TH9443B - สเลอร์รี่สำหรับขัดเงาแบบเชิงกล-เคมีที่ใช้กับวัสดุโลหะ - Google Patents

Abstract

สเลอร์รี่สำหรับใช้ในการขัดเงาเชิงกล-เคมี ให้แก่ชั้นวัสดุโลหะที่ประกอบด้วย อนุภาคของโลหะออกไซด์ความบริสุทธิ์สูง ที่กระจายตัวอย่างสม่ำเสมออยู่ในตัวกลางที่เป็นน้ำ ที่มีความเสถียร

Claims (9)

1. วิธีการสำหรับขัดเงาเชิงกล-เคมี ให้แก่ ชั้นวัสดุโลหะของซับสเตรท ซึ่งวิธีการ ประกอบด้วยขั้นตอนของ (a) การจัดเตรียมสเลอร์รี่สำหรับขัดเงาเชิงกล-เคมีที่ประกอบด้วยอนุภาคของอะลูมินา ที่มีความบริสุทธิ์สูงที่ประจายตัวอย่างสม่ำเสมออยู่ในตัวกลางที่เป็นน้ำ ซึงมีพื้นผิวในช่วงตั้งแต่ 40 ตารางเมตร/กรัม ถึง 430 ตารางเมตร/กรัม มีการกระจายของขนาดอนุภาครวมตัวต่ำกว่า 1.0 ไมครอน มีเส้นผ่าศูนย์กลางของอนุภาครวมตัวโดยเฉลี่ยต่ำกว่า0.4 ไมครอน และมีแรงเพียงพอ ที่จะผลักดันและเอาชนะแรงแวนเดอร์วาลส์ระหว่างอนุภาคได้ ซึ่งสเลอร์รี่ดังกล่าวมีความเสถียร และ (b) การขัดเงาเชิงกล-เคมี ให้แก่ชั้นวัสดุโลหะบนซับสเตรทกึ่งตัวนำด้วยสเลอร์รี่ดัง กล่าว 2. วิธีการของข้อถือสิทธิที่ 1 ซึ่งชั้นวัสดุโลหะดังกล่าวเลือกได้จากกลุ่มที่ประกอบ ด้วย ทังสเตน, อะลูมินัม, ทองแดง, ดิเตเนียม และโลหะผสมของโละเหล่านี้ 3. วิธีการของข้อถือสิทธิที่ 2 ซึ่งชั้นวัสดุโลหะดังกล่าว คือ ทังสเตน 4. วิธีการของข้อถือสิทธิที่ 3 ซึ่งชั้นทังสเตนดังกล่าว ประกอบต่อไปด้วย ชั้นวัสดุที่อยู่ ข้างใต้อย่างน้อยหนึ่งชั้นที่เลือกได้จากกลุ่ม ที่ประกอบด้วย ติเตเนียม, ติเตเนียมไนไตร์ด และ ติเตเนียมทังสเตน และของผสมของสารเหล่านี้ 5. วิธีการของข้อถือสิทธิที่ 1 ซึ่งมีอนุภาคดังกล่าวในช่วงตั้งแต่ 0.5 เปอร์เซ็นต์ ถึง55 เปอร์เซ็นต์โดยน้ำหนัก 6. วิธีการของข้อถือสิทธิที่ 1 ซึ่งอนุภาคอะลูมินาดังกล่าวมีพื้นที่ผิวต่ำกว่า 70 ตาราง เมตร/กรัม และมีอยู่ในสเลอร์รี่ดังกล่าว ในช่วงที่ต่ำกว่า 7 เปอร์เซ็นต์ โดยน้ำหนัก 7. วิธีการของข้อถือสิทธิที่ 1 ซึ่งอนุภาคอะลูมินาดังกล่าวมีพื้นที่ผิวในช่วงตั้งแต่ 70 ตารางเมตร/กรัม ถึง 170 ตารางเมตร/กรัม และมีอยู่ในสเลอร์รี่ดังกล่าวในช่วงที่ต่ำกว่า 12 เปอร์เซ็นต์ โดยน้ำหนัก 8. วิธีการของข้อถือสิทธิที่ 6 หรือ 7 ซึ่งอะลูมินาดังกล่าวเป็นอะลูมินาที่ได้จากการตก ตะกอนหรืออะลูมินาที่ผ่านการเป็นไอ 9. วิธีการของข้อถือสิทธิที่ 1 ซึ่งอนุภาคดังกล่าวมีศักย์ซีตาสูงสุดมากกว่า +- 10 มิลลิ โวลท์ 1 0. วิธีการของข้อถือสิทธิที่ 1 ซึ่งสเลอร์รี่ดังกล่าวประกอบเพิ่มเติมด้วยองค์ประกอบ ออกซิไดซ์ 1 1. วิธีการของข้อถือสิทธิที่ 10 ซึ่งองค์ประกอบออกซิไดซ์ดังกล่าว คือ เกลือโลหะชนิด ที่ออกซิไดซ์ 1 2. วิธีการของข้อถือสิทธิที่ 10 ซึ่งองค์ประกอบออกซิไดซ์ดังกล่าว คือ สารเชิงซ้อน ของโลหะชนิดที่ออกซิไดซ์ 1 3. วิธีการของข้อถือสิทธิที่ 10 ซึ่งองค์ประกอบออกซิไดซ์ดังกล่าว เลือกได้จากกลุ่มที่ ประกอบด้วย เกลือเหล็ก, เกลืออะลูมินัม, เกลือโซเดียม, เกลือโปแตสเซียม, เกลือแอมโมเนียม, เกลือควอเตอร์นารีแอมโมเนียม, เกลือฟอสโฟเนียม, เปอร์ออกไซด์, คลอเรท, เปอร์คลอเรท, เปอร์แมงกาเนท, เปอร์ซัลเฟต และของผสมของสารเหล่านี้ 1 4. วิธีการของข้อถือสิทธิที่ 1 ซึ่งสเลอร์รี่ดังกล่าวประกอบเพิ่มเติมด้วยสารลดแรงตึง ผิว 1 5. วิธีการของข้อถือสิทธิที่ 14 ซึ่งสารลดแรงตึงผิวนั้นเลือกได้จากกลุ่มที่ประกอบด้วย สารลดแรงตึงผิวไม่ถือประจุ, สารลดแรงตึงผิวถือประจุลบ, สารลดแรงตึงผิวถือประจุบวก, สาร ลดแรงตึงผิวถือทั้งประจุบวดและลบ และของผสมของสารเหล่านี้ 1 6. วิธีการของข้อถือสิทธิที่ 14 ซึ่งสารลดแรงตึงผิวดังกล่าวเลือกได้จากกลุ่มที่ประกอบ ด้วย โพลีอัลคิลไซลอกเซน, โพลีอาริลไซลอกเซน, โพลีออกซีอัลคิลีนอีเธอร์ และของผสมของ สารเหล่านี้ 1 7. สเลอร์รี่สำหรับขัดเงาเชิงกล-เคมี สำหรับการขัดเงาให้แก่ชั้นวัสดุโลหะ ซึ่ง ประกอบด้วย อนุภาคของอะลูมินาที่มีความบริสุทธิ์สูงที่ประจายตัวอย่างสม่ำเสมออยู่ในตัวกลาง ที่เป็นน้ำ ซึ่งมีพื้นผิวในช่วงตั้งแต่ 40 ตารางเมตร/กรัม ถึง 430 ตารางเมตร/กรัม มีการกระจาย ของขนาดอนุภาครวมตัวต่ำกว่า 1.0 ไมครอน มีเส้นผ่าศูนย์กลางของอนุภาครวมตัวโดยเฉลี่ยต่ำ กว่า 0.4 ไมครอน และมีแรงเพียงพอที่จะผลักดันและเอาชนะแรงแวนเดอร์วาลส์ระหว่างอนุภาค ได้ และองค์ประกอบของออกซิไดซ์ ซึ่งสเลอร์รี่ดังกล่าวมีความเสถียรในการเป็นคอลลอยด์ 1 8. สเลอร์รี่ของข้อถือสิทธิ 17 ซึ่งมีอนุภาคดังกล่าวในช่วงตั้งแต่ 0.5 เปอร์เซ็นต์ ถึง 55 เปอร์เซ็นต์ โดยน้ำหนัก 1 9. สเลอร์รี่ของข้อถือสิทธิที่ 17 ซึ่งอนุภาคอะลูมินาดังกล่าวมีพื้นที่ผิวต่ำกว่า 70 ตาราง เมตร/กรัม และมีอยู่ในสเลอร์รี่ดังกล่าว ในช่วงที่ต่ำกว่า 7 เปอร์เซ็นต์โดยน้ำหนัก 2 0. สเลอร์รี่ของข้อถือสิทธิที่ 17 ซึ่งอนุภาคอะลูมินาดังกล่าวมีพื้นที่ผิวในช่วงตั้งแต่ 70 ตารางเมตร/กรัม ถึง 170 ตารางเมตร/กรัม และมีอยู่ใสเลอร์รี่ดังกล่าวในช่วงที่ต่ำกว่า 12 เปอร์เซ็นต์โดยน้ำหนัก 2 1. สเลอร์รี่ของข้อถือสิทธิที่ 19 หรือ 20 ซึ่งอะลูมินาดังกล่าวเป็นอะลูมินาที่ได้จากการ ตกตะกอนหรืออะลูมินาที่ผ่านการเป็นไอ 2 2. สเลอร์รี่ของข้อถือสิทธิที่ 17 ซึ่งอนุภาคดังกล่าวมีศักย์ซีตาสูงสุดกว่า +- 10 มิลลิ โวลท์ 2 3. สเลอร์รี่ของข้อถือสิทธิที่ 17 ซึ่งสเลอร์รี่ดังกล่าวประกอบต่อไปด้วยสารลดแรงตึง ผิว 2 4. สเลอร์รี่ของข้อถือสิทธิที่ 23 ซึ่งสารลดแรงตึงผิวนั้นเลือกได้จากกลุ่มที่ประกอบ ด้วย สาลดแรงตึวผิวไม่ถือประจุ, สารลดแรงตึวผิวถือประจุลบ, สารลดแรงตึงผิวถือประจุบวก, สารลดแรงตึงผิวทั้งประจุบวกและประจุลย และของผสมของสารเหล่านี้ 2 5. สเลอร์รี่ของข้อถือสิทธิที่ 23 ซึ่งสารลดแรงตึงผิวดังกล่าวเลือกได้จากกลุ่มที่ ประกอบด้วย โพลีอัลคิลไซลอกเซน, โพลีอาริลไซลอกเซน, โพลีออกซีอัลคิลลีนอีเธอร์ และ ของผสม และโคโพลีเมอร์ของสารเหล่านี้ 2 6. สเลอร์รี่สำหรับขัดเงาเชิงกล-เคมี สำหรับการขัดเงาให้แก่ชั้นวัสดุโลหะ ซึ่ง ประกอบด้วย อนุภาคของอะลูมินาที่มีความบริสุทธิ์สูงที่กระจายตัวอย่างสม่ำเสมออยู่ในตัวกลาง ที่เป็นน้ำ ซึ่งมีพื้นผิวในช่วงตั้งแต่ 40 ตารางเมตร/กรัม ถึง 430 ตารางเมตร/กรัม มีการกระจาย ของขนาดอนุภารวมตัวต่ำกว่า 1.0 ไมครอน มีเส้นผ่าศูนย์กลางของอนุภาครวมตัวโดยเฉลี่ยต่ำ กว่า 0.4 ไมครอน และมีแรงเพียงพอที่จะผลักดันและเอาชนะแรงแวนเดอร์วาลส์ระหว่างอนุภาค ได้ ซึ่งสเลอร์รี่ดังกล่าวมีความเสถียรในการเป็นคอลลอยด์ 2 7. สเลอร์รี่ของข้อถือสิทธิที่ 26 ซึ่งมีอนุภาคดังกล่าวในช่วงตั้งแต่ 0.5 เปอร์เซ็นต์ ถึง 55 เปอร์เซ็นต์ โดยน้ำหนัก 2 8. สเลอร์รี่ของข้อถือสิทธิที่ 26 ซึ่งอนุภาคอะลูมินาดังกล่าวมีพื้นที่ผิวต่ำกว่า 70 ตาราง เมตร/กรัม และมีอยู่ในสเลอร์รี่ดังกล่าว ในช่วงที่ต่ำกว่า 7 เปอร์เซ็นต์ โดยน้ำหนัก 2 9. สเลอร์รี่ของข้อถือสิทธิที่ 26 ซึ่งอนุภาคอะลูมินาดังกล่าวมีพื้นที่ผิว ในช่วงตั้งแต่70 ตารางเมตร/กรัม ถึงประมาณ 170 ตารางเมตร/กรัม และมีอยู่ในสเลอร์รี่ดังกล่าวในช่วงที่ต่ำกว่า 12 เปอร์เซ็นต์ โดยน้ำหนัก 3 0. สเลอร์รี่ของข้อถือสิทธิที่ 28 หรือ 29 ซึ่งอะลูมินาดังกล่าวเป็นอะลูมินาที่ได้จากการ ตกตะกอนหรืออะลูมินาที่ผ่านการเป็นไอ 3

1. สเลอร์รี่ของข้อถือสิทธิที่ 26 ซึ่งอนุภาคดังกล่าวมีศักย์ซีตาสูงสุดมากกว่า +- 10 มิลลิ โวลท์ 3

2. สเลอร์รี่ของข้อถือสิทธิที่ 26 ซึ่งองค์ประกอบออกซิไดซ์ดังกล่าว คือ เกลือโลหะ ชนิดที่ออกซิไดซ์ 3

3. สเลอร์รี่ของข้อถือสิทธิที่ 26 ซึ่งองค์ประกอบออกซิไดซ์ดังกล่าว คือ สารเชิงซ้อน ของโลหะชนิดที่ออกซิไดซ์ 3

4. สเลอร์รี่ของข้อถือสิทธิที่ 26 ซึ่งองค์ประกอบออกซิไดซ์ดังกล่าว เลือกได้จากกลุ่มที่ ประกอบด้วยเกลือเหล็ก, เกลืออะลูมินา, เกลือโซเดียม, เกลือโปแตสเซียม, เกลือแอมโมเนียม, เกลือคลอเตอร์นารีแอมโมเนียม, เกลือฟอสโฟเนียม, เปอร์ออกไซด์ คลอเรท, เปอร์คลอเรท, เปอร์แมงกาเนท, เปอร์ซัลเฟต และของผสมของสารเหล่านี้ 3

5. สเลอร์รี่ของข้อถือสิทธิที่ 26 ซึ่งสเลอร์รี่ดังกล่าวประกอบต่อไปด้วยสารปรุงแต่งใน ปริมาณที่เพียงพอที่จะป้องกันการสลายตัวขององค์ประกอบออกซิไดซ์ และรักษาสภาพความ เสถียรในการเป็นคลอลอยด์ของสเลอร์รี่ 3

6. สเลอร์รี่ของข้อถือสิทธิที่ 35 ซึ่งสารปรุงแต่งดังกล่าว คือ สารลดแรงตึงผิว 3

7. สเลอร์รี่ของข้อถือสิทธิที่ 35 ซึ่งสารลดแรงตึงผิวนั้นเลือก ได้จากกลุ่ม ที่ประกอบ ด้วย สารลดแรงตึงผิวไม่ถือประจุ, สารลดแรงตึงผิวถือประจุลบ, สารลดแรงตึงผิวถือประจุบวก, สารลดแรงตึงผิวทั้งประจุบวกและประจุลบ และของผสมของสารเหล่านี้ 3

8. สเลอร์รี่ของข้อถือสิทธิที่ 36 ซึ่งสารลดแรงตึงผิวดังกล่าวเลือกได้จากกลุ่มที่ ประกอบด้วย โพลีอัลคิลไซลอกเซน, โพลีอาริลไซลอกเซน, โพลีออกซีอัลคิลลีนอีเธอร์ และ ของผสม และโคโพลีเมอร์ของสารเหล่านี้ 3

9. สเลอร์รี่ของข้อถือสิทธิที่ 26 ซึ่งอนุภาคอะลูมินาดังกล่าว คือ อะลูมินาที่ผ่านการ เป็นไอ ที่ประกอบด้วย แกมมาเฟสอย่างน้อย 50 เปอร์เซ็นต์ และองค์ประกอบออกซิไดซ์ดัง กล่าว คือ เหล็กไนเตรท