TH32290A

TH32290A - ซับสเตรตแก้วสำหรับตัวกลางบันทึกข้อมูล

Info

Publication number: TH32290A
Application number: TH9701005368A
Authority: TH
Inventors: ทาคาฮาชิ นายโคจิ; วาทานาเบ นายทสึโยชิ; ทาคาโน นายมาซาโอ
Original assignee: นายปรารถนา อุบลสุวรรณ; นายวินยาธกร ใจเอก; โฮยา คอร์ปอเรชั่น
Filing date: 1997-12-25
Publication date: 1999-02-25

Abstract

DC60 ในตัวกลางบันทึกทางแม่เหล็ก, ความหยาบผิวหน้าของซับสเตรตแก้ว และการแปรเปลี่ยนของ ความหยาบผิวหน้าที่ได้รับการยับยั้ง โดยกล่าวคือ ความหยาบผิวหน้า (Rmax, Ra, Rq) และความสัมพันธ์ (Rmax/Ra) ระหว่าง Rmax และ Ra ที่ถูกจำกัดโดย Ra แสดงให้เห็นความหยาบเฉลี่ยแบบแนวตรงกลาง Rmax ที่ ได้รับการกำหนดตามความสูงสูงสุด ที่แสดงให้เห็นความแตกต่างระหว่างจุดสูงสุด และจุดต่ำสุดและ Rq แสดง ให้เห็นความหยาบรากกำลังสองเฉลี่ย ด้วยเหตุนี้ เม็ดขนาดเล็กของผลึกของชั้นวางที่อยู่ด้านล่าง และชั้นแม่เหล็ก ที่ถูกสร้างให้เท่ากันไว้บนนั้น ความหยาบผิวหน้าถูกกำหนดเฉพาะโดย Rmax น้อยกว่าหรือเท่ากับ 15 nm, Ra น้อยกว่าหรือเท่ากับ 1 nm และ Rq น้อยกว่าหรือเท่ากับ 1.5 nm และอัตราส่วนระหว่างความหยาบผิวหน้า Rmax และความหยาบผิวหน้า Ra อยู่ในช่วง 10 -30 ในตัวกลางบันทึกทางแม่เหล็ก, ความหยาบผิวหน้าของซับสเตรตแก้ว และการแปรเปลี่ยนของ ความหยาบผิวหน้าที่ได้รับการยับยั้ง โดยกล่าวคือ ความหยาบผิวหน้า (Rmax Ra, Rq) และความสัมพันธ์ (Rmax/Ra) ระหว่าง Rmax และ Ra ที่ถูกจำกัดโดย Ra แสดงให้เห็นความหยาบเฉลี่ยแบบแนวตรงกลาง Rmax ที่ ได้รับการกำหนดตามความสูงสูงสุด ที่แสดงให้เห็นความแตกต่างระหว่างจุดสูงสุด และจุดต่ำสุดและ Rq แสดง ให้เห็นความหยาบรากกำลังสองเฉลี่ย ด้วยเหตุนี้ เม็ดขนาดเล็กของผลึกของชั้นวางที่อยู่ด้านล่าง และชั้นแม่เหล็ก ที่ถูกสร้างให้เท่ากันไว้บนนั้น ความหยาบผิวหน้าถูกกำหนดเฉพาะโดย Rmax น้อยกว่าหรือเท่ากับ 15 nm, Ra น้อยกว่าหรือเท่ากับ 1 nm และ Rq น้อยกว่าหรือเท่ากับ 1.5 nm และ อัตราส่วนระหว่างความหยาบผิวหน้า Rmax และความหยาบผิวหน้า Ra อยู่ในช่วง 10-30

Claims

1. ซับสเตรทแก้วที่ซึ่งสำหรับใช้ในตัวกลางบันทึกข้อมูลและที่ซึ่งมีความหยาบของ ผิวหน้า Ra, Rmax และ Rq โดยที่ซึ่ง Ra แสดงให้เห็นได้เป็นความหยาบเฉลี่ยแบบแนวเส้นตรง กลาง, Rmax ถูกกำหนดให้เป็นความสูงมากสุดที่แสดงให้เห็นได้ถึงความแตกต่างระหว่างจุดสูงสุด และจุดต่ำสุด และ Rq แสดงให้เห็นได้เป็นความหยาบแบบรากของกำลังสองเฉลี่ย ที่ซึ่ง ความหยาบของผิวหน้าถูกกำหนดโดย Rmax น้อยกว่าหรือเท่ากับ 15 nm, Ra น้อยกว่าหรือเท่ากับ 1 มม. และ Rq น้อยกว่าหรือเท่ากับ 1.5 nm. Rmax/Ra ตกอยู่ภายในช่วงระหว่าง 10 และ 30 และความหยาบของผิวหน้าจะถูกวัด โดยไมโครสโคปชนิดแรงระหว่างอะตอม

2. ซับสเตรทแก้ว ดังที่ขอถือสิทธิไว้ในข้อถือสิทธิ 1 ที่ซึ่ง ความหยาบของผิวหน้าถูก กำหนดไว้โดย Rmax น้อยกว่าหรือเท่ากับ 10nm, Ra น้อยกว่าหรือเท่ากับ 0.5 nm. และ Rq น้อยกว่าหรือเท่ากับ 0.7 nm.

3. ซับสเตรทแก้ว ดังที่ขอถือสิทธิไว้ในข้อถือสิทธิ 1 ที่ซึ่ง ความหยาบของผิวหน้า ถูก กำหนดไว้โดย Rmax น้อยกว่าหรือเท่ากับ 5nm, Ra น้อยกว่าหรือเท่ากับ 0.3 nm. และ Rq น้อยกว่าหรือเท่ากับ 0.4 nm.