ตัวจัดวางตำแหน่งตัวอย่างเช่น ตัวพาหัวทดสอบสำหรับเวเฟอร์ของสารกึ่งตัวนำและเครื่องทดสอบอุปกรณ์ ประกอบด้วย ที่รองรับแนวตั้งและแขนหลักสำหรับการรองรับหัวทดสอบ แขน หลักถูกแขวนไว้สำหรับการเคลื่อนที่แบบละเอียดโดยการใช้ของ แรงสมดุลอย่างเช่นน้ำหนักถ่วง การแขวนของแขนหลักถูกกระทำ ที่ข้อได้เปรียบเชิงกล ดังนั้นทำหใถูกลดแรงถ่วงดุลและการ เคลื่อนที่ขนาดใหญ่ที่สอดคล้องกันบนด้านถ่วงดุลได้ถูกใช้ เพื่อก่อให้เกิดการเคลื่อนที่แบบละเอียด ที่รองรับแนวตั้ง อาจถูกปรับด้วยการขับเคลือนที่ไม่เป็นไปตามที่กำหนดอย่าง เช่นกลไกสกรูบอล การเคลื่อนที่แบบละเอียดยังสามารถถูกใช้ เพื่อรับสัมผัสสิ่งกีดขวางและข้อผิดพลาดการจัดวางตำแหน่ง อื่นๆ อีกด้วย และดังนั้นตัวขับเร้าของการขับเคลื่อนสำหรับที่ รองรับแล้วตั้งสามารถถูกควบคุมได้ Placeholder, for example The probe carrier for semiconductor wafer and the device tester consists of a vertical support and a main arm for the test head support. Equilibrium forces such as counterweight The suspension of the main arm was performed. At a mechanical advantage Therefore, reduce the counterbalance and The corresponding large moves on the counterbalance side were used. To produce subtle movements Vertical support May be fined for driving that does not meet the requirements Such as a ball screw mechanism Fine movements can also be used. To experience obstacles and other positioning errors as well, and, therefore, the drive thrusters for the Support and set can be controlled.
Claims (1)
1. เครื่องมือสำหรับการรองรับโหลดนั้น เครื่องมือประกอบด้วย กลไกขับเคล่อนสำหรับการมีผลต่อการปรับตำแหน่งแรกของโหลด และ กลไกการเชื่อมต่อสำหรับการมีผลต่อการปรับตำแหน่งที่สอของ โหลด กลไกการเชื่อมต่อที่มีส่วนที่มีส่วนแบริ่งโหลดที่ถูก เชื่อมต่อกับโหลด, และส่วนที่ป้อนเข้าสำหรับการรับแรงสมดุล นั้นกลไกการเชื่อมต่อมีข้อได้เปรียบเชิงกลที่มีค่ามากกว่า หนึ่ง ดังนั้นแรงสมดุลที่ถูกทำใช้ที่ส่วนป้อนเข้าถูกทำให้ เพิ่มขึ้นส่งผลให้ข้อได้เปรียบเชิงผล จัดให้มีแรงลัพธ์ที่ มากขึ้นกระทำกับโหลด แรงสมดุลที่รองรับโลหดในสภาวะ1. Tools for supporting the load. The tools include Coupling mechanism for the first position adjustment effect of the load and the connection mechanism for the alignment effect of the load, the connection mechanism with the load bearing section being Connected to the load, and the feeder for balanced load. Therefore, the coupling mechanism has a greater mechanical advantage, so the balanced force applied at the feeder is made. Increased resulting in a fruitful advantage Provide a net force that More and more dealt with the load. The equilibrium force supported by metal in the