SU928426A1 - Способ изготовлени фольговых тензорезисторов - Google Patents
Способ изготовлени фольговых тензорезисторов Download PDFInfo
- Publication number
- SU928426A1 SU928426A1 SU792885975A SU2885975A SU928426A1 SU 928426 A1 SU928426 A1 SU 928426A1 SU 792885975 A SU792885975 A SU 792885975A SU 2885975 A SU2885975 A SU 2885975A SU 928426 A1 SU928426 A1 SU 928426A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- foil
- gauges
- strain gauges
- manufacturing
- foil strain
- Prior art date
Links
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Description
(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФОЛЬГОВЫХ ТЕНЗОРЕЗИСТОГОВ
I
I Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано в производстве фольговых тензорезисторов.
Известен способ изготовлени фольговых тензорезисторов, включающий отжиг фольги из железохромоалюминиевого сплава и фотолитографическое изготовление на ней топологии тензорезистора 1.
Недостатки известного способа изготовлени фольговых тензорезидторов состо т в сложности технологии и низкой термостабильности тензорезисторов в диапазоне, .не охватывающем низких температур.
Наиболее близким к изобретеиию техническим решением вл етс способ изготовлени фольговых тензорезисторов, включающий отжиг фольги из сплава платины, паллади и ириди и фотолитографическое изготовление на ней топологии тензорезистора 2.
Недостаток этого способа изготовлени тензорезисторов заключаетс в иизкой термостабильиости тензорезисторов.
Цель изобретени - повышение термостабильности тензорезисторов в диапазоне температур от -200 до +700С.
Цель достигаетс тем, что согласно способу изготовлени фольговых тензорезисторов, включающему отжиг фольги и фотолитографическое изготовление на ней топологии тензорезистора , используют фольгу из никельмолибденового сплава, легированного 1,8:2 ,2 вес.% алюмини и 2,5-2,9 вес.% хрома, а отжиг провод т в вакууме при 440-480 С в течение 2-3 ч.
Способ изготовлени фольговых тензорезисторов осуществл етс следующим образом.
Три партии фольги из никельмолибдеиового сплава, легированной 1,8-2,2 вес.% алюмини и 2,5-2,9 вес.% хрома, обезжиривают в бензине и отжигают в вакуумной печи „. первую партию при в течение 2 ч, вторую партию при 460° С в течение 2,5 ч и третью партию при 440 С в течение 3 ч. Подготовленную фольгу затем подвергают процессом фотолитографии, формиру иа
ней рисунок тензорезисгоров, и наклеивают на стальные пластины.
Изобретение позвол ет упростить технологию изготовлени фольговых тензорезисторов , повысить термостабнльность теизорезисторов диапазоне температур от -200 до и повысить надежность и воспроизводимость характеристик фольговых тензорезисторов .
Claims (2)
1.Авторское свидетельство СССР №185528, кл. Н 01 С 17/00, 1960.
2.Патент Великобрнтанин N 1047412, кл. Н 01 С 17/00, 1966 (прототип).
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU792885975A SU928426A1 (ru) | 1979-12-26 | 1979-12-26 | Способ изготовлени фольговых тензорезисторов |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU792885975A SU928426A1 (ru) | 1979-12-26 | 1979-12-26 | Способ изготовлени фольговых тензорезисторов |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU928426A1 true SU928426A1 (ru) | 1982-05-15 |
Family
ID=20879246
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU792885975A SU928426A1 (ru) | 1979-12-26 | 1979-12-26 | Способ изготовлени фольговых тензорезисторов |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU928426A1 (ru) |
-
1979
- 1979-12-26 SU SU792885975A patent/SU928426A1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4849730A (en) | Force detecting device | |
| US4331035A (en) | Geometric balance adjustment of thin film strain gage sensors | |
| US5508676A (en) | Strain gauge on a flexible support and transducer equipped with said gauge | |
| GB1580663A (en) | Thin film strain gauges and methods of fabrication | |
| EP0398811A3 (en) | Manufacturing method for a PTC thermistor | |
| EP0571412A1 (de) | Hochtemperatur-platinmetall-temperatursensor | |
| DE2617731C3 (de) | Miniaturdruckmeßwandler | |
| SU928426A1 (ru) | Способ изготовлени фольговых тензорезисторов | |
| JP2017032554A (ja) | ひずみゲージ | |
| DE4021997C2 (de) | Hochtemperaturthermistor | |
| JP2018194405A (ja) | 温度センサ素子 | |
| JPS57196124A (en) | Load cell | |
| US4145470A (en) | Film resistor having a reduced temperature coefficient of resistance | |
| SU815479A1 (ru) | Способ изготовлени фольговыхТЕНзОРЕзиСТОРОВ HA МЕТАлличЕСКОйОСНОВЕ | |
| US3305816A (en) | Ternary alloy strain gauge | |
| JPS5942402A (ja) | 歪センサの製造方法 | |
| JPS63147305A (ja) | 金属薄膜抵抗体 | |
| Lefebvre et al. | " Structural Relaxation" and Short Range Order on Annealing Amorphous Ni63. 7Zr36. 3 | |
| JPS5783047A (en) | Polycrystalline semiconductor resistor | |
| JPS56140669A (en) | Semiconductor pressure sensor | |
| JPH02277264A (ja) | トリミング抵抗器 | |
| SU777407A1 (ru) | Тензочувствительный материал | |
| SU916971A1 (ru) | Способ изготовлени фольгового тензорезистора | |
| Oudar et al. | Thermodynamical and electrochemical study of the chemical adsorption of oxygen and sulfur on iron-chromium alloys | |
| SU574602A1 (ru) | Термостатиреванный тензорезистор |