TH49303A - Balanced vertical approaching movement in the vertical axis driven test head controller - Google Patents
Balanced vertical approaching movement in the vertical axis driven test head controllerInfo
- Publication number
- TH49303A TH49303A TH101000777A TH0101000777A TH49303A TH 49303 A TH49303 A TH 49303A TH 101000777 A TH101000777 A TH 101000777A TH 0101000777 A TH0101000777 A TH 0101000777A TH 49303 A TH49303 A TH 49303A
- Authority
- TH
- Thailand
- Prior art keywords
- fine
- vertical
- main arm
- test head
- grained
- Prior art date
Links
Abstract
DC60 (24/05/44) ตัวจัดวางตำแหน่งอย่างเช่น ตัวพาหัวทดสอบสำหรับ เวเฟอร์ของสารกึ่งตัวนำและเครื่อง ทดสอบอุปกรณ์ ประกอบด้วยที่รองรับแนวตั้งและแขนหลักสำหรับการรองรับหัวทดสอบ แขนหลัก ถูกแขวนไว้สำหรับการเคลื่อนที่แบบละเอียดโดยการใช้ของแรงสมดุลอย่างเช่นน้ำหนักถ่วง การ แขวนของแขนหลักถูกกระทำที่ข้อได้เปรียบเชิงกล ดังนั้นทำให้ถูกลดแรงถ่วงดุลและการเคลื่อนที่ ขนาดใหญ่ที่สอดคล้องกันบนด้านถ่วงดุลได้ถูกใช้เพื่อก่อให้เกิดการเคลื่อนที่แบบละเอียด ที่รองรับ แนวตั้งอาจถูกปรับด้วยการขับเคลื่อนที่ไม่เป็นไปตามที่กำหนดอย่างเช่นกลไกสกรูบอล การเคลื่อนที่ แบบละเอียดยังสามารถถูกใช้เพื่อรับสัมผัสสิ่งกีดขวางและข้อผิดพลาดการจัดวางตำแหน่งอื่นๆอีกด้วย และดังนั้นตัวขับเร้าของการขับเคลื่อนสำหรับที่รองรับแนวตั้งสามารถถูกควบคุมได้ ตัวจัดวางตำแหน่งอย่างเช่น ตัวพาหัวทอสอบสำหรับ เวเฟอร์ของสารกึ่งตัวนำและเครื่อง ทดสอบอุปกรณ์ ประกอบด้วยที่รองรับแนวตั้งและแขนหลักสำหรับการรองรับหัวทดสอบ แขนหลัก ถูกแขวน ไว้สำหรับการเคลื่อนที่แบบละเอียดโดยการใช้ของแรงสมดุลอย่างเช่นน้ำหนักถ่วง การ แขวนของแขวนหลักถูกกระทำที่ข้อได้เปรียบเชิงกล ดังนั้นทำให้ถูกลดแรงถ่วงดุลและการเคลื่อนที่ ขนาดใหญ่ที่สอดคล้องกันบนด้านถ่วงดุลได้ถูกใช้เพื่อก่อให้เกิดการเคลื่อนที่แบบละเอียด ที่รองรับ แนวตั้งอาจถูกปรับด้วยการขับเคลื่อนที่ไม่เป็นไปตามที่กำหนดอย่งเช่นกลไกสกรูบอล การเคลื่อนที่ แบบละเอียดยังสามารถถูกใช้เพื่อรับสัมผัสสิ่งกีดขวางและข้อผิดพลาดการจัดวางตำแหน่งอื่นๆอีกด้วย และดังนั้นตัวขับเร้าของการขับเคลื่อนสำหรับที่รองรับแนวตั้งสามารถถูกควบคุมได้ DC60 (24/05/44) placeholder such as Test probe carrier for The semiconductor wafer and the tester.The device consists of a vertical support and a main arm for the test head support.The main arm is suspended for fine travel by means of an equilibrium force, such as a counterweight.The suspension of the main arm is performed at the Mechanical advantage Thus reducing the balance and motion The corresponding large size on the counterbalance side has been used to produce fine-grained movements that the vertical supports may be adjusted by nonconforming drives such as a ball screw mechanism. The movement The fine-grained type can also be used to experience obstacles and other positioning errors. And therefore the drive actuator for the vertical support can be controlled. Positioners like Probe carrier for The semiconductor wafer and the tester.The device consists of a vertical support and a main arm for the support of the test head.The main arm is suspended for fine travel by means of an equilibrium force such as a counterweight. Mechanical advantage Thus reducing the balance and motion The corresponding large size on the counterbalance side has been used to produce fine-grained movements that the vertical supports may be adjusted by a nonconforming drive such as a ball screw mechanism. The movement The fine-grained type can also be used to experience obstacles and other positioning errors. And therefore the drive actuator for the vertical support can be controlled.
Claims (1)
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TH49303A true TH49303A (en) | 2002-02-07 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP1650573A3 (en) | Counter balanced vertical docking motion in a driven vertical test head manipulator | |
| CN100430735C (en) | Test probe alignment apparatus | |
| CN106737597B (en) | A kind of XYZ three-freedom degree precisions positioner | |
| CN101354537B (en) | Workpiece platform for photolithography apparatus | |
| EP1549961B1 (en) | Test head positioning apparatus | |
| US6766996B1 (en) | Manipulator | |
| CN204241756U (en) | Microscope slide table apparatus | |
| JP2008311313A (en) | Semiconductor testing device | |
| TH49303A (en) | Balanced vertical approaching movement in the vertical axis driven test head controller | |
| CN203275876U (en) | Micromotion working platform of silicon wafer platform of a photoetching machine | |
| KR20010051273A (en) | Bondhead of a wire bonder | |
| CN2932619Y (en) | High-precision silicon table | |
| US11143529B2 (en) | Cantilever linear motion reference device employing two-layer air suspension | |
| CN104070518B (en) | A kind of Three-degree-of-freeprecision precision adjustment device based on eccentric structure | |
| JP3631030B2 (en) | X, Y, Z axis drive device equipped with wire bonder and position control method thereof | |
| JP2018146277A (en) | Lifting drive device and measuring instrument using the same | |
| CN102723298A (en) | Electromagnetic preload XY precision motion platform | |
| KR101705154B1 (en) | Flexure hinge-based fine stage for vertical planar 3-DOF motion with high load capacity | |
| US8174154B2 (en) | Air bushing linear stage system | |
| CN102455601B (en) | Four-degree-of-freedom precision positioning device | |
| TH20592EX (en) | Topical scent-release mixtures | |
| JPH11218471A (en) | Motion testing apparatus | |
| JP2003075290A (en) | Oscillatory balance for wind tunnel experiment | |
| TH20592A (en) | Topical scent-release mixtures | |
| CN220597416U (en) | Vibration device and incubator |