TW200403826A - Wire bonding method, wire bonding device and recording medium for recording wire bonding program - Google Patents

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Toru Mochida
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Shinkawa Kk
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200403826 玖、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於打線方法、打線裝置以及 之記錄媒體，特別俦柝 ^ ^ ^ 利係控制在弟1打線點與第2打線點之 形成引線弧的打線方法、打良I … 展置以及吕己錄打線程式之記 錄媒體。 【先前技術】 广線震置，例如，係將LSI等半導體晶片之輸出入端 子等第1打線點與搭載半導體晶片的電路基板端子之第2 打線點之間，利用細金屬線連接的裝置。此情況下，第玉 打線點與帛2打線點之間’最好利用適當形狀的引線孤連 接。即，若引線弧高度過高的話，封裝體等大小將變大， 且容易導致引線下垂。若引線弧過低的話，引線恐將接觸 到半導體晶片或配線圖t。在此，為形成適當的引線弧， 故進行打線裝置的動作控制。 第4圖所示係習知技術之引線弧形成方法的步驟圖。 在弟4圖中，引線12係由未圖示的捲線軸（^丨sp〇〇i)供 應給毛細管（capillary)14。此時，利用空氣張力賦予適度 的張力。毛細管14係筒狀構件，引線丨2則插通其中空部 分’並利用引線夾具（wire clamper) 16而保持。引線夾具 16係可挾持或放開引線的構件，並與毛細管14 一起移動 。打線對象18、19係保持於未圖示的載物台上。在打線對 象18之弟1打線點2 0、與打線對象19之第2打線點21 200403826 間，形成引線弧之時，藉由以下說明的第4⑷至⑷圖 的步驟，使毛細管14對載物台上所保持的打線對象進行 相對移動’俾在引線12形成所需的變形。 第4⑷圖所示係將引線12連接於打線對象18上❹ 驟。將引線夾具16呈開放狀態俾使毛細管14下降，將引 線前端所預先形成的焊球打線於第i打線點2〇上。豆次， 如第4⑻、（c)、⑷圖之步驟，使毛細管“上升少許， 朝與第2打線點之方向的相反方向水平移動，然後再上升 。错此’引線12便形成變形部“2、24。形成變形部分 22的理由，係因為在引線前端形成焊球之際引線會硬化， 頗難從第i打線點20進行某範圍部分的變形之故。另外， 從第U線點2G至變形部分22、24的部分，係在形成引 線弧之際於第1打線點附近對應於引線12上升之所「 頸部」之部分。 ° 在第4⑷圖中，於毛細管14上升後，便如第4⑷圖 所不’朝與第2打線點之方向相反方向水平移動。藉此， 形成變形部分26。其次，如第4⑴圖所示，—邊使毛” “二升’ 一邊沿水平方向移動而到達第"丁線點20上方 。精此，形成變形部分28。此時毛細管的上升量 打線點20至變形部分28間，從毛細 12長度，係設定為相當於從第"丁線點 丨、、在 21的引線弧長度。 打線點 在第4⑴圖中’若毛細管14上升至既定高 成變形部分28的話’引線夾具16便挾持著引心。亦： 200403826 ’即使毛細管14移動，仍不致進行引線12的送出動作。 在此狀態下，將毛細管14藉由如第4(g)圖所示之圓弧運 動或圓弧運動後的下降，便移動至打線對象19的第2打線 點2卜此時第2打線點21將位於引線12之變形部分μ 處’並在此進行打線。 依此方式，在第i打線點20與第2打線點2ι之門 便形成具有變形部分2 2、2 4、2 6的引線弧3 〇。伸是二 變形部分28的變形度較弱，且為確保某種程度的引線弧3〇 高度，因此不需將變形部分26與變形部分28間的 以加長’因而在第2打線點21將呈引線弧3〇下垂狀態： 第5圖所示係另一習知技術的引線弧形成方法之 圖’相較於第4圖’可在第2打線點附近使引線弧上升. 在第5⑷至⑷圖的步驟係如第4圖所示，形成 部之步驟。 項 在第5(c)圖中’使毛細管14朝與第2打線點 的相反方向水平移動之後’在第5⑷圖中的上升量較多於 弟4圖中所示。然後，如第5(e)圖所示，使毛細管月 與第2打線點之方向的相反方向水平移動的量亦較多 4圖。因此’在此所形成的變形部分％，相較於第 不對應於變形部分26，位於較偏㈣1 近第2打線點的位置。 ^ 其次，如第5⑴圖所示，一邊使毛細管14上升_ 邊沿水平方向移動而到達第"丁線點20上方。藉此，开二 變形部分38。此時毛細管的上升量係由第i打線點2〇1 δΖΟ 變开》部分38間，從毛細管14斛、、，， H 乇S 14所迗出的引線12長度，係抑 -相當於從第1打線點2"月第 …又 度。為半聰+ 打踝”，占d的弓I線弧長 在步麵中，因為送出相當量的引線，因此在步驟 的上升置便較少。所以’變形部分36與變形部分⑽ 之間變短，其間的引線形狀將形成如圖所示弧狀。 士在第5(f)圖中，若毛細管14上升至既定高度並形 成變形部分38的話，引線夾具16便挾持著引線12,而停 止弓丨線的送出。在此狀態下，將毛細t 14藉由如第5(g) 圖所不圓弧運動或圓5瓜運動後的下降，移動至打線對象19 的第2打線點21。此時第2打線點21將位於引線丨2之變 形部分38，並在此進行打線。 依此方式’在弟1打線點2 0與第2打線點21之間， 形成具有變形部分22、24、36的引線弧4〇。此情況下， 因為變形部分36靠近第2打線點21，且變形部分36與變 形部分38之間的形狀係呈弧狀，因此相較於第4圖，在第 2打線點附近可使引線弧呈上升狀態。 1利文獻1 曰本專利特開昭63-421 35號公報（第2頁、第1圖、 第2圖） 皇利文獻2 曰本專利特開平4-318943號公報（第3-4頁、第2圖） ί利文獻3 曰本專利特開平1 0-189641號公報（第2-4頁、第1-7 200403826 【發明内容】 仁疋，在習知之引線弧形成方法，第2打線點的變形 口P刀麦形度較弱，引線弧在第2打線點處的上升部分將略 呈下垂狀態’恐將接觸到打線對象。當第2打線點為電路 基板等的引腳時’即使在第2打線點附近產生引線弧下垂 ’僅接觸到欲打線的引腳，所以問題較少。相對於此，第 2打線點係、LSI等元件上的情況、或使引線弧極低的小型 或薄型封裝體的情況時’第2打線點附近的引線弧下垂恐 將產生無法預期的短路。 再者若毛、、’田答保持引線並依圓弧運動等移動至第2 打線點之際’引線弧下垂而接觸到打線對象的話，此相反 動作會使引線弧形狀變形的危險性。此外，在帛2打線點 附近會引起引線弧倒塌的可於 ^ ^ J只旳了月匕性，而且恐將局部分的引線 弧擠押入毛細管的中空部内。 再者，當引線送出至盥第2杆始 -、禾Z打線點對應之變形部分（第 4圖之28、第5圖之38)之際，闵盔主4 μ 一 ’、口為毛細管將停止於既定 高度，利用引線夾具停止引綠沾、、，， 、斤此Μ線的运出，並將此作為變形部 分’因此引線弧整體長度及第？ 士 X久弟2打線點附近的上升部分長 度將無法穩定。其理由係因為车 口馮毛細官的中空部與引線之間 會有摩擦的情況，此外，對引飨時名、在* 〇 了 51線H予適度張力的空氣張力 亦有偏差，即使毛細管停止於既定古 ^ + 兄疋回度，引線的送出量亦 無法一定之故。 如此，在習知技術的引線弧形 _ . , ^成方法中，引線弧恐將接 觸到打線對象’因而無法穩定地形 成引線弧的高度或形狀。 200403826 你担有4孤於斯’本發明為解決習知技術的問題，其目的在 於提供防止引線弧接觸彳 及打線程式。本發明之;=方法、打線裝置 矿一从 月之另一目的在於提供可穩定形成引線 弧形狀的打線方法、打線裝置及打線程式。 :達成上述"，本發明的打線方法，係使插通並保 持引線的毛細管，對才娩 一 、、在對象進订相對移動而使引線變形 …1打線點與第1打線點以引線弧連接，其特徵係 具備以下步驟： ^ 頸部形成步驟，在將引線連接於第"丁線點之後，於 苐1打線點使引線上升而形成頸部； …\^ v驟’—邊运出相當於從該弓I線弧總長扣除 之長度份量的引線，一邊使該毛細管從該頸部上 升’接者使該毛細管朝裳9 ：h*綠机+人a 弟1打線點方向移動，而形成位於 第1打線點之引線第丨變形部分； 弟2變形步驟，伟与^ 便°亥毛細官下降，並將相當於在第2 打線點處上升部分之長度的引線，收入該毛細管中，接著 使該毛細管朝與該第2打線點相反側的方向移動，而在第 1 打線點的引線上升部分頂點處形成第2變形部分；以及 引線弧形成步驟，使該毛細管上升，並送出引線直到 該第1變形部分到達該毛細管前端位置，且在此狀態下保 持引線’使該毛細管移動至該第2打線點，俾在引線的該 第1變形部分連接第2打線點，而形成引線弧。 藉^上述構成，在頸部形成後接著送出既定量的引線 ’而在第1打線點處預先形成第1變形部分，然後收入既 200403826 定量的引線而形成第2變形部分。因此，由於 點處限定上升部的箆〗 、 打線 ,„ 弟1變形部分、第2變形部分將磕眘从 呈變形狀態，因此可阶,？丨A 刀將確實地 垂而接_#_^ 在第2打線點附近產生下 接㈣打線對象的情形發生。此外，因 -弓丨線弧形狀的頸部、帛變、疋 置呈-定，故可籍… 文小°『刀弟2變形部分的位 文了 t疋形成引線弧形狀。 再者二本發明的打線裝置，係具備： 毛細官，係插通並保持引線； 載物台，係保持打線對象； 移動機構，传佶兮 以及 係使4毛細管對該載物台進行相對移動； 引線弧形成控制機構，係控 該引線的伴捭，曰* — i 吕的相對移動與 呆持且在该打線對象的第丨打線點盥 點間形成引線弧並加以連接； 、’ · /、 打線 該引線弧形成控制機構係執行以下步驟. 頸部形成處理步驟，在將引線連接 ’於第"T線點處將引線上升而形成頸部；.T線點之後 第1變形處理步驟，—邊送出相#於從 該頸部後之長度份量的引線，一邊使該毛細管 :上升’接著使該毛細管㈣2打線點方向移動，= 於弟2打線點之引線第1變形部分； 第2變形處理步驟’使 弟2打線點處上升部分 田於在 拯荽4〜 長度的引線，收入該毛細管中， 接者使该毛細管朝遠離該第2打線點方向移動，而在第中2 薦403826 打線點的引線上升部分頂點處形成第2變形部分；以及 引線弧形成處理步驟，使該毛細管上升，並送出引線 J X第1交形部分到達該毛細管前端位置，且在此狀態 二=引線，使該毛細管移動至該第2打線點，俾在引線 的该第1變形部分連接第2打線點，而形成引線弧。 ^者’本發明的記錄打線程式之記錄媒體，該打線程 式係控制打線裝置的動作；該打線裝置係具備:毛細管， 保持：線載物台，係保持打線對象；移動機構 成㈣：毛細官對該載物台進行相對移動；以及引線弧形 成=機構，係控制該毛細管的相對移動與該引線的保持 ':線對象的第1打線點與第2打線點間形成引線 弧並加以連接； 該引線弧形成控制機構係執行以下步驟： ，”員;了：處理步驟’在將引線連接於第1打線點之後 於打線點處將引線上升而形成頸部； 扣除^二形處理步驟’—邊送出相當於從該51線弧總長 :長度份量的引線，-邊使― 好第ηΓ 細管朝第2打線點方向移動，而形成 ;第2打線點之引線第1變形部分； 第處理步驟，使該毛細管下降，並將相當於在 接著使上升部分之長度的引線，收人該毛細管中， 打：=Γ朝遠離該第2打線點方向移動，而在第2 ” 線上升部分頂點處形成第2變形部分.以及 引線弧形成處理步驟，使該毛細管上升，並送出引線 12 200403826 直到該第1變形部分到達該毛細管前端位置，且在此狀態 下保持引、線’使該毛細管移動至該帛2打線點，俾在引線 的該第！變形部分連接第2打線點，而形成引線弧。 以下，利用圖式針對本發明之實施形態進行詳細說明 另外，在下述圖式中’與第4圖、第5圖相同的元件賦
予相同的元件符號’並省略詳細說明。第1圖所示係打線 裝置50的方塊圖。打線裝置5〇係具備:引線12供應源的 捲線轴U、插通有引線12的毛細管14、扶㈣開放㈣ 12的引線夾具16、保持打線對象18、19的載物台17、使 毛細管14與引線夾呈1 —騁欲& A < /、 體移動的毛細管移動機構52、 使載物台1 7移動的截物a孩命拖r ^ 夕切旧戰物口移動機構54、以及控制該等構 成要件的動作之控制裝置56。 牡罘1園甲，引線
/此時m氣張力賦予適度張力。引線可採月 米的金屬線。毛細管14係筒狀構件，引線丨丨 16係刀並利用引線夾具16而保持。引線攻 σ μ係可挾持或放開料的構件，與毛細管u -起㈣ :由於毛細官14與引線夾具16係互動並使引線12 動：因此該區塊例如亦可稱為廣義的毛細管或毛細管部 羞下僅虽毛細官插通並保持引線進行處理時，才々 義的毛細管（包括狹義的毛細管與引線夾具）。 曰 载物台17係可沿水平方向移動的ΧΥ台，可在上面 13 18 200403826 18 200403826 置用以保持打線對象 、19固定於载物台 技術。 18、19的治且裳 /、 °在將打線對象 17上面之方面， 附 J〒木用例如真空效 毛細管移動機構52係使毛細管部 近（離開）方6、隹+载物台17朝為 二:對移動的機構，例如可採用使毛細管 邛13對载物台17沿垂直的z方向 a銘叙她樣c 移動之伺服馬達。載物 口移動機構54係使载物台丨7相對 古a品出w 了於毛細官部13，在水平 °内進行相對性移動的機構，例如m γ @ # &
17上面平行的而A_ 才木用在與載物台 上分別执置/ 方向之Χ軸方向及Υ軸方向 動機二 達。毛細管移動機構52與載物台移 ==可一體化’使毛細管部13可相對於載物台” /σ υζ —軸方向進行相對移動的機構。
控制裝置56係有關引線弧的形成控制，包含有··在打 線對象18的第1ίτ線點處’控制形成引線上升之頸部的頸 部形成處理部6G;在打線對象19之第2打線點處，控制 引線上升部分之變形的第1變形處理部62與第2變形處理 4 64 ’以及進行使引線朝第2打線點形成弧狀之控制的弧 狀形成處理部66。控制裝置56係具有引線夹具Η對引線 的挾持或放開之控制、載物台17對打線對象18、Μ的保 持或放開之控制等功能。 控制裝置56可由電子電路之類的硬體所構成，亦可由 執行控制私式的電腦所構成。控制程式係例如可包含有下 述步驟· 形成處理步驟、第丨變形處理步驟、第2變形 處理步驟、以及弧狀形成處理步驟等。控制程式可内建於 14 控制裝置56，或者可。山a 的媒體進行讀取，而f己錄有控制程式的電腦從可讀取 句I载於控制裝置56。 第的引線弧形成控制料，參照 20、與打線對象19之第' ’在打線對象18之第1打線點 態，係藉由以下所★兒明弟的，線點21之間形成引線弧之形 咖台上所;=/(a)〜⑴㈣ 12形成必要的^ 線對象進行相對移動，俾使引線
2〇, 圖之步驟係在打線對象18之第1打線點
Zu ’开> 成使引繞！ 9 線!2連接於打線對象^之頸部的步驟。第2(a)圖係將引 狀態俾使毛細管14下降上:步驟，將引線夾具16呈開放 下降，將引線前端所預先形成的焊球 =弟1打線點2〇上。其次，如第_、⑷、⑷圖 人使毛細官14上升少許，朝與第2打線點之方向的 /告八向尺平移動’然後再上升。藉此引、線1 2便形成變
形口P刀22、24，當形成引線弧後，便形成第1打線點20 的引線12上升部分的頸部。 卜第2(d)圖的步驟係將在下一步驟第2(e)圖中所形成的 第1變形部分之位置設定於引線上。在第2(c)圖中形成頸 :的變形部分24之後，使毛細管14從變形部分24起上升 第1既定里。第1既定量係相當於第1打線點20至第2打 線”、占21形成弧狀而連接的引線弧總長，扣除頸部之引線 長度後的量。即，第2(d)圖之毛細管14最高位置處的毛 細官14則端引線的位置，係對應於形成引線弧之際的第2 15 200403826 打線點的位置。 第2(e)圖係在第2打線點處形成 變形步驟。使在第2((0圖中已上 【刀的第i ’朝第2打線…向移動。藉此在形 2打線點位置處，引線將確實 際的第
又V 此經變形之与丨始AA 部分稱為「第1變形部分7 8」。 v' 、 第2(f)圖的步驟係將在下一 咏 v驟弟2(g)圖中所形成之 第2變形部分之位置設定於引線 不丄任弟2(e)圖中於引狳 上形成第1變形部分之後，使毛 、崃 窃 使乇、、、田g 14 一邊下降第2既定 …邊沿水平方向移動至第"丁線點2〇上方。因此，引 線係被毛細管u收人第2既定量的長度。第2既定量係相 當於第2打線點21處之上升部分長度的量。即，第2(f) 圖中最低位置處的毛細；f 14前端位置，係對應於形成引 線弧之際的第2打線點處上升部分之頂點位置。 第2(g)圖係第2打線點之上升部分頂點處，形成第2 變形部分的第2變形步驟。在第2(f)圖中，經下降第2既 定里的毛細官14，係朝與第2打線點相反側之方向移動。 此移動量係大於步驟（c)、（e)中的移動量。藉此移動，在 形成引線弧之際的第2打線點處上升部分的頂點位置處， 引線將確實地變形。此經變形後之引線的部分稱為「第2 變形部分76」。 第2(h)圖的步驟係將引線的第1變形部分78位置對 位於毛細管14前端。在第2(g)圖形成第2變形部分76之 後’使毛細管14 一邊上升一邊沿水平方向移動至第1打線 16 200403826 :2〇上方。此時，因為引線係從毛細管送出，因此當第！ 交幵刀78位置到達毛細管14前端時，便停止毛細管μ 的上升ϋ由引線夾具i 6挟持著引線並停止送出引線。 ▲此時’精由毛細管14沿水平方向的移冑，引線便將第 1产形部分78與第2變形部分76作為變形點而確實的變 形。如此，在％成引線弧之際於帛2 #線點處的上升部分 ’便形成第1變形部分78與第2變形部分76之間的直線 上升部分，俾可防止引線下垂。
第2(i)圖的步驟係將引線連接於帛2 ^線點而形成引 在第2(h)圖中將第！變形部分78對位於毛細管14 則端之後’在此狀態下，使毛細f 14經圓弧運動或圓弧 運動後的下降，而移動至打線對象19的帛2打線點21。 此時引線12的第！變形部> 78係位於第2打線點21，然 後進行打線。 如此，在引線上預先形成第2打線點之第丨變形部分 的位置’然後將引線收人既定量而形成第2打線點之引線 上升部分頂點的第2變形部分，藉此第丨變形部分、第2 變形部分可在既定位置處確實的變形。因此，可防止引線 弧在第2打線點附近下垂而接觸到打線對象的現象，且可 穩定地形成引線弧形狀。 另外，亦可按照引線弧長度、打線對象高度等，而在 第1變形部分、第2變形部分以外的地方進行適當的變形。 第3圖所示係採用實施形態之打線裝置，對打線對象 實施打線的例子。第3⑷圖係設置有第"丁線點2〇的打
17 200403826 線對象18為電路基板，而設置有第2打線點2i的打線對 象19為LSI晶片（DIE)的例子。此情況下，因為在第2打 線點21附近，引線弧8 0將不致產生下垂現象，因此可防 止LSI晶片與引線弧產生接觸的情形。此外，因為可依較 低線弧高度穩定地形成引線孤形狀，因此可形成更小型、 更薄型的封裝體。 第3(b)圖係設置著第1打線點20的打線對象18為電 路基板，而設置著第2打線點21的打線對象19為所謂r 堆豐式晶片」的雙層LSI晶片中，上層側的LSI晶片（DIE) 癱 例子。此情況下，第2打線點21處的引線弧下垂現象，雖 較第3(a)圖之情況，比較可能形成較大的問題。但是，在 本發明的實施形態中，因為於第2打線點21附近引線弧 80將不致下垂，因此可防止發生LSI晶片與引線弧的接觸 現象。此外，因為能以較低引線弧高度穩定地形成引線弧 形狀，因此可提高集積度且可形成更小型、更薄型的封裝 體。 (發明之效果） ® 依本發明的打線方法、打線裝置、及打線程式，可防 止引線弧接觸到打線對象。又，依本發明的打線方法、打 線裝置、及打線程式，可穩定地形成引線弧形狀。 【圖式簡單說明】 (一）圖式部分 第1圖係本發明之實施形態的打線裝置方塊圖。 18 200403826 第2(a)〜（i)圖係本發明之實施形態的引線弧形成控制 之示意圖。 第3(a)〜（b)圖係本發明之實施形態中，採用打線裝置 姆打線對象實施打線的圖例。 第4(a)〜（g)圖係習知技術的引線弧形成方法之步驟圖 第5(a)〜（g)圖係另一習知技術的引線弧形成方法之+ 驟圖。 乂 (二）元件代表符號 11 捲線軸 12引線 13 毛細管部 14 毛細管 16引線夾具 17 載物台 18、1 9打線對象 20第1打線點 21第2打線點 22 24 ' 26 ' 28、36、38 變形部分 30、40、80引線弧 50 打線裝置 52 毛細管移動機構 載物台移動機構 56 控制裝置 19 200403826 60 頸部形成處理部 62 第1變形處理部 64 第2變形處理部 66 弧狀形成處理部 76 第2變形部分 78 第1變形部分
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Claims (1)

  1. 200403826 拾、申請專利範圍： 1· 一種打線方法，係使插通並保持引線的毛細管，對 2線對象進行相對移動而使引線變形，並將第丨打線點與 第2打線點以引線弧連接，其特徵係具備以下步驟： #頸部形成步驟，在將引線連接於帛1打線點之後，於 第1打線點使引線上升而形成頸部； 弟1變形步驟，一邊送出相當於從該引線弧總長扣除 該頸部後之長度份量的引線，一邊使該毛細管從該頸部上 !，接著使該毛細管朝第2打線點方向移動，而形成位於 弟2打線點之引線第1變形部分； 第2變形步驟，使該毛細管下降，並將相當於在第2 打線點處上升部分之長度的引線，收入該毛細管中，接著 使該毛細管朝與該帛2打線點相反側的方向移動，而在第 2打線點的引線上升部分頂點處形成第之變形部分，·以及 引線弧形成步驟，使該毛細管上升，並送出引 否亥弟1變形部分到读兮车纟m总乂山 姓心 官月_』端位置，且在此狀態下保 持引線，使該毛細管移動至該第2打線 第卜變形部分連接第2打複 ”纟在引線的該 刀遝接弟2打線點’而形成引線弧。 2· —種打線裝置，係具備： 毛細管，係插通並保持引線； 載物台，係保持打線對象； 以及 移動機構，係使該毛細管對該载物台進行相對移動； 广Ό·:, 21 200403826 該引線的保持，且在該打線對象 點間形成線弧並加以連接； 7線點與第2打線 該引線弧形成控制機構係執行以下步驟. 頸部形成處理步驟，在將引線連接：第: ，於第1打線點處將引線上升而形成頸部’· 了線點之後 第1變形處理步驟，一邊祛 扣除該頸邱# βI^胃 、目§於從該引線弧總長 ^亥以後之長度份量的引線，— 部上升，接著使該毛細管 ^田 位於川較㈣㈣，而形成 第2::二處理步驟’使該毛細管下降，並將相當於在 乐Z打線點處上升部分之县 接著# 又的引線，收入該毛細管中， 打線官朝遠離該第2打線點方向移動，而在" Π;部分頂點處形成第2變形部分;以及 直到該第^开處Λ步驟’使該毛細管上升，並送出引線 下保持引線'使;達:毛細管前端位置，且咖 的該第1變形部分連接=動至該第2打線點，俾在引線 ,^ 77接弟2打線點，而形成引線弧。 ό · 一種記錄h ρ 打線裝置的動*、王’之記錄媒體’該打線程式係控制 保持引線Γ :該打線裝置係具備：毛細管，係插通並 毛細管對，心台’係保持打線對象；移動機構，係使該 構，传^ΐ進行相對移動；以及引線弧形成控制機 打線對象的第丨 對移動與該引線的保持，且在該 連接； 打線點與第2打線點間形成引線弧並加以 22 200403826 ▲ W線弧形成控制機構係執行以下步驟·· j部形成處理步驟，在將引線連接於第丨打線點之後 ，於第1打線點處將引線上升而形成頸部； ’’’ 第i變形處理步驟，-邊送出相當於從該引線弧總長 扣除3亥頊部後之長度份量的引線，一 7^ 透使忒毛細管從該頸 邛上升，接者使該毛細管朝第2 ^ ^ ^ 9 + . L 玎琛點方向移動，而形成 位於第2打線點之引線第丨變形部分，· 弟2變形處理步驟，使今 μ 笛9 Η, V老 使該毛細官下降’並將相當於在 弟2打線點處上升部分 接英料n w *度的引線’收人該毛細管中， 者使该毛、，，田&朝运離該第2打線點方向 打線點的引線上升部分了w 動而在弟2 刀頂點處形成第2變形部分·以及 引線弧形成處理步驟成 爻^哔刀，以及 直到該第1變形部分到、告# 上升並运出引線 的該第1變形部分連拯笛〇 打線點’俾在引線 要第2打線點，而形成引線弧。 拾壹、圊式： 如次頁。 23
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