TH50711B - วิธีการขัดผิว, อุปกรณ์การขัดผิว, ซับสเตรตแก้วสำหรับสื่อบันทึกทางแม่เหล็ก และสื่อบันทึกทางแม่เหล็ก - Google Patents
วิธีการขัดผิว, อุปกรณ์การขัดผิว, ซับสเตรตแก้วสำหรับสื่อบันทึกทางแม่เหล็ก และสื่อบันทึกทางแม่เหล็กInfo
- Publication number
- TH50711B TH50711B TH1301007071A TH1301007071A TH50711B TH 50711 B TH50711 B TH 50711B TH 1301007071 A TH1301007071 A TH 1301007071A TH 1301007071 A TH1301007071 A TH 1301007071A TH 50711 B TH50711 B TH 50711B
- Authority
- TH
- Thailand
- Prior art keywords
- glass substrate
- glass
- abrasive
- polishing
- magnetic recording
- Prior art date
Links
- 239000011521 glass Substances 0.000 title claims abstract 35
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract 27
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract 13
- 238000005498 polishing Methods 0.000 title claims abstract 12
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract 11
- 239000011324 bead Substances 0.000 claims abstract 6
- 238000004299 exfoliation Methods 0.000 claims abstract 6
- 239000008187 granular material Substances 0.000 claims abstract 5
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 5
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 3
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims 2
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 claims 1
- 238000009987 spinning Methods 0.000 claims 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 claims 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 abstract 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 abstract 1
Abstract
DC60 (27/05/59) มีการเปิดเผยวิธีการขัดผิวและอุปกรณ์การขัดผิวซึ่งในนั้นจะสามารถบรรลุผลสำเร็จการทำ ความสะอาดของพื้นผิวซับสเตรตแก้วด้วยระดับที่สูง ซับสเตรตแก้ว (ซับสเตรตแก้วของเอ็มดี 1) ที่มี รูปร่างเป็นจานรูปวงกลมที่มีรูรูปวงกลมในส่วนกึ่งกลางจะได้รับการจุ่มลงในของเหลวขัดถู 50 ที่มี เม็ดสารขัดถูอิสระบรรจุอยู่, และพื้นผิวปลายโดยรอบด้านในของซับสเตรตแก้วจะได้รับการขัดผิว ด้วยการใช้ของเหลวขัดถูที่มีเม็ดสารขัดถูอิสระบรรจุอยู่โดยการหมุนแปรงชนิดหมุน 4 หรือแผ่นเพื่อ การขัดผิวในลักษณะสัมผัสกับพื้นผิวปลายโดยรอบด้านใน แก้ไขบทสรุปการประดิษฐ์ 27/06/2559 มีการเปิดเผยวิธีการขัดผิวและอุปกรณ์การขัดผิวซึ่งในนั้นจะสามารถบรรลุผลสำเร็จการทำ ความสะอาดพื้นผิวของซับสเตรตแก้วด้วยระดับที่สูง ซับสเตรทแก้ว (ซับสเตรตแก้วของเอ็มดี 1) ที่มี รูปร่างเป็นจานรูปวงกลมที่มีรูรูปวงกลมในส่วนกึ่งกลางจะได้รับการจุ่มลงในของเหลวขัดถู 50 ที่มี เม็ดสารขัดถูอิสระบรรจุอยู่ และจะขัดผิวพื้นผิวปลายรอบด้านในของซับสเตรตแก้วจะได้รับการขัดผิว ด้วยการใช้ของเหลวขัดถูที่มีเม็ดสารขัดถูอิสระบรรจุอยู่โดยการหมุนแปรงชนิดหมุน 4 หรือแผนเพื่อ การขัดผิวในลักษณะสัมผัสกับพื้นผิวปลายโดยรอบด้านใน --------------------------------------------------------------------------------------------------- จะเปิดเผยเกี่ยวกับวิธีการขัดผิวและอุปกรณ์ขัดผิว ซึ่งในนั้น จะสามารถบรรลุผลสำเร็จ การทำความสะอาดพื้นผิวของชั้นฐานแก้วด้วยระดับที่สูง ชั้นฐานแก้ว (ชั้นฐานแก้วของเอ็มดี (1) ที่มี รูปร่างเป็นจานรูปวงกลมที่มีรูรูปวงกลมในส่วนกึ่งกลางจะได้รับการจุ่มลงในของเหลวขัดถู 50 ที่มี เม็ดสารขัดถูอิสระบรรจุอยู่ และจะขัดผิวพื้นผิวปลายรอบนอกด้านในของชั้นฐานแก้วด้วยการใช้ ของเหลวขัดถูที่มีเม็ดสารขัดถูอิสระบรรจุอยู่โดยการหมุนแปรง 4 ชนิดหมุน หรือแผนเพื่อการขัดผิว ในลักษณะสัมผัสกับพื้นผิวปลายรอบนอกด้านใน
Claims (1)
1. วิธีการผลิตชั้นฐานแก้วสำหรับสื่อบันทึกทางแม่เหล็ก ซึ่งประกอบรวมด้วยขั้นตอนของ การจ่ายของเหลวขัดถูที่มีเม็ดสารขัดถูอิสระบรรจุอยู่ที่ไปที่พื้นผิวปลายรอบด้านอกของชั้นฐาน แก้วที่อยู่ในลักษณะจานรูปวงกลมที่มีรูรูปวงกลมในส่วนกึ่งกลาง และการหมุนแปรงเพื่อการขัดผิว ให้สัมผัสกับพื้นผิวปลายรอบนอกด้านนอกของชั้นฐานแก้วดังกล่าว เพื่อกระทำการขัดผิวโดยความ ขรุขระของพื้นผิว Ra จะอยู่ในช่วงระหว่าง 0.001 ไมโครเมตร ถึง 0.04 ไมโครเมตร ซึ่งขนแข็งของแปรงเพื่อการขัดผิวดังกล่าว ถูกทำให้เอียงและจัดวางไว้เทียบกับระนาบที่อยู่ ในแนวดิ่งกับเพลาหมุน โดยทำมุมระหว่าง 2 องศา ถึง 30 องศา
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TH137861A TH137861A (th) | 2014-11-03 |
| TH50711B true TH50711B (th) | 2016-08-09 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH11221742A (ja) | 研磨方法及び研磨装置並びに磁気記録媒体用ガラス基板及び磁気記録媒体 | |
| JP2011165994A (ja) | 半導体基板の平坦化加工装置 | |
| JP3619381B2 (ja) | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法及び磁気ディスク用ガラス基板の製造装置 | |
| JP3567971B2 (ja) | ガラス基板の洗浄液及び洗浄方法 | |
| JPWO2008035666A1 (ja) | ガラスディスクの加工方法 | |
| US20030217989A1 (en) | Circumferential polishing and/or surface cleaning process for glass disk substrates using colloidal silica slurry | |
| TH50711B (th) | วิธีการขัดผิว, อุปกรณ์การขัดผิว, ซับสเตรตแก้วสำหรับสื่อบันทึกทางแม่เหล็ก และสื่อบันทึกทางแม่เหล็ก | |
| TH137861A (th) | วิธีการขัดผิว, อุปกรณ์การขัดผิว, ซับสเตรตแก้วสำหรับสื่อบันทึกทางแม่เหล็ก และสื่อบันทึกทางแม่เหล็ก | |
| CN117242520A (zh) | 生产环形物体的方法、成膜装置、环形物体和硬盘驱动装置 | |
| JPS618734A (ja) | ワ−ク洗浄装置 | |
| KR20100005474A (ko) | Cmp 장치의 폴리싱패드 컨디셔닝 드레서 세정장치 | |
| JP2010227766A (ja) | 洗浄用ブラシ | |
| JP2007118172A (ja) | 研磨装置、研磨方法、磁気ディスク用ガラス基板および磁気ディスクの製造方法 | |
| JPS618735A (ja) | ワ−ク洗浄装置 | |
| US4929499A (en) | Use of nickel-phosphorous undercoat for particulate media in magnetic storage devices | |
| TH111024A (th) | วิธีการขัดผิว อุปกรณ์การขัดผิว, ชั้นฐานแก้วสำหรับสื่อบันทึกทางแม่เหล็ก และสื่อบันทึกทางแม่เหล็ก | |
| JP2007197235A (ja) | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法、磁気ディスク用ガラス基板、及び磁気ディスクの製造方法。 | |
| JP2011155095A (ja) | 半導体基板の平坦化加工装置およびそれに用いる仮置台定盤 | |
| JPH11288508A (ja) | 磁気ディスク用ガラス基板 | |
| JP2002046065A (ja) | 研磨装置及び研磨方法、並びに磁気記録媒体用ガラス基板及び磁気記録媒体の製造方法 | |
| CN103858161A (zh) | 制造用于信息记录介质的玻璃衬底的倒角设备和方法 | |
| JP2011198428A (ja) | 磁気ディスク用ガラス基板およびその評価方法 | |
| CN101116953A (zh) | 化学机械研磨的研磨修整装置 | |
| CN111633577A (zh) | 一种刷毛抛光碟及其制造方法 | |
| JP6199047B2 (ja) | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 |