TH50711B - วิธีการขัดผิว, อุปกรณ์การขัดผิว, ซับสเตรตแก้วสำหรับสื่อบันทึกทางแม่เหล็ก และสื่อบันทึกทางแม่เหล็ก - Google Patents

วิธีการขัดผิว, อุปกรณ์การขัดผิว, ซับสเตรตแก้วสำหรับสื่อบันทึกทางแม่เหล็ก และสื่อบันทึกทางแม่เหล็ก

Info

Publication number
TH50711B
TH50711B TH1301007071A TH1301007071A TH50711B TH 50711 B TH50711 B TH 50711B TH 1301007071 A TH1301007071 A TH 1301007071A TH 1301007071 A TH1301007071 A TH 1301007071A TH 50711 B TH50711 B TH 50711B
Authority
TH
Thailand
Prior art keywords
glass substrate
glass
abrasive
polishing
magnetic recording
Prior art date
Application number
TH1301007071A
Other languages
English (en)
Other versions
TH137861A (th
Inventor
มิยาโมโตะ นายทาเคมิ
Original Assignee
นายจักรพรรดิ์ มงคลสิทธิ์
นายจักรพรรดิ์ มงคลสิทธิ์ นายบุญมา เตชะวณิช นายต่อพงศ์ โทณะวณิก นายวิรัช ศรีเอนกราธา
นายต่อพงศ์ โทณะวณิก
นายบุญมา เตชะวณิช
นายวิรัช ศรีเอนกราธา
Filing date
Publication date
Application filed by นายจักรพรรดิ์ มงคลสิทธิ์, นายจักรพรรดิ์ มงคลสิทธิ์ นายบุญมา เตชะวณิช นายต่อพงศ์ โทณะวณิก นายวิรัช ศรีเอนกราธา, นายต่อพงศ์ โทณะวณิก, นายบุญมา เตชะวณิช, นายวิรัช ศรีเอนกราธา filed Critical นายจักรพรรดิ์ มงคลสิทธิ์
Publication of TH137861A publication Critical patent/TH137861A/th
Publication of TH50711B publication Critical patent/TH50711B/th

Links

Abstract

DC60 (27/05/59) มีการเปิดเผยวิธีการขัดผิวและอุปกรณ์การขัดผิวซึ่งในนั้นจะสามารถบรรลุผลสำเร็จการทำ ความสะอาดของพื้นผิวซับสเตรตแก้วด้วยระดับที่สูง ซับสเตรตแก้ว (ซับสเตรตแก้วของเอ็มดี 1) ที่มี รูปร่างเป็นจานรูปวงกลมที่มีรูรูปวงกลมในส่วนกึ่งกลางจะได้รับการจุ่มลงในของเหลวขัดถู 50 ที่มี เม็ดสารขัดถูอิสระบรรจุอยู่, และพื้นผิวปลายโดยรอบด้านในของซับสเตรตแก้วจะได้รับการขัดผิว ด้วยการใช้ของเหลวขัดถูที่มีเม็ดสารขัดถูอิสระบรรจุอยู่โดยการหมุนแปรงชนิดหมุน 4 หรือแผ่นเพื่อ การขัดผิวในลักษณะสัมผัสกับพื้นผิวปลายโดยรอบด้านใน แก้ไขบทสรุปการประดิษฐ์ 27/06/2559 มีการเปิดเผยวิธีการขัดผิวและอุปกรณ์การขัดผิวซึ่งในนั้นจะสามารถบรรลุผลสำเร็จการทำ ความสะอาดพื้นผิวของซับสเตรตแก้วด้วยระดับที่สูง ซับสเตรทแก้ว (ซับสเตรตแก้วของเอ็มดี 1) ที่มี รูปร่างเป็นจานรูปวงกลมที่มีรูรูปวงกลมในส่วนกึ่งกลางจะได้รับการจุ่มลงในของเหลวขัดถู 50 ที่มี เม็ดสารขัดถูอิสระบรรจุอยู่ และจะขัดผิวพื้นผิวปลายรอบด้านในของซับสเตรตแก้วจะได้รับการขัดผิว ด้วยการใช้ของเหลวขัดถูที่มีเม็ดสารขัดถูอิสระบรรจุอยู่โดยการหมุนแปรงชนิดหมุน 4 หรือแผนเพื่อ การขัดผิวในลักษณะสัมผัสกับพื้นผิวปลายโดยรอบด้านใน --------------------------------------------------------------------------------------------------- จะเปิดเผยเกี่ยวกับวิธีการขัดผิวและอุปกรณ์ขัดผิว ซึ่งในนั้น จะสามารถบรรลุผลสำเร็จ การทำความสะอาดพื้นผิวของชั้นฐานแก้วด้วยระดับที่สูง ชั้นฐานแก้ว (ชั้นฐานแก้วของเอ็มดี (1) ที่มี รูปร่างเป็นจานรูปวงกลมที่มีรูรูปวงกลมในส่วนกึ่งกลางจะได้รับการจุ่มลงในของเหลวขัดถู 50 ที่มี เม็ดสารขัดถูอิสระบรรจุอยู่ และจะขัดผิวพื้นผิวปลายรอบนอกด้านในของชั้นฐานแก้วด้วยการใช้ ของเหลวขัดถูที่มีเม็ดสารขัดถูอิสระบรรจุอยู่โดยการหมุนแปรง 4 ชนิดหมุน หรือแผนเพื่อการขัดผิว ในลักษณะสัมผัสกับพื้นผิวปลายรอบนอกด้านใน

Claims (1)

ข้อถือสิทธฺ์ (ทั้งหมด) ซึ่งจะไม่ปรากฏบนหน้าประกาศโฆษณา :แก้ไขเมื่อ 27/05/59 1. วิธีการของการผลิตซับสเตรตแก้วสำหรับสื่อบันทึกทางแม่เหล็กซึ่งประกอบรวมด้วย ขั้นตอนของ : การพ่นของเหลวขัดถูที่มีเม็ดสารขัดถูอิสระบรรจุอยู่ไปที่พื้นผิวปลายโดยรอบด้านนอกของ ซับสเตรตแก้วที่อยู่ในรูปแบบของจานรูปวงกลมที่มีรูรูปวงกลมใส่ส่วนกึ่งกลาง; และการหมุนแปรง เพื่อการขัดผิวให้สัมผัสกับพื้นผิวปลายโดยรอบด้านนอกของซับสเตรตแก้วดังกล่าวเพื่อกระทำการ ขัดผิวในช่องระหว่าง 0.001 ไมโครเมตร ถึง 0.04 ไมโครเมตรในความหบายของพื้นผิว Ra 2. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งประกอบรวมเพิ่มเติมด้วยขั้นตอนของการซ้อนและการ ขัดผิวสัมผัสซับสเตรตแก้วจำนวนหนึ่งเพื่อว่าพื้นผิวปลายโดยรอบด้านนอกของซับสเตรตแก้วจำนวนหนึ่ง จะถูกขัดผิวอย่างพร้อมกัน 3. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 หรือ 2 ที่ซึ่งความหนืดของของเหลวขัดถูที่มีเม็ดสารขัดถู อิสระดังกล่าวบรรจุอยู่จะอยู่ในช่วง 1.5 ถึง 25 เซนติปัวส์ (cps) 4. วิธีการของการผลิตสื่อบันทึกทางแม่เหล็ก, ซึ่งประกอบรวมด้วยขั้นตอนของการก่อรูป อย่างน้อยที่สุดชั้นแม่เหล็กบนซับสเตรตแก้วสื่อบันทึกทางแม่เหล็กตามข้อถือสิทธิข้อ 1 5. วิธีการของการผลิตซับสเตรตแก้วสำหรับสื่อบันทึกทางแม่เหล็ก, ซึ่งซับสเตรตแก้วจ ะอยู่ในรูปแบบของจานรูปวงกลมที่มีรูรูปวงกลมในส่วนกึ่งกลางของจาน, ที่ซึ่งพื้นผิวปลายโดยรอบ ด้านนอกของซับสเตรตแก้วจะถูกขัดผิวโดยขั้นตอนต่อไปนี้: การพ่นของเหลวขัดถูที่มีเม็ดสารขัดถูอิสระบรรจุอยู่บนพื้นผิวปลายโดยรอบด้านนอกของ แก้ว; และ การหมุนแปรงเพื่อการขัดผิวให้สัมผัสกับพื้นผิวปลายโดยรอบด้านนอกของซับสเตรตแก้ว ดังกล่าวเพื่อกระทำการขัดผิว, ที่ซึ่ง ซับสเตรตแก้วจำนวนหนึ่งถูกซ้อนและถูกขัดผิวเพื่อว่าพื้นผิวปลายโดยรอบด้านนอกของ ซับสเตรตแก้วจำนวนหนึ่งจะได้รับการขัดอย่างพร้อมกัน, พื้นผิวปลายโดยรอบด้านนอกและ ด้านในจะได้รับการนำไปผ่านการดำเนินกรรมวิธีการลบมุมที่กำหนดไว้แล้วล่วงหน้าและการขัดผิว เพื่อที่จะจัดให้มีพื้นผิวปลายโดยรอบด้านนอกและส่วนที่ถูกลบมุมของพื้นผิวปลายโดยรอบด้านนอก โดยมีความหยาบของพื้นผิว Ra อยู่ในช่วงระหว่าง 0.001 ไมโครเมตร ถึง 0.04 ไมโครเมตร เพื่อที่จะ ป้องกันความขรุขระทางความร้อน 6. วิธีการของการผลิตซับสเตรตแก้วสำหรับสื่อบันทึกทางแม่เหล็กซึ่งประกอบรวมด้วย ขั้นตอนของ: การพ่นของเหลวขัดถูที่มีเม็ดสารขัดถูอิสระบรรจุอยู่ไปที่พื้นผิวปลายโดยรอบด้านนอกของ ซับสเตรตแก้วที่อยู่ในรูปแบบของจานรูปวงกลมที่มีรูรูปวงกลมในส่วนกึ่งกลาง; และ การหมุนแปรงเพื่อการขัดผิวให้สัมผัสกับพื้นผิวปลายโดยรอบด้านนอกของซับสเตรตแก้ว ดังกล่าวเพื่อกระทำการขัดผิว, ซึ่งขนของแปรงเพื่อการขัดผิวดังกล่าวจะถูกฝังอยู่อย่างเวียนก้นหอยบนพื้นผิวของเพลาหมุน ของแปรงเพื่อการขัดผิวดังกล่าว 7. อุปกรณ์การขัดผิวที่ประกอบรวมด้วย : วิถีทางการยึดจับสำหรับการซ้อนและยึดจับซับสเตรตแก้วจำนวนหนึ่งที่อยู่ในรูปแบบของ แผ่นจางรูปวงกลมที่มีรูรูปวงกลมในส่วนกึ่งกลาง; วิถีทางการหมุนสำหรับการหมุนวิถีทางการยึดจับ; แปรงชนิดหมุนที่สัมผัสกับส่วนโดยรอบด้านนอกของซับสเตรตแก้วที่ถูกซ้อนจำนวนหนึ่ง ดังกล่าว; และ วิถีทางการพ่นของเหลวขัดถูสำหรับการพ่นของเหลวขัดถูไปที่พื้นผิวปลายโดยรอบด้านนอก ของซับสเตรตแก้วที่ถูกซ้อนจำนวนหนึ่งดังกล่าว -----------------------------------------------------------
1. วิธีการผลิตชั้นฐานแก้วสำหรับสื่อบันทึกทางแม่เหล็ก ซึ่งประกอบรวมด้วยขั้นตอนของ การจ่ายของเหลวขัดถูที่มีเม็ดสารขัดถูอิสระบรรจุอยู่ที่ไปที่พื้นผิวปลายรอบด้านอกของชั้นฐาน แก้วที่อยู่ในลักษณะจานรูปวงกลมที่มีรูรูปวงกลมในส่วนกึ่งกลาง และการหมุนแปรงเพื่อการขัดผิว ให้สัมผัสกับพื้นผิวปลายรอบนอกด้านนอกของชั้นฐานแก้วดังกล่าว เพื่อกระทำการขัดผิวโดยความ ขรุขระของพื้นผิว Ra จะอยู่ในช่วงระหว่าง 0.001 ไมโครเมตร ถึง 0.04 ไมโครเมตร ซึ่งขนแข็งของแปรงเพื่อการขัดผิวดังกล่าว ถูกทำให้เอียงและจัดวางไว้เทียบกับระนาบที่อยู่ ในแนวดิ่งกับเพลาหมุน โดยทำมุมระหว่าง 2 องศา ถึง 30 องศา
TH1301007071A 1998-09-29 วิธีการขัดผิว, อุปกรณ์การขัดผิว, ซับสเตรตแก้วสำหรับสื่อบันทึกทางแม่เหล็ก และสื่อบันทึกทางแม่เหล็ก TH50711B (th)

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TH137861A TH137861A (th) 2014-11-03
TH50711B true TH50711B (th) 2016-08-09

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH11221742A (ja) 研磨方法及び研磨装置並びに磁気記録媒体用ガラス基板及び磁気記録媒体
JP2011165994A (ja) 半導体基板の平坦化加工装置
JP3619381B2 (ja) 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法及び磁気ディスク用ガラス基板の製造装置
JP3567971B2 (ja) ガラス基板の洗浄液及び洗浄方法
JPWO2008035666A1 (ja) ガラスディスクの加工方法
US20030217989A1 (en) Circumferential polishing and/or surface cleaning process for glass disk substrates using colloidal silica slurry
TH50711B (th) วิธีการขัดผิว, อุปกรณ์การขัดผิว, ซับสเตรตแก้วสำหรับสื่อบันทึกทางแม่เหล็ก และสื่อบันทึกทางแม่เหล็ก
TH137861A (th) วิธีการขัดผิว, อุปกรณ์การขัดผิว, ซับสเตรตแก้วสำหรับสื่อบันทึกทางแม่เหล็ก และสื่อบันทึกทางแม่เหล็ก
CN117242520A (zh) 生产环形物体的方法、成膜装置、环形物体和硬盘驱动装置
JPS618734A (ja) ワ−ク洗浄装置
KR20100005474A (ko) Cmp 장치의 폴리싱패드 컨디셔닝 드레서 세정장치
JP2010227766A (ja) 洗浄用ブラシ
JP2007118172A (ja) 研磨装置、研磨方法、磁気ディスク用ガラス基板および磁気ディスクの製造方法
JPS618735A (ja) ワ−ク洗浄装置
US4929499A (en) Use of nickel-phosphorous undercoat for particulate media in magnetic storage devices
TH111024A (th) วิธีการขัดผิว อุปกรณ์การขัดผิว, ชั้นฐานแก้วสำหรับสื่อบันทึกทางแม่เหล็ก และสื่อบันทึกทางแม่เหล็ก
JP2007197235A (ja) 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法、磁気ディスク用ガラス基板、及び磁気ディスクの製造方法。
JP2011155095A (ja) 半導体基板の平坦化加工装置およびそれに用いる仮置台定盤
JPH11288508A (ja) 磁気ディスク用ガラス基板
JP2002046065A (ja) 研磨装置及び研磨方法、並びに磁気記録媒体用ガラス基板及び磁気記録媒体の製造方法
CN103858161A (zh) 制造用于信息记录介质的玻璃衬底的倒角设备和方法
JP2011198428A (ja) 磁気ディスク用ガラス基板およびその評価方法
CN101116953A (zh) 化学机械研磨的研磨修整装置
CN111633577A (zh) 一种刷毛抛光碟及其制造方法
JP6199047B2 (ja) 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法