TH78906A - คอมโพสิตความบริสุทธิ์สูงที่ใช้เป็นส่วนประกอบของเตาหลอม - Google Patents

Abstract

DC60 ส่วนประกอบเตาหลอมที่มีกรรมวิธีแบบโซชาลสกีที่ประกอบด้วยคอมโพสิตมาตรฐานของสาร กึ่งตัวนำที่มีความบริสุทธิ์สูง ซึ่งรวมถึงเมทริกซ์คาร์บอนที่ถูกเสริมด้วยเส้นใยคาร์บอนที่มีระดับของ สิ่งเจือปนที่เป็นโลหะต่ำกว่าขอบเขตการตรวจจับของการตรวจสอบสเปคตรัมของพลาสมาที่ถูกเชื่อมต่อ ด้วยการเหนี่ยวนำ กรรมวิธีในการผลิตส่วนประกอบจะรวมถึง การทรีทเมนท์เส้นใยคาร์บอนและ ส่วนประกอบด้วยความร้อน ส่วนประกอบเตาหลอมที่มีกรรมวิธีแบบโซชาลสกีที่ประกอบด้วยคอมโพสิตมาตรฐานของสาร กึ่งตัวนำที่มีความบริสุทธิ์สูง ซึ่งรวมถึงเมทริกซ์คาร์บอนที่ถูกเสริมด้วยเส้นใยคาร์บอนที่มีระดับของ สิ่งเจือปนที่เป็นโลหะต่ำกว่าขอบเขตการตรวจจับของการตรวจสอบสเปคตรัมของพลาสมาที่ถูกเชื่อมต่อ ด้วยการเหนี่ยวนำ กรรมวิธีในการผลิตส่วนประกอบจะรวมถึง การทรีทเมนท์เส้นใยคาร์บอนและ ส่วนประกอบด้วยความร้อน

Claims (54)

1. อุปกรณ์ที่ใช้ในการก่อตัวของผลึกสารกึ่งตัวนำ ประกอบด้วย อย่างน้อยที่สุดหนึ่ง

ส่วนประกอบคอมโพสิตคาร์บอน/คาร์บอนที่มีความบริสุทธิ์สูง คอมโพสิตความบริสุทธิ์สูงดังกล่าว

รวมถึงเมทริกซ์คาร์บอนที่ถูกเสริมด้วยเส้นใยคาร์บอนที่มีระดับของสิ่งเจือปนที่เป็นโลหะต่ำกว่าขอบเขต

การตรวจจับของกรตรวจสอบสเปคตรับของพลาสมาที่ถูกเชื่อมต่อแบบเหนี่ยวนำสำหรับโลหะ Ag, Al,

Ba, Be, Ca, Cd, Co, Cr, Cu, K, Mg, Mn, Mo, Na, Ni, P, Pb, Sr, และ Zn

ที่ซึ่งเส้นใยคาร์บอนถูกเลือกมาจากกลุ่มที่ประกอบด้วยเส้นใย เสื้อผ้า ผ้าที่ถูกทอ

เส้นด้ายและเทป

คอมโพสิตความบริสุทธิ์สูงที่มีความต้านทานแรงดึงสูงสุดประมาณ 25 ถึงประมาณ 100

ksi และแรงดึงมอดุลัสประมาณ 3 ถึงประมาณ 30 ksi และความแข็งแรงต่อการโค้งงอประมาณ 15 ถึง

ประมาณ 60 ksi และความทนทานต่อการอัดประมาณ 10 ถึงประมาณ 50 ksi

2. อุปกรณ์ตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 1 ยังคงประกอบต่อไปด้วย อย่างน้อยที่สุดหนึ่ง

ส่วนประกอบให้ความร้อนและบริเวณที่มีการก่อตัวของผลึกสำหรับดึงผลึกสารกึ่งตัวนำขึ้นจากสิ่งที่

หลอมเหลววัสดุสารกึ่งตัวนำ ที่ซึ่งส่วนประกอบคอมโพสิตความบริสุทธิ์สูงดังกล่าวเป็นเกราะกำบังความ

ร้อนที่ถูกติดตั้งระหว่างอย่างน้อยที่สุดหนึ่งส่วนประกอบให้ความร้อนดังกล่าว และบริเวณที่มีการก่อตัว

ของผลึกดังกล่าว

3. อุปกรณ์ตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 1 ยังคงประกอบต่อไปด้วย อย่างน้อยที่สุดหนึ่ง

ส่วนประกอบให้ความร้อนและบริเวณที่มีการก่อตัวของผลึกสำหรับดึงผลึกสารกึ่งตัวนำขึ้นจากสิ่งที่

หลอมแหลววัสดุสารกึ่งตัวนำ ที่ซึ่งสิ่งที่หลอมเหลวดังกล่าวถูกบรรจุอยู่ในเบ้าหลอมภายในบริเวณที่มีการ

ก่อตัวของผลึก และส่วนประกอบคอมโพสิตความบริสุทธิ์สูงดังกล่าวเป็นตัวกันกระเทือนเบ้าหลอมที่

รองรับเบ้าหลอมดังกล่าวอย่างใกล้ชิดกัน

4. อุปกรณ์ตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 1 ยังคงประกอบต่อไปด้วย อย่างน้อยที่สุดหนึ่ง

ส่วนประกอบให้ความร้อนและบริเวณที่มีการก่อตัวของผลึกสำหรับดึงผลึกสารกึ่งตัวนำขึ้นจากสิ่งที่

หลอมเหลววัสดุสารกึ่งตัวนำ สิ่งที่หลอมเหลวดังกล่าวถูกบรรจุอยู่ในเบ้าหลอมภายในบริเวณที่มีการก่อ

ตัวของผลึก ที่ซึ่งอย่างน้อยหนึ่งส่วนประกอบโพสิตความบริสุทธิ์สูงดังกล่าวเป็นเกราะกำบังความ

ร้อนที่ถูกติดตั้งไว้ระหว่างอย่างน้อยที่สุดหนึ่งส่วนประกอบให้ความร้อนดังกล่าว และบริเวณที่มีการก่อ

ตัวของผลึกดังกล่าวและอย่างน้อยที่สุดส่วนประกอบคอมโพสิตความบริสุทธิ์สูงที่สองเป็นตัวกัน

กระเทือนเบ้าหลอมที่รองรับเบ้าหลอมดังกล่าวอย่างใกล้ชิดกัน

5. อุปกรณ์ตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 1 ยังคงประกอบต่อด้วย อย่างน้อยที่สุดหนึ่ง

ส่วนปะกอบให้ความร้อนในความร้อนที่ใกล้กับบริเวณที่มีการก่อตัวของผลึกสำหรับดึงผลึกสารกึ่ง

ตัวนำขึ้นจากสิ่งที่หลอมเหลววัสดุสารกึ่งตัวนำ ที่ซึ่งส่วนประกอบคอมโพสิตความบริสุทธิ์สูงดังกล่าว

เป็นเกราะกำบังความร้อนที่ถูกติดตั้งโดยแผ่รัศมีไปทางนอกของอย่างน้อยที่สุดหนึ่งส่วนประกอบให้

ความร้อนดังกล่าวและบริเวณที่มีการก่อตัวของผลึกดังกล่าว

6. อุปกรณ์ตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 1 ยังคงประกอบต่อไปด้วย อย่างน้อยที่สุดหนึ่ง

ส่วนประกอบให้ความร้อนที่ใกล้กับบริเวณที่มีการก่อตัวของผลึกสำหรับดึงผลึกสารกึ่งตัวนำขึ้นจากสิ่งที่

หลอมเหลววัสดุสารกึ่งตัวนำ สิ่งที่หลอมเหลวดังกล่าวถูกบรรจุอยู่ในเบ้าหลอมภายในบริเวณที่มีการก่อ

ตัวของผลึก ที่ซึ่งอย่างน้อยที่สุดหนึ่งส่วนประกอบคอมโพสิตความบริสุทธิ์สูงดังกล่าวเป็นเกราะกำบัง

ความร้อนที่ถูกติดตั้งโดยแผ่รัศมีไปทางข้างนอกของอย่างน้อยหนึ่งส่วนประกอบให้ความร้อนดังกล่าว

และบริเวณที่มีการก่อตัวของผลึกดังกล่าว และอย่างน้อยที่สุดส่วนประกอบคอม โพสิตความบริสุทธิ์สูง

ดังกล่าวที่สองเป็นตัวกันกระเทือนเบ้าหลอมที่รองรับเบ้าหลอมดังกล่าวอย่างใกล้ชิดกัน

7. กรรมวิธีในการก่อตัวของผลึกแบบโซลชาลสกีเพื่อดึงแท่งโลหะสารกึ่งตัวนำขึ้นจากสิ่งที่

หลอมเหลววัสดุสารกึ่งตัวนำ รวมถึง

การจัดให้มีสิ่งที่หลอมเหลววัสดุสารกึ่งตัวนำในเบ้าหลอมที่ทำจากแร่ควอท์ซ และ

ยึดจับเบ้าหลอมอย่างใกล้ชิดกันด้วยตัวกันกระเทือนเบ้าหลอมที่ประกอบด้วย

คอมโพสิตมาตรฐานของสารกึ่งตัวนำที่มีความบริสุทธิ์สูงของเมทริกซ์คาร์บอนที่ถูกเสริมด้วยเส้ยใย

คาร์บอนที่มีระดับของสิ่งเจือปนที่เป็นโลหะต่ำกว่าขอบเขตการตรวจจับของการตรวจสอบสเปคตรัมของ

พลาสมาที่ถูกเชื่อมต่อแบบเหนี่ยวนำสำหรับโลหะ Ag,,Al, Ba, Be, Ca, Cd, Co, Cr, Cu, K, Mg, Mn, Mo,

Na, Ni, P, Pb, Sr, และ Zn

ที่ซึ่งเส้นใยคาร์บอนถูกเลือกมาจากกลุ่มที่ประกอบด้วยเส้นใย เสื้อผ้า ผ้าที่ถูกทอ

เส้นด้าย และเทป

คอมโพสิตความบริสุทธิ์สูงมีความต้านทานแรงดึงสูงสุดประมาณ 25 ถึงประมาณ 100

ksi และแรงดึงมอดุลัสประมาณ 3 ถึงประมาณ 30 msi และมีความแข็งแรงต่อการโค้งงอประมาณ 15 ถึง

ประมาณ 60 ksi และความทนทานต่อการอัดประมาณ 10 ถึงประมาณ 50 ksi

8. กรรมวิธีตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 7 ที่ซึ่งแท่งโลหะสารกึ่งตัวนำคือ แท่งซิลิคอน รวมถึง

การตัดแท่งซิลิคอนให้เป็นซิลิคอนเวเฟอร์ และยังคงรวมถึงการจัดให้ซิลิคอนเวเฟอร์ดังกล่าวมีเวลาเบรค

ดาวน์ทางไฟฟ้ามากกว่า 300 ไมโครเซกัน

9. กรรมวิธีตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 7 ที่ซึ่งสารกึ่งตัวนำถูกเลือกมาจากหมู่ที่ประกอบด้วย

ซิลิคอน และแกลเลียมอาร์เซไนด์

10. กรรมวิธีในการก่อตัวของผลึกแบบโซลชาลสกีเพื่อดึงแท่งโลหะสารกึ่งตัวนำขึ้นจากสิ่งที่

หลอมเหลววัสดุสารกึ่งตัวนำที่รวมถึง

การจัดให้มีสิ่งที่หลอมเหลววัสดุสารกึ่งตัวนำในบริเวณที่มีการดึงผลึกขึ้นซึ่งติดตั้ง

สัมผัสความร้อนกับอย่างน้อยที่สุดหนึ่งส่วนประกอบให้ความร้อนและติดตั้งอยู่โดยแผ่รัศมีไปทางข้าง

นอกของบริเวณที่มีการดึงผลึกดังกล่าวและอย่างน้อยที่สุดหนึ่งส่วนประกอบให้ความร้อนดังกล่าว เกราะ

กำบังความร้อนประกอบด้วยคอมโพสิตมาตรฐานของสารกึ่งตัวนำที่มีความบริสุทธิ์สูงของเมทริกซ์

คาร์บอนที่ถูกเสริมด้วยเส้นใยคาร์บอนที่มีระดับของสิ่งเจือปนที่เป็นโลหะต่ำกว่าขอบเขตการตรวจจับ

ของสารตรวจสอบสเปคตรัมของพลาสมาที่ถูกเชื่อมต่อแบบเหนี่ยวนำสำหรับโลหะ Ag,,Al, Ba, Be, Ca,

Cd, Co, Cr, Cu, K, Mg, Mn, Mo, Na, Ni, P, Pb, Sr, และ Zn

ที่ซึ่งเส้นใยคาร์บอนถูกเลือกมาจากกลุ่มที่ประกอบด้วยเส้นใย เสื้อผ้า ผ้าที่ถูกทอ

เส้นด้าย และเทป

คอมโพสิตความบริสุทธิ์สูงมีความต้านทานแรงดึงสูงสุดประมาณ 25 ถึงประมาณ 100

ksi และแรงดึงมอดุลัสประมาณ 3 ถึงประมาณ 30 msi และมีความแข็งแรงต่อการโค้งงอประมาณ 15 ถึง

ประมาณ 60 ksi และความทนทานต่อการกดอัดประมาณ 10 ถึงประมาณ 50 ksi

11. กรรมวิธีตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 10 ที่ซึ่งแท่งโลหะสารกึ่งตัวนำคือ แท่งซิลิคอน

รวมถึงการตัดแท่งซิลิคอนให้เป็นซิลิคอนเวเฟอร์ และยังคงรวมถึงการจัดให้ซิลิคอนเวเฟอร์ดังกล่าวมี

เวลาเบรคดาวน์ไฟฟ้ามากกว่า 300 ไมโครเซกัน

12. กรรมวิธีตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 10 ที่ซึ่งสารกึ่งตัวนำถูกเลือกมาจากหมู่ที่ประกอบด้วย

ซิลิคอน และแกลเลียนอาร์เซไนด์

13. กรรมวิธีในการก่อตัวของผลึกแบบโซลชาลสกีเพื่อดึงแท่งโลหะสารกึ่งตัวนำขึ้นจากสิ่งที่

หลอมเหลววัสดุสารกึ่งตัวนำ รวมถึงการจัดให้มีสิ่งหลอมเหลววัสดุสารกึ่งตัวนำในเบ้าหลอมที่ทำจาก

แร่แควอท์ซ ที่ซึ่งเบ้าหลอมที่ทำจากแร่ควอท์ซอยู่แยกออกจากแหล่งสิ่งปนเปื้อนโดยอย่างน้อยที่สุดหนึ่ง

ส่วนประกอบคอมโพสิตคาร์บอน/คาร์บอนที่มีความบริสุทธิ์สูงประกอบด้วย คอมโพสิตมาตรฐานของ

สารกึ่งตัวนำที่มีความบริสุทธิ์สูงของเมทริกซ์คาร์บอนที่ถูกเสริมด้วยเส้นใยคาร์บอนที่มีระดับของ

สิ่งเจือปนที่เป็นโลหะต่ำกว่าขอบเขตการตรวจจับสเปคตรัมของพลาสมาที่ถูกเชื่อมต่อแบบ

เหนียวนำสำหรับโลหะ Ag,,Al, Ba, Be, Ca, Cd, Co, Cr, Cu, K, Mg, Mn, Na, Ni, P, Pb, Sr, และ Zn

ที่ซึ่งเส้นใยคาร์บอนถูกเลือกมาจากกลุ่มที่ประกอบด้วยเส้นใย เสื้อผ้า ผ้าที่ถูกทอ

เส้นด้าย และเทป

คอมโพสิตความบริสุทธิ์สูงมีความต้านทานแรงดึงสูงสุดประมาณ 25 ถึงประมาณ 100

ksi และแรงดึงมอดุลัสประมาณ 3 ถึงประมาณ 30 msi และมีความแข็งแรงต่อการโค้งงอประมาณ 15 ถึง

ประมาณ 60 ksi และความทนทานต่อการอัดประมาณ 10 ถึงประมาณ 50 ksi

14. กรรมวิธีตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 13 ที่ซึ่งส่วนประกอบถูกเลือกมาจากกลุ่มที่

ประกอบด้วย ตัวกันกระเทือนเบ้าหลอม เกราะกำบังความร้อนในเตาหลอม และ ท่อบุในเตาหลอม

15. กรรมวิธีตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 14 ที่ซึ่งสารกึ่งตัวนำถูกเลือกมาจากหมู่ที่ประกอบด้วย

ซิลิคอน และแกลเลียมอาร์เซไนด์

16. กรรมวิธีตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 15 ที่ซึ่งส่วนประกอบรวมถึงอย่างน้อยที่สุดหนึ่งตัว

กันกระเทือนเบ้าหลอมดังกล่าว และอย่างน้อยที่สุดหนึ่งอย่างของเกราะกำบังความร้อนในเตาหลอม

ดังกล่าวและท่อบุในเตาหลอมดังกล่าว

17. คอมโพสิตความบริสุทธิ์สูงอย่างน้อยประกอบด้วยเมทริกซ์คาร์บอนที่ถูกเสริมด้วยเส้นใย

คาร์บอนที่มีระดับของสิ่งเจือปนที่เป็นโลหะทั้งหมดต่ำกว่าประมาณ 5 ส่วนต่อล้าน สำหรับโลหะ Ag,,Al,

Ba, Be, Ca, Cd, Co, Cr, Cu, Fe, K, Mg, Mn, Mo, Na, Ni, P, Pb, Sr, V และ Zn

ที่ซึ่งเส้นใยคาร์บอนถูกเลือกมาจากกลุ่มที่ประกอบด้วย เส้นใย เสื้อผ้า ผ้าที่ถูกทอ

เส้นด้าย และเทป

คอมโพสิตความบริสุทธิ์สูงมีความต้านทานแรงดึงสูงสุด ประมาณ 25 ถึงประมาณ 100

ksi และแรงดึงมอดุลัสประมาณ 3 ถึงประมาณ 30 msi และมีความแข็งแรงต่อการโค้งงอประมาณ 15 ถึง

ประมาณ 60 ksi และความทนทานต่อการกดอัดประมาณ 10 ถึงประมาณ 50 ksi

18. คอมโพสิตความบริสุทธิ์สูงตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 17 ที่ซึ่งเมทริกซ์คาร์บอนคือผ้าที่

ถูกทอ

19. คอมโพสิตความบริสุทธิ์สูงตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 17 ที่ซึ่งเมทริกซ์คาร์บอน

ประกอบด้วย พรีเคอเซอร์เมทริกซ์คาร์บอนที่มีความบริสุทธิ์สูงที่ถูกคาร์บอนไนซ์ ที่ซึ่งพรีเคอเซอร์นี้มี

โลหะอยู่ต่ำกว่าประมาณ 50 ppm

20. คอมโพสิตความบริสุทธิ์สูงตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 19 ที่ซึ่งพรีเคอเซอร์เมทริกซ์

คาร์บอนคือ แก๊ส ไฮโรคาร์บอน

21. คอมโพสิตความบริสุทธิ์สูงตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 17 ที่ซึ่งเมทริกซ์คาร์บอน

ประกอบด้วยเรซินฟีนอลลิกที่มีความบริสุทธิ์สูงที่คาร์บอไนซ์

22. คอมโพสิตความบริสุทธิ์สูงตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 17 ที่ซึ่งเมทริกซ์คาร์บอน

ประกอยด้วย น้ำมันดินที่มีความบริสุทธิ์สูงตามที่ถูกคาร์บอนไนซ์

23. คอมโพสิตความบริสุทธิ์สูงตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 17 มีความต้านทานแรงดึงสูงสุด

ประมาณ 35 ถึงประมาณ 50 ksi และดึงมอดุลัสประมาณ 3.5 ถึงปประมาณ 16 msi

24. คอมโพสิตความบริสุทธิ์สูงตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 17 มีความแข็งแรงต่อการโค้งงอ

ประมาณ 16 ถึงประมาณ 42 ksi และความทนทานต่อการอัดประมาณ 11 ถึงประมาณ 30 ksi

25. คอมโพสิตความบริสุทธิ์สูงตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 17 มีความทนทานต่อการแตกร้าว

ดังที่ถูกวัดโดย Izod impact ประมาณ 5 ถึงประมาณ 25 ft Ib/in

26. คอมโพสิตความบริสุทธิ์สูงตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 17 มีสัมประสิทธิ์การขยายตัวความ

ร้อนในระนาบที่ศูนย์ถึงประมาณ 2x106 และสัมประสิทธิ์การขยายตัวความร้อน cross-ply ประมาณ 6 ถึง

ประมาณ 10x106

27. คอมโพสิตความบริสุทธิ์สูงตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 17 มีอัตราส่วนส่งผ่านความร้อนใน

ระนาบประมาณ 20 ถึงประมาณ 500 W/mK และอัตราการส่งผ่านความร้อน cross-ply ประมาณ 5 ถึง

ประมาณ 200 W/mK

28. คอมโพสิตความบริสุทธิ์สูงตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 17 มีค่าการคายความร้อนประมาณ

0.4 ถึงประมาณ 0.8

29. คอมโพสิตความบริสุทธิ์สูงตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 17 มีสารเคลือบผิวทนความร้อนที่

ถูกเลือกจากหมู่ที่ประกอบด้วย คาร์ไบด์ ไนไตรด์ และโบไรด์

30. คอมโพสิตความบริสุทธิ์สูงตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 17 มีสารเคลือบผิวทนความร้อน

ของซิลิคอน คาร์ไบด์

31. คอมโพสิตความบริสุทธิ์สูงตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 17 มีความต้านทานไฟฟ้าประมาณ

1x10-4 ถึงประมาณ 1x10-2 โอห์ม-ซม.

32. คอมโพสิตความบริสุทธิ์สูงตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 17 มีไอรอนประมาณ 0.18 ppm

หรือน้อยกว่า

34. ส่วนประกอบของเตาหลอมที่มีกรรมวิธีแบบโซชาลสกีที่ประกอบด้วย คอมโพสิตมาตรฐาน

ของสารกึ่งตัวนำที่มีความบริสุทธิ์สูงที่ประกอบด้วย เมทริกซ์คาร์บอนที่ถูกเสริมด้วยเส้นใยคาร์บอนของ

ข้อถือสิทธิข้อ 17 ถึงข้อ 33 ข้อใดข้อหนึ่ง

35. ส่วนประกอบของเตาหลอมตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 34 ที่ถูกเลือกมาจากกลุ่มที่

ประกอบด้วย ตัวกระเทือนเบ้าหลอม เกราะกำบังความร้อนในเตาหลอม และ ท่อในเตาหลอม

36. อุปกรณ์ที่ใช้ในการก่อตัวของผลึกสารกึ่งตัวนำที่ประกอบด้วย อย่างน้อยที่สุดหนึ่ง

ส่วนประกอบคอมโพสิตคาร์บอน/คาร์บอนที่มีความบริสุทธิ์สูง คอมโพสิตความบริสุทธิสูงดังกล่าว

รวมถึง เมทริกซ์คาร์บอนที่ถูกเสริมด้วยเส้นใยคาร์บอนที่มีระดับของสิ่งจือปนที่เป็นโลหะทั้งหมดต่ำกว่า

ประมาณ 5 ส่วนต่อล้านสำหรับโลหะ Ag,,Al, Ba, Be, Ca, Cd, Co, Cr, Cu, Fe, K, Mg, Mn, Mo, Na, Ni,

P, Pb, Sr, V และ Zn

ที่ซึ่งเส้นใยคาร์บอนถูกเลือกมาจากกลุ่มที่ประกอบด้วย เส้นใย เสื้อผ้า ผ้าที่ถูกทอ

เส้นด้าย และเทป

คอมโพสิตความบริสุทธิ์สูงมีความต้านทานแรงดึงสูงสุดประมาณ 25 ถึงประมาณ 100

ksi และแรงดึงมอดุลัสประมาณ 3 ถึงประมาณ 30 msi และมีความแข็งแรงต่อการโค้งงอประมาณ 15 ถึง

ประมาณ 60 ksi และความทนทานต่อการอัดประมาณ 10 ถึงประมาณ 50 ksi

37. อุปกรณ์ตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 36 ยังคงประกอบต่อไปด้วย อย่างน้อยที่สุดหนึ่ง

ส่วนประกอบให้ความร้อนและบริเวณที่มีการต่อตัวของผลึกสำหรับดึงยกผลึกสารกึ่งตัวนำขึ้นจากสิ่งที่

หลอมเหลววัสดุสารกึ่งตัวนำ ที่ซึ่งประกอบด้วยคอมโพสิตความบริสุทธิ์สูงดังกล่าวเป็นเกราะกำบังความ

ร้อนที่ติดตั้งระหว่างอย่างน้อยที่สุดหนึ่งส่วนประกอบให้ความร้อนดังกล่าวและบริเวณที่มีการก่อตัวของ

ผลึกดังกล่าว

38. อุปกรณ์ตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 36 ยังคงประกอบต่อไปด้วย อย่างน้อยที่สุดดหนึ่ง

ส่วนประกอบให้ความร้อนและบริเวณที่มีการก่อตัวของผลึกสำหรับดึงยกผลึกสารกึ่งตัวนำออกจากสิ่งที่

หลอมเหลววัสดุสารกึ่งตัวนำ ที่ซึ่งหลอมเหลวดังกล่าวถูกบรรจุในเบ้าหลอมภายในบริเวณที่มีการก่อ

ตัวของผลึกและส่วนประกอบคอมโพสิตความบริสุทธิ์สูงดังกล่าวเป็นตัวกันกระเทือนเบ้าหลอมที่รองรับ

เบ้าหลอมอย่างใกล้ชิดกัน

39. อุปกรณ์ตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 36 ยังคงประกอบต่อไปด้วย อย่างน้อยที่สุดหนึ่ง

ส่วนประกอบให้ความร้อนและบริเวณที่มีการก่อตัวของผลึกสำหรับดึงยกผลึกสารกึ่งนำออกจากสิ่งที่

หลอมเหลววัสดุสารกึ่งตัวนำ สิ่งที่หลอมเหลวดังกล่าวถูกบรรจุอยู่ในเบ้าหลอมภายในบริเวณที่มีการก่อ

ตัวของผลึกที่ซึ่งอย่างน้อยที่สุดหนึ่งส่วนประกอบคอมโพสิตความบริสุทธิ์สูงดังกล่าวเป็นเกราะกำบัง

ความร้อนที่ติดตั้งระหว่างอย่างน้อยที่สุดหนึ่งส่วนประกอบให้ความร้อนและบริเวณที่มีการก่อตัวของ

ผลึกดังกล่าว และอย่างน้อยที่สุดส่วนประกอบคอมโพสิตความบริสุทธิ์สูงที่สองดังกล่าวเป็นตัวกัน

กระเทือนเบ้าหลอมที่รองรับเบ้าหลอมดังกล่าวอย่างใกล้ชิดกัน

40. อุปกรณ์ตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 36 ยังคงประกอบต่อไปด้วย อย่างน้อยที่สุดหนึ่งส่วน

ส่วนประกอบให้ความร้อนในความร้อนที่ใกล้กับบริเวณที่มีการก่อตัวของผลึกสำหรับดึงยกผลึกสารกึ่ง

ตัวนำขึ้นจากสิ่งที่หลอมเหลววัสดุสารกึ่งตัวนำ ที่ซึ่งส่วนประกอบคอมโพสิตความบริสุทธิ์สูงดังกล่าว

เป็นเกราะกำบังความร้อนที่ติดตั้งโดยแผ่รัศมีไปทางข้างนอกของอย่างน้อยที่สุดหนึ่งส่วนประกอบให้

ความร้อนดังกล่าวและบริเวณที่มีการก่อตัวของผลึกดังกล่าว

41. อุปกรณ์ตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 36 ยังคงประกอบต่อไปด้วย อย่างน้อยที่สุดหนึ่ง

ส่วนประกอบให้ความร้อนที่ใกล้กับบริเวณที่มีการก่อตัวของผลึกสำหรับดึงยกผลึกสารกึ่งตัวนั้นจากสิ่งที่

หลอมเหลววัสดุสารกึ่งตัวนำ สิ่งที่หลอมเหลวดังกล่าวถูกบรรจุอยู่ในเบ้าหลอมภายในบริเวณที่มีการก่อ

ตัวของผลึก ที่ซึ่งอย่างน้อยที่สุดหนึ่งส่วนประกอบคอมโพสิตความบริสุทธิ์สูงดังกล่าวเป็นเกราะกำบัง

ความร้อนติดตั้ง โดยแผ่รัศมีไปทางข้างนอกของอย่างน้อยที่สุดหนึ่งส่วนประกอบให้ความร้อนและ

บริเวณที่มีการก่อตัวของผลึกดังกล่าว และอย่างน้อยที่สุดส่วนประกบคอมโพสิตความบริสุทธิ์สูงที่สอง

เป็นตัวกันกระเทือนเบ้าหลอมที่รองรับเบ้าหลอมดังกล่าวอย่างใกล้ชิดกัน

42. กรรมวิธีในการก่อตัวของผลึกแบบโซลชาลสกีเพื่อดึงแท่งโลหะสารกึ่งตัวนำจากสิ่งที่

หลอมเหลวสารกึ่งตัวนำ ซึ่งรวมถึง

การจัดให้มีสิ่งที่หลอมเหลววัสดุสารกึ่งตัวนำในเบ้าหลอมที่ทำจากแร่ควอท์ซ และ

การรองรับเบ้าหลอมอย่างใกล้ชิดกันด้วยตัวกันกระเทือนเบ้าหลอมที่ประกอบด้วยคอม

โพสิตมาตรฐานของสารกึ่งตัวนำที่มีความบริสุทธิ์สูงของเมทริกซ์คาร์บอนที่ถูกเสริมด้วยเส้นใยคาร์บอน

ที่มีระดับของสิ่งเจือปนที่เป็นโลหะทั้งหมดต่ำกว่าประมาณ 5 ส่วนต่อล้านสำหรับโลหะ Ag,,Al, Ba, Be,

Ca, Cd, Co, Cr, Cu, K, Mg, Mn, Mo, Na, Ni, P, Pb, Sr, V และ Zn

ที่ซึ่งเส้นใยคาร์บอนถูกเลือกมาจากกลุ่มที่ประกอบด้วยเส้นใย เสื้อผ้า ผ้าที่ถูกทอ

เส้นด้าน และเทป

คอมโพสิตความบริสุทธิ์สูงมีความต้านทานแรงดึงสูงสุดประมาณ 25 ถึงประมาณ 100

ksi และแรงดึงมอดุลัสประมาณ 3 ถึงประมาณ 30 msi และมีความแข็งแรงต่อการโค้งงอประมาณ 15 ถึง

ประมาณ 60 ksi และความทนทานต่อการอักประมาณ 10 ถึงประมาณ 50 ksi

43. กรรมวิธีตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 42 ที่ซึ่งแท่งโลหะสารกึ่งตัวนำคือ แท่งซิลิคอน

รวมถึงการตัดแท่งซิลิคอนให้เป็นซิลิคอนเวเฟอร์ และยังคงรวมถึงการจัดให้ซิลิคอนเวเฟอร์ดังกล่าวมี

เวลาเบรคดาว์นทางไฟฟ้ามากกว่า 300 ไมโครเซกัน

44. กรรมวิธีตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 42 ที่ซึ่งสารกึ่งตัวนำถูกเลือกมาจากหมู่ที่ประกอบด้วย

ซิลิคอน และแกลเลียมอาร์เซไนด์

45. กรรมวิธีในการก่อตัวของผลึกแบบโซชาลสกีเพื่อดึงแท่งโลหะสารกึ่งตัวนำขึ้นจากสิ่งที่

หลอมเหลววัสดุสารกึ่งตัวนำซึ่งรวมถึง

การจัดให้สิ่งที่หลอมเหลววัสดุสารกึ่งตัวนำในบริเวณที่มีการดึงยกผลึกซึ่งซึ่งสัมผัสทางความร้อน

กับอย่างน้อยหนึ่งส่วนประกอบให้ความร้อน และติดตั้งโดยแผ่รัศมีไปทางข้างนอกของบริเวณที่ดึงยก

ผลึกดังกล่าว และอย่างน้อยที่สุดหนึ่งส่วนประกอบให้ความร้อนดังกล่าว เกราะกำบังความร้อน

ประกอบด้วยคอมโพสิตมาตรฐานของสารกึ่งตัวนำที่มีความบริสุทธิสูงของเมทริกซ์คาร์บอนที่ถูกเสริม

ด้วยเส้นใยคาร์บอนที่มีระดับของสิ่งเจือปนที่เป็นโลหะทั้งหมดต่ำกว่าประมาณ 5 ส่วนต่อล้านสำหรับ

โลหะ Ag,,Al, Ba, Be, Ca, Cd, Co, Cr, Cu, Fe, K, Mg, Mn, Mo, Na, Ni, P, Pb, Sr, V และ Zn

ที่ซึ่งเส้นใยคาร์บอนถูกเลือกมาจากกลุ่มที่ประกอบด้วย เส้นใย เสื้อผ้า ผ้าที่ถูกทอ

เส้นด้าย และเทป

คอมโพสิตความบริสุทธิ์สูงมีความต้านทานแรงดึงสูงสุดประมาณ 25 ถึงประมาณ 100

ksi และแรงดึงมอดุลัสประมาณ 3 ถึงประมาณ 30 msi และมีความแข็งแรงต่อการโค้งงอประมาณ 15 ถึง

ประมาณ 60 ksi และความทนทานต่อการอัดประมาณ 10 ถึงประมาณ 50 ksi

46. กรรมวิธีตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 45 ที่ซึ่งแท่งโลหะสารกึ่งตัวนำคือ แท่งซิลิคอน

รวมถึงการตัดแท่งซิลิคอนให้เป็นซิลิคอนเวเฟอร์ และยังคงรวมถึงการจัดให้ซิลิคอนเวเฟอร์ดังกล่าวมี

เวลาเบรคดาว์นทางไฟฟ้ามากกว่า 300 ไมโครเซกัน

47. กรรมวิธีตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 45 ที่ซึ่งสารกึ่งตัวนำถูกเลือกมาจากหมู่ที่ประกอบด้วย

ซิลิคอน และแกลเลียมอาร์เซไนด์

48. กรรมวิธีในการก่อตัวของผลึกแบบโซลชาลสกีเพื่อดึงแท่งโลหะสารกึ่งตัวนำขึ้นจากสิ่งที่

หลอมเหลววัสดุสารกึ่งตัวนำ รวมถึงการจัดให้มีสิ่งที่หลอมเหลววัสดุกึ่งตัวนำในเบ้าหลอมที่ทำจาก

แร่ควอท์ซ ที่ซึ่งเบ้าหลอมที่ทำจากแร่ควอท์ซถูกแยกออกจากแหล่งสิ่งปนเปื้อนโดยอย่างน้อยที่สุดหนึ่ง

ส่วนประกอบคอมโพสิตคาร์บอน/คาร์บอนที่มีความบริสุทธิ์สูงประกอบด้วยคอมโพสิตมาตรฐานของ

สารกึ่งตัวนำที่มีความบริสุทธิสูงของเมทริกซ์คาร์บอนที่ถูกเสริมด้วยเส้นใยคาร์บอนที่มีระดับของ

สิ่งเจือปนที่เป็นโลหะทั้งหมดต่ำกว่าประมาณ 5 ส่วนต่อล้านสำหรับโลหะ Ag,,Al, Ba, Be, Ca, Cd, Co,

Cr, Cu, Fe, K, Mg, Mn, Na, Ni, P, Pb, Sr, Vและ Zn

ที่ซึ่งเส้นใยคาร์บอนถูกเลือกมาจากกลุ่มที่ประกอบด้วยเส้นใย เสื้อผ้า ผ้าที่ถูกทอ

เส้นด้าย และเทป

คอมโพสิตความบริสุทธิ์สูงมีความต้านทานแรงดึงสูงสุดประมาณ 25 ถึงประมาณ 100

ksi และแรงดึงมอดุลัสประมาณ 3 ถึงประมาณ 30 msi และมีความแข็งแรงต่อการโค้งงอประมาณ 15 ถึง

ประมาณ 60 ksi และความทนทานต่อการอัดประมาณ 10 ถึงประมาณ 50 ksi

49. กรรมวิธีตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 48 ที่ซึ่งส่วนประกอบถูกเลือกมาจากกลุ่มที่

ประกอบด้วย ตัวกันกระเทือนเบ้าหลอม เกราะกำบังความร้อนในเตาหลอม และ ท่อบุในเตาหลอม

50. กรรมวิธีตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 49 ที่ซึ่งสารกึ่งตัวนำถูกเลือกมาจากหมู่ที่ประกอบด้วย

ซิลิคอน และแกลเลียมอาร์เซไนด์

51. กรรมวิธีตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 50 ที่ซึ่งส่วนประกอบรวมถึง อย่างน้อยที่สุดหนึ่งตัว

กันกระเทือนเบ้าหลอมดังกล่าว และอย่างน้อยที่สุดหนึ่งอย่างของเกราะกำบังความร้อนในเตาหลอม

ดังกล่าว และ ท่อบุในเตาหลอมดังกล่าว

52. กรรมวิธีในการก่อตัวของผลึกแบบโซลชาลสกีเพื่อดึงแท่งโลหะสารกึ่งตัวนำขึ้นจากสิ่งที่

หลอมเหลววัสดุซิลิคอนสารกึ่งตัวนำรวมถึงการจัดให้มีสิ่งที่หลอมเหลววัสดุสารกึ่งตัวนำในเบ้าหลอมที่

ทำจากแร่ควอท์ซ ที่ซึ่งเบ้าหลอมที่ทำจากแร่คอวท์ซถูกแยกออกจากแหล่งสิ่งปนเปื้อน โดยอย่างน้อยที่สุด

ส่วนประกอบคอมโพสิตมาตรฐานของสารกึ่งตัวนำที่มีความบริสุทธิ์สูงของเมทริกซ์คาร์บอนที่ถูก

เสริมแรงด้วยเส้นใยคาร์บอนที่มีระดับของสิ่งเจือปนที่เป็น โลหะทั้งหมดต่ำกว่าประมาณ 5 ส่วนต่อล้าน

สำหรับโลหะ Ag,,Al, Ba, Be, Ca, Cd, Co, Cr, Cu, Fe, K, Mg, Mn, Mo, Na, Ni, P, Pb, Sr, V และ Zn ที่

สามารถให้ผลได้มากกว่า 68 เปอร์เซ็นต์ของซิลิคอนสารกึ่งตัวนำเฟอร์ที่มีโครงสร้างที่ดี

ที่ซึ่งเส้นใยคาร์บอนถูกเลือกมาจากกลุ่มที่ประกอบด้วยเส้นใย เสื้อผ้า ผ้าที่ถูกทอ

เส้นด้าย และเทป

คอมโพสิตความบริสุทธิ์สูงมีความต้านทานแรงดึงสูงสุดประมาณ 25 ถึงประมาณ 100

ksi และแรงดึงมอดุลัสประมาณ 3 ถึงประมาณ 30 msi และมีความแข็งแรงต่อการโค้งงอประมาณ 15 ถึง

ประมาณ 60 ksi และความทนทานต่อการอัดประมาณ 10 ถึงประมาณ 50 ksi

53. กรรมวิธีตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 52 ที่ซึ่งส่วนประกอบถูกเลือกจากกลุ่มที่ประกอบด้วย

ตัวกันกระเทือนเบ้าหลอม เกราะกำบังความร้อนในเตาหลอม และ ท่อบุในเตาหลอม

54. ส่วนประกอบของเตาหลอมที่มีกรรมวิธีแบบโซลชาลสกีที่ประกอบด้วย คอมโพสิตมาตรฐาน

ของสารกึ่งตัวนำที่มีความบริสุทธิ์สูงที่ประกอบด้วย เมทริกซ์คาร์บอนที่ถูกเสริมด้วยเส้นใยคาร์บอนที่มี

ความบริสุทธิ์สูงที่มีระดับของสิ่งเจือปนที่เป็นโลหะทั้งหมดต่ำกว่าประมาณ 5 ส่วนต่ำล้านสำหรับโลหะ

Ag,,Al, Ba, Be, Ca, Cd, Co, Cr, Cu, Fe, K, Mg, Mn, Mo, Na, Ni, P, Pb, Sr, Vและ Zn และแสดงการ

เคลื่อนย้ายสิ่งเจือปนของโลหะที่ถูกเลือก Al, Ca, Cr, Cu, Fe, K, Mg, Mn, Mo, Na, Ni, P และ V ไปยัง

ซิลิคอนที่อุณหภูมิ 550 ํC ของการเคลื่อนย้ายสิ่งเจือปนน้อยกว่าประมาณหนึ่งเปอร์เซ็นต์ของโลหะที่ถูก

เลือกดังกล่าวสำหรับส่วนประกอบกราไฟต์ที่ตรงกันซิลิคอน

ที่ซึ่งเส้นใยคาร์บอนถูกเลือกมาจากกลุ่มที่ประกอบด้วยเส้นใย เสื้อผ้า ผ้าที่ถูกทอ

เส้นด้าย และเทป

คอมโพสิตความบริสุทธิ์สูงมีความต้านทานแรงดึงสูงสุดประมาณ 25 ถึงประมาณ 100

ksi และแรงดึงมอดุลัสประมาณ 3 ถึงประมาณ 30 msi และมีความแข็งแรงต่อการโค้งงอประมาณ 15 ถึง

ประมาณ 60 ksi และความทนทานต่อการอัดประมาณ 10 ถึง 50 ksi