TH38478B

TH38478B - กรรมวิธีและสารผสมสำหรับการกำจัดวัสดุที่มีโซเดียมออกจากซับสเตรตของวงจรขนาดเล็ก

Info

Publication number: TH38478B
Application number: TH101001021A
Authority: TH
Inventors: ชวาร์ทซ์คอพฟ์ นายจอร์จ
Original assignee: นางสาวปรับโยชน์ ศรีกิจจาภรณ์; นายจักรพรรดิ์ มงคลสิทธิ์; นายจักรพรรดิ์ มงคลสิทธิ์ นางสาวปรับโยชน์ ศรีกิจจาภรณ์ นายรุทร นพคุณ; นายรุทร นพคุณ
Filing date: 2001-03-16
Publication date: 2013-12-13

Abstract

DC60 กรรมวิธีและสารผสมสำหรับการแยกวัสดุที่มีโซเดียม เช่น วัสดุโฟโตรีซิสท์ (photoresist) ออกจากวัสดุซับสเตรตของวงจรขนาดเล็กโดยใช้กรด 1,2-ไดอะมิโนไซโคลเฮกเซนเตตระคาร์บอก ซิลิกในตัวทำละลายอินทรีย์ กรรมวิธีและสารผสมสำหรับการแยกวัสดุที่มีโซเดียม เช่น วัสดุโฟโตรีซิสท์ (photoresist) ออกจากวัสดุซับสเตรตของวงจรขนาดเล็กโดยใช้กรด 1,2-ไดอะมิโนไซโคลเฮกเซนเตตระคาร์บอก ซิลิกในตัวทำละลายอินทรีย์

Claims

ข้อถือสิทธฺ์ (ทั้งหมด) ซึ่งจะไม่ปรากฏบนหน้าประกาศโฆษณา : 1. กรรมวิธียับยั้งการดูดซับของโซเดียมกับพื้นผิววงจรรวมในระหว่างการกำจัดวัสดุ โฟโตรีซิสท์หรือการทำความสะอาดโลหะภายหลังการกัดด้วยสารผสมที่มีตัวทำละลายอินทรีย์ ซึ่งประกอบรวมด้วยการสัมผัสพื้นผิวนั้นกับสารผสมที่มีตัวทำละลายอินทรีย์ ซึ่งประกอบรวมด้วย: (a) กรด 1,2-ไดอะมิโนไซโคลเฮกเซนเตตระคาร์บอกซิลิก (CYDTA) (b) นิวคลีโอฟิลิกเอมีนมีอยู่ในปริมาณจาก 1 ถึงน้อยกว่า 50% โดยน้ำหนักของสารผสม (c) กรดอ่อนที่ปราศจากไนโตรเจนในปริมาณที่เพียงพอที่จะทำนิวคลีโอฟิลิกเอมีนให้ เป็นกลางบางส่วนที่ทำให้สารผสมนั้นมีค่าแอคเควียสพีเอชค่าหนึ่ง, เมื่อนำมาเจือจางด้วยน้ำ 10 ส่วน จาก 9.6 ถึง 10.9 กรดอ่อนดังกล่าวมีค่า pKa ในสารละลายแอคเควียสเท่ากับ 2.0 หรือมากกว่า และ มีน้ำหนักสมดุลน้อยกว่า 140, และตัวทำละลายนั้นเป็นระบบของตัวทำละลายสำหรับแยกที่มีค่า ตัวแปรการละลายจาก 8 ถึง 15 และมีอยู่ในปริมาณจากประมาณ 50% ถึง 85% โดยน้ำหนักของสารผสม 2. กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิที่ 1 ซึ่งประกอบรวมด้วย, บนพื้นฐานของน้ำหนัก, จาก 50% ถึง 85% ของ N-เมธิล-2-ไพร์โรลิดิโนน เป็นตัวทำละลาย, จาก 1 ถึง 20% ของเตตระไฮโดรไธโอฟิน- 1,1-ไดออกไซด์ เป็นตัวทำละลาย, จาก 1 ถึง 20% ของน้ำ, จาก 1 ถึง 50% ของ 2-อะมิโนเอธานอล เป็นนิวคลีโอฟิลิกเอมีน, จาก 0.05% ถึง 25% ของ 1,2-ไดไฮดรอกซิเบนซีนเป็นกรดอ่อนที่ปราศจาก ไนโตรเจน และ 0.01% ถึง 5% ของกรด 1,2-ไดอะมิโนไซโคลเฮกเซนเตตระคาร์บอกซิลิก 3. กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิที่ 1 ซึ่งกรดอ่อนที่ปราศจากไนโตรเจนนี้มีอยู่ในสารผสม ในปริมาณจาก 0.05% ถึง 25% โดยน้ำหนักของสารผสมสำหรับแยกดังกล่าว 4. กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิที่ 3 ซึ่งกรดอ่อนที่ปราศจากไนโตรเจนนี้มี pKa เท่ากับ 2.5 หรือ สูงกว่านี้ 5. กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิที่ 4 ซึ่งกรดอ่อนที่ปราศจากไนโตรเจน คือ 1,2-ไดไฮดรอกซิ เบนซิน 6. กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิที่ 5 ซึ่งนิวคลีโอฟิลิกเอมีน คือ 2-อะมิโนเอธานอล 7. กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิที่ 6 ซึ่งระบบตัวทำละลายประกอบรวมด้วย N-เมธิล-2- ไพร์โรลิดิโนน และเตตระไฮโดรไธโอฟิน-1,1-ไดออกไซด์ และอาจเลือกให้มีน้ำอยู่ได้มากถึง 10% 8. สารผสมสำหรับการยับยั้งการดูดซับของโซเดียมกับพื้นผิววงจรรวมในระหว่างการกำจัด วัสดุโฟโตรีซิสท์ หรือการทำความสะอาดโลหะภายหลังการกัดด้วยสารผสมที่มีตัวทำละลายอินทรีย์ ซึ่งสารผสมที่มีตัวทำละลายอินทรีย์ดังกล่าวประกอบรวมด้วย: a) กรด 1,2-ไดอะมิโนไซโคลเฮกเซนเตตระคาร์บอกซิลิก (CYDTA) b) นิวคลีโอฟิลิกเอมีนมีอยู่ในปริมาณจาก 1 ถึงน้อยกว่า 50% โดยน้ำหนักของสารผสม (c) กรดอ่อนที่ปราศจากไนโตรเจนในปริมาณที่เพียงพอที่ทำนิวคลีโอฟิลิกเอมีนให้ เป็นกลางบางส่วนที่ทำให้สารผสมมีค่าแอคเควียสพีเอชค่าหนึ่ง, เมื่อนำมาเจือจางด้วยน้ำ 10 ส่วน, จาก 9.6 ถึง 10.9, กรดอ่อนดังกล่าวจะมีค่า pKa ในสารละลายแอคเควียสเท่ากับ 2.0 หรือมากกว่าและ มีน้ำหนักสมดุลน้อยกว่า 140, และตัวทำละลายนั้นเป็นระบบของตัวทำละลายสำหรับแยกที่มีค่า ตัวแปรละลายจาก 8 ถึง 15 และมีอยู่ในปริมาณจาก 50% ถึง 85% โดยน้ำหนักของสารผสม 9. สารผสมตามข้อถือสิทธิที่ 8 ซึ่งประกอบรวมด้วย, บนพื้นฐานของน้ำหนัก, จาก 50% ถึง 85% ของ N-เมธิล-2-ไพร์โรลิดิโนน เป็นตัวทำละลาย, จาก 1 ถึง 20% ของเตตระไฮโดรไธโอฟิน- 1,1-ไดออกไซด์ เป็นตัวทำละลาย, จาก 1 ถึง 20% ของน้ำ, จาก 1 ถึง 50% ของ 2-อะมิโนเอธานอลเป็น นิวคลีโอฟิลิกเอมีน, จาก 0.05% ถึง 25% ของ 1,2-ไดไฮดรอกซิเบนซินเป็นกรดอ่อนที่ปราศจาก ไนโตรเจนและ 0.01% ถึง 5% ของกรด 1,2-ไดอะมิโนไซโคลเฮกเซนเตตระคาร์บอกซิลิก 1 0. สารผสมตามข้อถือสิทธิที่ 8 ซึ่งกรดอ่อนที่ปราศจากไนโตรเจนนี้มีอยู่ในสารผสม ในปริมาณจาก 0.05% ถึง 25% โดยน้ำหนักของสารผสมสำหรับแยกดังกล่าว 1

1. สารผสมตามข้อถือสิทธิที่ 10 ซึ่งกรดอ่อนที่ปราศจากไนโตรเจนมี pKa เท่ากับ 2.5 หรือ มากกว่า 1

2. สารผสมตามข้อถือสิทธิที่ 11 ซึ่งกรดอ่อนที่ปราศจากไนโตรเจน คือ 1,2-ไดไฮดรอกซ๊ เบนซิน 1

3. สารผสมตามข้อถือสิทธิที่ 12 ซึ่ง นิวคลีโอฟิลิกเอมีนคือ 2-อะมิโนเอธานอล 1

4. สารผสมตามข้อถือสิทธิที่ 13 ซึ่งระบบตัวทำละลายประกอบรวมด้วย N-เมธิล-2- ไพร์โรลิดิโนน และเตตระไฮโดรไธโอฟิน-1,1-ไดออกไซด์ และอาจเลือกให้มีน้ำอยู่ได้มากถึง 10%