TWI280068B - Depositing layers in OLED devices using viscous flow - Google Patents

Description

玖、發明說明： 【毛明所屬之技術領域】 本發明有關一種在萝生夕 0LED顯示器時形成姑g夕β 〇LED顯示器或全色彩 需要準確陰蔽罩下ΓΛ 機層之方法，尤其有關在不 【先前技術】 孔目’儿積该經圖案化層之方法。 有機發光二極體（〇 -可藉著將兩或多，有亦稱為有機電致發光裝置 而構. 層有機層夹置於第-與第二電極之間之 於單色OLED裝置或顯 笨古德昆 力稱馬早色OLED—中，此 專有機層不經圖案化，而係形成為連續層。 於多色彩OLED裂置或顯示 古拖兩、 人王巴形〇LED顯示器中， 有“洞注射及電洞傳輸層係於該 為連續層。隨之於該連續電 之間形成 +夕屯洞，主射及電洞傳輸層上形成一 或夕層側向相鄰有機發光層 门+ 此圖案及用以形成該 圖案之有機材料係經選擇， 込擇以因應施加於該第一盥第二命 極間之電位信號，自完成及操作〇咖顯示器提 ； 全色彩發光。 x 未圖案化之有機電子注射及電子傳輪層係形成於該經圖 案化發光層上’而一或多個第二電極係配置於後者有機層 上。 曰 配置可發射兩種不同顏色(多色彩)或三種不同顏色(例如 紅（R)、綠（G)及藍（β)原色）之經圖案化有機發光層亦稱為彩 色像素化，因為該圖案係與0LED顯示器之像素配向。該 87114 _7_ 1280068 RGB圖案提供全色彩OLED顯示器。 已提出各種於OLED成像面板中達到彩色像素化之方法 例如，Tang等人於共讓與USu，294,869揭示一種使用 陰蔽法製造多色彩OLED成像面板之方法，其中自絕緣性材 料製得之柱或壁組形成該裝置結構之整體部分。多色彩有 技：电致晷光（EL )介質係藉由控制基材相對於沉積蒸汽流 之角度位置而氣相沉積且圖案化。此方法之複雜性在於該 整體陰蔽罩需具有多層拓撲特徵（可能難以製得），且需控 制基材相對於一或多個蒸汽來源之角度位置。 UUman等人於共讓與US_A_5，⑽，551中確認前述丁叫等 人方法之複雜性，且揭示一種形成多色彩有機⑽示面板 之方法，其中使用封閉空間沉積技術，以藉著自予體片圖 案轉移有機EL介質至該基材上，而於基材上形成個別著色 :有機EL介質。該予體片係包括輻射吸收層，其可未經圖 木化或可對應於該基材上之像素或次像素之圖案而經圖案 予體片需放置成與基材表面直接接觸，或與該基材 控制下之相對小距離，以使在加熱繼吸收層 ^不』望自予體片發出之EL介質蒸汽的發散效應減至最 二L將一元件(諸如例如予體片或罩幕)放置成與基材 表:直接接觸會引發已預先形成於該基材表面上之相對^ 且機械脆性之有機層產生磨損、 ' , 如 曲或部分突起的問題 。例如’在沉積第一色彩圖案之前，可1碭 有機電洞注射及電洞傳輸層。、一形成 貝弗一色彩圖案時，予體 87114 1280068 片或罩幕與該第一色彩圖案之直帛接觸可能導致該第一色 彩圖案之磨相、扭曲、或部分突起。 將予體片與罩幕放置於與基材表面成—控制距離可能驚 要在基材上或於予體片或罩幕上或於該基材上且於該予趙 片上收納間隔器元件。或需設計特定固定物，以於該基# 表面與予體片或罩幕間提供控制間隔。 G_de等人於共讓與USH87!，期中之揭示（描述一種 將高解析度有機EL顯示器圖案化之方法）及叫叮等人 於US-A-5,742，129(描述藝罩法於製造有機虹顯示面板令 之應用）中之教示亦有潛在問題或限制。 前述潛在問題或限制係由Tang等人於共讓歲 US-A-M66,357(教示一種製造全色彩⑽D顯示器之方法、） =示所克該方法係包括喷墨列印營光摻雜劑，其 ::t r以自-不益之經設計次像素產生紅色、綠色或1^ 土光::射：該：雜劑係自喷墨列印組成物依序列印，以： :有运擇以於監色光譜區域中提供主要 的有機發光層上列印摻雜劑層：材枓 擴散至該發光層。 «雜劑層 摻雜劑之噴墨列印不需要罩幕，噴墨列印頭 有機發光層表面接觸。然而，摻雜劑之 :：與 條件下進行，其中環境空氣令之氣及濕 3核境 之含有主體材料的有機發光層有部分氧化分解。=沉積 雜劑直接擴散或摻雜劑後續擴散至發，# 服，使發光層有接雜劑擴散潤 87114 1280068 〇LED成像顯示器可構成為所謂被動陣列型裝置形式或 所谓主動陣列型裝置形式。 具有習用結構之被動陣列型0LED顯示器中，於透光性基 材（諸如例如玻璃基材）上形成多個側向間隔之透光性陽極 (例如氧化銦錫（ΙΤ〇)陽極）以料第_電極。隨後於保持於 f塵Γ(Γ般低於1G·3托耳（1.33xl(rlpa))之艙室内藉著自 固別m來源氣相沉積個別有機材料而連續形成三或多層 2:層。於該有機層中最頂層上沉積多個側向間隔電極； 為弟—電極。該陰極係定向成與該陽極成-角度，一般 係為直角。 x η該習用被動陣列型〇LED顯示器係藉著施加電位（亦稱為 :動：S)於個別列(陰極)’從而施加於各列(陽極)上而操 。虽陰極相料陽極係負偏壓時，係、自藉由陰極與陽極 =豐區所以的像素發光，所發射之光經由該陽極及該 基材到達觀察者位置。 孫：：動陣列型0LED顯示器中，薄膜電晶體(TFT)組陣列 '、-己於透光型基材（諸如例如玻璃基材）上。各組TFT之一 接於對應之透光性陽極塾（其可由例如氧化姻錫

H 一 ^衣仔上。酼之依實質上同等於前述被動陣列型OLED 喊構建方式藉氣相沉積連續地形成三或多層有機層 。陰極係於最頂層有機層上沉積為m。主動陣 列型OLED顯示器之結構及功能係描述於共讓與n 5,550,066 中。 為了提供多色彩或全色彩（紅、綠及藍色次像素）被動陣 87114 -10- 1280068 列型或主動陣列型〇led顯示器，有機 色次像素化。 先層至少部分需彩 〇咖顯示器之彩色次像素化可經由各種前 :最常見之彩色次像素化方法中之-係綜合使用^ 多個所述蒸汽來源，及暫時固定於裝 ：：-或 罩。有機發光材料(諸如用於 ’、"、蔭敝 源（或自多個來源）昇華，且Γ )係自一來 mPnu 且經由經配向精密蔭蔽罩沉積於 基材上。此種用以製造0刷之物理氣相沉積(_) 中使用含有可蒸發之有機〇咖材料的加敎基汽 源達成。該蒸汽來源中之有機材料加熱以達到足以使有 機材料有效地昇華之蒸M，產生蒸汽有機材料柱 :::r〇LED基材上。存有各式各樣基於不同操作原理 m來源’包括所謂點狀來源（加熱之小型昇華剖面積來 源）及線性來源（具有大型昇華剖面積之來源）。使用多種i 幕-基材配向及氣相沉積以於所需基材像素區或次像素區 上沉積不同發光層之圖案，於OLED基材上產生例如所需之 紅色、綠色、及藍色像素或次像素。注意在此種一般使用 於OLED製造的方法中，並非蒸汽材料柱中所含之所有基發 材料皆沉積於該基材之所需區域上。而是許多材料柱係^ 積於各種真空舱壁、碑益芬斗生念4 — ‘敝及扣岔陰敝罩上。此點導致材料 利用因數較差，從而產生較高材料成本。 雖然精«蔽罩係為〇識製造適用之方法，但亦導致顯 示器製造之許多複雜性及潛在困境。首先，需謹慎地將此 等罩幕放置於^置基材上及移除，以避免沉ED裝置之物理 87114 以80068 性損壞。其次，當直处、生 罩沿著該基材長度之所有面，基=時，難以使隆蔽 隹夕_ 4生斗、 白保持緊密接觸，導致夫平 焦之〉儿積或罩幕誘致基材物理性損涉π ¥未永 之不同位置上真空沉積“弟二’當於該基材 陰蔽罩，於〇LED製造中_ ’可能需要三組精密 數項因辛而難以使星蓋、不必要之延遲。第四，因下列 、以而難以使罩暴於所需準確 相對於基材保持精密配向，包括ιΓ /“良基材長度 低值像素間距、及罩暮制、生|暴與基材熱膨脹不符、 、 衣限制。而且，當於單一直允；^ 除週期真空沉積多個基枯0士 ^ '万、早真二泵 上，I# % 材Τ，材料殘留物會累積於蔭蔽罩 ^取後會導致欲沉積之像素中形成缺陷。 【發明内容】 本發明之目的係提供_ ^^#rFT,eg - ^ 在衣4•夕色衫或全色彩有機電 ^先叫員…彩色像素化一有機層之方法。 本發明另一目的伟£ 右擔思杏 於0LED顯示器基材上沉積 有機層圖案之方法。 本發明另一目的係提供一 種A色像$化一有機層之方法 ’其克服在製造多色势式八&〜士 士 /戍王色形有機電致發光（EL)顯示器 %先前技術及目前使用之彩色像素化方法的限制。 於—態樣中，此等目的係藉由一種於一 〇led顯示器基材 上沉積-有機層圖案之方法達成，包括下列步驟： a)於減壓下’於—艙中配置彼此相互間隔之一歧管及一 OLED顯示器基材； w配置一密封覆蓋該歧管之一表面的結構，該結構係包 括多個延伸通經該結構而進入該歧管之噴嘴，且該喷嘴係 87114 -12- 128〇〇68 對應於欲沉積於兮m 亥0LED頭示器基材上之圖案而彼此間隔； )使。亥OLED頌不器基材相對於該結構中之喷嘴定向· :)將：發之有機材料輸送至該歧管内；及 ’ ； 下^加丨胃性氣體於該歧管内，使該惰性氣體提 L、工σ噴驚之黏性流，該黏性氣流將蒸發之有機材料的 广部分自該歧管送經該喷嘴，而提供定 及蒸發之有機材料朿，且蚀一“ 乳體 且使5亥疋向束投射於該〇LED顯示哭 材上二以於該基材上沉積有機層圖案。 π 另-癌樣中’此等目的係藉由一種於一〇咖 上同時沉積有機層三色彩圖案之方法達成，包括下列;驟材 及a—)於減Μ下，於艙内配置彼此相互間隔之一歧管組合體 ―⑽D顯不器基材，該歧管組合體係包括一第—歧管、 弟二歧管、及一第三歧管； b)於各個該第一、第二及第三歧管之一表面 :固別結構’各個別結構係包括多個延伸通經各 對應之歧管的嘴嘴，而各個別結構中之喷嘴=構進入 積於該OLED顯示器基材上之三色而〇應於欲沉 c)使-個別結構中之該〇LE〇 : 彼此相互間隔； 定向；. 之她肋“器基材相對於該喷嘴 ❼同時將形成第一色彩之蒸發有機材料輸送— 歧官内，形成第二色彩之蒸發有機材料輸送 ： 内，而形成第三色彩之蒸發有機材料輪送至二支官 體内；及 、弟一歧會組合 e)於壓力下同時施加惰性氣體於夂 口弗―、第二及第三 -J3 87114 1280068 歧管内，使該惰性氣體於個別結構中提供通經各個該多個 喷嘴之黏性氣流，該黏性氣流同時將至少一部分形成第一 色才’、形成第二色$、及形成第三色彩之蒸發有機材料自 個別對應之歧管送經對應之喷嘴，以提供惰性氣體及形成 弟一色彩、形成第二色彩、及形成第三色彩之蒸發有機發 光材料的定向噴束，且將該定向喷束投射於該〇LED顯示器 基材上’以同時於該基材上沉積三色彩圖案。 另恶樣中，本發明係有關一種於一表面上沉積蒸發材 料圖案之方法，包括下列步驟： a) 於減壓下於一歧管中配置蒸發之材料； b) 配置一密封覆蓋該歧管之一表面的結構，該結構係包 括夕個延伸通經該結構而進入該歧管的喷嘴，且該喷嘴係 對應於欲沉積於該表面上之圖案彼此相互間隔；及 c) 於壓力下施加惰性氣體於該歧管内，使該惰性氣體提 t、通經各、嘴之黏性氣流，該黏性氣流將至少部分蒸發之 材料自該歧管送經該喷嘴，以提供惰性氣體及蒸發之材料 的定向噴束，並將該定向喷束投射於期望沉積之表面上。 本發明之一特色係為將一有機層彩色像素化之方法係使 用有機材料之定向蒸汽束。 本發明另一特色係將一有機層彩色像素化之方法係於減 壓下且於惰性氣體存在下進行。 本發明另一特色係為將一有機層彩色像素化之方法可於 一〇LED顯示器基材上同時進行三色彩圖案化沉積。 本發明另一特色係為將一有機層彩色像素化之方法係包 87114 -14- 1280068 括於一沉積艙外配置多個蒸汽來源， 以生成有機材料蒸汽 ’且將該蒸汽來源連接於配置在 “本發明另一特色係為彩色像素化之二 蔽罩或罩幕。 ’ 品使用精密蔭r 本發明另一特色係其可將 單一沉積層中。 同材料之混合物塗覆於 本發明另一特色係為該沉積方 因數，因為所有昇華之材料皆定向，^广之材料利用 所需之像素區上。 且直接沉積於該基材 【實施方式】 所使用之，，顯示器"或，，顯示 與你斗、4〜 汉β辭係表不可電子顯干 :像:…之螢幕。”像素”-辭係使用其於技術Si :表不顯示面板可個別激勵發光之區域。”多色二一辭 係用以描述可於不同區域發射不@色澤 / 尤其用以描述可顯示1有 / 勺頒不面板。 等…# ，、有不同顏色之影像的顯示面板。此 必要連續。”全色彩”一辭係用以描述可發射可 見光δ日紅色、綠色及藍芦 乂 域且於任何色澤組合下顯示影 可-1不面板。該紅色、綠色及藍色構成三原色， 一猎〃、當地混合此三原色而生成所有其他顏色。”色澤” 一辭係表示可見光譜内光發射之強度曲線，不同 呈 眼睛可感知之顏色差異。該像素或次像素通常用以表:;顯 :::中之取小可疋址單元。就單色顯示器而言，像素或 一人”之間亚無分別。”次像素"一辭係使用於多色彩顯示 面板中’用以表不像素可個別定址以發射特定顏色之任何 87114 -15- l28〇〇gg ^ °例如’藍色:欠像素係為料 分。全色彩顯示器中 啦射藍光之部 紅色、綠色及I,色… 包括三原色次像素，即 皿色，、、星系簡稱為”RGB，，。 表示顯示面板中分隔兩像辛戍次像夸間距—辭係用以 素間距意指兩次像辛門=像素之距離。因此，次像 於有機蒸汽及對於形成於0LED 2係表不對 學非反應性之氣體。 、基材上之有機層係化 翏照圖1 ’被動陣列型OLED顯示器1〇 有4刀掀開之兀件，以顯露各種不同之層。 - 透光性基# 11 彡^乡個側 稱為陽極）。依序藉物理氣相沉 弟电極12(亦 ^ ^ 相L積形成有機電洞傳輸層（ΗTL) 13、有機發光層（LEL) 14、有機*早信认& ) 有钺笔子傳輸層（ETL) 15，如同 I文所詳述。於有機電子傳輸層15±且實f上垂直該第一 电極12之方向形成多個側向 ^ ^ j㈨弗一甩極16(亦稱為陰極） 。封匕物或覆層18將該裝置對環境敏感之部分密封，以提 供完成之OLED 10。 參照圖2,出示〇LED設備i⑽之示意透視圖，其適於使用 自動化或自動裝置（未出示）製造相當大量之有機發光裝置 ’以於多個自緩衝中柩1G2及自傳送中㈣4延伸之多個站 點之間輸送或傳送。穿經粟送口 1〇7之真空㈣6係於該中 枢102、104内及於自此等中樞延伸之各站點内提供低壓， 站點丨40除外。塵力計1〇8指示該設備1〇〇内之低壓。該麼力 一般係低於10·3托耳（1.33 X 1(rl帕司卡），且可低達⑽6托耳 (1.33 X 10·4帕司卡）。 87114 -16- Ϊ280068 z站點係包括用以配置基材負載之負載站！ i 〇、用以形成 機電洞傳輸層（HTL)(其可包括有機電洞注射亞層）之氣 目沉積站130、用以形成有機發光層（lel)之氣相沉積站刚 、用以形成有機電子傳輸層（ETL)之氣相沉積站⑼、用以 =成多個第二電極（陰極）之氣相沉積站副、用以將基材自 f τ中樞1G2傳达至傳送中樞1()4(其可從而提供儲存站1川) /载站1〇3、及經由連接口 105連接於該中樞104之封包站 另80。此等站點（除LEL站1術卜）個別具有延伸進入中樞102 、1曰04之開口’各站點係具有經真空密封之出入口 (未示）， 用以清潔及置換或維修零件之站點接達口。各站點 係包括一外殼，其界定一艙室。 製造OLED顯示器中將有機層彩色像素 使用定向喷束，其係 貝鳥誘發惰氣之黏性流而生成， "生_送有機材料蒸汽。視該噴嘴之數量及内部尺寸 、^相定向噴束所需之氣流而定，啦站⑽之，，氣體負載” 可相對鬲。該相對高”氣體負載 、 曰對〇LED設備100之其他 占，、沾之功月b性產生負面影響。 為了防止對該OLED設備100之苴 紙产—/ 他站點及中柩產生該種 ，曰在之負面影響，該LEL站 M ^ . 週万、在衫色像素化期間隔離 此站.、、，占。隔離係藉由下列裝 ^#-φ,Γ1η〇 』衣置達成·⑴站閥141，以鄰近該 綾衝中樞1 02之虛線輪廓表一 14WS „ . 般係位於關閉位置。站閥 141僅開啟以使基材自緩 Λ Tl得廷至站點140内，再將完 成之基材（即經彩色像素化之美 ^ in9d〇 . 土材）自站M0傳送至緩衝中

樞102内，及（ii)站真空泵M 由泵吸口 144(包括節流閥 87114 -17- 1280068 1 45)連接於站1 40。該節流閥可控制於完全開啟位置，調整 至部分開啟位置，或位於關閉位置。站壓感測器146顯示該 站140输内之壓力。 在基材傳送之前，該節流閥145係經調整以自站壓感測器 146及OLED設備1〇〇之壓力計108得到實質相同之壓力讀數 ，隨之可開啟站閥1 4 1。 基材自該中樞102傳送至站140艙（140C)内時，關閉該站 閥14卜且開啟節流閥145，將該艙（14〇c)抽真空至介於1〇_7 至ΗΓ)托耳（1·33 X ΙΟ·5至ι·33 X丨〇-3 Pa)範圍内之原始壓力 ’以自該艙移除微量之氧及濕氣。 在彩色像素化之前，惰性氣體視情況自惰氣供料源147 經由導官（包括氣流控制器149)進入該艙（140C)。將節流閥 1 45調整至該艙内之氣壓（Pc)等於介於約丨〇巧至i 〇〇托耳範圍 内之選擇水平的位置。該艙中之氣壓水平低於惰性氣體壓 力，用以於該噴嘴（506)中產生黏性流，而提供定向噴束。 圖3係為負載站110沿圖2之剖線3-3取得之示意剖面圖。 該負載站11G具有外殼丨腹，其界定—艙U()c。該舱内放 置有一設計以承載多個具有預先成形之第一電極12的基材 1U參照圖1及圖4至5)的載體lu。可配置另一載體ιη，以 支撐多，個絲P車列型基材5 1(參照圖7)。載體⑴亦可配置於 卸載站103中及於儲存站ι7〇中。 、 茶妝圖4，出不全色彩（RGB)被動陣列型〇咖顯示哭 ㈣的示意俯視圖，其可藉本發明方法彩色像素化：㈣ 編號對應於圖1描述中所示之相同零件或功能。各像素（圖4 87114 -18- 1280068 中經標*之像旬係包括三 各次像素係形成於行電極式陪士 t不為R、G及B。 點上。各次像夸”夕j兒極或陰極16之交 素了個別定址以發射特定声〜 為R之戈德丰θ + 、疋色节°例如’標示 為R之-人像素具有有機肛介質，其發出 卜丁 有G及B之次像辛呈 、先。相同地，標 象素具有有機EL介質’其個別 。因此，各像♦呈古— 出、、、彔光及監光 。像素具有二個可個別定址 一可定址之列雷揣κ 1 2( %極）及

电極〗6，而該QLED顯示器1(M 極或陰極16之二件數旦& > + I、有该列電 一 數里的仃電極或陽極12。注咅圓4椋ψ 一 單純行條圖案，但亦可υ 4係出不 使用之δ圖案。 丨用之像素圖案’如同一般 广出示限制數量之像素(圖像)。基本上，像素之數量僅 义限於製造顯示器l〇_3c之美 "一之基材11尺寸。該像素解析度或像 安：：又可相畜⑤’僅受限於用以產生彩色像素化之圖 的解析度。使用本發日歧向束沉積可使像素解析 度兩達母毫米50像素。 π於-類OLED顯示器(一般稱為底部發光型顯示器)中，製 得自OLED顯示HH)_3c：之選擇圖案，其可藉觀看發光基= 11之底面而觀察。較佳操作模式中，胃面板係、藉著㈣依 序激勵一列像素，且於選擇使重複各列激勵間之時隔短於 人頒視覺系統之偵測極限（一般短於約丨/00秒）的速率下重 複該激勵序列而激勵發光。觀察者看到自所有被激勵列所 發射形成之影像，即使該面板於任何時間下僅自單—列經 定址次像素發光亦然。 该OLED面板10-3C的RGB彩色像素化係出示為條紋圖案 87114 -19- 1280068 jr、g及叫、，、文各產生僅來自藉由經激勵之行電極(陽 極）12及列電極（陰極）丨6交點所界定之區域的光發射，即使 像素圖像之界定包括介於該陽極12間之不發光間隙(圖4中 未標不）亦然。 圖5係為OLED顯示器之干音立丨 之不思剖面圖，沿圖4之剖面線5_5 取得。紐介質係包括於該陽極行電極聰置於該基材η 二之上及之間形成為連續層之有機電洞傳輸層13。該電洞 得輸層可包括先形成於兮塔 ^ 成方、忒％極上及之間的電洞注射亞層 有機發光次像素層14R，及ΐ4β係卿 、珣g上。有機電子傳輸層 ^ 衫色像素化層上形 (未’示)’且可包括與陰極列電極16接觸之電子注射層 重= !，出示主動陣列型0LED顯示器之部分電路圖。 :見：像素電路各包括薄膜交換電晶 係為界定形成於透紐基材51上之 ，、中n 之整數(參照圖7)。例如 ：素-路的特定位置 之第2位置或第 知為、.、。曰位於第丄列及該列 像素電路係另外^ 素電路的薄膜交換電晶體。各次 、薄臈電容 u 一用於功率控制之薄膜電晶體TC— 電源”dd _、及描述為二極體之有航介質EL-。 數）、及線路xi至Xn’其“係為整 向h號線（包括線路γ丨 個別於各次像素電路接征兩 ^ m，其中m係為整數） 電路（以_ P 土 ’、屯位及號定址能力。第1列中之 及叫表線X1及Μ3界定）係個別以㈤、㈤、 圖7中使用相同編H向信號線Χ1、Χ2、 87114 -20- 1280068 Χ3、"·χη係連接於乂_向驅動電路p，而丫_向信號線幻、 Υ2 Υ3、··· Ym係連接於Υ-向驅動電路88。例如，為自該 EL^質EL12提供發光，係於χ_向信號線幻及γ-向信號線 ^提供信號，以將薄膜交換電晶體TS12啟動成為，，連通”狀 態。從而使用於功率控制丁C12之薄膜電晶體成》，，連通”狀 態，經由功源線vddl感應通經該EL介質EU2的電流。因此 ’由 OLED EL12發光。 圖7係為圖6中所示之次傻夸】 人像素61小61_2及61-3的部分示意 相圖顯示經全色彩像素化之财質，其_發光層之腦 像素化個別出示於54κ、54(^54β。彩色像素化可藉 本發明方法達成。 於透光性基材5 1上配置次像辛帝- 像素电路兀件（缚膜電晶體、薄 膜笔谷裔、及電路）61一1、61 井枓笛一千』 2及61-J。導電性線路64對透 光丨弟 ％極或陽極墊52(可由量化如姐 m Γ ή t 錫（ΙΤ〇)構成）提供電 驷（自功率控制用之薄膜電晶 孫袒# + )透先性有機絕緣體層66 係k供電絕緣。第二有機 -部分頂面。 “層68封包該㈣之邊緣及 隨之形成有機EL介質’其依序 雷涧偟鉍成c， 7匕秸連、、、員有機電洞注射及 电，π傳輸層5 3、經彩色像素化之

、及遠婷夕予2你认 成么先層54R、54G及54B 及連績之電子傳輸層5 5。形成盥 共同第” °电子傳輸層55接觸之 乐—電極或陰極56。自次像素發 伸於虛線間之箭號表示， :有效尺寸係由延 亦包括不發光之突起部分延

、⑽及54Β之間。 ^延伸於凹陷發光部分54R 87114 -21 - !28〇〇68 參照圖8，出示氣相沉積設備500之示意說明，Α ，、勺用於 進行本發明。圖2之站140具有外殼140Η，界令Λ办α 外疋如苓照圖2 所述般保持於減壓Pc下之艙室140C。為了保牲m 4 丨木符圖式之明示 性，圖8中省略站閥141、站真空泵142及結八夕石Ώ 口 < 采吸口 144* 及節流閥145、站壓感測器146、及惰氣供料源147(具有導 管148及氣流控制器149)。而且，視基材1丨（5丨）中之材料 歧管-對-基材間隔及沉積溫度而定，可冷卻該美 口Λ 土何，马助 於說明，亦未出示冷卻結構。 艙室1.40C中配置一歧管500Μ，其包括歧管外殼5〇2，其 至少一表面上由亦稱為喷嘴504之結構密封覆蓋。該噴嘴板 具有多個喷嘴506，其延伸至該歧管内。該結構或喷嘴板具 有形成於一表面上之配向標記533，以使〇LED顯示器基材 11 (5 1)於沉積經彩色像素化有機發光層14R、丨4〇或14丑中 之第一層以成為該基材上之條紋圖案之前，相對於該噴嘴 配向。已知該基材11 (5丨）係包括有機電洞注射及電洞傳輸 層（HTL·) 13 或 53。 ~ 於艙室140C中經由位於支架或罩幕框23〇(其中配置有基 材）（參照16及17)上之配向標記533及配向窗口 233於^•向上 使基材相對於喷嘴506配向時，該基材u (51)藉引導螺釘 212於)c-向上移動至起始位置"（參照圖“及丨乃。已知可移 除基材11 (51)或歧管5〇〇M。當然，若此等元件任一者係靜 態，亦可達成沉積。 出示夕個有機材料蒸汽來源5〇〇vs 1至5〇〇vs4係配置於 艎14〇C外。為了塗覆發光層，蒸汽來源500VS1至500VS4 87114 -22- 1280068 中至少一種材料係為發 + 尤材枓。或該多個或有機材料莱汽 來源500VS1至50〇VS4可配罢认认 ^ ^

^ — 士十、 _置衣鈿14〇C内部及/或歧管500M 。口洛π “源皆包括外殼54〇。如同圖8所示且灸昭 15所詳述，外殼54〇係包 一㈢ 匕括凸緣54卜其與來源蓋544宓人， 且從而密封連接於下方蒗 " …久輪廷導官546a。瘵汽流控制裝 末端係連接於下方蒸汽輸送㈣⑽ 末^係連接於上方療汽輪送導管5働。各蒸汽來源 至500VS4亦以句衽去山一 匕括未出不於圖8之個別加熱元件為佳，以 將内部材料加熱至適當 w 田之，皿度，產生放置於該蒸汽來源内 口 P之有機材料的蒸汽。或 4巧有機材枓可直接負載於歧管 500M内而不使用個別之該蒸汽來源$⑻ν§ι至$⑽vs4， 使用直接放置於歧管5〇嶋上或内之加熱元件（未圖示 有機蒸汽。 、酋 '::、料源500IGS具有氣體關閉閥562及自氣體關閉閥 V、U氣預熱為564之導管(圖中未標示），將該氣體加熱至 足以防 '止有機材料蒗汽人认— …、π ~嘁於凡件（其中同時含有惰氣流 及有機材料蒗汽彳內I L > '^ 飞）内表面上之溫度。下方氣體輸送導管566a Γ隋氧！員熱器連接至氣流控制裝置56〇§之一末端，而上方 軋體輸运導管566b係將氣流控制裝置560g之第二末端連接 t : ί器5 7 〇。結合器5 7 〇亦承接上方蒸汽輸送導管5 4 6 b， '口 ^ 流與來自兩有機材料蒸汽來源（同時操作）之至少 ^分有機材料蒸汽’如下文所詳述。用於蒸汽輸送及氣 二二迗之共同導管546(:經由氣相沉積站140之外殼14〇H將 570之輸出末端連接於歧管500M。或惰性氣體可直 87114 -23 - 1280068 接進料至歧管500M，與該處輸送 該有機Μ Μ — +十 一成之有機蒸汽混合。 有执材枓条來源、該惰氣 、哕钍入哭 # , ^ 遠流動控制裝置 广 輸送導管係拼列於虛線輪靡所干之可力教 外罩_内。該可加熱外罩可為適 ：：…加熱 Μ σΓ ^ φΙ ^ 寸及〜構之貫驗爐， ，、了 &制加熱以於該外罩内提供 墓汽來源、導其 ^卜 有機材料蒸汽於 、洛汽流動控制裝置、及結入哭57〇肉#而 上冷凝之溫度丁e。 口扣570内表面 相同地，為防止有機材料蒸汽於歧管 構或喷嘴板504面向歧管之# φ μ ^ t 表面及δ亥、·Ό 為ρ、人、与 “ ^面上冷凝’防止該噴嘴506因 φ . ψ __,+ , 支S 了错歧官加熱燈520加熱。圖8 τ未出不可控制之加敎燈雷 。p + … 原及連接於加熱燈520之電聯 。已知’使用例如加埶 喷嘴板。 ，、“ B或加熱條亦可加熱該歧管及該 意料發現若氣體流動係藉氣流控制裝置56〇g控制. 兵喷嘴軸具有極小角度發 _ 、】 &政之鬲度疋向氣體噴束係自噴嘴 離開，使得該歧管5〇〇]v[中形成之$戊、胃 、 通經喷嘴而進入艙室140(：內 _導致氣體自歧管 ^ η 之黏性流。亦發現有機材料基 >飞可心動中之惰性氣體於結合器57时結合，以輸送至ς 歧官·Μ内’而以有機材料蒸汽與惰性氣體之結合定向嘴 束MO形式自噴嘴5Q6出發。亦公認就定向氣體喷束而言，、 視噴嘴之内部尺寸及進入歧管之氣流水平(對應增加里中 氣體壓力)而定’可在該結構或喷嘴板504上方約0.02至2〇 厘米範圍内之距離保持準直。 · 另外亦發現若氣體流動係藉氣流控制裝置5,控制，則 87114 -24- Ϊ280068 與噴嘴軸具有極小角度發散之高度^向氣體喷束係自喷嘴 士離開’使仔當該有機材料係直接於該歧管5GGM内蒸發 才•亥歧s 500M中形成之氣壓導致氣體自歧管通經喷嘴而 進入艙室140C内之黏性流。 另外亦發現若氣體流動係藉氣流控制裝置56〇g控制，則 與噴嘴軸具有極小角度發散之高度定向氣體喷束係自喷嘴 506離開’使得當該有機材料係直接於該歧管$⑽μ内蒸發 且與歧官500Μ内之惰性氣體結合時，該歧管5〇〇Μ中形成之 氣壓導致氣體自歧管通經噴嘴而進入艙室i4〇c内之黏性流。 為了進步明瞭於黏性流條件下形成流經噴嘴之氣體定 向喷束’茶考Leon I. Maissel 及 Reinhard Gland所編輯，

McGraw Hill Book c〇mpanyM197〇 年出版之，，Handb〇〇k 〇f Thln Film Technology” 及 James Μ· Lafferty所編輯，

Wiley & Sons，Inc-出版之”F〇undati〇ns 〇f and Technology”的適當段落。 若氣體流經窄管，其於管壁上受到阻力。因此，於管壁 上及相鄰處之氣體層變慢，導致黏性流。黏性係數々係來 自因分子間撞擊所致之内摩擦。此黏性係數η係表示為 其中f係為介於0.3及0·5之間的因數，視分子相互作用之假 設模型而定。就大部分氣體而言，f=0.499係良好假設。σ 係為分子直徑；m係為氣體分子質量；Κβ係為波爾兹曼常數 (Boltzmann constant);且Τ係為氣體之溫度，以惶爾文 87114 -25 - 1280068 (Kelvin)(K：)表示。 而 洋a之，就長度1且半徑r而有惰性氣體流經之直圓柱管 曰’黏性流微觀流速Qvise可表示為 (2) Q取二^ P(P卜p丨) 8 η 1 且 其中Ρ係為管内平均壓力， 壓力 Ρ2及Ρ1係為該管相對末端 上之 氣體之平均自由路徑λ係表示成下式 λ： :JinL_ Λ/2πσ:Ρ πσ^Ρ νϊπησ2 (3) 其中or係為分子直徑，^ 係為氣體壓力。 ¥氣體流經直經為d 係為每單位體積之分子數目，而ρ (flow regime)，gp 自 其可用以定性該流動 之督子時，通常有三 種流動方式 不為 由刀子流、連續或黏性流及過渡流， 康得森數（KundseiVs number)Kn係表 Κη=λ/ά (4) 係用以定性該流動方々 子产方彳φ ^ -工。馬Kn>0·5時，該流動係為自由4 子机方式。此時氣體動力战 主導。氣體分子流， 刀子與管或容器壁之碰^ 撞擊，將其喷射通經該;，連續撞擊管壁，直至歷經㈣ 定，射出之分子的角二：。視该管之長度對直徑比例 又刀佈可由餘弦θ分佈（就零長度而言 87114 ~ 26 - 1280068 至強力發射曲線（高值長度對直徑比例）（細節參照Lafferty) 。即使是強力發射曲線’發射流於非零角度至管軸仍有重 要分量。當G.Gl<Kn<〇.5時，該流係為過渡流動方式，其中 分子與管壁之撞擊及分子間撞擊皆影響氣體之流動特性。 當Kn降低時，接近黏性流方式，該流動由分子間撞擊所主 導。當Κη<0.01時，該流動係為黏性流方式。此時該氣體之 平均自由路徑小於管直徑，而分子間撞擊遠較管壁撞擊頻 繁。於黏性流方式下操作時，來自管孔之氣體通常於大體

上平仃於孔壁之流線下平順地流動’可於高值長度對直徑 比例下高度定向。 I 就特定可蒸發材料而言，於可使用溫度下之蒸汽壓係低 以唯以針對小型開口達到黏性流，諸如可用於製造經像素 化OLED顯示器者。此等情況下，可使用附加氣體（例如單 獨作為載體之惰性氣體）產生黏性流。 氣體之蒸汽壓ρ*可由以下關係估計

Log p*- A/T+ B+ C Log T (5) 其中A、B及C係常數。Alq之蒸汽壓經 係由。·。一間變動。發現，祕 -2245_996 4 = -21.714及^.973。八1£1之平均自由路徑於25() 至35〇t溫度範圍内，於蒸汽壓下係為〇5至〇〇254毫米。因 此單獨Alq之蒸汽壓不足以在25〇至35〇。(：溫度範圍内，於 1〇〇微米管徑之圓形喷嘴結構中產生黏性流。需要約15托耳 之蒸汽壓以使Alq於此管徑下成為黏性流。 87114 -27- 1280068 該蒸汽流控制裝置560v及氣流 節流動控制閥。戋此耸、ώ " 〇g可為手動調 其可依分戶方1卞敕 衣置了為貝 控制裝置， m 對應於控制器(其可藉由來自電腦 (未不)之信號定址)所提供 不自4 啟位置。 &彳5唬而自關閉位置調至開 可：Π蒸汽來源中之-(例如蒸汽來源5。_)中置入 了 = 之有機主體材料。此種有機主體材料可為粉 ，則JL私士 右鈦形成王色彩（RGB) 〇LED顯示器 二餘之有機材料蒸汽來源(例如蒸汽來源5〇〇vsi、 存“ 2及5〇〇VS3)係置入不同之可蒸發有機摻雜劑材料。 機主來源5GGVSH系置人摻雜劑材料，其提供來自有 5〇〇νΓ 像素化摻雜層14G之綠光發射。該蒸汽來源 後去y置人摻雜劑材料，其提供來自有機主體材料之經 ”化备雜層UR之紅光發射。言亥蒸汽來源500VS3裝有摻 雜材料’提供來自有機主體材料之經像素化推雜層Mb 光考X射。亥有機格雜劑材料可為粉末、薄片、微粒或 液體形式。 使用瘵汽來源及有機材料個別進料之前述實例，可如下 :作氣相沉積裝置500,於基材n上或於基材51上提供全色 &象素化此日寸以發光層14R(或14G或14B)之條紋圖案表示 、/亥洛汽來源50〇VS2(紅色摻雜劑）及蒸汽來源、VS4(主體材 =)係加熱至瘵發溫度，其導致個別有機材料蒸發，通常係 昇華。啟動對應之蒸汽流動控制裝置560v，使受控之摻雜 劑蒸汽流及受控之主要蒸汽流自此兩蒸汽來源通經下方及 87114 -28 - 1280068 上方蒸輸送導管（個別為5 4 6 a及5 4 6 b)、結合器5 7 ο、及共 同導管546c，進入該歧管5〇〇M，於其中達成主體材料蒸汽 與摻雜劑材料蒸汽之完全"分子混合"。此等有機材料蒸汽 於歧管内產生蒸汽壓Pv，對Alq而言’在25〇至35〇。〇之=華 範圍内約0.024至0.573托耳，如參照圖14所詳述。 惰性氣體（例士。氮或氬氣）之流動係藉著在開啟氣體關閉 閥5 62(包括於惰氣供料源5〇〇IGS中）時控制氣流控制裝置 %〇g之開口而起始。流動之惰氣於惰氣預熱器中預熱， 經預熱之氣體經由下方及上方氣體輸送導管（個別為⑽ 及566b)通入歧管5〇〇M、結合器57〇内且通經該共同導管 5^6c’以進行蒸汽輸送及氣體輸送。該惰氣於歧管中提供 軋體壓力PG ’其係調整(經由氣流控制裝置5，)至足以於 該結構或噴嘴板504中產生通經喷嘴5〇6之氣體黏性流，且 提供實質定向之惰性氣體噴束，與將有機材料混合蒸汽一 起輸送導人該歧管中’以達成有機材料蒸汽與惰性氣體之 定向噴束5 1 〇。 該咖顯示器基材U (51)藉著經由位於噴嘴5〇6板上之 配向標記533及配置於支撐基材之支架或罩幕框230(未出 不顧圖8’參照圖16，17)之對應配向窗口 233而於y_方向上 =材係於x_方向上移動通過㈣向噴束別，以接 收條紋圖案之特定A彳參参& 士 荦係_由幾發紅色光層14R。該條紋圖 ^移動F”方式㈣始位置"！,，移動或平移該 基材至向前移動之最終位置而提供。或可㈣基材位置 而相對於该基材平移該歧管。 87114 -29- 1280068 來自瘵况來源500VS4(主體材料）及5〇〇VS2(紅色摻雜劑） ^瘵/飞流現在藉由關閉對應之蒸汽流控制閥56(W且藉由中 斷该瘵汽來源500VS2之加熱而中斷。進入該歧管及通經該 貝紫之經預熱氣體流可持續’或其可藉由關閉氣流控制闊 56〇g而中斷。此外，可於喷嘴板上放置擋閘裝置（參照圖16) 以阻斷殘留之瘵汽流或殘留之定向噴束，防止其於自位 置”Π”逆向或回轉移動”R，，至位置，q，，之期間到達該基材。 /基材11 (5 1)現在係藉由逆向或回轉移動，，r π自位置"Μ，， 移動或平移回到起始位置，Τ，。該蒸汽來源綱vs i (綠色推

雜劑/係加熱使該摻雜劑昇華，而於藉蒸汽流控制裝置5 6 〇 V (與瘵汽來源500VS1結合）所控制之蒸汽流下將，，綠色，f換雜 d瘵/飞v入歧官内。重複將主體材料自來源5〇〇vs4提供至 歧管内及藉由經預熱之惰氣流入歧管500M内而產生定向 贺束510以於該噴嘴506内產生黏性流的步驟。於位置”1”中 ，基材再次相對於噴嘴定向或編碼，使得用以接收有機發 綠色光層14G之次像素與該喷嘴配向。該基材隨之依前進方 向’’F”移動或平移通經來自喷嘴5〇6之定向噴束，到達位置 Η ’以於疋-欠像素中接收條紋圖案之有機發綠色光層 14G。 藉著經由蒸汽來源50〇VS3(藍色摻雜劑）及5〇〇vs4(主體 材料）於基材11 (51)之特定次像素位置形成有機發藍色光 層14B之條紋圖案，而重複前述程序步驟。因此，若需要， 則全色彩RGB經彩色像素化〇LED顯示器1〇_3匸或π-%可 藉本發明方法於氣相沉積設備500中達成。 87114 -30- 1280068 已知亦可藉由本發明方 器。此時使用具有排列成對效地製付多色彩0LED顯示 ⑽的結構或噴嘴板5〇4_應特定行（或列）次像素之喷嘴 圖8及其描述係包括個 知可使用較多⑼ηΛ VS1至50Gvs4。已 一 r'、' π來源以藉本發明方法進行彩色像 里i而且’送入蒸汽來源内之可蒸發有機材料的選擇可 異於參照圖8所述之材步斗…& + 付〜擇可 — 彳如，第一蒸汽來源可置入第一 種可瘵發有機主體材料， ^ ^ 蒸發之有機主體材料。第：：：汽來源可裝有第二種可 昂一瘵Α來源或第三及附加基汽來 源可置入經選擇以自操作中之〇 哭 /、、 發光層圖案發出紅光 m、！摻雜有機 雜劑材料。先或監光中之一的可蒸發有機摻 使用兩種有機主體材料 一 It次或夕種有機#雜劑材料形成 經摻雜之有機發光屏可# _ 戍知九層了使刼作中之OLED顯示器具有改良 之操作女定性，或改自夕义 飞文良之务先性，或改良之發光色彩、或 該等改哀特色之組合。 :將：或多.種可蒸發有機摻雜劑置入一蒸汽來源中。 70成心色像素化時’所有蒸汽來源皆藉著中斷該來源之 加熱而關閉’惰性氣流係藉著關閉氣體關閉閥562或藉著控 制4氣抓4工制衣置56〇g之關閉而中斷。完成之基材於X·方 向上自位置"II”移動或平移回到位置T，。一旦進入該艙室 之|青性氣流中斷且該搶室14〇c抽真空（藉站點真空栗⑷經 由節流閥145)至約等於圖2之緩衝令樞1 〇2中所存在之壓力 的屡力，則基材11 (51)可、經由圖2所示之站閥141自後一位 87114 -31 - !28〇〇68 置之艙室140C取出。經彩色像素化之基材可隨之行進至站 點150 (ETL)内，以進行有機電子傳輸層（其可包括電子注射 亞層）之氣相沉積。 參照圖9，出示具有多個沿中心線CL排列之噴嘴5〇6的結 構或喷嘴板5G4。該喷嘴間距（喷嘴間等間隔）係經選擇以產 生必要之’儿私、圖案，準確地塗覆〇L E D顯示器所需之次像素 、:噴嘴506總數對應於〇LED顯示器用以發射所選擇顏色之 光如例如紅色光、綠色光或藍色光）的次像素之總數。 此％以配向十子形式出示配向標記5 3 3，但可採用其他配向 方法。 圖10係為沿圖9之剖面線1(M0所得之喷嘴板5〇4剖面圖 。出不喷嘴内部尺寸或喷嘴直徑0及喷嘴長度尺寸1。喷嘴 506可為圓形輪廓或具有多邊形輪廓。喷嘴内部尺寸d可由 1 0至1 0 0 〇毫米，而有機材料蒸汽及惰性氣體之定向喷束 ($圖8)可使该喷觜長度尺寸1至少較該喷嘴内部尺寸 d大5倍。 芩照圖11，.出示一結構或喷嘴板504T，其包括喷嘴506 之一維陣列及配向標記533。出示之喷嘴陣列5丁具有m行 喷嘴及11列噴嘴。該喷嘴板504T可密封放置於具有適當大小 之歧笞之侧面上’擋閘裝置可放置於該喷嘴陣列5〇4Τ與 OLED頒示裔基材（其進行彩色像素化，使得該擋閘裝置阻 斷介於該噴嘴506與該基材之間的直接視線）之間。該基材 係經由配向標記533及形成於支架或罩幕框23〇(接收且輸 送該基材）上之對應配向窗口 233 (參照圖丨6, 17)相對於喷嘴 87114 -32- 1280068 定向。該基材係移 — ,晬％ & 動至疋位於該喷嘴板5〇4Τ上，而盥直 向。隨後收回擋閙壯罢 α /、，、0匕 衣置，^性氣體及有機主體材 色彩之摻雜劑材料的V ^ 何杆與形成 、〇忒之疋向噴束於基材之不連 擇性次像素上形士 卜A 卜逆，且延 ^ 、、、·Μ參雜有機發光層（諸如薄 14G或14Β)，此優於美 4層14R或 ..# # . 土才連，地移動或平移通經定向喷束來 產生y色像素化之條紋圖案。 參照圖 1 2，屮；Γ5! JL /·>· 不0柱管狀歧管500CM之示意俯 歧管500CM具有圓叔以* 一 L ϋ 及 、才形歧官外殼536，其包括末端蓋538及 。歧官加熱元件52Q延伸通經該歧f，而藉末端蓋支撐 。直接於外殼5 3 6 Φ再；λ、，/η + 6中幵y成多個賀嘴506，成為沿著中心線^ 之線狀圖案。配向炉々ς ο c及 干阢向私圮53 5係沿圓柱表面配置，而沿中心 CL放置。 $ 圖13係為沿圖12之剖面線13-13所得的圓柱形歧管之剖 6圖’界疋喷嘴長度尺寸1及喷嘴内部尺寸d。該喷嘴内部 寸d可於由丨〇至1〇〇〇微米範圍内，而喷嘴長度應至少較喷 嘴直徑大5倍。可使用管狀歧管之其他結構，諸如例如具有 橢圓形剖面或多邊形剖面之管狀歧管。 圖13八出示經修飾圓柱管形歧管500CM-1的剖面圖，其中 =面結構或曲面喷嘴板5〇4(：：係密封配置於形成於圓柱形歧 管外殼536中之狹縫形隙孔537上。喷嘴506係沿著諸如圖12 中噴嘴線所示之線而形成於曲面喷嘴板5〇4c中。配向標記 53 5係配置於曲面喷嘴板（未出示於圖13 a中）上。

茶照圖14 ’出示來自喷嘴5〇6之有機材料蒸汽流之發散性 個別與歧管外殼502内之蒸汽壓Pv及蒸汽壓Pv加歧管500M 87114 1280068 中惰氣壓力水平p…及PG2之間的關係。該發散 箭號及相對於物流（來自噴嘴板504中 、虚線 .ώ R ^ 吓小成之贺嘴506)之 角度α丨、α2&α3表不。該艙室14〇c之低 CV」匕括進入兮 艙室之惰性氣體壓力）（參照圖2)可由1〇_7至1〇ϋ托耳 Μ 當進入歧管500Μ之情氣流不存在時，有機主體村料 雜劑之蒸汽被自個別蒸汽來源導人歧管内，於約3⑽。 華溫度下於該有機材料蒸汽來源中於該歧管内形成約二 托耳（13 Pa)之蒸汽壓匕。該有機材料蒸汽於此蒸汽壓下提 供通經喷嘴506之非黏性流，如相對角…所示地於相對高發 散性下進入該艙室。當惰氣流附加地導入該歧管以產生氣 壓pG1時’來自喷嘴之蒸汽流加惰氣流的發散性如相對角… 所示般地降低’表示惰氣之導入產生某一程度之黏性流性 質。當進人歧管5GGM之惰氣流再增加使歧管中氣壓Ρ0>ρ⑴ 時’來自喷嘴506之蒸汽流及惰氣流的發散性進一步降低， 提供具有相對角〜之實^向喷束，表示實質藉由該歧管 5〇〇Μ中處於後-氣壓水平下之惰性氣體經由喷嘴5〇6產生 黏性流。 參照圖15，出示蒸汽來源5〇州之具體實例的剖面圖， 其係為圖示於圖8中之蒸汽來源5〇〇vs丨至5〇〇vs4之代表。 該蒸汽來源500VS係包括具有凸緣541之外殼54〇。墊片542 I由螺栓543(配置於該凸緣與該來源覆蓋之邊緣周圍）提 供凸緣541與來源覆蓋544間之密封嚙合。該墊片542可為金 屬（諸如鋁或銅）製得之環形壓縮墊片如同熟習真空技術者 所熟知。 87114 -34- 1280068 洛發加熱器550於藉由饋入裝置552及554所支撐而配置 於來源覆蓋544中之外殼540内延伸。蒸發加熱器550可加熱 至療發溫度，導致該蒸汽來源500VS中所裝之可蒸發有機 材料14a(以虛線輪廓表示）昇華，而將蒸汽（未示）提供於下 方療汽輪送導管546a内（亦參照圖8)。此導管係藉密封物 545相對於該來源覆蓋544密封。 瘵發加熱器電源750係經由引線752連接於饋入裝置552 且緃由引線754連接於饋入裝置554。蒸發加熱器550之受 控加熱係藉由調節器75011控制或調整通經加熱器55〇之電 流而達成。電流係以電流計753指示。 忒瘵汽來源500VS之外殼540可藉由移除螺栓543而自來 源覆蓋544卸下。卸下該外殼可清除有機材料14a之殘留物 ’置入有機材料14a之新供料。 芩妝圖16，出示圖2之氣相沉積站140 (LEL)的示意剖面 圖，沿圖2之線16-16取得。此圖中省略該蒸汽來源5〇〇vs 及惰氣預熱器564。該共同導管546c經由隔熱歧管載體53〇 (其係藉墊片532相對於外殼丨40H密封）延伸進入該歧管 500M内。擋閘238可移入覆蓋該喷嘴5〇6之位置（以虛線輪廓 表不）或移入定向喷束510(未示）可提供〇LED顯示器基材u (5 1)彩-色像素化之位置中。 01^0顯不|§基材11 (5 1)係放置於支架或罩幕框23〇中， 與喷嘴板504頂面（因此與噴嘴5〇6)具有間隔D。滑動套225 係固定連接於該支架230之頂面，此處以鳩尾形滑動套表示 。滑動套225係配合滑軌225R(形成於導桿隨動器214中）滑 87114 -35- 1280068 動0 滑動套及滑執使支架230及其中容裝之基材11 (51)於y_ 方向上移動（參照圖丨7)，使該基材與喷嘴配向，於參照圖8 描述之各個彩色像素化步驟之前將基材編碼。 導桿212啣接該導桿隨動器214，使其（及支架230)於X-方 向上自起始位置”1”向前移動，，F”至最終位置，，ΙΓ，（以虛線及 點線輪廓表示）。於此連續移動期間，基材丨丨（5丨）通經有機 材料二/'及h性氣體之定向喷束（未示），而於經像素化有 機層上提供條紋圖案。 4 V # 212係形成於導桿軸2U (至少兩位置經承載）之某 些部分上，即於形成於該站14〇之外殼14〇H中之軸密封物 2中11a中及於導桿轴末端托架213(其係裝置於該外殼1砸上） 導桿驅動電動機210經由開關216(其自輸入接頭218經^ 引線217提供控制信號）提供前進移動"F"或逆向或回轉矛 動” R”。·該開關2丨6可具有中間或,，中立”位置（未出示於圖工 :二參照圖17)’其中該支架或罩幕框23。(及基材)可纖 向前移動之最終位置” ΙΓ’，或於起始位置"，盆中基材i 於先前通過該喷嘴之過程中接受彩色像素罐“ 木230取出，將新基材置放於該支架或罩幕框中。 配向偵測器234係用以經由配向標記533(或若使用圓扫 形歧管500CM則經由配向標記 )便&材11 (5 1) i嗜嘴板 504中之喷嘴506配向，該配向標 ^ 232(其可連接於該支架或罩y ☆該配向標- 罩暴框h〇)中之配向窗口 233配 87114 •36- 1280068 置於外殼14〇Η中之光學窗口 235 向。於任一配向標記5 3 3上提供 向。該配向偵測器係經由配 沿著光學配向軸236偵測配 光學配向即可。 參照圖17，出示圖2之LEL氣相沉積站14〇的部分示意俯 視圖。該歧管500M係放置於熱絕緣歧管載體別上。孽示 配向標諸232係連接於支架或罩幕框23〇上，該配向窗口加 係以十字形式形成於此等標誌中，以對應於配置於該喷嘴 板5(M上之十字形配向標記533，或對應於位於圖η之圓柱 形歧管5Ό0Μ上之十字形配向標記535。 步進電動機220具有驅動軸222，其延伸通經步進電動機 ’經由形成於該外殼i 40H中之軸密封物223進入該搶14〇h ^軸如、、ϋ為224可在支架230經由導桿212(啣接該導桿隨動 )於X方向上移動或平移之前卸脫開。該軸聯結器2 2 4 係藉著提鬲聯結升降器226(連接於延伸通經步進電動機 ^20之驅動軸部分）而脫開。當軸聯結器224係處於卸接位置 寸°亥γ進包動機220於電腦221控制下藉著提供驅動軸222 之增I轉動，·以經由滑執225R(參照圖16)及滑動套225所提 供之滑勢機制推進或撤回該支架230，以提供基材（51) 於y-方向上之準確編碼，如圖丨7所示。 茶照圖18，歧管組合體5〇〇ma係以位於艙14〇c中之方式 不思出不。該歧管組合體特別可用於在OLED顯示器基材上 δ守/儿和二色彩圖案有機層。該歧管組合體50〇MA係包括 二個機械連接之歧管500MB(提供有機主體材料及發藍光 /、隹θ丨的洛Ά )、500MG(提供有機主體材料及發綠光之 87114 -37 - 1280068 摻雜劑的蒸汽）、500MR(提供有機主體材料與發紅光之接雜 劑的蒸汽）。對應之喷嘴506B、506G及506R個別於組人 、、、、σ 體 500ΜΑ之三個歧管中，對應於準確塗覆位於〇LED顯示器美 材11 (5 1)上之文期望之個別次像素所需的間隔而進行補^ 。僅於一歧管配置一或兩個配向標記5 3 3。注意亦可採用其 他配向方法。 ' 歧管500ΜΒ、5 00MG及500MR各經由蒸汽流控制裝置且 經由共同導管547c(用以自主體材料蒸汽來源輸送蒸汽且 輸送惰性氣體）接收來自例如蒸汽來源500VS4之有機主體 材料蒸汽。該結合器570結合該有機主體材料蒸汽及經預熱 之惰性氣體，且將該組合物輸送至該共同導管5 47c内。 該歧管500MB亦接收此圖中由蒸汽來源5〇〇VS3提供之，，該 色’’摻雜劑蒸汽。該歧管500MG亦接收”綠色，，摻雜劑層（此時 係由蒸汽來源500VS1提供），而歧管5〇〇1^尺亦接收由蒸汽來 源5 0 0 V S 2所提供之’’紅色’’摻雜劑蒸汽。 如前文所述，基材11 (51)先相對於（例如）歧管5〇〇馗〇所 具有之配向標.記533定向或配向。該基材隨之沿方向移動 或平移至起始位置”1”。定向之噴束隨之經由噴嘴5〇6β、 506G及506R提供。該基材隨之移動或平移通過該定向噴束 而到達最終位置"Π”，以同時接收彩色像素化之圖案，其個 別為發光層14R、14G及14Β之重現紅色、綠色及藍色條錢 形式，且係對應於欲形成於該0LED顯示器基材11 (5 1)上之 特定次像素行。已知雖然出示單純列/行像素化結構，但所 描述之發明可具有#閘、纟他歧管幾何形片大或其他相對移 87114 1280068 動方式’以產生較複雜之多色彩像素沉積圖案。 構成結構或噴嘴板504、504C及504T之較佳材料係包括 至屬玻璃、石英、石墨及陶瓷。該歧管外殼亦 可自前述較佳材料中之—構成。用以構成歧管外字之材料 不f與構成喷嘴板之材料相@。例如，歧管外殼可由金屬 製得，而噴嘴板可由玻璃製得。 已决雖羔本發明僅討論PVD ’但本發明亦可使用於將前 驅物物質進料至該歧管内，反應形成新分子產#，此等新 產物依所述方式自噴嘴陣列輸出且沉積於適當之基材上。 其他牯糌 基材 …D顯示器一般係配置於承載基材上，其中該顚 陰極或陽極可與基材接觸。與該基材接觸之電極 間稱為底部電極。傳統上’底部電極係為陽極，但本發 明不限於該種結構兮其 4基材可或為透光性或不透明，視所 需之發-光方向而定“亥透弁“ 視所 及透先性係硯看通經該基材之 二用广透:玻璃或塑膠。就經㈣部電 曰芒心應用而吕，底部截髀 戰之透先特性不重要，因 h、、、反紐。此種u ~ €帛之λ材 電路板材料。當,……t 夕、陶£、及 包極或頂部電極等。 、兀丨王』貝口丨 當經由陽極12或陽極墊52 有^光蚪，该電極應對所研 87114 -39- 1280068 究之發光具有透明性或實質透明性。本發 透明陽極材料有氧化銦錫(ίΤ0)及氧化錫，但亦可使= 金屬氧化物，白杠〃 … “更用其他

? 匕括（但不限於）#雜有鋁或銦之氧化鋅（IZ 二，/銦、及氧化錄鎢。除了此等氧化物之外，可使用 金屬氮化物(諸如氮化鎵)及金屬碼化物(諸 = 為陽極12(52)。就僅經由)陰“ G極等戒看發光之庫 a .k μ用㊂，％極之透光特性不重要，任 何V電性材料皆可使用 應用所伸用夕一 月、不透明或反射性皆然。此 Γ及勤\貫例導體係包括（但不限於)金、銀、鉬、！巴 材細光性或麵光性）W子伏 斗寸或更咼之功函數。所需 方式（諸如# a 、· ％極材料一般係藉任何適當之 …瘵S、濺鍍、化學氣相沉 。陽極可使用眾所周知之微影方法圖宰化。）積 雖非始終必要，但經常可帝 將电洞庄射層配置於陽極與電 洞傳輸層13 (53)之間。該電洞 射材料可用以改善後續有 钱層之溥膜形.成性質，且有 力衣电洞注射於該電洞傳輸層 内。適用於電洞注射層中 心何抖係包括（但不限於）US-將4,72Μ32所述之樸琳化合物及us_A_6风〇75所述之電 Γ沉㈣碳化物聚合物。記載中可料有機财置之備擇 笔洞注射材料係描述於EP〇89ll2lAiMpi〇29 9〇9Ai 中。 liLi專輪層（HTL) 有姐顯示器之電洞傳輪層13(53)含有至少—種電洞傳 87114 -40、 1280068 輪化合物，諸如芳族三級胺，其中已知後者係為含有至小 個二價氮原子（僅鍵結於碳原子），其中至少—者係為# 族環。於一型式中，該芳族三級胺可為芳基胺，諸如單= 基胺、二芳基胺、三芳基胺、或聚合芳基胺。例示之單= 三芳基胺係由Klupfel等人說明於US-A-3,180,730中。其他 具有一或多個乙烯基且/或包含至少一個含有活性氳之義 團的適當二芳基胺係由Brantley等人揭示於US_a 3,567,450及 US-A-3,658,520 中。 更佳類型之芳族三級胺係為包括至少兩個芳族三級胺部 皆者，描述於仍-八_4,720,432及仍_八_5,061,569中。該化八 物係包括結構式（A)所示者。 σ

A

Qi、 其中Qi及Q2係為個別選摆$ :¾：炊- 5 “擇之方知二級胺部分，且G係為鐽 口基，者如伸方基、伸壞烷基、或具有碳對鶊鍵結之伸烷 i槿於r具體貫例巾，QiAQ2中至少—者含有多環調合環 …構，例如莕·。當G係為芳基時，复 + "知間便地為伸本基、伸 駟本基、或萘基部分。 滿足結構式（A)且含有兩個二芳 一# i ^〆 一方基私部分之可使用類型 二方基胺係以結構式（Β)表示 土 Β

Ri—( ΐ2 R3 r4 其中： 87114 -41 - 1280068

Ri及汉2個別表+ & 一 a丄 "氧原子、芳基、或烷基或Ri及R2—起表 不元成環烷基之原子；且 （ R3及R4個別表示 甘A /、方基’其依序被經二芳基取代之胺基所 取代，如結構式（C)所示 r5

C 其中115及R6係個別選渥 、 j、擇之方基。於一具體實例中，r5&r( 至少一者含有多環稠合環結構，例如茶。 另一類芳族三級胺係兔π芏甘 、為四方基二胺。所需之四芳基二胺 係ο括兩個經伸笔发Μ人 伸方基鍵合之二芳基胺基（諸如通式（C)所示、 。可使用之四芳其-…4" 方I 一爿女係包括通式（D)所示者 R?.

D '十Are 士 ^R8 、r9 其中： ΑΓ;各可為個別選擇之伸芳基，諸如料基或蒽部分； η係為由1至4之整數；且

Ar、FU、Rs及&係為個別選擇之芳基。於典型呈體實, 中，八^…艸至少一者係為多環稠合環結二 如莕。- f有前述結構式⑷、(B)、(〇、⑼之各種烷基、㈣ 、芳基、及伸烧基部分各可依序經取代。典型取代基们 括燒基、烯基、烧氧基、芳基、芳氧基、及_素，諸如專 、氯及溴。該各種烷基及伸烷基部分—般含有由約工至“ 87114 -42 - !28〇〇68 如二子。亥J衣k基部分可含有由3至約1 〇個碳原子，但一 :二=、六或七個環碳原子’例如環戊基1己基及環 分…構。該芳基及伸芳基部分可使用苯基及伸戊基部 形：毛/同傳輸層可由單—種芳族三級胺化合物或其混合物 1成二砰言之，可採用與四芳基二胺（諸如通式（D)所示）結 =之2芳基胺（諸如通式通式（Β)之三芳基胺）。當三芳基胺 與四芳基二胺結合使用時’後者係放置成夾置於該三芳基 胺與該電子注射及傳輸層之間的層狀。可使用 胺之說明例如下： Μ-雙（4-二-對-甲苯基胺基苯基）環己烷 U-雙（4-二-對-甲苯基胺基苯基）_4_苯基環己烷 4,4^雙（二苯基胺基）聯四苯 又（4_一曱基胺基曱基苯基）·笨基甲院 Ν，Ν，Ν-三（對-甲苯基）胺 4_(二-對-甲苯基胺基）-4，-[4(二-對-甲苯基胺基）_苯乙烯基] -1，2-二笨乙稀 N，N，Nf，N’-四-對-甲苯基-4-4，-二胺基聯苯 N，N，N’，N’-四·苯基-4-4’-二胺基聯苯 N，N，Nf，Nf-四-卜莕基-4-4’-二胺基聯笨 N，N，N’，N’_四-2-莕基- 4-4、二胺基聯笨 N -苯基ρ卡π坐 4,4’-雙[N-(l-莕基）-Ν-苯基胺基]聯笨 4,4 -雙[Ν-(ΐ-萘基）-Ν-(2 -茶基）胺基]聯苯 87114 -43- 1280068 4,4’’-雙[N-(l-苔基）-N-笨基胺基]對-聯三笨 4,4’-雙[N-(2-莕基）-N-苯基胺基]聯苯 4,4’-雙[N-(3-苊基）-N-苯基胺基]聯笨 1，5-雙[N-(l-莕基）-N-苯基胺基]茶 4,4’-雙[N-(9-蒽基）-N-苯基胺基]聯苯 4,4’’-雙[N-(l -惠基）-N-苯基胺基]對-聯二苯 4,4Ιβ*雙[N-(2 -非基）-N-苯基胺基]聯苯 4,4’-雙[N-(8-荞基）-N-苯基胺基]聯苯 4,4f-雙[N-(2-芘基）-N-苯基胺基]聯笨 4,4’-雙[N-(2-丁省基）-N-笨基胺基]聯苯 4,4’-雙[N-(2-二萘嵌苯基）-N-苯基胺基]聯苯 4,4’-雙[N-(l-軍苯基）-N-本基胺基]聯苯 2.6- 雙（二-對-甲苯基胺基）萘 2.6- 雙[二-(1-莕基）胺基]莕 2.6- 雙[N-(l-萘基）-N-(2_莕基）胺基]莕 队队1^’，1^_四（2_莕基）-4,4”-二胺基-對-聯三苯 4,4’-雙{N-苯基-N-[4-(l-萘基）-苯基]胺基}聯苯 4,4’-雙[N-苯基-N-(2-苯基）胺基]聯苯 2,6_雙[N，N-二（2-莕基）胺]第 1，5-雙[N-(l-萘基卜N-苯基胺基]莕。 另一類可使用之電洞傳輸材料係包括EP 1 009 041所述 之多環芳族化合物。此外，可使用聚合物電洞傳輸材料， 諸如聚（N-乙烯基咔唑）（PVK)、聚嘧吩、聚吡咯、聚苯胺、 及共聚物，諸如聚（3,4-伸乙二氧基噻吩）/聚（4-苯乙烯磺酸 87114 -44- 1280068 酯）（亦稱為 PEDOT/PSS)。

MliL^XLEL) 如 US-A-4,769,292及 US-A-5,935,72 1 所充分描述，有 、貝示态之發光層（LEL) 1 4 (1 4R、1 4G、1 4B)及 54R、54G、 B係包括發光或螢光材料，其中電子-電洞對於此區内重 組而產生電致發光。該發光層可包含單一材料，但更常見 的疋由摻雜有客體化合物或化合物等（摻雜劑或摻雜劑等） =少-種主體材料所組成，其中光發射主要係來自換雜 _ 、，可為任何顏色。該發光層中之主體材料可為電洞傳 輸材料（如下文定義）、電洞傳輸材料（如前文定義）、或支持 電㈣：重組之另一種材料或材料組合物。該摻雜劑通常 係、自兩度螢光染料，*亦可使用燐光化合物，例如w〇 5556 1、W〇 _1 885 1、W〇 _57676及 WO _70655所 田L之過渡金屬錯合物。摻雜劑一般塗佈㈣丄至 主體材料内。 里里/〇主 ^ # ^ 5 ^ ^ ^ i ^ ^ ^ ^ & 八早’·乙烯）’ PPV)作為主體材料。此情況下，少型 刀子摻雜劑可分；卜斗人^ ^ 可藉著將士 、刀放於該聚合物主體内，或該摻雜劑 :人要成份共聚於該主體聚合物内而添加。 豆传定ί #相之㈣的重要關係係比較能帶隙電位， 高佔用分子軌道與最低未佔用分子軌道 子，'”條件係該自主體轉移至摻雜劑分 已知可使用之主；且;？:痛、於該主體材料者。 且叙光性摻雜劑分子係包括（但不限 87114 -45 - 1280068 於）US-A-4,768,292 ; US-A-5，141，671 ; US-A-5，150,006 ; US-A-5，151，629;US-A-5,405,709;US-A-5,484,922;US-A-5,593,788;US-A-5,645,948;US-A-5,683,823;US-A-5,755,999，US-A-5,928,802 ; US，A-5,935,720 ; US-A_ 5,935,721，及 US-A-6,020,078所揭示者。 8-羥基喹啉之金屬錯合物及類似衍生物（通式£)構成一類 可使用之主體化合物可支持電致發光，特別適用於波 長較500奈米長之光發射，例如綠色、黃色、#色、及紅 色0

Μ係表示金屬； η係為由1至4之整數 Ζ於各情況下個別表 心的原子。 ，·且 示完成具有至少 兩稠 合芳族環之核 金屬。該金屬可例如為驗金屬，，一價、三價、 屬，諸如鎂或鈣；土金屬 …鋰、納或鉀；齡 π正/蜀。 ^ u 边' ζ完成含有至少兩個 知1展（其中至少^ 〜者係3 如辞或錯。通常可採用任何已二切，或過渡金屬 償、-價、三價或四價金屬。^ 了使用之鉗合金屬 87114 -46 - 128〇〇68 遠、 埃2之雜環核心。若需要，則其他環（同時包括脂族及芳 长）可與該兩必需環稠合。為避免在未改善環原子之功能 下^加分子體積，環原子數通常保持1 8或以下。

C〇 C〇.2 CO-3 CCM 可使用之經鉗合類喔星化合物的說明例如下： 三喔星鋁[別名，三（8'喹啉根基）紹（III)] 雙喔星鎮[別名：雙林根基）鎂（II)] 雙[苯并啉根基]辞 雙曱基_8-峻琳根基）鋁（ΙΙΙ)-μ-合氧基-雙（2-甲基 -8-喹啉根基）鋁（ΙΠ) ⑶-5 :三喔星銦[別名，三（8-喹啉根基）鋼] C〇-6:三（5-曱基喔星）銘[別名，三（5_甲基_8+林根基成 (III)] C0-7 ·喔星鐘[別名，（“奎琳根基）經⑴] C0-8 ·喔星鎵[別如三（8_喳啉根基）鎵（m)] C0-9·喔星鍅[別名，四（8_喳啉根基）鍅（Iv)] 9 ’ （ 2 *、基）总（通式F)之衍生物構成一類可支持電 致發光之有甩主體，尤其適用於波長大於4〇〇奈米之光發射 ，例如藍色、綠色、黃色、橙色或紅色。 、

871H >47- 1280068 其中 、R2、II3、R4、r5 一 及R係表示一或多個位於各環 之：代基，其中各取代基可個別選自下列各群：、 乐1群’虱、烯基、烷基、或環烷基(具有U24個碳原 子）； ’、 弟2群.具有5至2〇個石卢盾1 ^ 、， 厌原子之芳基或經取代之芳基； 群：完成稠合芳族環(諸如蒽基、祐基或二萘嵌苯基) 所舄之4至2 4個碳原子； 並：_ Z、有5至24個碳原子之雜芳基或經取代雜芳基， ::係完成她、4吩基”比。定基十林基或其他雜環系 、、先之稠合雜芳族環所需； 5群·具有1至24個碳原子之烷氧胺基、烷胺基、或芳 月女基；及 第6群：氟、氯、溴或氰基。 二說明實例係包括^仆苔基请及^三丁基^, 9-:(2省基)蒽。其他蒽衍生物可於LEL中作為主體，包括 ，〇-雙[4-(2,2-二苯基乙烯基）苯基]蒽^ 主何生物(通式G)構成另一類可支持電致發光之有用 ，尤其適用於波長較400奈米長之光發射，例如藍色、 ^色、黃色、橙色或紅色。

G

其中： 87114 •48- 1280068 η係為3至8之整數； Ζ係為〇、NR或S ; R及R，個別係為氫；具有} 卜 至〜4個兔原子之烧基，例如丙 基、第三丁基、庚基及其類去· 、考’具有5至20個碳原孑之芳基 或經雜原子取代之芳基，例如笨基及蕃基、吱喃基”塞吩 基、吡啶基、喹啉基及其他雜環系統；函基，諸如氯、氟 ，或完成稠合芳族環所需之原子 多4個R’基團；且 且每個吲哚單元可有最 L係為由烷基、芳基、經取代之烷基或經取代之芳基所組 成之鍵合單元，其係共軛或非共軛地接合多個吲哚。 可使用之吲哚實例有2,21，2”_(1，3,5_伸笨基）三[丨_笨基 -1Η-苯并味嗤]。 US-A-5，121，029所述之二笨乙烯基伸芳基衍生物亦可作 為供LEL使用之主體材料。 所需之螢光摻雜劑係包括蒽、丁省、咕噸、二茶嵌苯、 紅螢烯、香豆素、若丹明（rhodamine)、喹吖酮、二氮美亞 曱基峨喃化合物、硫代吡喃化合物、聚曱炔化合物、氧雜 笨蟵及硫雜氧雜笨赠化合物、苐衍生物、迫位弗填 (Periflanthene)衍生物、及羥基苯乙烯基化合物。可使用之 摻雜劑-的說明實例係包括（但不限於）下列者： 87114 -49- 1280068 87114

-50- 1280068 87114

2 R 0 11-3456 789012 Q/ n n It It n 11 n 11 n li ?*- L· rL· L· TL· L·

XI R1

基基三三基基三三 Η甲Η甲第Η第Η甲Η甲第Η第 基基基基 Τ-Τ-丁丁 基基 三三 基基三三 ΗΗ甲甲Η第第ΗΗ甲曱Η第第 〇〇〇〇-〇〇〇 s s s s s s S 基基 基基

L37 苯基 L38 曱基 L39 第三丁基 L40 2,4,6-二曱苯基 -51 ·

Ri

R2 1 二4 1.25 L26 L27 1.2 X L29 1.30 L31 L32 L33 L34 L35 L36 ()Η 〇甲基 〇甲基 Ο Η 〇 第三丁基 Ο第三丁基 S Η s Η s甲基 s申基 s Η s 第三丁基 s 第三丁基 曱基 Η甲基 第三丁基 Η 第三丁基 Η甲基 Η曱基 第三丁基 Η 第三丁基

L41苯基 L42曱基 L43第三丁基 1.44 2,4,6-三曱苯基 1280068

雷手僂輪層（ETL) 用以形成有機EL顯示器之電子傳輸層15 (5 5)之較佳薄膜 形成材料係為經金屬钳合之類喔星化合物’包括喔星本身 之鉗合物（亦稱為8-喹啉酚或8-羥基喹啉）。該等化合物有助 於注射且傳輸電子，且兼具有高度性能，而易製造成薄膜 形式。所需之類喔星化合物實例係為前文所述滿足結構式 (E)者。 87114 -52- 1280068 :他：子傳輪材料係包括各種揭示於us… :-一生物及各種描述於USA 4 539 5〇7中之 予增白劑。滿足結構式⑹ 僅以 料。 力兩J便用之電子傳輪材 陰極 當：經由該陽極觀看光發射時，共同陰極56 任何導電性材料。所需之材料具有良好之薄膜 /成f生貝，以確定與底層有機 、、 另钺層有良好接觸·，促進於低電 t下之琶子注射’而具有良好 $ 名民好文疋性。3使用之陰極材料 、、坐吊3有低功函數金屬(<4.0電子伏特)或金屬合金。土 陰極材料係包含Mg·· Ag合金，其中銀之百分比係介於丨： 跳範圍内，如US_A_4,885,22丨所述。另_類適t之陰極材 料係包括與有機層（例如ETL)接觸之電子注射薄層（EIL)(其 罩蓋以較厚之導電性金屬層）的雙層物。此情況下，該EIL 以包括低功函數金屬或金屬鹽為佳，而較厚之罩蓋層不需 具有低功函數。該陰極之一係包括LiF薄層，之後為較厚之 A1層，如US 士 5,677,572所述。其他可使用之陰極材料組 合係包括（但不限於）US-A-5,059,86 1 ; US_A-5,059,862 及 US-A-6，140,763所揭示者。 當經由該陰極觀看光發射時，該陰極需透明或接近透明 。就該等應用而言，金屬需薄或需使用透明導電性氧化物 ’或此等材料之組合物。光學透明性陰極係詳細描述於 US-A-5，776，623中。陰極材料可藉蒸發、賤鍍、或化學氣 相沉積而沉積。若需要，則圖案化可經由許多眾所周知之 87114 -53 - 1280068 方法達成，包括（但不限於）經由_罩 及 EP 0 〇、+、 ^ 〆儿矛貝、US-A-5,276,380 汉tp〇 732 868所描述之整體蔭罩 + 化學氣相沉積。 每射切除、及選擇性

封L 大部分OLED裝置及顯示器皆對渴 其-般係於惰性氛圍(諸如氣或氯)=氧或權^ 劑諸如氧_同時使用乾燥 金屬氧化物、鹼土金屬氧化物、/、石夕膠、沸石、鹼 高氯酸鹽。封包及乾燥之：或-屬函化物及 A-M2M90所描述者。此 辟二(但不限於)US- (Teflon)、及交袪盔機 土層啫如Si〇x、鐵弗龍 次又s热機/聚合物層係 本發明其他特色係包括下列者。已知。 該方法係包括加熱蒸汽來 盥該结構之矣品s σ 之表面、接點之表面、歧管 /丄構之表面至足以防止 之溫度。 卄名、Α於该表面上冷凝 々方法係包括控制所菽菸 之有機材料輸送入該歧管内， 使付瘵發之有機材料於 該方法伟包括… 所選擇之蒸汽壓。 /在你包括下列步驟： 0配置惰性氣體來源； 於歧乾;Λ丨“生^預熱至足以防止所蒸發之有機材料 ;…S中及於該結構噴嘴中冷凝的溫度； ,Γ),控制經預熱之情性氣體的壓力或控制經預熱情性 氣體的流動；及 )將經預熱且控制下之惰性氣體施加於該歧管内。 87114 -54- 1280068 〇亥方法係包括控制經預熱情性氣 玆方、、土及l 土刀〆乂叫勤。 ::、匕括於板狀結構或管狀結構中形成多個嗔嘴。 5亥方法係包括沿著單—中心峻 角 ，且於該^± 結構中形成多個噴嘴 土材上’儿f貝有機發光層之声麥> 間，在OLFM… 知尤曰之色形形成性條紋圖案期 ^不杰基材與歧管之間提供相對移動。 Μ Γ ^包括於該結構中對應於位於該〇LED顯示器其 之經選擇像素位置形成二維喷、口。土 ，以於兮其u 芦貝為陣列形式之多個噴嘴 /土材之經選擇像素位置上提供 素化圖案。 巧俄、先層之經像 3方去係包括加熱該蒸汽來源之表面 歧管與該处椹夕本品s 〇 之表面、及 、口構之表面至足以防止有機材料 冷凝之溫度。 、、、几於4表面上 该方法係包括控制一 ^ ^ ^ 弟及弟一有機主體材料及哕 一或夕種經蒸發有機摻雜劑材料進入該歧管之於、、，亥 該經蒸發有機材料於# …^ , s之輸迗，使得 兮η 錢官内提供經選擇之蒸汽麼。 邊万法係包括下列步驟·· D配置惰性氣體來源； 二:該惰性氣體預熱至足以防止所蒸發 於歧吕中及於該結構喷嘴中冷凝的溫度； 不科 1W)控制經預熱之惰性氣體的壓力或 氣體的流動丨及 、，·二預熱惰性 iv)將經預熱且控制下之惰性氣體 兮方、本及A， 加於该歧管内。 ^方去係包括於板狀結構或管狀結構中形 該方法係包括沿著單一中心線 ^ ^嘴。 深I Θ…構中形成多個噴嘴 87114 -55- 1280068 ，且個別於該基材卜 主楚 〇 材上，儿知弟一、第二及第三有機發光層之 三色仏紋圖案期間，在〇LED顯示器基材與 對移動。 々 A係匕括於5亥結構令對應於位於該OLED顯示器基 材上之像素位置形成二維、^ ^ 列形式之多個喷嘴，以個 別亥基材之對應像素位置上提供第-、第：及第三有機 發光層之經像素化圖案。 ， 該方法係包括於該結構 材上之經選擇像、/於位方"亥0LED顯示器基 ，以W 嘴陣列形式之多個噴嘴 素化圖案。之^擇像素位置上提供有機發光層之經像 歧=係匕括加熱该条汽來源之表面、接點之表面、及 支…亥結構之表面至足以防 冷凝之溫度。 …、心4表面上 該方法包括選擇第一種色糸 … 、及第--a ~ /J 色芍形成性、弟二種色彩形成性 之= 成性有機摻雜劑材料，以個別自操作中 紅光、雜有機發光層的個別對應圖案發出 管包括控制經蒸發之有機發光材料材料進入該歧 使得該經蒸發有機材料於該物提供經選： 该方法係包括下列步驟·· 0配置惰性氣體來源； u)將該惰性氣體預熱至足以防止所蒸發之有機材料 87114 -56- 1280068 於歧管中及於該結構噴嘴中冷凝的溫度； iH)控制經預熱之惰性氣體的麼 ^ 氣體的流動；及 力次&制經預熱惰性 1V)將經預熱且控制下之惰性翁 1同注礼月豆施加於該歧管内〇 /係包括控制經預熱之惰性氣@ Μ厭A + & ^ γ + 丨王乳的壓力或流動，使 侍该歧S内經預熱之惰性氣 ^ ' 土刀问於輸送至該歧管内 之經m發有機材料的蒸汽壓。 一種於OLED顯示器基材上同時 裔H、土 ^ 了 π %，儿積二色圖案有機發光 層之方法’其包括下列步驟·· a) 於減壓下且彼此間隔一 .mpw 鈿中配置—歧管組合體 及，D顯示器基材，該歧管組合體係包括第 二歧官、及第三歧管； b) 配置-密封覆蓋該第一、第二及第三歧管之夂至少一 表面的結構:該個別結構係包括多個延伸通經各㈣而進 入對應之歧官的η且位於個別結構中之噴嘴 欲沉積於該OLED顯示器基材上 # < —色圖木而彼此間隔； C)使該OLED顯示器基材相對於該個別結構中之 嘴定向； W ^ d) 同時將第一色彩形成性之蒸發有機材料輪送一 歧管内-、第二色彩形成性之蒸發有機發光材料輪送二 歧管内，而第三色彩形成性之蒗、士 风f灸瘵/飞有機發先材料輪送至第 三歧管内；及 < I乐 e) 於壓力下施加惰性氣體於各第一、第二及第三歧势内 ’使該惰性氣體提供通經個別結構中之多個噴嘴：各：二 87114 -57- 1280068 之黏性流’該黏性氣流將第—色彩形成性、第二色彩形成 性、及第三色彩形成性之蒸發有機材料的至少一部分自個 別對應之歧管送經對應之喷嘴，而提供惰性氣體及第一色 形形成性、第二色彩形成性、及第三色彩形成性之蒸發有 機材料的定向喷击，日4 + + 、束且使该疋向唷束投射於該〇LED顯示器 基材上，以於該基材上同時沉積三色彩圖案。 該方法包括於各結構中沿著單一中心線形成多個噴嘴， 在同時於該基材上沉積有機發光層之三色條紋圖案期間， 於該0LED顯示器基材與歧管組合體之間提供相對移動。 :亥方法係包括加熱該蒸汽來源之表面接點 =該結構之表面至足以防止有機材料蒸汽 冷凝之溫度。 4 w工 該方法係包㈣擇㈣—色彩 、Ά踅二化w、 禾一巴形形成性 弟，色衫开處有機摻雜劑材料，以自操作中之 顯示态的經摻雜右趟ID 、綠光及藍光；…之個別對應圖案個別發射紅光 :方：係包括控制經蒸發之有機發光材料進入各歧管之 别、傳传經蒸發之有機發光材料於各歧管中 之蒸汽壓。 ㈢甲扣供經選擇 該方法係包括下列步驟： 0配置惰性氣體來源，· “）將該惰性氣體預熱至足以防止所蒸 於各歧管中及於個別結構噴 幾材料 • 丹 < 貝馬宁冷4的溫度，· U1)控制經預熱之惰性氣俨 “的屋力或控制經預熱惰性 87114 -58- 1280068 氣體的流動；及 lv)將經預熱且控制下之惰性氣體施加於該歧管組合 體之歧管内。 该方法係包括控制經預熱之惰性氣體的壓力或流動，使 得各歧管内經預熱之惰性氣體的壓力高於輪送至各歧管内 之經蒸發有機材料的蒸汽壓。 一種於一表面上沉積經蒸發之材料的圖案之方法，其包 括下列步驟： a)於減壓之歧管中提供經蒸發之材料； 二密封覆蓋於該歧管之至少一表面上的結構，該 ° '、匕括多個延伸通經該結構而進入歧管之喷嘴，★亥嘖 嘴係對應於欲沉積於該表面上之圖案而彼此間隔；及 經e由)夂於^7 Γ加惰性氣體於該歧管内，使得該惰性氣體 =疋供黏性氣流，該黏性氣流將經蒸發之材料的 材料之定… k供惰性氣體及經蒸發 ▲貝束’且使該定向噴束投射於該表面上。 一中该赁嘴對應於該定向 係使締“ 门貝束之圖案排列成圖案之方法 、、d .¾之材料根據該圖案沉積。 該方法係包括於板狀結構 於〇LEmg - ㈣“大、‘構中形成多個喷嘴。 於OLED顯不器基材上 係包括： …貝有騎光層圖案之方法 相對於OLED基材 表面上的結構，該 a) 於減壓下且彼此間隔下，於艙中 置多個歧管； b) 配置一密封覆蓋於各歧管之至少 87114 •59- 1280068 結構係包括多個延伸通經該結構而進入歧管的噴嘴，而該 噴嘴係對應於欲顯示於該OLED顯示器基材上的圖案而彼 此間隔； c)將並同之經蒸發有機材料配置於各歧管内；及 e)於壓力下施加惰性氣體於該歧管内，使得該惰性氣體 經由各喷嘴提供黏性氣流，該黏性氣流將經蒸發之有機發 光材料的至少一部分自歧管輪送通經喷嘴，以提供惰性氣 體與經蒸發之有機發光材料的定向喷束，且將該定^喷束

投射於該OLED顯示器基材上，以於該基材上沉積有機發光 層圖案。 X 【圖式簡單說明】 一圖1係為部分掀開元件以顯露各層之主動陣列型顯 示器的示意透視圖； 圖2係為適於製造相當大量OLED顯示器且具有多個自中 樞（hub)延伸之站點的〇LED設備的示意透視圖； 圖3係為含有相對大量之基材或結構且位於 載鄉圖2中剖面線3_3所示)之載體的示意剖面：;之負 圖4係為可猎本發明方共势洛 έ知色像素化之全色彩（RGB)被動 P列型OLED顯示器的示意俯視圖； 圖5係為OLED顯示哭夕+音立丨丨品固 • 叩之不思口彳面圖，沿圖4中剖面線5_5 取传， 圖； 圖7係為可藉本發明方法形成而具有發光層之RGB彩色 87114 -60- !28〇〇68 素化的主動陣列型〇led顯示器的示意剖面圖； 。圖8係為可用以進行本發明之氣相沉積設備的示意說明 圖包括一配置有—基材及一歧管之搶室（具冑I蓋該歧管 之結構或喷嘴板，且包括用以產生定向蒸汽束之喷嘴）及配 置於該艙外且連接於該歧管之多個蒸汽來源及—惰氣供料 源； 圖9出示具有沿中心線排列之喷嘴的結構或喷嘴板； 圖10係為沿圖9之線10-10取得之喷嘴板剖面圖，界定喷 嘴長度尺寸及喷嘴内部尺寸； 圖11出不具有排列成列及行之喷嘴二維陣列的喷嘴板； 圖12係為具有沿中心線排列之喷嘴之圓柱管狀歧管的示 意俯視圖； 圖13係為沿圖12之剖面線1 3 -1 3所得而界定喷嘴長度尺 寸及噴嘴内部尺寸的圓柱管形歧管的剖面圖； 圖13A係為具有形成於圓柱形歧管外殼中而配置於狹缝 形隙孔上之曲面喷嘴板的經修飾圓柱管形歧管的剖面圖； 圖14示意來.自位於歧管上之噴嘴的有機材料蒸汽流的發 散性個別與該歧管中蒸汽壓及該歧管中蒸汽壓加惰氣壓力 水平之間的關係； 不之蒸汽來源）之具體實 圖1 5係為蒸汽來源（諸如圖8所 例剖面圖； 圖1 6係為圖2之L E L氣相沉積站點的-夺 丨、思〇彳面圖’表示該 基材自第一位置移動至喷嘴上且通經噴嘴，而進入第二位 置； 87114 -61 - 1280068 圖17係為圖2之LEL氣相沉積站點的部分示意俯視圖，出 示位於該噴嘴板上及基材支架上之配向特徵，及在各基材 於X-方向移動至該噴嘴上且通經該噴嘴之前，於广方向上 分度該基材之分度特徵（indexing feature); 圖18出示-歧管組合體’其可用以在基材單次通過該組 合體中之噴嘴時，使RGB全色彩有機發光層同時彩色像素 化。 ” 圖式必需係示意性質，因為〇咖之薄層厚度經常係次微 米·而表示側向裝置尺寸之特徵可介於25至2〇〇〇毫米 範圍内。此外，多個形成於嘴嘴板中或結構中之喷嘴在盘 該贺嘴所延伸之長度尺寸比較之下，尺寸相當+。是故，、 圖式之繪製比例係方便觀測，而非尺寸準確度。 【圖式代表符號說明】 10 10-3C 11 12 13 14 14a 14R 14G 14B 15 單色形或單色被動陣列型〇LED裝置或顯示器 三色彩或全色彩被動陣列型OLED顯示器 OLED顯示器基材 透光性第一電極或陽極 有機電洞注射及電洞傳輪層（肌） 有機發光層（LEL) 可条發之有機材料 有機發紅光層 有機發綠光層 有機發藍光層 有機電子傳輸層（ETL) 87114 -62- 1280068

16 第 — 電 極 或 陰 極 18 封 包 物 或 覆 層 50-3C 二 色 彩 或 全 色 彩 主 動 陣 歹型OLEDil頁 示器 51 OLED顯示器基材 52 透 光 性 第 一 電 極 墊 或 陽 極塾 53 有 機 電 洞 注 射 及 電 洞 傳 輸層 54R 有 機 發 紅 光 層 54G 有 機 發 綠 光 層 54B 有 機 發 藍 光 層 55 有 機 電 子 傳 m 層 56 共 同 第 極 或 陰 極 61-1 電 晶 體 電 容 器 及 線 路（次像 素1 ; 1) 61-2 電 晶 體 電 容 器 及 電 線 路（次像 素1 ; 2) 61-3 電 晶 體 電 容 器 及 電 線 路（次像 素1 ; 3) 64 導 電 線 路 66 透 光 性 有 機 絕 緣 體 層 68 有 機 絕 緣 體 層 87 X- 方 向 馬區 動 電 路 88 Y- 方 向 馬區 動 電 路 100 OLED設備 102 緩 衝 中 樞 103 卸 載 站 104 傳 送 中 樞 105 連接 V 87114 - 63 - 1280068 106 真空泵 107 泵吸口 108 壓力計 110 負載站 110C 艙室 110H 外殼 111 載體（供基材或結構用） 130 氣相沉積站（有機HTL) 140 氣相沉積站（有機LEL) 140C 艙室 140H 外殼 141 站閥 142 站點真空泵 144 站點泵吸口 145 節流閥 146 站點壓力感測器 147 惰性氣體供料源 148 導管 149 氣流控制器 150 氣相沉積站（有機 ETL) 160 氣相沉積站（弟二 電極） 170 儲存站 180 封包站 210 導桿驅動電動機 87114 -64 - 1280068 211 211a 212 213 214 216 217 218 220 221 222 223 224 225 225R 226 230 232 233 234 23 5 236 238 500 導桿軸 轴密封物 導桿 導管轴末端托架 導桿隨動器 開關 引線 輸入末端 y -方向上編碼用步進電動機 y -方向上編碼用電腦 驅動轴 軸密封物 軸聯結器 滑動套 滑軌 聯結升降器 支架或罩幕框 配向標言态 配向窗口 配向偵測器 光學窗口 光學配向軸 擋閘 氣相沉積設備 87114 -65 - 1280068 500M 歧管 500MA 歧管組合體 500MB 用以提供發藍光之有機材料蒸汽的歧管 500MG 用以提供發綠光之有機材料蒸汽的歧管 500MR 用以提供發紅光之有機材料蒸汽的歧管 500IGS 惰性氣體供料源 500VS 有機材料蒸汽來源 500VS1 有機材料蒸汽來源 500VS2 有機材料蒸汽來源 500VS3 有機材料蒸汽來源 500VS4 有機材料蒸汽來源 500CM 圓柱管狀歧管 500CM-1 經修飾圓柱管狀歧管 502 歧管外殼 504 結構或喷嘴板 504C 曲面結構或曲面喷嘴板 504T 供二維喷嘴陣列使用之結構或喷嘴板 506 喷嘴 506B 歧管500MB中之喷嘴 506G ^ 歧管500MG中之喷嘴 506R 歧管500MR中之喷嘴 510 有機材料蒸汽及惰性氣體之定向喷束 520 歧管加熱元件 530 熱絕緣體歧管載體 87114 -66- 1280068 532 533 535 536 537 538 539 540 541 542 543 544 545 546a 546b 546c 547c 550 552 554 560g 5 60 v 562 564 墊片 喷嘴板（504)上之配向標記 圓柱管狀歧管（500CM)上之配向標記 圓柱形歧管外殼 圓柱形歧管外殼（536)中之狹縫形隙孔 末端蓋 末端蓋 蒸汽來源外殼（500VS) 凸緣 墊片 螺栓 來源覆蓋 密封物 下方蒸汽輸送導管 上方蒸汽輸送導管 蒸汽輸送及氣體輸送用共同導管 自一蒸汽來源輸送蒸汽且輸送氣體之共同導管 蒸發加熱器 饋入裝置 饋入裝置 氣流控制裝置 蒸汽流控制裝置 氣體關閉閥 惰性氣體預熱器 87114 -67- 1280068 566a 下方氣體輸送導管 566b 上方氣體輸送導管 570 結合器 600 可加熱外罩 750 蒸發加熱器電源 75 0R 調節器 752 引線 753 電流計 754 引線 X 相對來自喷嘴（506)之蒸汽流的角度 CL 喷嘴管線之中心線 D 基材（Π ; 5 1)與喷嘴（506)之間的間隔 d 喷嘴（506)之内部尺寸或直徑 I 喷嘴（506)之長度尺寸 EL 有機電致發光或電致發光介質 ’’F” 基材之向前移動 ffRff 基材之逆向或回轉移動 II Ιπ 基材之起始位置 !,ΙΓ! 基材之向前移動的最終位置及逆向移動的起始 - 位置 pix 像素 Ρ〇 艙室（140C)中之減壓 PG 歧管（500M)中之惰性氣體壓力

Pv 有機材料於歧管（500M)中之蒸汽壓力 87114 -68- 1280068 PV + PG s Te X y m n Xn Ym Vddn TSnm TCnm ELnm Cnm 惰性氣體與有機材料蒸汽於歧管（500M)中之結 合壓力 喷嘴板（504)中喷嘴間之喷嘴間距或間隔 可加熱外罩（6 0 0)内之溫度 基材（11 ; 51)於X-方向上之移動 基材（1 1 ; 5 1)於y方向上之編碼移動 喷嘴（5 04T)之二錐陣列的喷嘴（5 06)行 喷嘴（504T)之二錐陣列的喷嘴（506)列 X-方向信號線，其中η係為整數 Υ-方向信號線，其中m係為整數 電源線 開關用之薄膜電晶體 功率控制用之薄膜電晶體 各像素或次像素中之有機電致發光介質 薄膜電容器 87114 -69 -

Claims (1)

1280068 拾、申請專利範圍： 1. -種於OLED顯示器基材上沉積有機層圖案之方法，包 括下列步驟： a於減壓下，於一艙中配置彼此相互間隔之一歧管 及一 OLED顯示器基材； 吕 )-置 ^封覆盍該歧管之一表面的結構，該結構 係包括多個延伸通經該結構而進入該歧管之噴嘴，且該 嘴嘴係對應於欲沉積於該OLED顯示器基材上之圖案而 彼此.相互間隔； μ c)使該OLED顯示器基材相對於該結構中之喷嘴定 向； ' d) 將蒸發之有機材料輸送至該歧管内；及 e) 於壓力下施加惰性氣體於該歧管内，使該惰性氣 體提供通經各喷嘴之黏性氣流，該黏性氣流將蒸發之有 機材料的至少一部分自該歧管送經該噴嘴，而提^惰性 氣體及洛發之有機材料的定向喷束，且使該定向噴束投 射於該OLED顯示器基材上，以於該基材上沉積^幾^ 圖案。 2. 一種於OLED顯示器基材上沉積有機層圖案之方法，包 括下列步驟： a) 於減壓下，於一艙中配置彼此相互間隔之一歧管 及一 OLED顯示器基材； b) 配置一密封覆盍該歧管之一表面的結構，兮彡士構 係包括多個延伸通經該結構而進入該歧管之喷嘴，且今 87114 1280068 上之圖案而 ^胃係對應於欲沉積於該〇LED顯示器基材 彼此相互間隔； . c)使該OLED顯 向； 不器基材相對於該結構中之噴嘴定 d)將該歧管中之有機材料蒸發；及 二力下施加惰性氣體於該歧管内，使該惰性氣 機姑：通紅各賀嘴之黏性氣流，該黏性氣流將蒸發之有 八的至少一部分自該歧管送經該喷嘴，而提供惰性 氣體及蒸發之有機材料較向噴束，且使該 射於該〇LED顯示哭其鉍μ 叩土材上，以於該基材上沉積有機層 圖荼。 3. 如申請專利範圍第丨項之方法，其中步驟_ 步驟： i) 以選自全屬 構該結構；屬_、石英、石墨繼之材料建 π)於:亥結構中形成多個噴嘴，使噴嘴界定一圓形輪 廓或多邊形輪廓；及 斤)使忒噴嘴對應於欲沉積於該OLED顯示器基材上 之第一有機發井屛& # . 間隔。 日、弟-色衫形成性圖案而彼此相互 4. 如申請專利範圍第3項之方法，其中步驟η)係包括於該 結構中形成多個噴嘴之步驟，噴嘴内部尺寸係介於10 至1〇〇〇U米乾圍内’而噴嘴長度尺寸係、延伸通經該結構 ’至少較所選擇之噴嘴内部尺寸大5倍。 871H 1280068 5·如申請專利範圍第4項之 管狀結構下形成夕/、 / ，/、尚已括於板狀結構或 4得「形成多個噴嘴。 6·如申請專利範圍第4項之 | rb 此 、 法，其尚包括於該結構中沿 早一中心線形成多個噴嘴， # T /口 & ρ ^ . 、 土材上》儿積有機發光層之 巴节形成性條紋圖幸划 ^ 管之門… 該0LED顯示器基材與歧 吕之間捻供相對移動。 7 如申請專利範圍第4 + + 、 方法，其尚包括於該結構中形 成多個喷嘴，成為對瘅 耵應於忒〇LED顯示器基材上經選擇 之像素位置的二績嗜♦陆丨 、、隹貝鳥陣列，以於該基材經選擇之像素 位置上提供有機發光層之經像素化圖案。 ’、 8·如申請專利範圍第1項之方、本 ^ , h 一图罘1貝之方法，其中步驟a)係包括使該 OLED择員不基材血該么士谱 π，、忑…構之至少一表面間隔由〇·〇2至 2 · 0厘米之距離。 9· -種於OLED顯示器基材上沉積有機層圖案之方法，包 括下列步驟： a) 於減壓下，於一艙中配置彼此相互間隔之一歧管 及一 0LED顯示器基材； b) 配置一密封覆蓋該歧管之至少一表面的結構，該 結構係包括多個延伸通經該結構而進入該歧管之喷嘴 ，且該喷嘴係對應於欲沉積於該0LED顯示器基材上之 圖案而彼此相互間隔； c) 使該0LED顯示器基材相對於該結構中之喷嘴定 向； d)將兩種經蒸發之有機主體材料及一或多種經蒸發 87114 !28〇〇6g 之有機备雜劑材料輸送至該 料於兮ώ笑βπ , S内，使该經蒸發有機材 科於錢官内提供經選擇之蒸汽U e)於壓力—經選擇使歧管 料於节姑总& 者阿於經蒸發之有機材 ίο. =m選擇蒸汽·〜下施加惰性氣體於該 羝二性乳體提供通經各噴嘴之黏性氣流，該 將蒸發之有機材料的至少一部分自該歧管送 吻嘴’而提供惰性氣體與經蒸發之有機材料的定向 贺束，且使該定向喷束投射於該oled顯示器基材上， 以於該基材之經選擇位置上沉積經接雜之有機層圖案。 一種於OLED顯示器基材上沉積有機發光層三色圖案之 方法，包括下列步驟： a) 於減壓下，於一艙中配置彼此相互間隔之一歧管 及一 OLED顯示器基材； b) 配置一密封覆蓋該歧管之至少—表面的結構，該 結構係包括多個延伸通經該結構而進入該歧管之喷嘴 ’且4噴嘴係對應於欲沉積於該〇Led顯示器基材上之 圖案而彼此相互間隔； c)使該OLED顯示器基材相對於該結構中之喷嘴定 向’對應於欲沉積於該基材上之第一有機發光層的第一 種色彩圖案； d)將第一種色彩形成性之經蒸發有機發光材料輸送 至該歧管内； e)於壓力下施加惰性氣體於該歧管内，使該惰性氣 體提供通經各噴嘴之黏性氣流，該黏性氣流將第一種色 87114 1280068 2形成性之經蒸發有機發光材料的至少一部分自該歧 管送經該喷嘴，而提供惰性氣體與經蒸發之有機發光材 枓的定向喷束’且使該定向喷束投射於該〇咖顯示器 基材上，以於該基材上沉積第—有機發光層之第一種色 彩圖案； 0再使該QLED顯示„材相對於該結構巾之喷嘴定 向’對應於欲沉積於該基材上之第二有機發光層的第二 種色彩圖案； g>將第二種色彩形成性之經蒸發有機發光材料輸送 至該歧管内； h)於展力下施加惰性氣體於該歧管内，使該惰性氣 體提供通經各対之黏性氣流，則m將第二種色 彩形成性之經蒸發有機發光材料的至少一部分自該歧 管送經該喷嘴’而提供惰性氣體與經蒸發之有機細 料的定向喷束’且使該定向噴束投射於該〇led顯示器 基材上’以於該基材上沉積第二有機發光層之第二 彩圖案； 1)再使該OLED顯示器基材相料該結構巾之噴嘴定 向，對應於欲沉積於該基材上之第三有機發光層的第三 種色彩圖案； υ將第三種色彩形成性之經蒸發有機發光材料輸送 至該歧管内；及 k)於壓力下施加惰性氣體於該歧管内’使該惰性氣 體提供通經各喷嘴之黏性氣流，該純^將第三種色 87114 1280068 彩形成性之經蒸發有機發光材料的至少一部分自該歧 管送經該喷嘴，而提供惰性氣體與經蒸發之有機發光材 料的定向喷束，且使該定向喷束投射於該〇led顯示器 基材上，以於該基材上沉積第三有機發光層之第三種色 彩圖案。 87114