日认再者’脆性基板之傳送設備更可包括一第-輥輪及-第-=二==件係設置祕上；射，抽吸^2配= 之污雜Γ輪之料帶部件上方’叫誠錄第二棍輪周圍 200808636 輥輪嫩一第二 被第一輥輪帶動轉動 祗^、，其中，抽吸部件係配置於 傳送帶部件上方。 卩件下方，且在通過第二輥輪之 【實施方式】 範具體實施例將隨著參照伴隨之圖 在下文中，本發明之示 式而描述。 重複描述 tr參考標號在整個發财表示相同的元件， 且將不再 <第一具體實施例> 之傳合本㈣n範具财施_脆性基板 面圖，^第中第3⑻圖為—傳送帶構件之橫斷 及弟3(b)®為顯不傳送帶構件之操作情形。 脆性基板設備係傳送—狀尺忖的 括用傳脆性基板通過—預處理製程以切割 傳钱置200，及用以驅動傳動褒置200之一馬達 部件(圖未顯示）。 210，沿 士第3圖所示’傳送裝置勘包括一傳送帶部件 13 200808636 術撐部細， 傳送帶部件m i傳送帶支罩挪，配置於 撐部_; 蓋傳送帶支 之污染物。 罝用以抽吸傳迗帶部件210下方 括4=::=:= 基板之傳送設備包 以=來說，_待;割之傳玻 置。當_基板被斜 取決於脆性基板之寬度。▼或碰條傳鱗構成，係 再者，如同習知傳送設備，馬達部件包 供轉動力給第-輥輪13或第二触14、滑^ ^ 連接、一被動她地與第一:輪=地二 、_娜__錢動= 在下文中， 特徵 將描述抽吸裝置的構造，其為本發明之 主要 吸部件240， 如同第3目所示，本發明之抽吸裝置包括抽 14 200808636 用以抽吸於傳送帶部件210下方之污染物；一真空泵25〇，用 以進行抽吸部件240之污染物抽吸；以及一抽吸管26〇，用以 連接抽吸部件240及真空泵250 ^ 在第一具體實施例中，抽吸部件240配置於被第一輥輪 B帶動轉動之傳送帶部件下方及在進人第二輥輪14前之 傳送帶部件21G下方，以去除由第-輥輪13及傳送帶部件21〇 間摩擦產生之微粒，及由傳送帶部件210及傳送帶支撐部件罩 230於脆性基板的運送期帛造成之微粒。抽吸部件篇且 ^帶部件2H)之傳送帶相同之寬度，以完善地去除塞顿送 ^標部件220及傳送帶支撐部件罩23()間之傳送帶部件训 下部的微粒。 此外’於傳送帶部件21〇及傳送帶支樓部件22()間保持一 2的間距’以抽吸黏附於傳送帶部件綱下部的微粒， 免傳送帶部件210運作時受到抽吸部件之抽吸力干擾。 管子 連接真空泵250及抽吸部件之抽吸管施可為典型的 在下文中，本發明之脆性基板之傳毅狀運轉將參 團描述。 15 200808636 一脆性基板置於包含傳送帶部件2i〇之傳送裝置200上， 以切割或傳送此脆性基板。 接著，馬達轉動，透過滑輪將動力傳至第一輥輪13及第 一輥輪14，因而可將傳送裝置2〇〇 ±之脆性基板傳送至一期 望位置。 • 其次，第，輪13及第二_ 14的轉動運作真空泵 250，以吸除黏附於傳送帶部件21〇下部的微粒，其使用抽吸 部件240去除由第-報輪13及傳送帶部件21〇間摩擦產生之 微粒，及由傳送帶部件21G及傳送帶支撐部件I 23()產生之微 ^粒收雜置(修—般的抽吸裝置)轉及處理被抽吸 的微粒。 遠择送帶部件210下部的微粒已完善地去除，傳送帶 連、、，κ性地_ ’喊行祕基板的運輪操作。 於第-具體實施例巾，#於泵25 抽吸部件240而裝配時，以分麻垃由及& 260對應於 h L 刀別維持该些抽吸部件240的抽吸 單一真空泵250可與抽吸部件連接， 、\空泵250之真空性能以及黏附於傳送帶部件別下部 16 200808636 之微粒情形。 此外’在第-具體實施例中，當抽吸部件24〇言免置 帶„下$二恤置時(但不限於此）’_個抽吸部件$ 可僅設置於-條置處，歧除岭—域杜 210間摩擦產生之微粒。 傳DM牛 • 再者，於第一具體實施例中，真空栗25〇被安設於备第 輥輪13及第二輥輪14轉動時才運轉，當第一輥輪 輥輪14轉動時，真空泵250可於一預定時間間隔^轉。 <第二具體實施例> 與本發明相符之第二具體實施例將參閱第4圖描述於下。

第4圖為本發明第二示範 設備之橫斷面圖。 具體實施例之脆性基板之傳送 第二鏡實關具有與第—具體實施例相同的 裝設—侧於減裝置，因此_處將不再魏敘述。〃 於第-具體實施例中，為了更完善地去除傳送帶部件則 下ft可染物’一第—刷270及一第二刷271係設於形成在第 一輕輪13及第二輥輪14之抽吸部件·。 17 200808636 亦即’如第4圖所示，第一 a η之抽吸部件240内，且接_J二文設於晚鄰第-輕輪 二刷271安設於晚鄰第二迪撐部件罩230，而第 於傳送帶支撐 部件輥輪14之蝴件24G内，且接附 篦-和私1第W 270及第二刷271配置於被第一報於13另 弟一輥輪14轉動力帶動轉動 ^弟親輪U及 地去除傳送帶部件加下方的污染^的轉動方向’以更完善 <第三具體實施例> ’、本發_付之第三具體實施例將參閱第$圖描述如下。 設備之橫斷H本1範具體實施例之脆性基板之傳送 如第5圖所示，在第二备 14 弟—/、體貝鉍例中，抽吸部件24Θ配置 於通過弟4輪14之傳送紅方， 周圍之污雜。 18 200808636 ，由於第三具财補在第2 _示之習域性基板之傳 喊備上倾有-抽吸料結構，錄設_萄二輥輪Μ ，傳达帶上方，可降低污雜去除設備之安裝成本，並去除由 第二報輪14及傳送帶部件210間摩擦產生之污染物。 裳2^三频實補亦可翔或結合第—具體實施例或 苐二具體實施例之結構實施。 <第四具體實施例> 圖描ΪΓ文中’與本發_符之第四具體實施例將參閱第6 設備L6斷=她第四示範_關之脆性基板之傳送 於柚有:，實施例相同的組成，除了 /、弟一刷’因此相同處將不再重複敘述。 14周在圍第：實=了二完善地去除產生於第二親輪 送帶上方的抽吸部姆設於通過第二耗輪14之傳 亦Ρ如第6圖所不’由於第三刷272裝設於在通過第 19 200808636 輥輪14之傳送帶上方之抽吸部件·， 設備之裝設成本，並更完魏麵 ^ 件210間摩擦產生之污染物。 祀輪14及傳如部 具體實施例或 ^ 一此外，第四具體實施例亦可單獨或結合第 弟一具體實施例之結構實施。 工耽至傳运帶之風箱裝置，以移除傳送帶部件下方之污染物。 由上f知’娜树赠置觀裝胁紐基板之傳送 轉又之傳=送打於钱物，藉歧雜鱗被驅動運 $外，由於防止了此裝置的污染，增加了傳 限’亦可降低安裝及祕成本。 ⑽w 再者，由於污染物由傳送帶下部移除後，於 決關於基板平坦度之問題而改善基板麵性能丄u間可解 本發明已藉由參考示範賊實施娜述，軸屬 者將會清楚了解本發顿述之具體實施例在*悖離本發明、^ 20 200808636 精神與範噚仍包含許多種變化，如所附申請專利範圍界定。 【圖式簡單說明】 參,¾詳細說明並配合所附圖式，將使本發明之目的、特徵 及優點更亦了解，其中·· 、多 第1圖為習知傳送帶裝置之透視圖；

第2圖為習知傳送脆性基板之裝置之橫斷面圖； 板示咖實施例相符之脆性基 板之傳送設頻實關補之跪性基 第5圖為與本發明 板之傳送設備之__ 祕體實關相符之脆性基 弟6圖為與本發明一# 板之傳送設備之_蝴。—鴨具體實關相符之脆性基 【主要元件符號說明】 1〇 傳送帶 11 12 13 14 60 傳送帶支撐部件 傳送帶支撐部件罩 第一輥輪 第二輥輪 基板 21 200808636

70 第一傳送帶裝置 72 樑支撐柱框 80 第二傳送帶裝置 82 樑支撐柱框 90 伺服馬達 100 劃割裝置 101 劃割頭 103 導軌 104 支撐桿 200 傳送裝置 210 傳送帶部件 220 傳送帶支撐部件 230 傳送帶支撐部件罩 240 抽吸部件 250 真空泵 260 抽吸管 270 第一刷 271 第二刷 272 第三刷 22

Claims (1)

1. 200808636 十、申請專利範圍： 1. 一種脆性基板之傳送設備，包括： -傳送裝置’用以運送待切割之一脆性基板；以及 -馬達部# ’帛以驅軸傳送I置， 其中’該傳樣置包含-傳鱗部件，沿

   送，雜基板…傳鱗讀料，心支撐賴送帶部件， 以及抽吸裝置’用以抽吸該傳送帶部件下方之污染物。 2·=請專娜圍第丨彻述之雜基板之傳麟備，其中 =送裝置更包括-傳送帶支撐部件罩，設置於該傳送帶 将及該傳达帶支撐部件之間，且覆蓋該傳送帶支撐部件。 3.如申請專繼’ 2項職之紐基板之傳送設備，其中 及衣置包括抽吸部件，用以抽吸該傳送帶部件下方之 污木物’-真空|，用以進行該抽吸部件之污染物抽吸， 以及一抽吸管，用以連接該抽吸部件及該真空泵。 申明專利範圍弟3項所述之脆性基板之傳送設備，其中 忒抽吸部件係配置於該傳送帶部件與該傳送帶支撐部件之 間〇 5.如申請專利範圍第4項所述之脆性基板之傳送設備，更包 括一第一輥輪及一第二輥輪，而該傳送帶部件係設置於其 23 200808636 上，

   6· 傳送ΐ:件皮:第:輥輪帶動轉動之該 件下方，，、…八.^於進人該第二輥輪叙該傳送帶部 生之微粒及絲賴槪㈣似轉送帶續部 之微粒， 以去除由該帛—雜及該料㈣件間雜 產生 ::請專利範圍第5項所述之脆性基板之傳送設備 S t卩件具有與該傳送帶部件之傳送帶相同的寬度。 2申，專利範圍第6項所述之脆性基板之傳送設備，其中 田該第一輥輪及該第二輥輪轉動時，該抽吸裝置被運轉。 =申明專利範圍第6項所述之脆性基板之傳送設備，其中

   =該第一輥輪及該第二輥輪轉動時，該抽吸裝置係於預定 時間間隔被運轉。 β如申請專利範圍第5項至第8項中任一項所述之脆性基板 之傳送設備，更包括一刷，安裝於該抽吸裝置内。 10·如申請專利範圍第9項所述之脆性基板之傳送設備，其中 遠刷包含一第一刷，安設於毗鄰該第一粮輪之該抽吸部件 内，且接附於該傳送帶支撐部件罩，以及一第二刷，安設 24 200808636 且接附於該傳送帶支 =該第二輪輪之該抽吸部件内 U’::C第3項所述之脆性基板之傳送設備，更包 上，輪及—第二輥輪，而該傳送帶部件係設置於其 帶邱侔士該抽吸部件係酉己置於魏該第二輥輪之該傳送 σ干上方，用以去除產生於該第二輥輪周圍之污染物。 12.=專利範圍第3項所述之脆性基板之傳送設備，更包 上，1輥輪及一第二輥輪，而該傳送帶部件係設置於其 诗八中，該抽吸部件係配置於被該第一輥輪帶動轉動之 一傳送帶部件下方，且在通過該第二輥輪之該傳送帶部件 上方0 13.=申請專概圍第u項或第12項所叙驗基板之傳送 没備’更包括一刷，設置於該抽吸部件内。 14·如申請專利範圍第13項所述之脆性基板之傳送設備，其中 該抽吸部件具有與該傳送帶部件之傳送帶相同的寬度。 15·如申请專利範圍第14項所述之脆性基板之傳送設備，其中 當該第一輥輪及該第二輥輪轉動時，該抽吸裝置被運轉。 25 200808636 16.如申請專利範圍第14項所述之脆性基板之傳送設備，其中 當該第一輥輪及該第二輥輪轉動時，該抽吸裝置係於預定 時間間隔被運轉。

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