TH57393A - วิธีการสำหรับการวัดความเข้มข้นของไนโตรเจนในอาร์กอนโดยวิถีทางของสเปคโตรเมตรี การเคลื่อนที่ทำให้แตกเป็นไอออน - Google Patents

Abstract

DC60 (03/01/45) วิธีการสำหรับการดำเนินการวิเคราะห์ไนโตรเจนโดยสเปคโตรสโคปี การเคลื่อนที่โดยการ แตกเป็นไอออน, ที่ความเข้มข้นเท่ากับสองสามส่วนต่อพันล้านส่วน (ppb) ในอาร์กอนถูกอธิบาย, วิธีการเกี่ยวข้องกับการเพิ่มเข้าของไฮโดรเจนในความเข้มข้นอย่างน้อยที่สุด 5 ppb และต่ำกว่า 100 ส่วนต่อล้านส่วน (ppm) ลงในอาร์กอนถูกวิเคราะห์, ขั้นตอนการเพิ่มเข้าของไฮโดรเจน อาจถูกนำมาก่อนโดยปฏิบัติการทำให้บริสุทธิ์ของสารไหลของอาร์กอน, เพื่อลดความเข้มข้นทั้งหมด ของสิ่งเจือปนนอกจากไนโตรเจนต่ำกว่า 1 ppb วิธีการสำหรับการดำเนินการวิเคราะห์ไนโตรเจนโดยสเปคโตรสโคปี การเคลื่อนที่โดยการ แตกเป็นไอออน, ที่ความเข้มข้นเท่ากับสองสามส่วนต่อพันล้านส่วน (ppb) ในอาร์กอนถูกอธิบาย, วิธีการเกี่ยวข้องกับการเพิ่มเข้าของไฮโดรเจนในความเข้มข้นอย่างน้อยที่สุด 5 ppb และต่ำกว่า 100 ส่วนต่อล้านส่วน (ppm) ลงในอาร์กอนถูกวิเคราะห์, ขั้นตอนการเพิ่มเข้าของไฮโดรเจน อาจถูกนำมาก่อนโดยปฏิบัติการทำให้บริสุทธิ์ของสารไหลของอาร์กอน, เพื่อลดความเข้มข้นทั้งหมด ของสิ่งเจือปนนอกจากไนโตรเจนต่ำกว่า 1 ppb

Claims (18)

1. วิธีการสำหรับการวัดความเข้มข้นไนโตรเจนในอาร์กอนโดยวิถีทางของสเปคโตรสโคปี การเคลื่อนที่ทำให้แตกเป็นไอออน ซึ่งประกอบรวมด้วยขั้นตอนของ : - การจัดให้มีการไหลของอาร์กอนถูกวิเคราะห์โดยความเข้มข้นทั้งหมดของสิ่งเจือปน นอกจากไนโตรเจนไม่สูงกว่าประมาณ 1 ppb; - การเพิ่มเติมไฮโดรเจนไปสู่สารไหลของอาร์กอนดังกล่าวในปริมาณเพื่อได้ความเข้มข้น ของไฮโดรเจนในตัวอย่างถูกวิเคราะห์ประกอบรวมด้วยระหว่าง 0.005 และ 100 ส่วนต่อล้านส่วน โดยปริมาตร; และ - การวิเคราะห์ของผสมของก๊าซที่ผลิตได้ด้วยเครื่องวิเคราะห์ IMS

2. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่ 1 โดยอาร์กอนไหลโดยมีความเข้มข้นทั้งหมดของสิ่งเจือปน นอกจากไนโตรเจนไม่สูงกว่าประมาณ 1 ppb ถูกจัดให้มีโดยการผ่านสารไหลดังกล่าวผ่านอุปกรณ์ ทำให้บริสุทธิ์หรือระบบถูกสร้างจากอุปกรณ์ทำให้บริสุทธิ์หลายอุปกรณ์หรือเบดการทำให้บริสุทธิ์ หลายเบด

3. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่ 1 โดยอาร์กอนไหลโดยมีความเข้นข้นทั้งหมดของสิ่งเจือปน นอกจากไนโตรเจนไม่สูงกว่าประมาณ 1 ppb ถูกจัดให้มีโดยการมีผลต่อการวิเคราะห์ IMS ขั้นต้น ของสารไหลอาร์กอนเพื่อหาว่าความเข้มข้นทั้งหมดดังกล่าวของสิ่งเจือปนสูงขึ้นกว่า 1 ppb, และ ถ้าความเข้มข้นทั้งหมดดังกล่าวสูงกว่า 1 pbb, การผ่านสารไหลอาร์กอนผ่านอุปกรณ์ทำให้บริสุทธิ์ หรือระบบถูกสร้างจากอุปกรณ์ทำให้บริสุทธิ์หลายอุปกรณ์หรือเบดการทำให้บริสุทธิ์หลายเบด, ขณะที่ถ้าความเข้มข้นทั้งหมดดังกล่าวไม่สูงกว่า 1 ppb, มีผลโดยตรงต่อการเพิ่มเข้าของไฮโดรเจน ไปสู่สารไหลอาร์กอน

4. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่ 3 ปฏิบัติการตามโหมดป้อนกลับ, โดยการเชื่อมต่ออุปกรณ์ วัด IMS เข้ากับวิถีทางอัตโนมัติ โดยที่, ขึ้นอยู่กับผลที่ออกมาของการวิเคราะห์ขั้นต้น, สามารถควบคุม ทิศทางของสารไหลของก๊าซในอย่างน้อยที่สุดสองท่อแตกต่างกันของระบบท่อก๊าซ, โดยอย่างน้อย ที่สุดหนึ่งในท่อดังกล่าวประกอบรวมด้วยอุปกรณ์ทำให้บริสุทธิ์ของก๊าซหรือระบบการทำให้บริสุทธิ์ และอย่างน้อยที่สุดอีกท่อหนึ่งไม่ประกอบรวมด้วยอุปกรณ์ทำให้บริสุทธิ์ดังกล่าวหรือระบบ การทำให้บริสุทธิ์

5. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่ 1 โดยปริมาณสิ่งเจือปนดังกล่าวหมายถึงต่ำกว่า 0.1 ppb

6. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่ 1 โดยขั้นตอนในการทำให้บริสุทธิ์กระทำโดยการใช้อุปกรณ์ ทำให้บริสุทธิ์มีพื้นฐานของโลหะนิคเกิลถูกรักษาที่อุณหภูมิห้อง

7. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่ 6 โดยอุปกรณ์ทำให้บริสุทธิ์ประกอบรวมด้วยนิคเกิล โลหะแขวนลอยบนตัวรองรับมีรูพรุน

8. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่ 6 โดยที่ส่วนต้นอุปกรณ์ทำให้บริสุทธิ์มีพื้นฐานของ นิคเกิลโลหะถูกใช้ด้วยเบดของแพลเลเดียมออกไซด์ถูกรักษาที่อุณหภูมิระหว่างประมาณ 200 ํซ และ 400 ํซ

9. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่ 6 โดยที่ส่วนต้นอุปกรณ์ทำให้บริสุทธิ์มีพื้นฐานของ นิคเกิลโลหะถูกใช้ด้วยวัสดุเบดสามารถดูดซับไอน้ำที่อุณหภูมิห้อง

10. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่ 9 โดยวัสดุดูดซับน้ำดังกล่าวหมายถถึง โมเลกูลาร์ซีพ

11. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่ 1 โดยความเข้มข้นของไฮโดรเจนในตัวอย่างถูกวิเคราะห์ หมายถึง ต่ำกว่าประมาณ 0.2 ppm

12. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่ 11 โดยความเข้มข้นดังกล่าวหมายถึง ประมาณ 0.1 ppm

13. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่ 1 โดยขั้นตอนของการเพิ่มเข้าไฮโดรเจนลงในตัวอย่าง ของก๊าซบริสุทธิ์กระทำโดยการผสมในอัตราส่วนเหมาะสมด้วยการไหลของก๊าซตัวอย่างบริสุทธิ์ และการไหลของของผสมไฮโดรเจน/อาร์กอนหรือของผสมไฮโดรเจน/ฮีเลียม

14. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่ 13 โดย, เมื่ออัตราส่วนระหว่างการไหลของอาร์กอน ถูกวิเคราะห์และการไหลของของผสมไฮโดรเจน/อาร์กอนหรือของผสมไฮโดรเจน/ฮีเลียมหมายถึง ต่ำกว่า 1000, ของผสมดังกล่าวถูกทำให้บริสุทธิ์ด้วยระบบของการแยกน้ำออก

15. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่ 14 โดยโมเลกูลาร์ซีพหรืออกไซด์ของโลหะอัลคาไลเอิร์ธ ถูกเลือกท่ามกลางแคลเซียม, สตรอนเทียมหรือแบเรียมถูกใช้ในระบบดังกล่าวของการแยกน้ำออก

16. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่ 1 โดยขั้นตอนของการเพิ่มเข้าของไฮโดรเจนลงในตัวอย่าง ของก๊าซบริสุทธิ์กระทำโดยการไหลของอาร์กอนหรือฮีเลียมบนโลหะผสมเกทเทอร์ไม่ระเหย ถูกไฮโดรจีเนตถูกรักษาที่อุณหภูมิเหมาะสม, และการเพิ่มเข้าของของผสมที่ได้ของไฮโดรเจนในก๊าซ มีตระกูลลงในของผสมก๊าซถูกวิเคราะห์

17. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อใดข้อหนึ่งก่อนข้อนี้ โดยขั้นตอนการวิเคราะห์กระทำโดยการ กำหนดในโซนการแยกของอุปกรณ์วัด IMS ด้วยการไหลของอาร์กอนบริสุทธิ์ตรงกันข้ามกับทิศทาง ของการเคลื่อนที่ของไอออน

18. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ถึง 16 ข้อใดข้อหนึ่ง โดยขั้นตอนการวิเคราะห์กระทำ โดยการใช้อาร์กอนสถิตย์ในโซนการแยกของอุปกรณ์วัด IMS