TH11143EX - กรรมวิธีสำหรับจัดรูปแบบฟิล์ม ซึ่งถูกฝากสะสมโลหะที่มีอาลูมีอาลูมิเนียมเป็นส่วนประกอบหลักโดยการใช้อัลคีน อาลูมินัม ไฮไดรด์ - Google Patents

Abstract

1. กระบวนการของการก่อรูปแผ่นฟิล์มซึ่งถูกฝากสะสม ซึ่งประกอบรวมด้วย (a) การจัดเตรียมซับสเตรทในห้องสำหรับก่อรูปฟิล์มห้องที่หนึ่ง,ซับสเตรทเช่นนี้เป็นสารกึ่งตัวนำ หรือตัวนำที่ปิดคลุมเป็นบางส่วนด้วยชั้น ซึ่งเป็นฉนวนในลักษณะที่ทำให้สารกึ่งตัวนำ หรือตัวนำส่วนหนึ่งหรือมากกว่าเผยออก, (b) การชักนำไฮโดรเจนในรูปแก๊ส และแอลคิลอะลูมิเนียมไฮไดร์ด ในรูปแก๊สเข้าไปในห้องสำหรับก่อรูปฟิล์มห้องที่หนึ่ง, &