TH49303A - การเคลื่อนที่เข้าเทียบในแนวตั้งแบบถ่วงดุลในเครื่องควบคุมหัวทดสอบที่ขับเคลื่อนในแนวแกนตั้ง - Google Patents
การเคลื่อนที่เข้าเทียบในแนวตั้งแบบถ่วงดุลในเครื่องควบคุมหัวทดสอบที่ขับเคลื่อนในแนวแกนตั้งInfo
- Publication number
- TH49303A TH49303A TH101000777A TH0101000777A TH49303A TH 49303 A TH49303 A TH 49303A TH 101000777 A TH101000777 A TH 101000777A TH 0101000777 A TH0101000777 A TH 0101000777A TH 49303 A TH49303 A TH 49303A
- Authority
- TH
- Thailand
- Prior art keywords
- fine
- vertical
- main arm
- test head
- grained
- Prior art date
Links
Abstract
DC60 (24/05/44) ตัวจัดวางตำแหน่งอย่างเช่น ตัวพาหัวทดสอบสำหรับ เวเฟอร์ของสารกึ่งตัวนำและเครื่อง ทดสอบอุปกรณ์ ประกอบด้วยที่รองรับแนวตั้งและแขนหลักสำหรับการรองรับหัวทดสอบ แขนหลัก ถูกแขวนไว้สำหรับการเคลื่อนที่แบบละเอียดโดยการใช้ของแรงสมดุลอย่างเช่นน้ำหนักถ่วง การ แขวนของแขนหลักถูกกระทำที่ข้อได้เปรียบเชิงกล ดังนั้นทำให้ถูกลดแรงถ่วงดุลและการเคลื่อนที่ ขนาดใหญ่ที่สอดคล้องกันบนด้านถ่วงดุลได้ถูกใช้เพื่อก่อให้เกิดการเคลื่อนที่แบบละเอียด ที่รองรับ แนวตั้งอาจถูกปรับด้วยการขับเคลื่อนที่ไม่เป็นไปตามที่กำหนดอย่างเช่นกลไกสกรูบอล การเคลื่อนที่ แบบละเอียดยังสามารถถูกใช้เพื่อรับสัมผัสสิ่งกีดขวางและข้อผิดพลาดการจัดวางตำแหน่งอื่นๆอีกด้วย และดังนั้นตัวขับเร้าของการขับเคลื่อนสำหรับที่รองรับแนวตั้งสามารถถูกควบคุมได้ ตัวจัดวางตำแหน่งอย่างเช่น ตัวพาหัวทอสอบสำหรับ เวเฟอร์ของสารกึ่งตัวนำและเครื่อง ทดสอบอุปกรณ์ ประกอบด้วยที่รองรับแนวตั้งและแขนหลักสำหรับการรองรับหัวทดสอบ แขนหลัก ถูกแขวน ไว้สำหรับการเคลื่อนที่แบบละเอียดโดยการใช้ของแรงสมดุลอย่างเช่นน้ำหนักถ่วง การ แขวนของแขวนหลักถูกกระทำที่ข้อได้เปรียบเชิงกล ดังนั้นทำให้ถูกลดแรงถ่วงดุลและการเคลื่อนที่ ขนาดใหญ่ที่สอดคล้องกันบนด้านถ่วงดุลได้ถูกใช้เพื่อก่อให้เกิดการเคลื่อนที่แบบละเอียด ที่รองรับ แนวตั้งอาจถูกปรับด้วยการขับเคลื่อนที่ไม่เป็นไปตามที่กำหนดอย่งเช่นกลไกสกรูบอล การเคลื่อนที่ แบบละเอียดยังสามารถถูกใช้เพื่อรับสัมผัสสิ่งกีดขวางและข้อผิดพลาดการจัดวางตำแหน่งอื่นๆอีกด้วย และดังนั้นตัวขับเร้าของการขับเคลื่อนสำหรับที่รองรับแนวตั้งสามารถถูกควบคุมได้
Claims (1)
1. เครื่องมือสำหรับการรองรับโหลดนั้น เครื่องมือประกอบด้วย : กลไกขับเคลื่อนสำหรับการมีผลต่อการปรับตำแหน่งแรกของโหลด; และ กลไกการเชื่อมต่อสำหรับการมีผลต่อการปรับตำแหน่งที่สองของโหลด, กลไกการเชื่อมต่อ ที่มีส่วนที่มีส่วนแบริ่งโหลอดที่ถูกเชื่อมต่อกับโหลด, และส่วนที่ป้อนเข้าสำหรับการรับแรงสมดุลนั้น กลไกการเชื่อมต่อมีข้อได้เปรียบเชิงกลที่มีค่ามากกว่าหนึ่ง ดังนั้นแรงสมดุลที่ถูกใช้ที่ส่วนป้อนเข้า ถูกทำให้เพิ่มขึ้นส่งผลให้ข้อได้เปรียบเชิงกล จัดให้มีแรงลัพธ์ที่มากขึ้นกระทำแท็ก :
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TH49303A true TH49303A (th) | 2002-02-07 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP1650573A3 (en) | Counter balanced vertical docking motion in a driven vertical test head manipulator | |
| CN100430735C (zh) | 测试探针对准设备 | |
| CN106737597B (zh) | 一种xyz三自由度精密定位装置 | |
| JP2000042953A (ja) | 水平多関節ロボット | |
| CN101354537B (zh) | 用于光刻设备的工件台 | |
| CN108098744A (zh) | 一种坐标型机械臂 | |
| EP1549961B1 (en) | Test head positioning apparatus | |
| US6766996B1 (en) | Manipulator | |
| CN204241756U (zh) | 显微镜载物台装置 | |
| JP2008311313A (ja) | 半導体試験装置 | |
| TH49303A (th) | การเคลื่อนที่เข้าเทียบในแนวตั้งแบบถ่วงดุลในเครื่องควบคุมหัวทดสอบที่ขับเคลื่อนในแนวแกนตั้ง | |
| CN203275876U (zh) | 一种光刻机硅片台微动工作台 | |
| CN2932619Y (zh) | 高精度硅片台 | |
| US11143529B2 (en) | Cantilever linear motion reference device employing two-layer air suspension | |
| CN104070518B (zh) | 一种基于偏心结构的三自由度精密调节装置 | |
| JP2018146277A (ja) | 昇降駆動装置およびこれを用いた測定機 | |
| CN103672328A (zh) | 控制测试头在z轴上运动定位的升降装置 | |
| CN103506855A (zh) | 结构新颖的大行程高精度z轴工作台 | |
| KR101705154B1 (ko) | 고하중용 탄성힌지기반 수직평면 미세구동 스테이지 | |
| US8174154B2 (en) | Air bushing linear stage system | |
| CN102455601B (zh) | 四自由度精密定位装置 | |
| TH20592EX (th) | สารผสมที่มีการปลดปล่อยกลิ่นหอมสำหรับใช้เฉพาะที่ | |
| JPH11218471A (ja) | 運動試験装置 | |
| TH20592A (th) | สารผสมที่มีการปลดปล่อยกลิ่นหอมสำหรับใช้เฉพาะที่ | |
| CN220597416U (zh) | 震荡装置及培养箱 |