TH52898B

TH52898B - ซับสเตรตแก้วสำหรับตัวกลางบันทึกข้อมูล

Info

Publication number: TH52898B
Application number: TH801001623A
Authority: TH
Inventors: ทาคาฮาชิ นายโคจิ; วาทานาเบ นายทสึโยชิ; ทาคาโน นายมาซาโอ
Original assignee: นางดารานีย์ วัจนะวุฒิวงศ์; นางสาวสนธยา สังขพงศ์; นายธเนศ เปเรร่า; นายโรจน์วิทย์ เปเรร่า; โฮยา คอร์ปอเรชั่น
Filing date: 1997-12-25
Publication date: 2016-12-15

Abstract

DC60 ในตัวกลางบันทึกทางแม่เหล็ก, ความหยาบผิวหน้าของซับสเตรตแก้ว และการแปรเปลี่ยนของ ความหยาบผิวหน้าที่ได้รับการยับยั้ง โดยกล่าวคือ ความหยาบผิวหน้า (Rmax, Ra, Rq) และความสัมพันธ์ (Rmax/Ra) ระหว่าง Rmax และ Ra ที่ถูกจำกัดโดย Ra แสดงให้เห็นความหยาบเฉลี่ยแบบแนวตรงกลาง Rmax ที่ ได้รับการกำหนดตามความสูงสูงสุด ที่แสดงให้เห็นความแตกต่างระหว่างจุดสูงสุด และจุดต่ำสุดและ Rq แสดง ให้เห็นความหยาบรากกำลังสองเฉลี่ย ด้วยเหตุนี้ เม็ดขนาดเล็กของผลึกของชิ้นวางที่อยู่ด้านล่าง และชั้นแม่เหล็ก ที่ถูกสร้างให้เท่ากันไว้บนนั้น ความหยาบผิวหน้าถูกกำหนดเฉพาะโดย Rmax น้อยกว่าหรือเท่ากับ 15nm, Raจำน้อยกว่าหรือเท่ากับ1 nm และ Rqน้อยกว่าหรือเท่ากับ 1.5 nm และอัตราส่วนระหว่างความหยาบผิวหน้า Rmax และความหยาบผิวหน้า Ra อยู่ในช่วง 10-30 ในตัวกลางบันทึกทางแม่เหล็ก, ความหยาบผิวหน้าของซับสเตรตแก้ว และการแปรเปลี่ยนของ ความหยาบผิวหน้าที่ได้รับการยับยั้ง โดยกล่าวคือ ความหยาบผิวหน้า (Rmax, Ra, Rq) และความสัมพันธ์ (Rmax/Ra) ระหว่าง Rmax และ Ra ที่ถูกจำกัดโดย Ra แสดงให้เห็นความหยาบเฉลี่ยแบบแนวตรงกลาง Rmax ที่ ได้รับการกำหนดตามความสูงสูงสุด ที่แสดงให้เห็นความแตกต่างระหว่างจุกสูงสุด และจุดต่ำสุดและ Rq แสดง ให้เห็นความหยาบรากกำลังสองเฉลี่ย ด้วยเหตุนี้ เม็ดขนาดเล็กของผลึกของชิ้นวางที่อยู่ด้านล่าง และชั้นแม่เหล็ก ที่ถูกสร้างให้เท่ากันไว้บนนั้น ความหยาบผิวหน้าถูกกำหนดเฉพาะโดย Rmax (สูตร) 12nm, Ra(สูตร) 1 nm และ Rq(สูตร) 1.5 nm และอัตราส่วนรหว่างความหยาบผิวหน้า Rmax และความหยาบผิวหน้า Ra อยู่ในช่วง 10-30

Claims

แก้ไข 22/8/2559 1. สื่อบันทึกแม่เหล็กที่มีอย่างน้อยชั้นแม่เหล็กฟิล์มบางบนซับสเตรตแก้ว โดยที่ ซับสเตรตแก้วดังกล่าวมีความหยาบของผิวหน้า Ra, Rmax, และ Rq โดยที่ Ra แทนความหยาบเฉลี่ยแบบแนวเส้นตรงกลาง Rmax ถูกนิยามเป็นค่าแทน ความสูงมากสุดของความแตกต่างระหว่างจุดสูงสุดและจุดต่ำสุดและ Rq แทนความหยาบแบบราก ของกำลังสองเฉลี่ย ความหยาบของผิวหน้าที่ถูกวัดโดยกล้องจุลทรรศน์กำลังระหว่างอะตอมถูกกำหนดโดย Rmax (สูตร) 15 nm, Ra (สูตร) 1 nm และ Rq (สูตร) 1.5 nm อัตราส่วนระหว่างความหยาบของผิวหน้า Rmax และความหยาบของผิวหน้า Ra ถูก กำหนดโดย 10 (สูตร) Rmax/Ra (สูตร) 30 2. สื่อบันทึกแม่เหล็กดังขอถือสิทธิในข้อ 1 โดยที่ ความหยาบของผิวหน้าถูกกำหนดโดย Rmax (สูตร) 10 mm, Ra (สูตร) 0.5 nm, Rq (สูตร) 0.7 nm 3. สื่อบันทึกแม่เหล็กดังขอถือสิทธิในข้อ 1 โดยที่ ความหยาบของผิวหน้าถูกกำหนดโดย Rmax (สูตร) 5 mm, Ra (สูตร) 0.3 nm, Rq (สูตร) 0.4 nm 4. สื่อบันทึกแม่เหล็กดังขอถือสิทธิในข้อ 1 โดยที่ ฟิล์มบางดังกล่าวประกอบด้วยเม็ดขนาดเล็กของผลึกรูปแบบเดียวกันอย่างเป็นสำคัญโดย การควบคุมความหยาบของผิวหน้าของสับสเตรตแก้วดังกล่าว และ ชั้นแม่เหล็กดังกล่าวมีขนาดเม็ดขนาดเล็กของผลึกตกอยู่ภายในช่วงระหว่าง 5 และ 30 nm 5. สื่อบันทึกแม่เหล็กดังขอถือสิทธิในข้อ 4 โดยที่ ชั้นด้านล่างถูกก่อรูประหว่างซับสเตรตแก้วดังกล่าวและชั้นแม่เหล็กดังกล่าว ชั้นด้านล่างดังกล่าวมีเม็ดขนาดเล็กของผลึก และ ชั้นแม่เหล็กดังกล่าวถูกก่อรูปโดยมีเงื่อนไขว่าสถานะของเม็ดขนาดเล็กของผลึกถูก สะท้อนโดยตรง 6. สื่อบันทึกแม่เหล็กดังขอถือสิทธิในข้อ 5 โดยที่ ชั้นด้านล่างดังกล่าวและชั้นแม่เหล็กดังกล่าวในฟิล์มบางดังกล่าวถูกสะสมโดยสปัตเตอริง 7. สื่อบันทึกแม่เหล็กดังขอถือสิทธิในข้อ 6 โดยที่ รูปแบบเดียวกันของเม็ดขนาดเล็กของผลึกดังกล่าวของฟิล์มบางดังกล่าวถูกกำหนดตาม การกระจายของขนาดของเม็ดขนาดเล็กของผลึกใน 1 ตาราง(สูตร)m และความกว้างแถบครึ่งหนึ่งของจุด ในที่ซึ่งขนาดเม็ดขนาดเล็กของผลึกถูกกระจายอยู่ที่ 20 nm หรือน้อยกว่า ----------------------------------------------------------------------------------

1. ซับสเตรตแก้วซึ่งเป็นสำหรับใช้ในจานบันทึกแม่เหล็กและซึ่งมีความหยาบของผิวหน้า Ra, Rmax และ Rq ที่ซึ่ง Ra แสดงให้เห็นความหยาบเฉลี่ยแบบแนวเส้นตรงกลาง,Emax ถูกกำหนดเป็นความสูง มากสุดซึ่งแสดงให้เห็นความแตกต่างระหว่างจุดสูงสุดและจุดต่ำสุดและ Rq แสดงให้เห็นความหยาบแบบ รากของกำลังสองเฉลี่ย ที่ซึ่ง ความหยาบของผิวหน้าถูกกำหนดโดย Rmax(สูตร)15 nm, Ra(สูตร)1 nm และ Rq(สูตร)1.5 nm

2. ตัวกลางบันทึกทางแม่เหล็ก ดังที่ขอถือสิทธิในข้อถือสิทธิ 1 ที่ซึ่ง ความ หยาบของผิวหน้าถูกกำหนดโดย Rmax(สูตร) 10 nm, Ra(สูตร)0.5 nm,Rq(สูตร)0.7 nm

3. ตัวกลางบันทึกทางแม่เหล็ก ดังที่ขอถือสิทธิในข้อถือสิทธิ 1 ที่ซึ่ง ความ หยาบของผิวหน้าถูกกำหนดโดย Rmax(สูตร) 5 nm, Ra(สูตร)0.3 nm,Rq(สูตร)0.4 nm

4. ตัวกลางบันทึกทางแม่เหล็ก ดังที่ขอถือสิทธิในข้อถือสิทธิ 1 ที่ซึ่ง ฟิล์มบางดังกล่าวถูกประกอบด้วยเม็ดขนาดเล็กของผลึกรูปแบบเดียวกันอย่าง เป็นสำคัญโดยการควบคุมความหยาบของผิวหน้าของซับเตรตแก้ว และ ชั้นแม่เหล็กดังกล่าวมีขนาดเม็ดขนาดเล็กของผลึกตกอยู่ภายในช่วงระหว่าง 5 และ 30 nm.

5. ตัวกลางบันทึกทางแม่เหล็ก ดังที่ขอถือสิทธิในข้อถือสิทธิ 4 ที่ซึ่ง ชั้นด้านล่างถูกทำให้เกิดขึ้นระหว่างซับเตรตแก้วดังกล่าว และชั้นแม่เหล็ก ดังกล่าว ชั้นด้านล่างดังกล่าวมีเม็ดขนาดเล็กของผลึก และ ชั้นแม่เหล็กดังกล่าวถูกทำให้เกิดขึ้นบนเงื่อนไขที่สภาพของเม็ดขนาดเล็กของ ผลึกถูกสะท้อนกลับอย่างโดยตรง

6. ตัวกลางบันทึกทางแม่เหล็ก ดังที่ขอถือสิทธิในข้อถือสิทธิ 5 ที่ซึ่ง ชั้นด้านล่างดังกล่าวและชั้นแม่เหล็กดังกล่าวอยู่ในฟิล์มบางดังกล่าวที่ถูก สะสมโดยการฉีดพ่น

7. ตัวกลางบันทึกทางแม่เหล็ก ดังที่ขอถือสิทธิในข้อถือสิทธิ 6 ที่ซึ่ง การทำให้เป็นรูปแบบเดียวกันของเมล็ดขนาดเล็กของผนึกดังกล่าวของฟิล์มบางดังกล่าว ถูกกำหนดด้วยความสัมพันธ์กับการกระจายของขนาดเมล็ดของผลึกอยูาในพื้นที่ของ 1 (สูตร)m และ แถบ ความกว้างครึ่งหนึ่งของจุดในที่ซึ่งขนาดเม็ดขนาดเล็กของผลึกถูกกระจายอยู่ที่ 20 nm หรือน้อยกว่า