TH110989A - วิธีการสร้างชิ้นส่วนโลหะแบบหลายระดับโดยใช้เทคนิคลิกา-ยูวี (liga-uv) - Google Patents

วิธีการสร้างชิ้นส่วนโลหะแบบหลายระดับโดยใช้เทคนิคลิกา-ยูวี (liga-uv)

Info

Publication number
TH110989A
TH110989A TH901003760A TH0901003760A TH110989A TH 110989 A TH110989 A TH 110989A TH 901003760 A TH901003760 A TH 901003760A TH 0901003760 A TH0901003760 A TH 0901003760A TH 110989 A TH110989 A TH 110989A
Authority
TH
Thailand
Prior art keywords
layer
photoresist
resin
support
level
Prior art date
Application number
TH901003760A
Other languages
English (en)
Inventor
เรย์ เมอร์เมท นายกิลเลส
ชาร์ลส์ เฟียคคาบริโน นายฌอง
Original Assignee
นางดารานีย์ วัจนะวุฒิวงศ์
นางสาวสนธยา สังขพงศ์
นายณัฐพล อร่ามเมือง
ไนวารอกซ์ ฟาร์ เอสเอ
Filing date
Publication date
Application filed by นางดารานีย์ วัจนะวุฒิวงศ์, นางสาวสนธยา สังขพงศ์, นายณัฐพล อร่ามเมือง, ไนวารอกซ์ ฟาร์ เอสเอ filed Critical นางดารานีย์ วัจนะวุฒิวงศ์
Publication of TH110989A publication Critical patent/TH110989A/th

Links

Abstract

DC60 (17/11/52) วิธีการสร้างโครงสร้างที่เป็นโลหะแบบหลายระดับประกอบด้วยขั้นตอนดังนี้ a) การจัดเตรียมฐานรอง (1) ที่มีพื้นผิวนำไฟฟ้า (2) b) การปิดพื้นผิวนำไฟฟ้า (2) ของฐานรองดังกล่าวด้วยชั้นที่หนึ่งของเรซินไวแสง (3) c) การฉายรังสีไปยังชั้นที่หนึ่งของเรซินไวแสง (3) ดังกล่าวโดยผ่านหน้ากากบัง (4) ซึ่งมี ลักษณะสอดรับกับโพรงซึ่งมีแพตเทิร์นตามที่ต้องการ d) การเดเวล็อปชั้นที่หนึ่งของเรซินไวแสง (3) ดังกล่าวเพื่อเจาะช่องผ่านภายในและด้วย เหตุนี้จึงเป็นการจัดทำระดับที่หนึ่งของแบบหล่อที่เป็นเรซินขึ้นมาโดยที่ช่องผ่านในชั้นเรซินที่หนึ่ง ดังกล่าวจะทำให้พื้นผิวนำไฟฟ้า (2) ของฐานรองดังกล่าวเผยออกมา e) การเคลือบเรซินไวแสงชั้นใหม่ (6) ทับลงบนชั้นเรซินที่มีการเดเวล็อป (3) เพื่อปิดทับ ชั้นเรซินที่มีการเดเวล็อปดังกล่าวและเข้าไปอุดช่องผ่านที่อยู่ภายใน f) การฉายรังสีไปยังชั้นใหม่ของเรซินไวแสงโดยผ่านหน้ากากบังซึ่งมีลักษณะสอดรับกับ โพรงซึ่งมีแพตเทิร์นตามที่ต้องการ g) การเดเวล็อปชั้นของเรซินไวแสงชั้นใหม่ (6) เพื่อเจาะช่องผ่านภายในและเพื่อให้ได้ แบบหล่อที่เป็นเรซินแบบหลายระดับโดยที่ช่องผ่านในแบบหล่อหลายระดับดังกล่าวจะทำให้พื้นผิวนำ ไฟฟ้า (2) ของฐานรองดังกล่าวเผยออกมา h) การเคลือบโลหะหรือโลหะผสมทับลงไปในช่องผ่านของแบบหล่อที่เป็นเรซินแบบ หลายระดับแบบแกลแวนิก i) การแยกฐานรอง (1) ดังกล่าวออกไป จากนั้นจึงทำให้ชั้นเรซิน (3, 6) หลุดออกไป เพื่อให้โครงสร้างที่เป็นโลหะแบบหลายระดับ(8)ที่สร้างขึ้นโดยโลหะหรือโลหะผสมดังกล่าวที่เคลือบ ทับไว้ในฐานรองดังกล่าวเผยออกมา วิธีการสร้างโครงสร้างที่เป็นโลหะแบบหลายระดับประกอบด้วยขั้นตอนดังนี้ a) การจัดเตรียมฐานรอง (1) ที่มีพื้นผิวนำไฟฟ้า (2) b) การปิดพื้นผิวนำไฟฟ้า (2) ของฐานรองดังกล่าวด้วยชั้นที่หนึ่งของเรซินไวแสง (3) c) การฉายรังสีไปยังชั้นที่หนึ่งของเรซินไวแสง (3) ดังกล่าวโดยผ่านหน้ากากบัง (4) ซึ่งมี ลักษณะสอดรับกับโพรงซึ่งมีแพตเทิร์นตามที่ต้องการ d) การเดเวล็อปชั้นที่หนึ่งของเรซินไวแสง (3) ดังกล่าวเพื่อเจาะช่องผ่านภายในและด้วย เหตุนี้จึงเป็นการจัดทำระดับที่หนึ่งของแบบหล่อที่เป็นเรซินขึ้นมาโดยที่ช่องผ่านในชั้นเรซินที่หนึ่ง ดังกล่าวจะทำให้พื้นผิวนำไฟฟ้า (2) ของฐานรองดังกล่าวเผยออกมา e) การเคลือบเรซินไวแสงชั้นใหม่ (6) ทับลงบนชั้นเรซินที่มีการเดเวล็อป (3) เพื่อปิดทับ ชั้นเรซินที่มีการเดเวล็อปดังกล่าวและเข้าไปอุดช่องผ่านที่อยู่ภายใน f) การฉายรังสีไปยังชั้นใหม่ของเรซินไวแสงโดยผ่านหน้ากากบังซึ่งมีลักษณะสอดรับกับ โพรงซึ่งมีแพตเทิร์นตามที่ต้องการ g) การเดเวล็อปชั้นของเรซินไวแสงชั้นใหม่ (6) เพื่อเจาะช่องผ่านภายในและเพื่อให้ได้ แบบหล่อที่เป็นเรซินแบบหลายระดับโดยที่ช่องผ่านในแบบหล่อหลายระดับดังกล่าวจะทำให้พื้นผิวนำ ไฟฟ้า (2) ของฐานรองดังกล่าวเผยออกมา h) การเคลือบโลหะหรือโลหะผสมทับลงไปในช่องผ่านของแบบหล่อที่เป็นเรซินแบบ หลายระดับแบบแกลแวนิก i) การแยกฐานรอง (1) ดังกล่าวออกไป จากนั้นจึงทำให้ชั้นเรซิน (3, 6) หลุดออกไป เพื่อให้โครงสร้างที่เป็นโลหะแบบหลายระดับ(8)ที่สร้างขึ้นโดยโลหะหรือโลหะผสมดังกล่าวที่เคลือบ ทับไว้ในฐานรองดังกล่าวเผยออกมา

Claims (1)

1. วิธีการสร้างโครงสร้างที่เป็นโลหะแบบหลายระดับโดยอาศัยเทคนิคของการเคลือบทับ ด้วยการพิมพ์ออฟเซตและการเคลือบทับแบบแกลแวนิกซึ่งถูกกำหนดคุณลักษณะว่าประกอบด้วย ขั้นตอนดังนี้ a) การจัดเตรียมฐานรอง (1) ที่มีพื้นผิวนำไฟฟ้า (2) b) การปิดพื้นผิวนำไฟฟ้า (2) ของฐานรองดังกล่าวด้วยชั้นที่หนึ่งของเรซินไวแสง (3) c) การฉายรังสีไปยังชั้นที่หนึ่งของเรซินไวแสง (3) ดังกล่าวโดยผ่านหน้ากากบัง (4) ซึ่งมี ลักษณะสอดรับกับโพรงซึ่งมีแพตเทิร์นตามที่ต้องการ แท็ก :
TH901003760A 2009-08-19 วิธีการสร้างชิ้นส่วนโลหะแบบหลายระดับโดยใช้เทคนิคลิกา-ยูวี (liga-uv) TH110989A (th)

Publications (1)

Publication Number Publication Date
TH110989A true TH110989A (th) 2011-11-21

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
ATE557324T1 (de) Verfahren zur herstellung mehrschichtiger metallteile mithilfe der uv-liga-technik
WO2007104171A3 (fr) Procede de fabrication par liga-uv d'une structure metallique multicouche a couches adjacentes non entierement superposees, et structure obtenue
US20150059643A1 (en) Type of fine metal mask (ffm) used in oled production and the method of manufacturing it
JP2010519738A5 (th)
KR101140982B1 (ko) 단층 인쇄회로기판 및 그 제조 방법
US20200305286A1 (en) Method for Contacting and Rewiring an Electronic Component Embedded into a Printed Circuit Board
SG155147A1 (en) Methods for enhancing photolithography patterning
JP2015179730A5 (th)
MY179632A (en) Substrate for mounting semiconductor element and method for manufacturing said substrate
CN105023848A (zh) 基板结构的制造方法及基板结构
TH110989A (th) วิธีการสร้างชิ้นส่วนโลหะแบบหลายระดับโดยใช้เทคนิคลิกา-ยูวี (liga-uv)
TWI482549B (zh) 印刷電路板之製造方法
CN107587171B (zh) 用于制造设有多层级外部元件的钟表的方法
JP2018006712A5 (th)
TW201310770A (zh) 可攜式電子裝置及其天線結構及其天線製作方法
JP2005161667A (ja) 微細金型の製造方法
MY169149A (en) Substrate for mounting semiconductor element and method for manufacturing said substrate
KR20170027380A (ko) 배선전극을 가지는 투명전극의 제조방법
JP2011043731A5 (ja) フォトレジストのパターン形成方法及び同方法を用いたプローブの製造方法
JP6992210B2 (ja) 計時器構成要素を製造する方法およびこの方法で得られる構成要素
WO2013072964A1 (ja) 転写金型の製造方法及びその転写金型
JP2010531057A5 (th)
JP2008235755A (ja) スルーホールフィリング方法
TW201713181A (zh) 線路板的製作方法
JP2010251358A (ja) 積層配線パターンの形成方法および積層電子部品の製造方法