TW200405754A - Depositing layers in OLED devices using viscous flow - Google Patents

Description

200405754 玖、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明有關一種在製造多色彩0LED顯示器或全色彩 顯示器時形成經圖案化有機層之方法，尤其有關在^ 而要準確蔭蔽罩下氣相沉積該經圖案化層之方法。 【先前技術】 機發光二極體（0LED)裝置—亦稱為有機電致發光裝置 :者將兩或多層有機層夾置於第一與第二電 而構成。. 於早色OLED裝置或顯示器―亦稱為單色ο·—中，此 荨有機層不經圖案化，而係形成為連續層。 ^色彩⑽D裝置或顯示器或全色彩;顯示器中， 有柃：洞注射及電洞傳輸層係於該第—電極上 … …。亥連、續電洞注射及電洞傳輸層上形成一 =層側向相鄰有機發光層之圖t。此圖案及用以形成該 材料係經選擇，以因應施加於該第一與第二電 全:彩π虎，自完成及操作。咖顯示器提供多色彩或 宰有機電子注射及電子傳輪層係形成於該經圖 :。 而-或多個第二電極係配置於後者有機層 二=兩種不同顏色(多色彩)或三種不同顏色(例如 色;象辛;：Γ)原色)之經議^ 、 為該圖案係與0LED顯示器之像素配向。該 87114 200405754 R G B圖案提供全色彩〇 l E D顯示器。 已提出各種於OLED成像面板中達到彩色像素化之方法 。例如，Tang等人於共讓與US_A_5,294,869揭示一種使用 隆蔽法製造多色彩OLED成像面板之方法，其中自絕緣性材 料製得之柱或壁組形成該裝置結構之整體部分。多色彩有 機電致發光（nELn)介質係藉由控制基材相對於沉積蒸汽流 之角度位置而氣相沉積且圖案化。此方法之複雜性在於該 整體蔭蔽罩需具有多層拓撲特徵（可能難以製得），且需控 制基材相對於一或多個蒸汽來源之角度位置。

Lmman等人於共讓與USu，688,55 1中確認前述丁等 人方法之複雜性，且揭示一種形成多色彩有機£1顯示面板 之方法，其中使用封閉空間沉積技術，以藉著自予體片圖 案轉移有機EL介質至該基材上，而於基材上形成個別著色 之有機EL介質。該予體片係包括輻射吸收層，其可未經圖 案化或可對應於該基材上之像素或次像素之圖案而經圖案 化。該予體片需放置成與基材表面直接接觸，或與該基材 表面成-控制下之相對小距離’以使在加熱該輻射吸：層 時，不期望自予體片發出之EL介質蒸汽的發散效應減至^ 逋眾，將一元件（諸 〜π , j力又1成與基 表面直接接觸會引發已預先形成於該基 、土 土刊衣面上之相對 且機械脆性之有機層產生磨損、扭曲、 扣 4 °卩分突起的問 。例如’在沉積第-色彩圖案之前，可先於該基材上开 有機電洞注射及電洞傳輸層。沉積第二色彩圖案時，予 87114 "7 Γ r / Ο 0 200405754 =或罩幕與該第-色彩圖案之直接接觸可能導致該第一色 衫圖案之磨損、扭曲、或部分突起。 將予體片與罩幕放置於與基材表面成—控制距離可能需 要在基材上或於予體片或罩幕上或於職材上且於該予體 片上收納間隔器元件。4需設計特定固定物，以於該基材 表面14予體片或罩幕間提供控制間隔。 心他等人於共讓與US_A_5,871，中之揭示（描述一種 將南解析度有機EL顯示器圖案化之方法）及仏卵则等人 於US-A-5,742，129(描料罩法於製造有機肛顯示面板中 之應用）中之教示亦有潛在問題或限制。 前述潛在問題或限制係由Tang等人於共讓盘 us-a-6，_〇66,357(教示—種製造全色彩〇LED顯示器之方法） 中之揭不所克服。該方法係包括噴墨列印螢光掺雜劑，並 係經選擇以自顯示器之經設計次像素產生紅色、綠… 色光發射。該摻雜劑係自噴墨列印組成物依序列印，以2 3有廷擇以於監色光譜區域中提供主要光發射之主體材 1有機發光層上料摻雜劑層。該摻㈣係自該 擴散至該發光層。 …續

:雜劑之噴墨列印不需要罩幕’喷墨列印頭之表面不盘 有機發光層表面接觸。然而，摻雜劑之噴墨列印係： 條件下進行，$中環境空氣中之氧及濕氣會導致均勻2 之含有主體材料的有機發光層有部分氧化分解。此外二 =劑直接擴散或摻雜劑後續擴散至發光層内會導致二 脹’使發光層有摻雜劑擴散進入之的功能部位扭曲變J 87114 /67 200405754 D成像、員不态可構成為所謂被動陣列型裝置形式 所謂主動陣列型裝置形式。 一 具有習用結構之被動陣列型〇LED顯示器中，於透光性基 材（諸如例如玻璃基材）上形成多個側向間隔之透光性陽極 (例如氧化姻錫（IT〇)陽極）以作為第—電極。隨後於保持於 減屢下（-般低於W托耳（1·33χ1〇-,ρ&))之驗室内藉著自 個別洛>飞來源氣相沉積個別有機材料而連續形成三或多芦 有機層。於該有機層中最頂層上沉積多個侧向間隔電極二 作為第二電極。該陰極係定向成與該陽極成m 係為直角。 x 。該習用被動陣列型〇LED顯示器係藉著施加電位（亦稱為 ；關巧（哈極），從而施加於各列（陽極）上而操 作。當陰極相對於陽極係負偏麼時，係自藉由陰極與陽極 之重疊區所界定的像素發光，所發射之光經由該陽極及該 基材到達觀察者位置。 /於主動陣列型0LED顯示器中，薄膜電晶體阳）組陣列 係配置於透光型基材（諸如例如玻璃基材）上。各組TFT之一 TFT個別連接於對應之透光性陽極塾（其可由例如氧化姻錫 (11^製得）上。隨之依實質上同等於前述被動陣列型0LED 顯不器之構建方式藉氣相沉積連續地形成三或多層有機# 。共同陰極係於最頂層有機層上沉積為第二電極。主㈣ 列型OLED顯示哭夕么士播 ,、σ口之、、，口構及功能係描述於共讓與Us-A_ 5,550,066 中。 為了提供多色彩或全色彩（紅、綠及藍色次像素）被動陣 87114 -10- 200405754

列型或主動陣列型OLED 色次像素化。 層至少部分需彩 〇L:D顯示器之彩色次像素化可經由各種前述 :目前敢常見之彩色次像素化方法中之-係綜合使用^ 多個所述蒸汽來源’及暫時固定於裝置基材 '有Μ先材科（堵如用於產製〇咖發光層 源（或自多個來源）昇華， ’、 來 〇TFnA .. ^ 、，二由經配向精密蔭蔽罩沉積於 吉 此種用以製造0LED之物理氣相沉積(PVD) 2於真対W含有可蒸發之有㈣咖材料的加、^ 峨成。該蒸汽來源中之有機材料加熱以達到足::： 機㈣有效地昇華之蒸汽麼，產生蒸汽有機材料柱，行進 至且卩儿積於OLED基材上。存右久_ 存有各式各樣基於不同操作原理 之m原，包括所謂點狀來源（加熱之小型昇華剖面積來 源）及線性來源（具有大型昇華剖面積之來源）。使用多種罩 幕_基材配向及氣相沉積以於所需基材像素區或次像素區 上沉積不同發光層之圖案，於0LED基材上產生例如所需之 紅色、綠色、及藍色像素或次像素。注意在此種一般使用 於_製造的方法中’並非蒸汽材料柱中所含之所有基發 材料皆沉積於該基材之所需區域上。而是許多材料柱係沉 積於备種真空舱壁、遮蔽及精密隱蔽罩上。此點導致材料 利用因數較差，從而產生較高材料成本。 雖然精密陰蔽罩係為0LED製造適用之方法，但亦導致顯 示器製造之許多複雜性及潛在困境。首先，需謹慎地將此 等罩幕放置於裝置基材上及移除，以避免〇LED裝置之物理 87114 769 200405754 =損壞。其次，當真空沉積大型面積基材時，難以使降蔽 罩沿㈣基材長度之所有位置皆保持緊密接觸，導致。 焦之沉積或罩幕誘致基材物理性損壞。第三， 來 之不同位置上直办梦二洛、<"π ☆ 田、〜基材 …1 “貝二色形£域時，可能需要三組精宓 陰敝罩，於0LED製造中導致 山 文又延遲。弗四，因 數項因素而難以使罩幕於所需準 | 吓而半確度下沿該大型基材具疮 相對於基材保持精密配向，包 又又 匕祜罩綦與基材熱膨脹不符、 七值像素間距、及罩幕製造限制。而且，當於單—直 :週_空沉積多個基材時，材料殘留物會累積於备：罩 上，取後會導致欲沉積之像素中形成缺陷。 【發明内容】 :發明之目的係提供一種在製造多色彩或全色彩有機電 先叫顯不器中彩色像素化-有機層之方法。 =明另-目的係提供一種於oled顯示器基材上沉積 有機層圖案之方法。 、 ，：：.明另：目的係提供一種彩色像素化_有機層之方法 服在衣、夕色杉或全色彩有機電致發光(EL)顯示器 日…技術及目前使用之彩色像素化方法的限制。 於—態樣中，此等目的係藉由一種於一 〇led顯示器基材 上沉積：有機層圖案之方法達成，包括下列步驟： a) 於減壓下’於—艙中配置彼此相互間隔之一歧管及一 OLED顯示器基材； b) 配置一密封覆芸哕敁其 .. 1 °支g之一表面的結構，該結構係包 括夕個延伸通經該纟士错 、'、°構而進入該歧管之噴嘴，且該噴嘴係 87114 ?7f -12- 200405754 對應於欲沉積於該〇 L E D顯示器基材上之圖案而彼此間隔· c) 使該OLED顯示器、基材相對於該結構巾之喷嘴定向 d) 將蒸發之有機材料輸送至該歧管内；及 疋Π ， e) 於壓力下施加惰性氣體於該歧管内，使該惰 供通經各噴嘴之黏性流，該黏性氣流將蒸發之有機^的 至少-部分自該歧管送經該喷嘴，而提供定向之惰性 及蒸發之有機材料束’且使較向束投射於該〇咖顯示哭 基材上，以於該基材上沉積有機層圖案。 另匕、才水中，此等目的係藉由一種於—〇二肋顯示哭 上同時沉積有機層三色彩圖案之方法達成，包括下列；；： a) 於減壓下’於艙内配置彼此相互間隔之一歧管电八體 及-㈣顯示器基材，該歧管組合體係包括一 ：： 一第二歧管、及一第三歧管； 吕

b) 於各個該第一、第二及第三歧管之—表面上密封覆苗 =別結構，各個別結構係包括多個延伸通經各結構J 而各個別結構中之嘴嘴係對應於欲沉 、：D”、:員不基材上之二色彩圖案而彼此相互間隔； 2使一個別結構中之該0led顯示器基材相對於該喷嘴 :)同時將形成第一色彩之蒸發有機材料輸送至該第一 ^ ’形成第二色彩之蒸發有機材料輸送至該第二歧管 :内而=成第三色彩之蒸發有機材料輸送至第三歧管組合 e)於壓力下同時施加惰性氣體於夂一 σ 乐一、第二及第三 87114 200405754 歧管^，使該情性氣體於個別結構中提供通經各個該多個 贺嘴之黏性氣流’ f亥黏性氣流同時將至少—部分形成第一 色办形成第—色彩、及形成第三色彩之蒸發有機材料自 ::對應之歧管送經對應之喷嘴，以提供惰性氣體及形成 弟-色彩、形成第二色彩、及形成第三色彩之蒸發有機發 光材料的定向喷束，且將該定向喷束投射於該沉叩顯示器 基材上，以同時於該基材上沉積三色彩圖案。 另一態樣中，本發明係有關一種於—表面上沉積蒸發材 料圖案之方法，包括下列步驟： a) 於減壓下於一歧管中配置蒸發之材料； b) 配置一密封覆蓋該歧管之一表面的結構，該結構係包 括夕個延伸通經该結構而進入該歧管的喷嘴，且該噴嘴係 對應於;§人 >儿積於該表面上之圖案彼此相互間隔丨及 ’、 c) 於壓力下施加惰性氣體於該歧管内，使該惰性氣體提 i、通經各喷嘴之黏性氣流，該黏性氣流將至少部分蒸發之 材料自該歧管送經該喷嘴，以提供惰性氣體及蒸發之材料 的定向噴束，並將該定向噴束投射於期望沉積之表面上。 本發明之一特色係為將一有機層彩色像素化之方法係使 用有機材料之定向蒸汽束。 本聲明另一特色係將一有機層彩色像素化之方法係於減 壓下且於惰性氣體存在下進行。 本發明另一特色係為將一有機層彩色像素化之方法可於 一 OLED顯示器基材上同時進行三色彩圖案化沉積。 本發明另一特色係為將一有機層彩色像素化之方法係包 87114 -14- 200405754 括於一沉積艙外配置多個蒸汽來源 0^生成有機材料蒸、、今 ，且將〜瘵汽來源連接於配置在艙内之歧管。 ‘、、、彳 本發明另一特色係為彩色像素 s ^ 蔽罩或罩幕。 之方去不需使用精密餐 本發明另一特色係其可將許多 單一沉積層中。 n材枓之混合物塗覆於 本發明另-特色係為該沉積方法可具有極高之材 因數，因為所有昇華之材料皆 所需之像素區上。 且直接-積於該基材 【實施方式】 所使用之”顯示器”或"顯示面板，，用辭係表示可 _ 影像或文^之螢幕。”像素”―辭係使用其於技術公認之= 法，表示顯示面板可個別激勵發光之區域。”夕 ” 〆 7巴3^ —辭 係用以描述可於不同區域發射不同色澤之光的顯示面板： 尤其用以描述可顯示具有不同顏色之影像的顯示面板。此 等區域並非必要連續。”全色彩”一辭係用以描述可發射可 見光譜紅色 '綠色及藍色區域且於任何色澤組合下顯示麥 像之多色彩顯示面板。該紅色、、綠色及藍色構成三原、:衫 可藉由適當地混合此三原色而生成所有其他顏色。"色澤” —辭係表示可見光譜内光發射之強度曲線，不同色澤具有 眼睛可感知之顏色差異。該像素或次像素” 一 、Φ用以表示顯 不面板中之最小可定址單元。就單色顯示器 士你女 s ，像素或 -人像素之間並無分別。”次像素” 一辭係使用於多色彩顯厂、 面板中，用以表示像素可個別定址以發射特定顏色之任何 87114 -15- 2U0405754 部分。例如，齡念二 分。全色彩顯：：：像素:：像素可定址以發射藍光之部

紅色、綠色及“二像素通常包括三原色次像素，即 -色，經常簡稱為” R 表示顯示面板中分p & # 間距一辭係用以 素間距意指兩次 、離。因此，次像 咏京間之分隔0 ”惰 祕”一 於有機蒸汽及對於形$ μ ^ c 轧肢一辭係表示對 丁 y、升/成於0 L E D顯干罝u L >丄 學非反應性之氣體。 ’’、μ 土材上之有機層係化

參照圖1 ’被動陣列型OL 右邱八拟μ 、丨1 ϋ之不思透視圖，且 有:ρ刀掀開之元件，以顯露各種不同之層。 、 透光性基材1 1卜$ 4、+ 4 ^ / 何11上形成有多個側向間隔之第_ 稱為陽極）〇依戽驻私工田γ丄 包位12(亦 9 氧相沉積形成有機電洞傳輸層（HTL) 、機發光層（lel)14、有機電子傳輸層（ETL)15，如同 下文所詳述。於有機電子傳輸層15上且實質上垂直該第一 電極12之方向形成多個側向間隔第二電極16(亦稱為陰極) 。封包物或覆層18將該裝置對環境敏感之部分密封，以提 供完成之OLED 10。 芩照圖2，出示0LED設備1〇〇之示意透視圖，其適於使用 自動化或自動裝置（未出示）製造相當大量之有機發光裝置 ，以於多個自緩衝中樞1〇2及自傳送中樞1〇4延伸之多個站 點之間輸送或傳送。穿經泵送口 107之真空泵1〇6係於該中 樞1 02、1 04内及於自此等中樞延伸之各站點内提供低壓， 站點14 0除外。壓力計1 〇 8指示該設備1 〇 〇内之低壓。該壓力 一般係低於1 CT3托耳（1.33 X 1 (Γ1帕司卡），且可低達1 〇_6托耳 (1·33 X 10·4帕司卡）。 87114 -16- /54 機二占係匕括用以配置基材負載之負載站1 1 ο、用以形成 洞傳輸層(HTL)(其可包括有機電洞注射亞層)之氣 :貝站13G、用以形成有機發光層（LEL)之氣相沉積站14〇 开=形成有機電子傳輸層（ETL)之氣相沉積站15〇、用以 二^個弟二電極（陰極）之氣相沉積站160、用以將基材自 2中樞⑽傳送至傳送中㈣4(其可從而提供儲存站170) 爾^载站1 0 3、乃奴< r4~* Ni » V. ^ 、.二由連接口 105連接於該中樞104之封包站 。此等站，點（除LEL站14〇外）個別具有延伸進入中柩— 乂〇4之開口，各站點係具有經真空密封之出入口 (未示)， ::::用以清潔及置換或維修零件之站點接達口。各站點 係包括一外殼，其界定—艙室。 Γ=〇咖顯示器中將有機層彩色像素化之本發明方法 疋向噴束’其係經由噴嘴誘發惰氣之黏性流而生成， β性氣流傳送有機材料蒸汽。視該喷嘴之數量及内部尺寸 、及達到定向噴束所需之氣流而定，LEL站140之”氣體負載” 了相對呵°該相對高”氣體負載"會對OLED設備100之其他 站點之功能性產生負面影響。 為了防止對該〇LED設備1〇〇之其他站點及中枢產生該種 潛在之負面影響，該啦站14()適於在彩色像素化期間隔離 此站點。隔離係藉由下列裝置達成：⑴站閱i4i，以鄰近該 緩衝中拖1 0 2之虛後輪应矣- 嚴裏輪朵表不，-般係位於關閉位置。站閥 ⑷僅開啟以使基材自緩衝中樞傳送至站點⑷内，再將完 即經彩色像素化之基材）自站14〇傳送至緩衝中 樞1 02内；及⑴）站直处爷u ”工泵M2係經由泵吸口 144(包括節流閥 87114 200405754 145)連接於站14〇。該節流閥可控制於完全開啟位置，調整 至邛刀開啟位置，或位於關閉位置。站壓感測器工46顯示該 站140艙内之壓力。 在基材傳送之鈾，该節流閥1 4 5係經調整以自站壓感測器 及〇LED5又備1〇〇之壓力計1〇8得到實質相同之壓力讀數 ’隨之可開啟站閥141。 基材自該中樞102傳送至站14〇艙（14〇c)内時，關閉該站 閥141 ’且開啟節流閥145，將該艙〇4〇c)抽真空至介於Μ·? 托耳（1·33 X 1〇至ι·33 X 10” pa)範圍内之原始壓力 ’以自該艙移除微量之氧及濕氣。 在彩色像素化之前，惰性氣體視情況自惰氣供料源147 經由導管（包括氣流控制器149)進入該艙（14〇c)。將節流閥 145調整至該艙内之氣壓（Pc)等於介於約⑺^至⑺◦托耳範圍 内之遥擇水平的位置。該艙中之氣壓水平低於惰性氣體壓 力，用以於该唷嘴（506)中產生黏性流，而提供定向噴束。 圖3係為負載站110沿圖2之剖線弘3取得之示意剖面圖。 該負載站11G具有外殼uqh’其界定—艙nQC。該搶内放 置有一設計以承載多個具有預先成形之第一電極12的基材 11(參照圖1及圖4至5)的載體U1。可配置另一載體m，以 支杈务個主動陣列型基材51(參照圖7)。載體丨u亦可配置於 卸載站1 0 3中及於儲存站i 7 〇中。 參照圖4，出示全色彩（RGB)被動陣列型〇led顯示器 10-3C的不意俯視圖，其可藉本發明方法彩色像素化。相同 編號對應於圖1描述中所示之相同零件或功能。各像素（圖4 87114 >18- 200405754 中、工‘不之像素)係包括三相鄰次像素 — σ人像素係形成於行電極或陽極丨2盥列為R G及B。 點上。各次像素可個別定址以發射特定=或陰極16之交 為R之次像素具有有機虹介質，1 t °例如’標示 有G及B之々儋|日士士 " 、、、工光。相同地，桿 B之-人像素具有有機EL介質，其個 ^ 。因此，各像H右一 _ π γ 孓出綠光及藍光 口像素具有二個可個別定址之 一可定址之列雷朽16，而兮^ 丁包極12(陽極）及 極或，極J 亥顯示器1(Mc具有該列電 u陰極16之三倍數量的行電極或陽極丨 】電 單純行條F1安 / 士 主思圖4係出示 使用之δ®案。 案’如同一般 圖4出示限制數量之像素(圖像)。基本 受限於製造顯示器10_3C之基材n尺寸二:之數！僅 2數里㈣可相當高’僅受限於用以產生彩色 产古達每=使明定向束沉積可使像素解析 度回違母笔米50像素。 於-類OLED顯示器(一般稱為底部發光型顯示器。中，制 得自_員示器1〇-3C之選擇圖案，其可藉觀看發光基： η之底面而觀察。較佳操作模式中，f亥面板係藉著同時依 序激勵-列像素，且於選擇使重複各列激勵間之時隔短於 人類視覺系統之偵測極限（一般短於約丨/ 6 〇秒）的速率下重 複該激勵序列而激勵發光。觀察者看到自所有被激勵列所 發射形成之影像，即使該面板於任何時間下僅自單一列經 定址次像素發光亦然。 該OLED面板10_30：的RGBg色像素化係出示為條紋圖案 77? 87114 -19- 200405754 ’其中R、G及B條紋各產生僅來自藉由經激勵之行電極（陽 極）12及列電極（陰極）16交點所界定之區域的光發射，即使 像素圖像之界定包括介於該陽極12間之不發光間隙(圖4中 未標不）亦然。 ^係為〇LED顯示器之示意剖面圖，沿圖4之^線w 取得。該EL介質係包括於該陽極行電極12(配置於該基材η 士)之上及之間形成為連續層之有機電洞傳輸層Η。該電洞 、輸層可包括先形成於該陽極上及之間的電洞注射亞層 未了：機古發光次像素層14R 1=。有機電子傳輪層15係於該經彩色像素化層上形 (成未為示叫且可包括與陰極列電㈣接觸之電子注射層 重示主動陣列型0LED顯示器之部分電路圖。 見二象素電路各包括薄膜交換電晶體Tsnm，其中… 宁為界义形成於透光性基 之整數·(參照圖7)。你" 上之夂像素電路的特定位置 之第2位置或第 ： TS12係為結合位於第1列及該列 像素電路路㈣膜交換電晶體。各次 、薄膘電容器Cn:、及二於：率控制之薄膜電晶體TC-電源線Vddn、x為一極體之有飢介質EL請。 數）、及丫-向^? 線（包括線路XI至I其中η係為整 口仏號線（包括線路Υ 1至γ # 個別於各次像素電路f徂# 至¥出，其中m係為整數） 電路（以H ^ 疋，、电位及传號定址能力。第1列中之 及6吻;^址線χαγ…界定）係個別叫卜61_2、 表-，圖7中使用相同編號。χ_向信號線χι、χ2、

87114 -20- 200405754 X3、"·Χη係連接於向驅動電路87，而γ-向信號線γ卜 Υ2、Υ3、··· Ym係連接於γ-向驅動電路88。例如，為自該 EL;I貝EL12提供發光，係於χ_向信號線χl及γ_向信號線 Υ2提供信號，以將薄膜交換電晶體^^啟動成為，，連通”狀 f。從而使用於功率控制丁⑴之薄膜電晶體成為”連通”狀 悲，經由功源線vddi感應通經該EL介質EU2的電流。因此 ，由 OLED EL12發光。 6 1-2及6 1-3的部分示意 圖7係為圖6中所示之次像素6 j 剖面圖，顯示經全色彩像辛 ^

京化之EL介質，其中發光層之RGB 衫色像素化個別出示於54R、54Gy5 ~ ^ ^ ^ MG&54B。彩色像素化可藉 本發明方法達成。 於透光性基材5 1上配置次像夸帝 膜雷n6 素私路兀件（溥膜電晶體、薄 馭電令态、及電路）61M、61 # ^ ^ ^ , . e 及61-3。導電性線路64對透 九f生弟一電極或陽極塾5 2 (可由气 Λ (了由虱化銦錫（ιτο)構成）提供電 耳外（自功率控制用之薄膜電 係提"絕缘镇-古 透光性有機絕緣_ ，電絶緣。弟—有機絕緣體層6 一部分頂面。 i以之邊緣及

Ik之形成有機EL介質，盆π由^ , 帝、η偟^昆 、，、依序包括連續有機電洞注射 -洞傳輸層53、經彩色像素化 m 、及連續之兩；值於X “54R、5 4G& 久逆、，之电子傳輸層5S。形 共同第一帝 ” μ电子傳輪層55接觸, 」弟一包極或陰極56。自次像素 伸於虛線間之箭號表示， 岡= 义尺寸係由: 亦包括不發光之突起部分像二圖像爾 、54G及54B之,卜 “延伸於凹陷發光部紗 87114 21 779 200405754 參照圖8，出示氣相沉積設備500之示意說明，其可用於 進行本發明。圖2之站140具有外殼140H，界定如參照圖2 所述般保持於減壓PCT之艙室140C。為了保持圖式之明示 性，圖8中省略站閥141、站真空泵142及結合之泵吸口 144 及節流閥145、站壓感測器146、及惰氣供料源147(具有導 管148及氣流控制器149)。而且，視基材11 (5丨）中之材料、 歧管-對-基材間隔及沉積溫度而定，可冷卻該基材，為助 於說明，亦未出示冷卻結構。 艙室140C中配置一歧管500M，其包括歧管外殼5〇2，其 至少一表面上由亦稱為喷嘴504之結構密封覆蓋。該噴嘴板 具有多個喷嘴506，其延伸至該歧管内。該結構或噴嘴板具 有形成於一表面上之配向標記533，以使〇L]ED顯示器基材 11 (5 1)於沉積經彩色像素化有機發光層14R、14G或ΐ4β中 之第一層以成為該基材上之條紋圖案之前，相對於該噴嘴 配向。已知該基材U (51)係包括有機電洞注射及電洞傳輸 層（HTL) 1 3 或 53。 於艙室140C中經由位於支架或罩幕框23〇(其中配置有基 材）（麥照16及17)上之配向標記533及配向窗口 233於厂向上 使土材相對於貪鳴5〇6配向時，該基材11 (5 1)藉引導螺釘 2 12於^-向上移動至起始位置，，〗，，（參照圖Μ及η)。已知可移 2基材11 (5 1)或歧管5〇〇Μ。當然，若此等元件任一者係靜 態’亦可達成沉積。 出不夕個有機材料蒸汽來源5〇〇VSl至500VS4係配置於 舶40C外為了塗覆發光層，蒸汽來源5〇〇vsl至5〇〇VS4 87114 -22- 200405754 中至少一種材料係為發光 3, ,π〇νςι ^ 材科。或該多個或有機材料蒸汽 來源500VS1至500VS4可配罢七人乂八 _置方；舲MOC内部及/或歧管500Μ 内部。各瘵汽來源皆和杯 士 括外叙540。如同圖8所示且參照圖 15所坪述，外殼54〇係包 括凸緣541，其與來源蓋544密合， 且從而密封連接於下方节、— 、 f、、、Ά輸送導管546a。蒸汽流控制裝 置560v之一末端係連接 佼趴下方瘵汽輸送導管546a，而第二 末端係連接於上方墓汽給送道一 …/丄如迗導管546b。各蒸汽來源5〇〇vsi 至500VS4亦以句杯去山_ 匕括未出不於圖8之個別加熱元件為佳，以 將内部材料加熱至適當之、w ^ ^ ，里度，產生放置於該蒸汽來源内 部之有機材料的蒗汽。士 …飞或该有機材料可直接負載於歧管 5 00M内，而不使用_心丨 便用個別之该蒸汽來源500VSls 500VS4， 使用直接放置於歧瞢5 〇 〇 1U U‘ 上或内之加熱元件（未圖示）產生 有機蒸汽。

\料、原5 00IGS具有氣體關閉閥562及自氣體關閉閥 月氣預…、态564之導官(圖中未標示），㉟該氣體加熱至 足防止有機材料洛汽冷凝於元件（其中同時含有惰氣流 及有機材料蒸汽)内表面上之溫度。下方氣體輸送導管5編 將惰氣預熱器連接至氣流控制裝置56〇g之一末端，而上方 氣體輸送導管566b係、將氣流控制裝置，之第二末端連接 於結合器570。結合器57Q亦承接上方蒸汽輸送導管_， 、、、口 口 U氣流與來自兩有機材料蒸汽來源（同時操作）之至少 卩刀有機材料瘵汽’如下文所詳述。用於蒸汽輸送及氣 體輸C之，、同$管546(：經由氣相沉積站1刊之外殼將 結合裔57G之輪出末端連接於歧f 5⑽M。或惰性氣體可直 87114 -23 - 接進料至歧管500M，與該 該有機材料κ处雨达5、生成之有機蒸汽混合。 方俄狩科瘵汽來源、玆々 、該社人哭 _ Θ乳、夂器、該流動控制裝置 口為、邊輸送導管係排 外罩叫該可加熱外罩可為二虛/，廓所示之可加熱 其可护：制ή &、 ' I田 寸及結構之實驗爐， 』彳工制加熱以於該外罩内 蒸汽來源、導管、;…勤Μ、足以防止有機材料蒸汽於 守S疾、/飞机動控制裝置、 人 上冷凝之溫度丁e。 、、、口 口為570内表面 相同地，為防止有機材料； 槎弋皤呰j …、^歧吕50〇M内表面及該結 構或贺嘴板504面向歧管之# ; L、人、t ^ γ ^ ^ 、上旋，防止該喷嘴506因 為瘵Α冷凝而阻塞，該歧管 中去山— 了稭歧吕加熱燈520加熱。圖8 禾出不可控制之加献擦帝 '、、、甩凉及連接於加熱燈520之電聯 0已知，使用例如加埶蟫瞢 噴嘴板。 ……T、&成加熱條亦可加熱該歧管及該 意外地發現若氣體流動係藉 .+ 了稽虱*控制裝置560g控制，則 嘴鳴軸具有極小角度發散之古 畝之阿度疋向氣體喷束係自喷嘴 5〇6離開，使得該歧管5〇〇1^巾 夂g duum中形成之氣壓導致氣體自歧管 通經喷嘴而進入艙室140(：：内 ^ 之站丨生/爪。亦發現有機材料蒗 w與流動中之惰性氣體於結合器57〇中結合，以輸送至該 歧管500M内，而以有機材料蒸汽與惰性氣體之結合定向噴 束川形式自噴嘴506出發。亦公認就定向氣體噴束而言： 現噴嘴之内部尺寸及進入歧管之氣流水平（對應增加其中 氣體壓力）而定，可在該結構或喷嘴板5〇4上方約〇〇2至2.〇 厘米範圍内之距離保持準直。 另外亦發現若氣體流動係藉氣流控制裝置56〇g控制，則 87114 -24 - 200405754 與噴嘴軸具有極小角度發散之高度定向氣體喷束係自喷嘴 5士〇6離開’使得當該有機材料係直接於該歧管内蒸發 日寸’ β亥歧官5〇〇Μ中形成之氣壓導致氣體自歧管通經噴嘴而 進入艙室140C内之黏性流。 另外亦發現若氣體流動係藉氣流控制裝置56〇g控制，則 與㉟嘴轴具有極小角度發散之高度定向氣體喷束係自喷嘴 506離開’使得當該有機材料係直接於該歧管5〇〇M内蒸發 且與歧官500M内之惰性氣體結合時，該歧管5〇〇M中形成之 氣壓導致氣體自歧管通經噴嘴而進入艙室丨4〇c内之黏性流。 為了進一步明瞭於黏性流條件下形成流經噴嘴之氣體定 向喷束’參考Leon I. Maissel 及 Reinhard Gland 所編輯，

McGraw Hill Book Company 於 1 970 年出版之"Handbook of

Thin Film Technology’’及 James Μ· Lafferty所編輯，J〇hn

Wiley & Sons，Inc.出版之"Foundations of Vacuum Science and Technology”的適當段落。 若氣體流經窄管，其於管壁上受到阻力。因此，於管壁 上及相鄰處之氣體層變慢’導致黏性流。黏性係數▽係來 自因分子間撞擊所致之内摩擦。此黏性係數η係表示為 其中f係為介於0.3及0.5之間的因數，視分子相互作用之假 設模型而定。就大部分氣體而言，f=〇.499係良好假設。〇 係為分子直徑；m係為氣體分子質量；係為波爾兹曼常數 (Boltzmann constant);且Τ係為氣體之溫度，以愷爾文 -25- 87114 200405754 (Kelvin)(K)表示。 评3之，就長度1且半徑r而有惰性氣體流經 言，黏性流微觀流速直困柱官而 (2)

Qvisc - EL· P (P2 - pi) 8 η I 且P2及口！係為該管相對末端上之 其中p係為管内平均壓力 壓力。 氣體之平均自由路徑λ係表示成下式 λ= kBT 1 ν2πσ:Ρ TErmo7 ⑶ 其中σ係為分子直徑，n係為每單位體積之分子數目，而p 係為氣體壓力。 當氣體流經直徑為d之管子時，通常有三種流動方式 (〜regime)，即自由分子流、連續或黏性流及過渡流， ”可用以疋性a亥流動。康得森數（Kunds⑶，s number)Kn係表 示為 ΚΠ=λ/ά (4) 係用以定性該流動方式。當Κη>〇·5時，該流動係為自由分 子流方式。此時氣體動力學係由分子與管或容器壁之碰撞 主&。氣體分子流經該管，連續撞擊管壁，直至歷經最終 才里擊，將其喷射通經該開^。視該管之長度對直徑比例而 疋，射出之分子的角度分佈可由餘弦㊀分佈（就零長度而言） 784 87114 -26- 200405754 至強力务射曲線（高值長度對直徑比例）（細節參照Laffe t 。=是強力發射曲線，發射流於非零角度至管輪仍= 要刀i @ 〇·() 1 <Kn<Q.5時，該流係為過渡流動方式，其 分子與官壁之撞擊及分子間撞擊皆影響氣體之流動特性。 、田Kn:“氐時’接近黏性流方式，該流動由分子間撞擊所主 導。當Κη<0·01時，該流動係為黏性流方式。此時該氣體之 平均自由路徑小於管直徑，而分子間撞擊遠較管壁撞擊頻 繁於站11級方式下操作時，來自管孔之氣體通常於大體 上平订於孔壁之流線下平順地流動，可於高值長度對直徑 比例下南度定向。 就特定可蒸發材料而言，於可使用溫度下之蒸汽壓係低 以唯以針對小型開口達到黏性流，諸如可用於製造經像素 化OLED顯示器者。此等情況下，可使用附加氣體⑽如單 獨作為載體之惰性氣體）產生黏性流。 氣體之蒸汽壓ρ *可由以下關係估計

Log P*- A/T+ B+ C Log T (5) 其中A、Β及C係常數。Alq之蒸汽壓經測量在25〇至35〇。〇下 係由0.024至0.573間變動。發現，最適合的係數為a = 2245.996 ’ B--21.71 4及 08.973 °Alq之平均自由路徑於 25〇 至350°C溫度範圍内，於蒸汽壓下係為〇5至〇〇254毫米。因 此單獨A!q之蒸汽壓不足以在25〇至3S(rc溫度範圍内，於 1〇〇微米管徑之圓形喷嘴結構中產生黏性流。需要約15托耳 之蒸汽麼以使A1 q於此管徑下成為黏性流。 87114 -27- 200405754 該蒸汽流控制裝置560v及氣流控制裝置㈣可為 即流動控制閥。或此等流動控制裝置可為質流控制裝置， 其可依分度方式調整，對應於控制器(其可藉由來 (未不)之信號定址)所提供之電控信號而自_ 啟位置。 m開 2機材料蒸汽來源中之—（例如蒸汽來源5ggvs4)令置入 可’’、、毛之有機主體材料。此種有機主體材料可為粉末 片、微粒或液體形式。若欲形成全色彩（rgb) 〇led顯示器 ’則其餘之有機材料蒸汽來源(例如蒸汽來源500VS1、 5〇〇州及5崎83)係置人不同之可蒸發有機摻雜劑材料。 '’飞來源500vs 1係置入摻雜劑材料，其提供來自有 ===:化摻雜層14G之綠光發射。該蒸汽來源 ° ，雜剡材料，其提供來自有機主體材料之細 像素化摻雜層14R之紅光發射。肖蒸汽來源謂S3裝有; _材料’提供來自有機主體材料之經像素化換雜層⑽ =監先發射。該有機摻雜劑材料可為粉末、薄月 液體形式。 4 使用蒸汽來源及有機材料個別進料之前述實例，可如下 =作氣相沉積裝置500’於基材π上或於基材5丨上提供全色 :像2 ’此時以發光層14R(或14G或14Β )之條紋圖案表示 遠条汽來源50〇VS2(紅色摻雜劑）及蒸汽來源vs取體材 係加熱至蒸發温度，其導致個別有機材料蒗發，通常係 啟動對應之蒸汽流動控制裝置—，使受控之摻雜 及X控之主要蒸汽流自此兩蒸汽來源通經下方及 87114 -28 - 200405754 上方瘵汽輸送導管(個別為546a及546b)、結合器57〇、及丘 =管心，進人該歧f5議，於其中達成主體^ 與摻雜劑材料蒸汽之完+ "八 …八 於站…二 此等有機材料蒸汽 ；B 瘵汽壓Pv，對A1q而言，在250至350。(：之昇華 範圍内約o.G2m573托耳，如參照圖_詳述。 ‘=氣體(例如氮或氬氣)之流動係藉著在開啟氣體關閉 ^括於惰氣供料源500IGS中)時控制氣流控制裝置 5 60g之開口而起始。流動之惰氣於惰氣預熱器564中預熱， 、、工預熱之乳體經由下方及上方氣體輸送導管（個別為⑽& 及566b)通入歧官5〇()M、結合器57()内且通經該共同導管 :46c:、以進行蒸汽輸送及氣體輸送。該惰氣於歧管中提供 軋體壓力PG ’其係調整(經由氣流控制裝置則幻至足以於 =結構或噴嘴板504中產生通經喷嘴州之氣體黏性流，且 供貫質定向之惰性氣體噴束’與將有機材料混合&汽一 起輸送導人該歧管巾，以達成有機㈣蒸汽與惰性氣體之 定向噴束5 1 〇。 該0LED顯示器基材u⑴）藉著經由位於㈣·板上之 配向標記533及配置於支撐基材之支架或罩幕框2叫未出 不顧圖8’參照圖16’ 17)之對應配向窗口加而於厂方向上 配向。該基材係於X-方向上移動通過該定向喷束51〇，以接 收條紋圖案之特定次像素的有機發紅色光層i4R。該條紋圖 f係藉由以向前移動”F，，方式自起始位置"Γ，移動或平移該 土材至向前移動之最終位置，,n、提供。或可以基材位置 ’而相對於該基材平移該歧管。 87114 -29- 200405754 來自蒸汽來源500VS4(主體材料）及500VS2(紅色摻雜劑） 之蒸；ά流現在藉由關閉對應之蒸汽流控制閥5 6 〇 v且藉由中 斷該蒸汽來源500VS2之加熱而中斷。進入該歧管及通經該 貝鳴之經預熱氣體流可持續，或其可藉由關閉氣流控制閥 560g而中斷。此外，可於喷嘴板上放置擋閘裝置（參照圖 ，以阻斷殘留之蒸汽流或殘留之定向喷束，防止其於自位 置，，Π”逆向或回轉移動，，R”至位置”〗，，之期間到達該基材。 邊基材11 (5 1)現在係藉由逆向或回轉移動”R”自位置H，， 移動或平移回到起始位置"P。該蒸汽來源5〇〇vsl(綠色摻 雜劑）係加熱使該摻雜劑昇華，而於藉蒸汽流控制裝置56〇v (與瘵汽來源500VS1結合）所控制之蒸汽流了將”綠色，，換雜 劑蒸汽導入歧管内。重複將主體材料自來源5〇〇vs4提供至 歧官内及藉由經預熱之惰氣流入歧管5〇〇M内而產生定向 噴束5 1 0以於該喷嘴5 〇6内產生黏性流的步驟。於位置，，丨，，中 ，基材再次相對於噴嘴定向或編碼，使得用以接收有機發 綠色光層14G之次像素與該喷嘴配向。該基材隨之依前進方 向F”移動或平移通經來自噴嘴5〇6之定向噴束，到達位置 II ，以於特定次像素中接收條紋圖案之有機發綠色光芦 14G。 曰 藉著經由蒸汽來源500VS3(藍色摻雜劑）及5〇〇vs4(主體 材料）於基材11 (5 1)之特定次像素位置形成有機發藍色光 層14B之條紋圖案，而重複前述程序步驟。因此，若需要， 全色彩RGB經彩色像素化〇LED顯示器1〇、3(：或5〇1可 藉本發明方法於氣相沉積設備500中達成。 87114 -30- 已知亦可藉由本發明方 器。此時使用具有排效地製得多色彩0咖顯示 5〇6的結構或噴嘴板5〇4。…特定行(或列)次像素之噴嘴 圖8及其描述係包括 + 知可使用較多或較少M t來源5〇0 VS1至5〇0 已 素化。而且，送入蒸汽二Γ 明方法進行彩色像 異於參照圖8所述之 之:㈣有機材料的選擇可 種可蒸發有機主 》如U汽來源可置入第- 基發之右播士而第二蒸汽來源可裝有第二種可 源可置入έ-,才料。第三蒸汽來源或第三及附加蒸汽來 源可置入經選擇以自 /飞不 發光層圖案發出 之0LEDa不器的經摻雜有機 雜劑材料。先、綠光或藍光中之-的可蒸發有機摻 主體材料及—或多種有機摻雜劑材料形成 之 定Γ Γ可使操作中之0LED顯示器具有改良 該等改良特色之組合。 之七先色和或 可將一或多種可蒸發有機摻雜劑置入一基汽來源中。 :成,色像素化時’所有蒸汽來源皆藉著令斷該來源之 Y、A t閉h性瑕J流係藉著關閉氣體關閉閥562或藉著控 制该疵流控制择罢 制衣置56〇g之關閉而中斷。完成之基材於χ-方 向上自位置"π" #心I 了 片、私動或平移回到位置”1”。一旦進入該艙室 之^生乱机令斷且該搶室140C抽真空（藉站點真空泵142經 由即抓閥145)至約等於圖2之緩衝中樞iQ2中所存在之墨力 的麼力’則基朴（51)可經由圖2所示之站閥i4i自後一位 87114 -31 - 200405754 置之艙室魔取出。經彩色像素化之基材可隨之行進至站 點150 (ETL)内，以难〜▲, 七+人 進仃有機電子傳輸層（其可包括電子注射 亞層）之氣相沉積。 參照圖9，出示具有多個沿中心線CL排列之噴嘴5〇6的結 構或喷紫板504。该嘴嘴間距（喷嘴間等間隔）係經選擇以產 生要之沉積圖案’準確地塗覆〇LED顯示器所需之次像素 。贺嘴5G6總數對應於〇LE[)顯示器用以發射所選擇顏色之 光（諸如例如紅色光、綠色光或藍色光）的次像素之總數。 此時以配向十字形式ψ - ^r 次出不配向“記5，但可採用其他配向 方法。 圖H)係為沿圖9之剖面線1〇_1〇所得之喷嘴板5〇4剖面圖 。出不唷嘴内部尺寸或噴嘴直徑仪喷嘴長度尺寸卜噴嘴 5〇6可為圓形輪廓或具有多邊形輪廓。噴嘴内部尺寸d可由 0至1 000毛米，而有機材料蒸汽及惰性氣體之定向噴束

51〇(參照圖8)可使該Μ長度尺寸⑽、㈣噴嘴尺 d大5倍。 J 參照圖11，-出示—結構或噴嘴板5〇4Τ，其包括噴嘴5〇6 之二維陣列及配向標記533。出示之喷嘴陣列靖呈有讀 嘴嘴切彳喷嘴。該噴嘴㈣4T可㈣放置於具有適當大小 之歧腎之一側面上，撞間步罟可从52 + ^闸衣置可放置於該噴嘴陣列5〇4 丁與 OLED顯示器基材(其進行彩色像素化，使得該擋閘裝置阻 斷介於該喷嘴506與該基材之間的直接視線）之間。节基材 係經由配向標記533及形成於支架或罩幕框23〇(接收^輸 送該基材）上之對應配向窗σ 233(參照圖丨6，17)相對於嘴= 87114 -32- 200405754 定向。該基材係移動5卞 + 力至疋位於泫賀嘴板504丁上，而盥苴配 向。隨後收回擋問裝置，惰性氣體及有機主體材料盘形成 色彩之摻雜劑材料的蒸汽之定向喷束於基材之不連續且選 擇性次像素上形成—經摻雜有機發光層(諸如薄層⑽或 14G或14B)，此優於基材連續地移動或平移通經定向喷束來 產生彩色像素化之條紋圖案。 、 參照圖12 ’出示圓柱管狀歧管遍CM之示意俯視圖。該 歧管500CM具有圓柱形歧管外殼536，其包括末端蓋$取 539。歧管加熱元件52Q延伸通經該歧f，而藉末端蓋支撐

。直接於外殼536中形成多個噴嘴506，成為沿著中心線CL 之線狀圖案。配向標記53 5係沿圓柱表面配置，而沿中心線 CL放置。 σ » 圖13係為沿圖12之剖面線13-13所得的圓柱形歧管之剖 面圖，界定喷嘴長度尺寸丨及噴嘴内部尺寸d。該喷嘴内部 尺寸d可於由1〇至ι〇〇〇微米範圍内，而喷嘴長度應至少較喷 嘴直徑大5倍。可使用管狀歧管之其他結構，諸如例如具有 橢圓形剖面或多邊形剖面之管狀歧管。 圖13A出示經修飾圓柱管形歧管5〇〇CM—1的剖面圖，其中 曲面結構或曲面喷嘴板504C係密封配置於形成於圓柱形歧 管外殼536中之狹缝形隙孔537上。喷嘴5〇6係沿著諸如圖12 中噴嘴線所示之線而形成於曲面喷嘴板504c中。配向標記 53 5係配置於曲面喷嘴板（未出示於圖13 a中）上。

茶照圖1 4，出示來自喷嘴506之有機材料蒸汽流之發散性 個別與歧管外殼502内之蒸汽壓PY及蒸汽壓Pv加歧管5〇〇M λ λ -JJ " 87114 200405754 中惰氣壓力水平卩⑴及Pm之間的關係。該發散性係以虛線 箭號及相對於物流（來自喷嘴板504中所形成之喷嘴5〇6)之 角度cm、h及a;表示。該艙室14〇c之低壓可包括進入該 舱室之惰性氣體壓力）（參照圖2 )可由1 〇_ 7至1 〇ϋ托耳。 當進入歧管500Μ之惰氣流不存在時，有機主體材料與摻 雜劑之蒸汽被自個別蒸汽來源導入歧管内，於約3〇(rc之昇 華溫度下於该有機材料蒸汽來源中於該歧管内形成約〇 · J 托耳（13 Pa)之蒸汽壓Pv。該有機材料蒸汽於此蒸汽壓下提 供通經嘴鳴5 0 6之非黏性流，如相對角α!所示地於相對高發 散性下進入該艙室。當惰氣流附加地導入該歧管以產生氣 壓Pg 1時’來自喷嘴之蒸汽流加惰氣流的發散性如相對角α2 所示般地降低，表示惰氣之導入產生某一程度之黏性流性 質。當進入歧管500Μ之惰氣流再增加使歧管中氣壓P(}2>Pci 時，來自喷嘴506之蒸汽流及惰氣流的發散性進一步降低， 提供具有相對角0C3之實質定向喷束，表示實質藉由該歧管 500M中處於後一氣壓水平下之惰性氣體經由喷嘴506產生 黏性流。 參照圖15，出示蒸汽來源500VS之具體實例的剖面圖， 其係為圖示於圖8中之蒸汽來源500VS1至500VS4之代表。 該蒸汽來源500VS係包括具有凸緣541之外殼540。墊片542 經由螺栓543(配置於該凸緣與該來源覆蓋之邊緣周圍）提 供凸緣541與來源覆蓋544間之密封嚙合。該墊片542可為金 屬（諸如鋁或銅）製得之環形壓縮墊片如同熟習真空技術者 所熟知。 87114 -34- 200405754 瘵發加熱器550於藉由饋入裝置552及554所支撐而配置 於來源覆蓋544中之外殼54G内延伸。蒸發加熱器55〇可加熱 至蒸發溫度，導致該蒸汽來源5〇〇Vs中所裝之可蒸發有機 材(以虛線輪廓表示）昇華，而將蒸汽（未示）提供於下 方蒸汽輸送導管546a内（亦參照圖8)。此導管係藉密封物 5 45相對於該來源覆蓋544密封。 瘵發加熱器電源750係經由引線752連接於饋入裝置552 ，且經由引線754連接於饋入裝置554。蒸發加熱器55〇之受 控加熱係藉由調節器75011控制或調整通經加熱器之電 流而達成。電流係以電流計753指示。 該蒸汽來源500VS之外殼540可藉由移除螺栓543而自來 源覆蓋544卸下。卸下該外殼可清除有機材料14&之殘留物 ’置入有機材料1 4a之新供料。 參照圖16,出示圖2之氣相沉積站14〇 (LEL)的示意剖面 圖’沿圖2之線16-16取得。此圖中省略該蒸汽來源5〇〇vs 及惰氣預熱益5 64。該共同導管5 46c經由隔熱歧管載體5 3 〇 (其係藉墊片532相對於外殼14〇H密封）延伸進入該歧管 500M内。擔閘238可移人覆蓋該喷嘴渴之位置（以虛線輪廊 表示）或移入定向噴束5 10(未示）可提供〇LED顯示器基材i i (5 1)彩-色像素化之位置中。 OLED顯示器基材U (51)係放置於支架或罩幕框23〇中， 與喷嘴板504頂面（因此與喷嘴506)具有間隔D。滑動套225 係固定連接於該支架230之頂面，此處以鳩尾形滑動套表示 。滑動套225係配合滑軌225R(形成於導桿隨動器214中）滑 87114 -35- 200405754 動。 滑動套及滑軌使支架230及其中容裝之基材π⑼於厂 方向上移動（茶照圖！7)，使該基材與喷嘴 描述之各個彩色像素化步驟之前將基材編碼。一、 導桿212喻接該導桿隨動器214，使其（及支架23〇)於p方 向上自起始位置”Γ向前移動”F„至最終位置”πι，(以虛線及 H輪ιρ表不）。於此連續移動期μ ’基材丄】⑴）通經有機 材料蒸汽及惰性氣體之定向喷束(未示），而於經像素化有 機層上提供條紋圖案。 該導桿212係形成於導桿軸21 i(至少兩位置經承幻之某 些部分上，即於形成於該站14〇之外殼i4〇H中之軸密封物 21 la中及於導桿軸末端托架213(其係裝置於該外殼1彻上） 導桿驅動電動機210經由開關216(其自輸入接頭218經由 引線217提供控制信號）提供前進移動”F, 動T。該開關2丨6可具有中間或”中立”位置(未丄 中、圖17) ’其中5亥支架或罩幕框230(及基材）可保持於 向前移動之最終位置”11”，或於起始位置，，厂，其中基材n (51)(於先前通過該喷嘴之過程中接受彩色像素化）係自支 架23 0取出，將新基材置放於該支架或罩幕框中。 配向偵測器234係用以經由配向標記53 3(或若使用圓柱 形歧管500CM則經由配向標記53 5)使基材丨丨（5丨）與喷嘴板 5〇4中之喷嘴506配向，該配向標記係與形成於該配向標誌 232(其可連接於該支架或罩幕框23〇)中之配向窗口 ：”配 794 87114 -36- 200405754 向。該配向偵測器係經由配置於外殼1 4〇H中之光學窗口 235 沿著光學配向軸236偵測配向。於任一配向標記533上提供 光學配向即可。 芩妝圖1 7，出示圖2之LEL氣相沉積站1 4Θ的部分示意俯 視圖。該歧管500M係放置於熱絕緣歧管載體53〇上。顯示 配向標誌232係連接於支架或罩幕框23〇上，該配向窗口 233 係以十子形式形成於此等標誌中，以對應於配置於該喷嘴 板5 04上之十子形配向標記5 3 3，或對應於位於圖1 2之圓柱 形歧管500M上之十字形配向標記53 5。 步進電動機220具有驅動軸222,其延伸通經步進電動機 I由形成於该外殼14〇H中之軸密封物進入該艙 :軸聯結器224可在支架23Q經由導桿2 } 2( _接該導桿隨動 裔2 14)於X-方向上移動或平移之前卸脫開。該軸聯結器224 係藉著提高聯結升降器226(連接於延伸通經步進電動機 2士20,·動軸部分）而脫開。當軸聯結器224係處於卸接位置 時，、二步進電動機220於電腦221控制下藉著提供驅動抽222 之增量轉動 '以經由滑執225R(參照圖i 6)及滑動套225所提 供之滑勢機制推進或撤回該支架23〇,以提供基材u⑴) 於y方向上之準確編碼，如圖17所示。 吝、固18歧笞組合體500ΜΑ係以位於搶1 4〇c中之方式 承=示。該歧管組合體特別可用於在〇L£D顯示器基材上 同日伐積三色彩圖案有機層。該歧管組合體5〇崎係包括 二個機械連接之歧管500MB(提供有機主 之換雜劑的蒸汽）、綱_提供有機主體材料及發ϋ 87114 200405754 摻雜劑的蒸汽）、50〇mr(提供有機主體材料與發紅光之摻雜 劑的瘵汽）。對應之噴嘴506B、506G及506R個別於組合體 500MA之三個歧管中，對應於準確塗覆位於〇LED顯示器基 材11 (5 1)上之受期望之個別次像素所需的間隔而進行補償 。僅於一歧管配置一或兩個配向標記533。注意亦可採用其 他配向方法。 歧管500MB、500MG及500MR各經由蒸汽流控制裝置且 經由共同導管547c(用以自主體材料蒸汽來源輸送蒸汽且 輸达惰性氣體）接收來自例如蒸汽來源5〇〇VS4之有機主體 材料療汽。該結合器570結合該有機主體材料蒸汽及經預熱 之h性氣體，且將該組合物輸送至該共同導管5 4 7 〇内。 該歧管500MB亦接收此圖中由蒸汽來源5〇〇VS3提供之，，藍 色”摻雜劑蒸汽。該歧管500MG亦接收，，綠色”摻雜劑層（此= 係由瘵汽來源500VS1提供），而歧管5〇〇MI^^接收由蒸汽來 源500VS2所提供之”紅色”摻雜劑蒸汽。 月）文所述基材11 (5 !)先相對於（例如）歧管議〇所 具有之配向標.記5取向或配向。該基材隨之沿1方向移動 或平移至起始位置"ί"。定向之喷束隨之經由噴嘴、 5 06G及5G6R提供。該基材隨之移動或平移通過該^向喷束 而到達取終位置”Π” ’以同時接收彩色像素化之圖案，其個 別為發光層14R' 14G及14B之重現紅色、綠色及藍色條紋 形式，且係對應於欲形成於該OLED顯示器基材u (51)上之 ^疋次像素行。已知雖然出示單純列/行像素化結構，但所 描述之發明可具有擋閘、其他歧管幾何形狀或其他相對移 87114 -38 - 200405754 動方式，以產生較複雜之多色彩像素沉積圖案。 構成結構或喷嘴板5〇4、 金屬、玻璃、石英、石^= 較佳材料係包括 可白A H 、 土陶瓦。该歧管外殼502、536亦 可自刖达車父佳材料中之—構成。用以 不需與構成噴嘴板之材料“外于之材枓 A1 相同例如’歧管外殼可由今屬 ‘得，而噴嘴板可由破璃製得。 已m、、本⑧明僅討論PVD，但本發明 驅物物質進料至該歧管 用方、將& ,+. ^ 反二形成新分子產物，此等新 產物依所迷方式自噴嘴陣列輸出且沉 、田之基材上。 基材 該OLED顯示器一般係配置

顯干哭夕…枕々3 戰丞材上’其中該OLED ”、、、不-之陰極或％極可與基材接觸。 # ^ r- A /、4基材接觸之電極 '、“為底邛電極。傳統上’底 明不限於該種結構。該基材可或為透丄為％極’但本發 需之發·光方A而—，、 飞為透先性或不透明，視所 •卞插降° &。该透光性係觀看通經該基材之發光所 而^種十月況一般係採用透明破 極觀看發弁之施田品丄— 就、經由頂部電 此可為透ΪΓ 部載體之透光特性不重要，因 了為透先性、吸光性或反光性。此 :括(但不限於)破璃、塑膠、半導體材二夕：基： :=材料。當然，需於此等裝置結構中配 电極或頂部電極等。 r 丁負㈤ 壤i極— 當經由陽極12或陽極塾52觀看發光時，該電極應對所研 87114 -39- 九之务光具有透明性或實質透明性 透明陽極材料有氡化銦錫（ιτ〇 本發明所使用之共同 金屬氧化物’包括（但不 =錫’但亦可使用其他 、氧化鎂銦、及氧化錄鹤。除或鋼之氧化鋅⑽） 金屬氮化物（諸如氣化錄）及 寺礼化物之外，可使用 屬疏化物（諸如碳化辞）作為陽極物(諸如石西化辞）、及金 陰極等觀看發光之應用而言， （、=就僅經由陰極或 何導電性# # ° 這光特性不重要，任 1J令毛性材枓皆可使用，透明、 ^ 應用所使用 < 者& m ^ I月或反射性皆然。此 、及/ 、例導體係包括（但不限於）金m 及鉑。一般陽極材料（透光性或 牲式街^ 乂非遷先性）具有4·1電子伏 斗寸或更呵之功函數。所需陽 方i Λ 一， 写U材枓一股係藉任何適當之 。陽搞^ 子孔相，儿積、或電學方式）沉積 可使用眾所周知之微影方法圖案化。 复复H層（HIL) 雖非始終必要，但經常可將電洞注射層配置於陽極與電 :傳輸層13 (53)之間。該電洞注射材料可用以改善後續有 幾έ之/專膜形.成性質，且有助於電洞注射於該電洞傳輸層 適用於電洞注射層中之材料係包括（但不限於）us_ 另4,72〇,432所述之樸啉化合物及un6,2〇8,〇75所述之電 漿沉積氟碳化物聚合物。記載中可用於有機EL裝置之備擇 黾洞左射材料係描述於EP 〇 891 121 A1及Ep 1 029 909 A1 中。 Μ (HTL) 有私;E L顯示器之電洞傳輸層1 3 (5 3 )含有至少一種電洞傳

87114 -40 - 200405754 輸化合物’諸如芳族三級胺，其中已知後者係為含有至小 一個二價氮原子（僅鍵結於碳原子），其中至少一者v、夕 族環。於一型式中，該芳族三級胺可為芳基胺，諸:二： 基，、二芳基胺、彡芳基胺、或聚合芳基胺。例示之：： 二芳基胺係由Klupfel等人說明於US_Aj丨 ， ，，J U甲〇甘他 具有一或多個乙烯基且/或包含至少—個含有活性氫2基 團的適當三芳基胺係由Brantley等人揭示於 3,567,450及118-六-3,658,520 中。 更佳類型之芳族三級胺係為包括至少兩個芳族三級胺部 皆者，描述於仍-八-4,720,432及心八_5,061，569中。該化合 物係包括結構式（A)所示者。

A

Qi、 Q2 其中Qi及Q2係為個別選擇之关於- 」、伴之方知二級胺部分，且G係為鍵 合基’諸如伸芳基、伸择、P且 义凡土、或具有碳對鶊鍵結之伸烧 基。於一具體實例巾’。叫中至少一者含有多環稠合環 結構’例如莕.。當G係為芳基時，其係簡便地為伸苯基、伸 聯苯基、或莕基部分。 滿足結構式（A)且含有兩個二—— 一 名巾们二方基胺部分之可使用類型 三芳基胺係以結構式表示

B -41 - ,I2 卜3 r4 其中： 87114 、芳基、 其故序被 R1及R2個別表示氫原子 不完成環烷基之原子；且 R3及R4個別表示芳基， 取代，如結構式（C)所示 或烧基或1^及112—起表 經二芳基取代之胺基所

C 其中R5及R6係個⑼選擇之芳 中至少一者含右夕 土。於一具體實例中，R5及R6 •考^有多壞稠合環妹 另一，笔A 一 Q構，例如荽。 頒方私二級胺係為四 。可使用之四芳基二 ;'方基胺基（諸如通式⑹所示） 匕括通式（D)所示者

係包括兩個經伸芳基鍵人之基二胺。所需之四芳基二胺 其中： 諸如伸苯基或蒽部分；

Are各可為個別選擇之伸芳基 n係為由1至4之整數；且

Ar、R7、尺8及r9係為個別 中，Ar、R7、r8&R9中至少 如萘。 堤擇之芳基。於典型具體實例 者係為多環稠合環結構，例 2有前述結構式⑷、⑻、(〇、⑼之各種烧基 '伸烧基 、方基、及伸烧基部分各可依序經取代^典型取代基係包 括炫基.、烯基、烧氧基、芳基、芳氧基、及画素，諸如獻 、氯及溴。該各種烷基及伸烷基部分一般含有由約⑴個 87114 -42 - 200405754 般二子^ % ^基部分可含有由3至約1 0個碳原子，但一 敗Ζ有五、六或七個環碳原子，例如環戊基、環己基及環 分。〜構。该方基及伸芳基部分可使用苯基及伸戊基部 形成’同傳輸層可由單一種芳族三級胺化合物或其混合物 八 4 5之，可採用與四芳基二胺（諸如通式（⑺所示）結 —芳基胺（諸如通式通式（Β)之三芳基胺）。當三芳基胺 與四 ：¾:甘 ^ ^基二胺結合使用時，後者係放置成夾置於該三芳基 γ A 4電子注射及傳輸層之間的層狀。可使用之芳族三級 胺之說明例如下： 對-甲苯基胺基苯基）環己烷 l’：U雙（4二-對_甲苯基胺基苯基）冰苯基環己烷 4,4、雙（二苯基胺基）聯四苯 ^(心一曱基胺基-2 -甲基笨基）-苯基甲院 N，N，N-三（對-甲苯基）胺 Μ二，_曱苯基胺基）-4’_[4(二_對_甲苯基胺基卜苯乙缚基] _1，2-二苯乙烯 Ν，Ν，Ν、Ν’-四-對-曱苯基-4-4’-二胺基聯苯 Ν，Ν，Ν’，Ν’-四-苯基-4-4’-二胺基聯苯 义队队’山’-四-1-莕基-4-4、二胺基聯笨 Ν，Ν，Ν’，Ν’-四-2-莕基-4-4、二胺基聯笨 I苯基咔唑 4,4’_雙[N-(l-苔基）-Ν-苯基胺基]聯笨 4,4’-雙[N-(l-萘基）-Ν-(2_莕基）胺基]聯苯 -43- 801 87114 200405754 4,4’’-雙[N-(l -奈基）-N-本基胺基]對-聯二笨 4,4f-雙[N-(2-莕基）-N-笨基胺基]聯苯 4,4f -雙[N-(3-厄基）-N-本基胺基]聯苯 1，5-雙[N-(l-萘基）-N-苯基胺基]莕 4,4’-雙[N-(9-蒽基）-N-苯基胺基]聯苯 4,4Π-雙[N-(l -葱基）-N-苯基胺基]對-聯二苯 4,4f -雙[N-(2 -非基）-N-本基胺基]聯苯 4，4 ’ -雙[N - (8 -弗基）-N -本基胺基]聯本 4,4’-雙[N-(2-芘基）-N-苯基胺基]聯笨 4,4’-雙[N-(2-丁省基）-N-笨基胺基]聯苯 4,4’-雙[N-(2-二萘嵌苯基）-N-苯基胺基]聯苯 4,4’-雙[N-(l-暈苯基）_N-苯基胺基]聯苯 2.6- 雙（二-對-甲苯基胺基）莕 2.6- 雙[二-(1-萘基）胺基]萘 2,6 -雙[N-(l -奈基）-N-(2 -奈基）胺基]奈 N，N，NVN，-四（2-莕基）-4,4π-二胺基-對-聯三苯 4,4f-雙{Ν-苯基-N-[4-(l-萘基苯基]胺基}聯苯 4,4f-雙[Ν-本基-Ν-(2-本基）胺基]聯本 2.6- 雙[N，N-二（2-莕基）胺]荞 1，5-雙[Ν-(1-莕基）-N_苯基胺基]莕。 另一類可使用之電洞傳輸材料係包括EP 1 009 041所述 之多環芳族化合物。此外，可使用聚合物電洞傳輸材料， 諸如聚（N-乙烯基咔唑）（PVK)、聚噻吩、聚吡咯、聚苯胺、 及共聚物，諸如聚（3,4-伸乙二氧基噻吩）/聚（4-苯乙烯磺酸 87114 -44- 200405754 酯）（亦稱為 PEDOT/PSS)。 (LET,) 如,八乂769,292及US + 5,935,72 1所充分描述，有機虹 ⑼不益之發光層（LEL)14(I4R、14G、l4Bm54R、54G、 :4B係包括發光或螢光材料，其中電子-電洞對於此區内重 、”且：產生電致發光。該發光層可包含單—材料，但更常見 的是由摻雜有客體化合物或化合物等(摻雜 :至少—種主體材料所組成，其中光發射主要係來自推雜 i材1可為㈣顏色。該發光層中之主體材料可為電洞傳 ^ ^ 士下文疋我）、電洞傳輸材料（如前文定義）、或支持

二电子重組之另一種材料或材料組合物。該摻雜劑通常 =自高度營光染料’但亦可使用鱗光化合物，例如WO 561 : W〇 〇〇/1δ851、W〇 00/57676 及 W0 00/70655 所 * =之過渡金屬錯合物。摻雜劑-般塗佈〇.〇 1至1 0重量％至 主體材料内。 (對亦：：用聚合物材料，諸如聚第及聚乙稿^ 八；基伸.乙烯h PPV)作為主體材料。此情況下，少型 *雜d可刀子性分散於該聚合物主體内，< 該摻雜劑 ;者將:人要成份共聚於該主體聚合物内而添加。 擇作為&雜制之染料的重要關係係比較能帶隙， 具係定羞、盘7 π 之„ μ 71取高佔用分子軌道與最低未佔用分子執道 ^間的能量差 $ 子，必 =了“有效地將能量自主體轉移至摻雜劑分 糸β I雜劑之能帶隙小於該主體材料者。 已知可#目 月豆且發光性摻雜劑分子係包括（但不限 87114 -45 - 200405754 於）US-A-4,768,292 ; US-A-5，141，671 ; US-A-5，1 50,006 ; US-A-5，151，629; US-A-5,405,709; US-A-5,484,922; US-A解 5,593,788;US-A-5,645,948;US-A-5,683,823;US-A- 5,755,999 ； US-A-5,928,802 ； US-A-5,93 5 5720 ； US-A- 5,935,72 1 ;及 US-A-6,020,078 所揭示者 c -羥基喹啉之金屬錯合物及類似衍生物(通式E)構成一類 可使用之主體化合物，其可支持電致發光 長較5 0 0奈米長之光發射，例如綠色、黃 色。

’特別適用於波 色.、撥色、及紅 η係為由1至4之整數；且 Ζ於各情況下個別表示完成具 心的原子。 兩祠合芳埃環之 根據前文，顯然該金屬可為單價、… 、或 金屬。該金屬可例如為驗金屬，I二價、三價、 屬’諸如鎮或約；土金屬，諸如:納或鉀，·驗 如鋅或錯。通常 、·或麵，或 價…-任何已知係可使用金屬 、 貝、二價或四價金屬。 之鉗合金屬 Ζ完成含有至少兩個 # 口稠…壤U中至小 87114 ^〜者係為〗 -46 - 200405754 之雜環核心。若需要，則其他環（同時包括脂族及芳 、W ) 了與6亥兩必需環稠合。為避免在未改善環原子之功能 下増加分子體積，環原子數通常保持1 8或以下。 可使用之經鉗合類喔星化合物的說明例如下： C〇 1 ·二喔星鋁[财名，三（8^奎啉根基）紹（川）] C 〇 2 ·雙喔星鎂[別名：雙（8 - p奎琳根基）鎂（I ^)] CO-3 ·雙[苯并奎口林根基]鋅（η) CO-4 :雙（2-甲基|喹啉根基）銘合氧基-雙甲基 -8-喹啉根基）鋁（πΐ) C Ο 5 ·二喔生銦[別名，三（8 _卩奎ρ林根基）銦] CO-6·二（5-曱基喔星）鋁[別名，三（5_曱基喹啉根基）鋁 (III)] CO-7 ··喔星鋰[別名，（8_ρ奎啉根基）經⑴] CO-8 :喔星鎵[別如三（8_喳啉根基）嫁（川）] CO-9:喔星鍅[別名，四（8-喹啉根基）锆（IV)] 9,10·二-(2-莕基）蔥（通式F)之衍生物構成一類可支持電 致發光之有用.主肢’尤其適用於波長大於4〇〇奈米之光發射 ，例如藍色、綠色、黃色、橙色或紅色。

885 87114 ~47 - 200405754 其中 R丨、R2、R3、R4 5 > π 、、& 及R 、表示一或多個位於各環上 之取代基，其中各取代其 第1群 子）； 弟2群 弟3群 基可個別選自下列各群： 畫A凡基、或環烷基（具有1至24個碳原 具有5至20個碳原子之芳基或經取代之芳基； 所干$成稠合芳族環(諸如I、基、祐基或二萘嵌苯基 所舄之4至24個碳原子； 第4群：具有5至24個 复 原子之布隹方基或經取代雜芳基， ，、係完成呋喃基、嘍吩 嘵 土 P比疋基、喳啉基或其他雜環系 、、先之稠合雜芳族環所需； 胺基群·具有1至24個碳原子之燒氧胺基、院胺基、或芳 ，及 第6群·氟、氯、溴或氰基。 一丨丨-% 、 、（2 、包括 9，10-二-(2-茶基）莲、及 2-第三丁基 _9，10 9】Λ奈基）恩。其他1衍生物可於LEL中作為主體，包括 &[4·(2,2-二苯基乙烯基）苯基]慝。 叫口朵彳、一 主體，叮物（通式G)構成另一類可支持電致發光之有用 綠2t其適用於波長較400奈米長之光發射，例如藍色、 、黃色、橙色或紅色。

G

L 其中： _ 87114 >48 - 200405754 η係為3至8之整數； Ζ係為〇、NR或s ; R及R個別係為氫；具有丨至24個碳原子之烷基，例如丙 基、第二丁基、庚基及其類者；具有5至2〇個碳原子之芳基 或經雜原子取代之芳基，例如苯基及莕基、呋喃基、嘍吩 基、吡啶基、喹啉基及其他雜環系統；鹵基，諸如氯、氟 ;或完成稠合芳族環所需之原子；且每個啕哚單元可有最 多4個R’基團；且 L係為由烷基、芳基、經取代之烷基或經取代之芳基所組 成之鍵合單TL ’其係共輛或非共辆地接合多個㈤嗓。 可使用之吲哚實例有2,2，,2 ” _(1，3,5•伸笨基）三 -1Η-苯并口米嗤]。 土

Ub_A-5，121，〇29 所述 為供LEL使用之主體材料 所需之螢光摻雜劑係包括葱、丁省、咕噸、二笑七一 紅螢烯、香豆素、若丹明(rh〇damine)、喳叮蜩、二：： 比喃化合物、硫代Μ化合物、聚甲块化合物：； 广尉及硫雜氧雜苯蟵化合物、“…勿、迫位： (periflanthene)衍生物、月 ¥一貧# χ 弗 摻雜斛的說明恭例俨勺乜工土本布土化合物。可使用， 剜妁°兄明爲例係包括（但不限於）下列者： 507 87 "4 -49- 200405754

辦14 -50- 200405754 〇STJ14

-51 - 200405754

雷子僂輪層（ETL) 用以形成有機EL顯示器之電子傳輸層15 (55)之較佳薄膜 形成材料係為經金屬鉗合之類喔星化合物，包括喔星本身 之鉗合物（亦稱為8 -。奎p林酴或8 -經基p奎琳）。該等化合物有助 於注射且傳輸電子，且兼具有高度性能，而易製造成薄膜 形式。所需之類喔星化合物實例係為前文所述滿足結構式 ⑻者。 -52- 87114 200405754 其他電子傳輪材料係包括 之丁 mu欠 σ種杨不於us-A-4,356,429 一烯何生物及各種描述於us-a_4 5 τ 干i曰白劑。滿足結構式⑹之 二先 料。 q J便用之電子傳輪材 陰極 ¥僅經由該陽極觀看弁私身十卑 1 a 毛射蚪共同陰極56或陰極等16 1含幾乎任何導電性材料。所需之材料具有良好之薄膜 心成性$，以確定與底層有機層有良好接κ進於低電 壓：之電子注射’而具有良好安定性。可使用之陰極材料 經㊉含有低功函數金屬（<4·〇電子伏特）或金屬合金。一較佳 陰極材料係包含Mg : ^合金’其中銀之百分比係介於)： 20%範圍β，如US_A_4,885,221所述。另—類適當之陰極材 料係包括與有機層（例如ETL)接觸之電子注射薄層（eil)(其 罩蓋以較厚之導電性金屬層）的雙層物。此情況下，該£江 以包括低功函數金屬或金屬鹽為佳，而較厚之罩芸声不兩 具有低功函數。該陰極之一係包括LiF薄層，之後為較厚之 八1層’如118-八-5,677,572所述。其他可使用之陰極材料組 合係包括（但不限於）118-八-5,059,86 1;1^-八-5,059,862及 US-A-6，140,763所揭示者。 當經由該陰極觀看光發射時，該陰極需透明或接近透明 。就該等應用而言，金屬需薄或需使用透明導電性氧化物 ，或此等材料之組合物。光學透明性陰極係詳細描述於 US-A-5,776,623中。陰極材料可藉蒸發、濺錢、或化學氣 相沉積而沉積。若需要，則圖案化可經由許多眾所周知之 87114 -53- 200405754 方法達成，包括（但不限於）經由· 及Ep 0 732 868所描述之整暴沉積、US-A-5,276，彻 化學氣相沉積。 π忐、雷射切除、及選擇性 封包 大部分OLED裝置及顯示器皆 其-般係於惰性氛圍(諸如氮:氧或兩者敏感，故 劑諸如氧化鋁、鋁土礦、硫 &封’同時使用乾燥 金屬氧化物、鹼土全屬^彳卜、黏土、矽膠、沸石、鹼 高氯酸鹽。封包及 —9。所描述者。 及交替無機/聚合物層：：：諸如…、鐵弗龍 本發明其他特色係包括下列者。。技術已知。 括加熱蒸汽來源之表面、接點之表面、歧管 構之表面至足以防止有機材料蒸汽於該表面上冷凝 t >亚度〇 該方法係包括控制所蒸發 使得蒸發之有.機材料於該歧 該方法係包括下列步驟： 之有機材料輸送入該歧管内 官中提供所選擇之蒸汽壓。 l) 配置惰性氣體來源； Π-)將该惰性氣體預敎至屈 ^ …主疋以防止所条發之有機材料 於歧官中及於該結構噴嘴中冷凝的溫度； m) 控制經預熱之惰性氣體的壓力或控制經預熱惰性 氣體的流動；及

將經預熱且控制下之惰性氣體 施加於該歧管内 87114 -54- 200405754 吞亥方法係包括如^生丨 該方法传勺缸工！預熱惰性氣體之壓力或流動。 該方法係包括”⑽山 冓中形成多個喷嘴。 ，且於該基材上二 線於該結構中形成多個嗔嘴 間，在〇LED θ 、 έ4’ 1光層之色彩形成性條紋圖案期 該方法#,/器基材與歧f之間提供相對移動。 /係匕括於該結構中 材上之經選擇像辛位^ 心位於該0LED顯示器基 ，以於”：1 形成二維喷嘴陣列形式之多個喷嘴 w 基材之經選擇 素化圖案。 /、.上棱供有機發光層之經像 U亥方法係包括加熱該蒸汽 歧管與該結構之表 '、、接點之表面、及 冷凝之溫度。…以防止有機材料蒸汽於該表面上 一控制經蒸發第—及第二有機主體材料及該 /=、给療發有機摻雜劑材料進入該歧管之輸送 θ 該經蒸發有機材料於$ φ 别、使侍 另械㈣方“亥歧官内提供經選擇之 該方法係包括下列步驟： …、7认 0配置惰性氣體來源； 二:Γ性氣體預熱至足以防止所蒸發之有機材料 於歧&中及於該結構喷嘴中冷凝的溫度. :控制經預熱之惰性氣體的壓力或控 氣體的流動；及 、、u性 iv)將經預熱且控制下之惰性氣體施加於 該方法係包括於板狀結構nt f S内。 該方法係包括沿著單一中=;=成多個噴嘴。 線於该紇構中形成多個噴嘴 87114 -55- 200405754 ’且個別於該基 三色條紋圖案苐二及第三有機發光層之 ^ s在頒不器基材與歧管之間提供相 對移動。 ::::包括於該結構中對應於位於祕卿示器基 ===嘴陣親之多爾， 發光層之經像:::r上提供第-、第二及第三有機 了 ：:“系包括於該結構中對應於位於該〇led顯 材上之經選擇傻杳#罢/ _ 素位置n維喷嘴陣列形式之多個噴嘴 素/匕=選擇像素位置上提供有機發光層之經像 :了法係包括加熱該蒸汽來源之表面、接點之表面、及 冷凝之溫度。 η有㈣^汽於該表面上 該方法包括選擇第一種色彩 % H ^ 知形成性、乐二種色彩形成性 、及弟二種色形形成性有機摻雜劑材料，以個別自操作中 之OLED顯示器的經摻雜有機 雅虿钺發先層的個別對應

紅光、綠光、及藍光。 α I U 該方法係包括控制經蒸發之有 ^ ,，軚毛先材科材料進入該歧 g之输k ’使仔该經瘵發有機材料於 之蒸汽壓。 文s内棱供經選擇 該方法係包括下列步驟： 0配置惰性氣體來源； H)將該惰性氣體預熱至足 疋丨方止所梁發之有機材料 87114 -56 - 200405754 於歧官中及於該結構喷嘴中冷凝的溫度； IU) 控制經預熱之惰性氣體的壓力或控制經預熱惰性 氣體的流動；及 IV) 將經預熱且控制下之惰性氣體施加於該歧管内。 該方法係包括控制經預熱之惰性氣體的壓力或流動，使 得該歧管内經預熱之惰性氣體的壓力高於輸送至該歧管内 之經蒸發有機材料的蒸汽壓。 -種於OLED顯示器基材上同時沉積三色圖案有機發光 層之方法’其包括下列步驟： a) 於減壓下且彼此間隔下，於一艙中配置—歧管組合體 及- OLED顯示器基材’該歧f組合體係包括第—歧管 二歧管、及第三歧管； b) 配置-密封覆蓋該第一、第二及第三歧管之各至少— 表面的結構，該個別結構係包括多個延伸通經各結構夕f 入對應之歧管的噴嘴，且位於個別結構中之噴嘴係2進 欲沉積於該OLED顯示器基材上之三色圖案而彼此間〜於 〇使該OLED顯示器基材相對於該個別結構中之―阳’ 嘴定向； 的噴 d) 同時將第一色彩形成性之蒸發有機材料輪 歧管内―、第二色彩形成性之蒸發有機發光材料輪送至疒 歧管内’而第三色彩形成性之蒸汽有機發光 弟二 三歧管内；及 ^适至第 e) 於壓力下施加惰性氣體於各第—、第二及第一 ，使該惰性氣體提供通經個別結構中 歧官内 夕|貝肖的各噴嘴 87114 -57 - 之黏性流，該黏性氣流將第〜 性、及第三色彩形成性之基4Γ成性、第二色彩形成 別對應之歧管送經對應之噴冑；㈣的至少—部分自個 彩形成性、第二色彩形成性及：提，惰性氣體及第-色 機材料的定向喷束，錢該定向：二色:形成性之蒸發有 基材上，以於該基材上同時沉二束广射於該0LED顯示器 了儿知二色彩圖案。 在===:中:著單-中心線形成多個噴嘴， 於::。—基材與歧管組合體:二 該方法係包括加熱該蒸汽來源 相對和動。 歧管與該結構之表面至足以防止右： 之表面、及 冷凝之溫度。 一止有機材料蒸汽於該表面上 、：第方包:成選::第—色彩形成性、第二色彩形成性 、綠光-及藍光 層之個別對應圖案個別發射紅光 於、:，择^ 控制經蒸發之有機發光材料進入各歧管之 剧达發之有機發光材料 之蒸汽壓。 文S〒徒供經選擇 該方法係包括下列步驟： i)配置惰彳生氣體來源； 二ΓΓ性氣體預熱至足以防止所蒸發之有機材料 於各歧官中及於個別結構之喷嘴中冷凝的溫度；才科 m":制紐預熱之惰性氣體的壓力或控制經預熱惰性 87114 -58- 200405754 氣體的流動；及 lv)將經預熱且控制下之惰性氣體施加於該歧管組合 體之歧管内。 該方法係包括控制經預熱之惰性氣體的壓力或流動，使 得各歧管内經預熱之惰性氣體的壓力高於輪送至各歧管内 之經蒸發有機材料的蒸汽壓。 一種於一表面上沉積經蒸發之材料的圖案之方法，其包 括下列步驟： 匕 a)於減壓之歧管中 〆、、、 yx u | 1 b)提供-密封覆蓋於該歧管之至少一表面上的結構，气 結構係包括多個延伸通經該結構而進入歧管之喷嘴，該嘴 嘴係對應於欲沉積於該表面上之圖案而彼此間隔；及Λ、 :)於塵力下施加惰性氣體於該歧管内，使得該惰性氣體 ^由=嘴提供黏性氣流，該黏性氣流將經蒸發之材料的 材二—Γ分自歧管送經該喷嘴’以提供惰性氣體及經基發 材料之定向喷束，且使該定向喷束投射於該表面上。 其中该賀嘴對應於該定向噴束 係使經蒸發之材料根據該圖案沉積成圖案之方法 吕狀結構中形4、# 再Τ也成多個贺嘴。 沉積有機發弁Β @ > 知尤層圖案之方法 該方法係包括於板狀結構或 於OLED顯示器基材上同時 係包括·· a)於減壓下且彼此間隔下 置多個歧管； 於搶令相對 於OLED基材配 ^配置—密㈣i於各衫之至少上㈣構，該 87114 -59- 200405754 結構係包括多個延伸通經該結構而進入歧管的噴嘴，而該 噴嘴係對應於欲顯示於該OLED顯示器基材上二 ： 此間隔； η C)將並同之經蒸發有機材料配置於各歧管内；及 e)於壓力下施加惰性氣體於該歧管内，使得該惰性氣體 經由各噴嘴提供黏性氣流’該黏性氣流將經蒸發之有機發 光材料的至少一部分自歧管輸送通經噴 # ^ π — 以挺供惰性氣 體瘵發之有機發光材料的定向噴束，且將該定向噴束 =:該〇咖顯示器基材上，以於該基材上沉積發光 層圖案。 【圖式簡單說明】 一 ^係為部分掀開元件以顯露各層 < 主動ρ車列型ο·顯 示裔的示意透視圖； 圖2係為適於製造相當大量〇LED顯示 吳有多個自中 樞（hub)延伸之站點的〇LED設備的示意透視圖； 圖3係為含有相對大量之基材或結構且位於圖2設備之負 載站點（如圖2中剖面線3-3所示）之載體的示意剖面圖； 圖4係為可藉本發明方法彩色像素化之全色彩⑽顺動 陣列型OLED顯示器的示意俯視圖； 圖/係為OLED顯示器之示意别面’沿圖巧剖面線η 取得， 圖6係為部分主動陣列型〇LED顯示器之重現單元的電路 圖； 圖7係為可藉本發明方法形成而具有發光層之湖彩色 87114 -60- 200405754 像素化的主動陣列型0LED顯示器的示意剖面圖； 圖8係為可用以進行本發明之氣相沉積設備的示意說明 圖，包括-配置有—基材及一歧管之驗室(具有覆蓋該歧管 之結構或噴嘴板，且包括用以產生定向蒸汽束之喷嘴)及配 置於該艙外且連接於該歧管之多個蒸汽采源及一惰 源； 圖9出示具有沿中心線排列之喷嘴的結構或喷嘴板； 圖10係為沿圖9之線10_10取得之噴嘴板剖面圖，界定噴 鳴長度尺寸及喷嘴内部尺寸； 圖11出不具有排列成列及行之喷嘴二維陣列的噴嘴板； 圖12係為具有沿中心線排列之噴嘴之圓柱管狀歧管的示 意俯視圖； 圖13係為沿圖12之剖面線13_13所得而界定喷嘴長度尺 寸及喷嘴内部尺寸的圓柱管形歧管的剖面圖；、、又 圖13A係為具有形成於圓柱形歧f外殼中而配置於狹縫 形隙孔上之曲面噴嘴板的經修飾圓柱管形歧管的剖面圖； 圖14示意來自位於歧管上之喷嘴的有機材料蒸汽流的發 散性個別與該歧管中蒸汽壓及該歧管中蒸汽壓加惰氣壓： 水平之間的關係； 圖15係為蒸汽來源（諸如圖8所示之蒸汽來源）之具體實 例剖面圖； ' 圖1 6係為圖2之LEL氣相沉積站點的示意剖面圖，表示該 基材自第一位置移動至喷嘴上且通經喷嘴，而進入第二位 置； ~ 87114 -61- 200405754 圖17係為圖2之LEL氣相沉積站點的部分示意俯視圖，出 不位於該喷嘴板上及基材支架上之配向特徵，及在各基材 於X_方向移動至該喷嘴上且通經該喷嘴之前，於严方向上 刀度°亥基材之分度特徵（indexing feature); 圖18出示一歧管組合體，其可用以在基材單次通過該組 合體中之噴嘴日I使RGB全色彩有機發光層同時彩色像辛 化。 、，圖式必需係示意性f，因為oled之薄層厚度經常係次微 ::範圍，而表示側向裝置尺寸之特徵可介於25至2000毫米 乾圍内。此外，多個形成於喷嘴板中或結構中之喷嘴在盘 該噴嘴所延伸之長度尺寸比較之下，尺寸相當小。、是故:、 圖式之、、、w製比例係方便觀測，而非尺寸準確度。 【圖式代表符號說明】 10 10-3C 11 12 13 14 14a 14R 14G 14B 15 單色彩或單色被㈣列型Qled裝置或顯示器 二色衫或全色彩被動陣列型〇LED顯示器 OLED顯示器基材 透光性第一電極或陽極 有機電洞注射及電洞傳輪層(HTL) 有機發光層（LEL) 可蒸發之有機材料 有機發紅光層 有機發綠光層 有機發藍光層 有機電子傳輸層（ETL) 820 87Π4 -62- 200405754

16 第 二 電 極 或 陰 極 18 封 包 物 或 覆 層 50-3C 二 色 彩 或 全 色 彩 主 動 陣 歹丨J型OLED顯 — 不荔 51 OI^D顯示器基材 52 透 光 性 第 一 電 極 墊 或 陽 極墊 53 有 機 電 洞 注 射 及 洞 傳 輸層 54R 有 機 發 紅 光 層 54G 有 機 發 綠 光 層 54B 有 機 發 藍 光 層 55 有 機 電 子 傳 竿刖 層 56 共 同 第 二 電 極 或 陰 極 61-1 電 晶 體 電 容 器 及 電 線 路（次像素1 ; 1) 61-2 電 晶 體 Λ 電 容 器 及 電 線 路（次像素1 ; 2) 61-3 電 晶 體 Λ 電 容 器 及 電 線 路（次像素1 ; 3) 64 導 電 線 路 66 透 光 性 有 機 絕 緣 體 層 68 有 機 絕 緣 體 層 87 X- 方 向 驅 動 電 路 88 Y- 方 向 驅 動 電 路 100 OLED設備 102 緩 衝 中 才區 103 卸 載 站 104 傳 达 中 才區 105 連 接 V 87114 -63 - 真空泵 泵吸口 壓力計 負載站 艙室 外殼 載體（供基材或結構用） 氣相沉積站（有機HTL) 氣相沉積站（有機LEL) 艙室 外殼 站閥 站點真空泵 站點泵吸口 節流閥 站點壓力感測器 惰性氣體供料源 導管 氣流控制器 氣相沉積站（有機E T L) 氣相沉積站（第二電極） 儲存站 封包站 導桿驅動電動機 -64- 導桿轴 軸密封物 導桿 導管軸末端托架 導桿隨動器 開關 引線 輸入末端 y -方向上編碼用步進電動機 y -方向上編碼用電腦 驅動軸 軸密封物 軸聯結器 滑動套 滑軌 聯結升降器 支架或罩幕框 配向標言忘 配向窗口 配向偵測器 光學窗口 光學配向轴 擋閘 氣相沉積設備 -65- ZUUH-UJ / JH- ZUUH-UJ / JH- 500M 500MA 500MB 500MG 500MR 500IGS 500VS 500VS1 500VS2 500VS3 500VS4 500CM 500CM-1 502 504 504C 504T 506 506B 506G 506R 510 520 530 歧管 i π組合體 用以提供發藍光之有撫 頁钱材料蒸汽的歧管 用以_綠光之有機材料蒸汽的歧管 以楗供發紅光之有機材料蒸汽的歧管 h性氣體供料源 有機材料蒸汽來源 有機材料蒸汽來源 有機材料蒸汽來源 有機材料蒸汽來源 有機材料蒸汽來源 圓柱管狀歧管 故修飾圓柱管狀歧管 歧管外殼 結構或噴嘴板 曲面結構或曲面喷嘴板 供二維喷嘴陣列使用之結構或噴嘴板 噴嘴 歧管500MB中之噴嘴 歧管5 0 0 M G中之喷嘴 歧管500MR中之喷嘴 有機材料蒸汽及惰性氣體之定向喷束 歧管加熱元件 熱絕緣體歧管載體 87114 -66 - 墊片 喷嘴板（504)上之配向標記 圓柱管狀歧管（500CΜ)上之配向標記 圓柱形歧管外殼 圓柱形歧管外殼（536)中之狹縫形隙孔 末端蓋 ’ 末端蓋 蒸汽來源外殼（500VS) •’ 凸緣 墊片 螺栓 來源覆蓋 密封物 下方蒸汽輸送導管 上方蒸汽輸送導管 蒸汽輸送及氣體輸送用共同導管 鲁 自一蒸汽來源輸送蒸汽且輸送氣體之共同導管 蒸發加熱器 · 饋入裝置 ， 饋入裝置 氣流控制裝置 蒸汽流控制裝置 氣體關閉閥 惰性氣體預熱器 -67 - 200405754 566a 下方氣體輸送導管 566b 上方氣體輸送導管 570 結合器 600 可加熱外罩 750 蒸發加熱器電源 750R 調節器 752 引線 753 電流計 754 引線 〇c 相對來自喷嘴（5 06)之蒸汽流的角度 CL 喷嘴管線之中心線 D 基材（1 1 ; 5 1)與喷嘴（5 06)之間的間隔 d 喷嘴（506)之内部尺寸或直徑 1 喷嘴（506)之長度尺寸 EL 有機電致發光或電致發光介質 nF” 基材之向前移動 ’’R’’ 基材之逆向或回轉移動 !|1!, 基材之起始位置 ’’ΙΓ 基材之向前移動的最終位置及逆向移動的起始 - 位置 pix 像素 Ρ〇 艙室（140C)中之減壓 PG 歧管（500M)中之惰性氣體壓力

Pv 有機材料於歧管（500M)中之蒸汽壓力 87114 -68- 200405754 Ρν + Ρ〇 惰性氣體與有機材料蒸汽於歧管（500M)中之結 S 合壓力 喷嘴板（504)中喷嘴間之喷嘴間距或間隔 Te 可加熱外罩（600)内之溫度 X 基材（11 ; 51)於X-方向上之移動 y 基材（1 1 ; 5 1)於y方向上之編碼移動 m 喷嘴（5 04T)之二錐陣列的喷嘴（5 06)行 η 喷嘴（504T)之二錐陣列的喷嘴（506)列 Χη X-方向信號線，其中η係為整數 Ym Υ-方向信號線，其中m係為整數 Vddn 電源線 TSnm 開關用之薄膜電晶體 TCnm 功率控制用之薄膜電晶體 ELnm 各像素或次像素中之有機電致發光介質 Cnm 薄膜電容器 87114 -69-

Claims (1)

1. 拾、申請專利範圍·· 種於OLED顯示器基材上沉積有機層圖案之方法，包 括下列步驟： a) 於減壓下，於一艙中配置彼此相互間隔之一歧管 及一 OLED顯示器基材； b) 配置一密封覆蓋該歧管之一表面的結構，該結構 係包括多個延伸通經該結構而進入該歧管之喷嘴，且該 賀嘴係對應於欲沉積於該OLED顯示器基材上之圖案而 彼此·相互間隔； c) 使違OLED顯示器基材相對於該結構中之喷嘴定 向； d) 將蒸發之有機材料輸送至該歧管内；及 e) 於壓力下施加惰性氣體於該歧管内，使該惰性氣 =提供通經各喷嘴之黏性氣流，該黏性氣流將蒸發之有 機材料的至少一部分自該歧管送經該噴嘴，而提供惰性 氣體及蒸發之有機材料的定向喷束，且使該定向喷束投 射於該QLED顯示H基材上，以於該基材±沉積有機層 圖案。 種於OLED頒示杰基材上沉積有機層圖案之方法，包 括下列步驟： I a) 於減壓下，於一艙中配置彼此 ， …义间I同之一歧管 及一OLED顯示器基材； b) 配置—密封覆蓋該歧管之一表自的結構 ^ ι 云〆、、、口 係包括多個延伸通經該結構而進入該歧 貝鳴，且該 87114 200405754 之圖案而 喷嘴係對應於欲沉積於該OLED顯示器基材上 彼此相互間隔； C)使該OLED顯示器基材相對於該結構中之噴嘴定 d) 將該歧管中之有機材料蒸發；及 e) 於壓力下施加惰性氣體於該歧管内，使該惰性氣 體提供通經各噴嘴之黏性氣流，該黏性氣流將蒸發之有 機材料的至少一部分自該歧管送經該喷嘴，而提供惰性 氣體及蒸發之有機材料的定向喷束，且使該定向噴束投 射於該QLED顯示器基材上，以於該基材上沉積有機声 圖案。 曰 3·如申請專利範圍第1項之方法，其中步驟b)係包括下列 步驟： 〇以選自金屬、玻璃、石英、石墨及陶瓷之材料建 構該結構； 於該結構中形成多個喷嘴，使噴嘴界定一圓形輪 廓或多邊形輪廓；及 U0使该噴嘴對應於欲沉積於該〇LED顯示器基材上 之第一有機發光層的第一色彩形成性圖案而彼此相互 間隔。 4 ·如申巧專利範圍第3項之方法，其中步驟ϋ)係包括於該 、、'口構中形成夕個噴嘴之步驟，喷嘴内部尺寸係介於1 〇 至10⑻微米範圍内，而喷嘴長度尺寸係延伸通經該結構 ，至少較所選擇之喷嘴内部尺寸大5倍。 87114 200405754 >·如申請專利範圍第4項之方法，其尚包括於板狀結構或 管狀結構下形成多個喷嘴。 6·如申請專利範圍第4項之方法，其尚包括於該結構中沿 單一中心線形成多個喷嘴，在基材上沉積有機發光層之 色彩形成性條紋圖案期間，於該〇LED顯示器基材與歧 管之間提供相對移動。 7·如申請專利範圍第4項之方法’其尚包括於該結構中形 成多個喷嘴，成為對應於該〇LED顯示器基材上經選擇 之像素位置的二維噴嘴陣列，以於該基材經選擇之像素 位置上提供有機發光層之經像素化圖案。 8’如申請專利範圍第1項之方法’其中步驟a)係包括使該 OLED顯示基材與該結構之至少一表面間隔由〇 至 2. 〇厘米之距離。 9· -種於OLED顯示器基材上沉積有機層圖案之方法，包 括下列步驟： a) 於減壓下，於一艙中配置彼此相互間隔之一歧管 及一 OLED顯示器基材； b) 配置-密封覆蓋該歧管之至少一表面的結構，該 結構係包括多個延伸通經該結構而進入該歧管之噴嘴 ’且該喷嘴係對應於欲沉積於該〇LED顯示器基材上之 圖案而彼此相互間隔； C)使該OLED顯示器基材相對於該結構中之喷嘴定 向； ' 句將兩種經蒸發之有機主體材料及—或多種經蒸發 87114 200405754 之有機摻雜劑材料輪送至 料於該歧管内提供經選擇：二經蒸發有機材 e)於壓力—經選擇使歧管中者高 料於琴此其击 、、、、工洛务之有機材 t十於。亥歧g中之經選擇 何 歧管内，使該惰性氣#接… 惰性氣體於該 勒性氣产…： 各噴嘴之黏性氣流，該 —〖乱級將瘵發之有機材料的至 經今口奮禮，& & 4刀自該歧管送 嗔束:：Λ惰性氣體與經蒸發之有機材料的定向 貝束’且使该定向喷東招身+ Π貝果才又射於该OLED顯示器基材上， 10 ^該基材之經選擇位置上沉積經摻雜之有機層圖宰。 -種於0LED顯示器基材上沉積有機發光層三色圖案之 方法，包括下列步驟： a) 於減壓下，於一艙中配置彼此相互間隔之—歧管 及一 OLED顯示器基材； b) 配置一密封覆蓋該歧管之至少一表面的結構，該 結構係包括多個延伸通經該結構而進入該歧管之噴嘴 且a亥喷鳴係對應於欲沉積於該OLED顯示器基材上之 圖案而彼此相互間隔； c)使α亥0 L E D顯示器基材相對於該結構中之喷嘴定 向，對應於欲沉積於該基材上之第一有機發光層的第一 種色彩圖案； d)將第一種色彩形成性之經蒸發有機發光材料輪送 至該歧管内； e)於壓力下施加惰性氣體於該歧管内，使該惰性氣 體提供通經各喷嘴之黏性氣流，該黏性氣流將第一種色 200405754 彩形成性之經蒸發有機發光材料的至少一部分自該歧 管送經該喷嘴，而提供惰性氣體與經蒸發之有機發光材 料的定向喷束，且使該定向喷束投射於該〇LED顯示器 基材上，以於該基材上沉積第一有機發光層之第一種色 彩圖案； f)再使該OLED顯示器基材相對於該結構中之噴嘴定 向，對應於欲沉積於該基材上之第二有機發光層的第二 種色彩圖案； g>將第二種色彩形成性之經蒸發有機發光材料輸送 至該歧管内； h) 於壓力下施加惰性氣體於該歧管内，使該惰性氣 體提供通經各喷嘴之黏性氣流，該黏性氣流將第二種L 彩形成性之經蒸發有機發光材料的至少一部分自該歧 管送經該喷嘴，而提供惰性氣體與經蒸發之有機發光材 料的定向噴束，且使該定向喷束投射於該〇咖顯示器 基材上，以於該基材上沉積第二有機發光層之第二種色 彩圖案； i) 再使該OLED顯示器基材相對於該結構中之噴嘴定 向，對應於欲沉積於該基材上之第三有機發光層的第三 種色彩圖案； J)將弟二種色彩形成性之經蒸發有機發光材料輸送 至該歧管内；及 k)於壓力下施加惰性氣體於該歧管内，使該惰性氣 體提供通經各喷嘴之黏性氣流，該黏性氣流將第:種才色 87114 200405754 彩形成性之經蒸發有機發光材料的至少一部分自該歧 管送經該喷嘴，而提供惰性氣體與經蒸發之有機發光材 料的定向喷束，且使該定向喷束投射於該OLED顯示器 基材上，以於該基材上沉積第三有機發光層之第三種色 彩圖案。 87114