SU815479A1 - Способ изготовлени фольговыхТЕНзОРЕзиСТОРОВ HA МЕТАлличЕСКОйОСНОВЕ - Google Patents
Способ изготовлени фольговыхТЕНзОРЕзиСТОРОВ HA МЕТАлличЕСКОйОСНОВЕ Download PDFInfo
- Publication number
- SU815479A1 SU815479A1 SU792736816A SU2736816A SU815479A1 SU 815479 A1 SU815479 A1 SU 815479A1 SU 792736816 A SU792736816 A SU 792736816A SU 2736816 A SU2736816 A SU 2736816A SU 815479 A1 SU815479 A1 SU 815479A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- strain gauges
- manufacturing metal
- foil strain
- glass
- based foil
- Prior art date
Links
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Measurement Of Force In General (AREA)
Description
1
Изобретение относитс к измерени м , а именно к технике изготовлени тензорезисторов.
Известен способ изготовлени тензорезисторов на металлической основе, заключающийс в подготовке поверхности основы, нанесении на нее подсло жаростойкого материала , механическом закреплении материала решетки тензорезистора,на подслое , нанесеНий на наружную поверхность решетки жаростойкого цемента l 1.
Недостатком известного способа вл етс то, чтсэ практически невозможно получить подслой жаростойкого материала с равномерной контролируемой толщиной. Это снижает метрологические характеристики тензорезисторов из-за разброса свойств партии датчиков.
Кроме того, способ трудоемок и требует применени специального оборудовани .
Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности вл етс способ изготовлени тензорезисторов на металлической основе, заключающийс в том, что на тензорезистивную фольгу нанос т фотоэмульсию, репродуцируют и трав т ее 2.
Недостатком известного способа вл етс его трудоемкость и метрологическа нестабильность свойств жаростойкого сло при высоких температурах .
Цель изобретени - повьаиение метрологических характеристик тензорезисторов при высоких температурах и упрощение технологии изготовлени .
Указанна цель достигаетс тем, что на металлическую основу нанос т 5 калиброванный по толщине слой стекла , укладывают на него тензорезистивную фольгу, соедин ют их путем обработки под давлением при температуре плавлени стекла и, после репродуцировани и травлени , покрывают наружную поверхность тензорезисторов слоем стекла.
Сущность способа заключаетс в тоц, что на одну из сторон металлической основы, например из сплава Х18Н9Т толщиной 50-156 мкм нанос т электрофоретическим или другим способом слой стекла толщиной 10-15 мкм и размером зерна 0,5-1,0 мкм, укладывают на слой стекла тензорезистивную
фольгу из сплава типа Х20Н75Ю толщиной 5-10 мкм и соедин ют цх между собой путем обработки под давлением при температуре плавлени стекла.
Далее на наружную поверхность тензорезистивной фольги нанос т фотоэмульсию , репродуцируют и трав т поверхность , фольги. После удалени фоторезиста , наружна поверхность чувствительных элементов тензорезисторов покрываетс калиброванным слоем стекла толщиной 10-15 мкм, температура плавлени которого на 30-5О°С ниже температуры плавлени стекла, нанесенного на металлическую основу
Предлагаемый способ может найти применение при изготовлении фольговых тензорезисторов на металлической основе сб стабильными метрологическими характеристиками. Использование различных химических составов стекол наноси№1х. на -металлическую основу и наружн§ ю ;поверэ{:ность тензорезисторов позволит «использовать их в нужном температурном диапазоне и требуемых физико-химических услови х.
Claims (2)
1.Ильинска л. С. и др. Высокотемпературные тензорезисторы на основе жаростойких окислов. М., Энерги , -1973.
2.Авторское свидетельство СССР
№ 200859, кл. G 01 В 7/18, 1966 (прототип ) .
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU792736816A SU815479A1 (ru) | 1979-03-16 | 1979-03-16 | Способ изготовлени фольговыхТЕНзОРЕзиСТОРОВ HA МЕТАлличЕСКОйОСНОВЕ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU792736816A SU815479A1 (ru) | 1979-03-16 | 1979-03-16 | Способ изготовлени фольговыхТЕНзОРЕзиСТОРОВ HA МЕТАлличЕСКОйОСНОВЕ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU815479A1 true SU815479A1 (ru) | 1981-03-23 |
Family
ID=20815284
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU792736816A SU815479A1 (ru) | 1979-03-16 | 1979-03-16 | Способ изготовлени фольговыхТЕНзОРЕзиСТОРОВ HA МЕТАлличЕСКОйОСНОВЕ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU815479A1 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114935304A (zh) * | 2022-04-18 | 2022-08-23 | 嘉兴学院 | 可自修复高灵敏柔性应变传感器及其制备方法与修复方法 |
-
1979
- 1979-03-16 SU SU792736816A patent/SU815479A1/ru active
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114935304A (zh) * | 2022-04-18 | 2022-08-23 | 嘉兴学院 | 可自修复高灵敏柔性应变传感器及其制备方法与修复方法 |
| CN114935304B (zh) * | 2022-04-18 | 2023-08-15 | 嘉兴学院 | 可自修复高灵敏柔性应变传感器及其制备方法与修复方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4849730A (en) | Force detecting device | |
| CA1156486A (en) | Deformable flexure element for strain gage transducer and method of manufacture | |
| CA1176075A (en) | Load cell and method of manufacturing the same | |
| WO2019148726A1 (zh) | 一种电阻式应变传感器 | |
| US4047144A (en) | Transducer | |
| US20170370796A1 (en) | Method for producing a sensor element by means of laser structuring | |
| JPS62213280A (ja) | 半導体加速度センサ | |
| KR100959005B1 (ko) | 금속 압력다이어프램이 구비된 압력측정센서 및 상기압력측정센서의 제조방법 | |
| SU815479A1 (ru) | Способ изготовлени фольговыхТЕНзОРЕзиСТОРОВ HA МЕТАлличЕСКОйОСНОВЕ | |
| GB2040466A (en) | Temperature compensation of strain gauge transducers | |
| JP2585681B2 (ja) | 金属薄膜抵抗ひずみゲ―ジ | |
| Roylance | A MINIATURE INTEGRATED CIRCUIT ACCELEROMETER FOR BIOMEDICAL APPLICATIONS. | |
| US4002934A (en) | Sensitive element of piezooptic measuring converter | |
| JPH032603A (ja) | 耐熱性歪ゲージ及び歪測定方法 | |
| JP3313772B2 (ja) | セラミックヒータ | |
| KR19980084450A (ko) | 다이어 프램식 압력센서 | |
| JPH0618465A (ja) | 複合センサ | |
| SU970091A1 (ru) | Высокотемпературный тензорезистор | |
| JPS63298128A (ja) | 圧力センサ | |
| RU1822245C (ru) | Интегральный преобразователь деформаций егиазаряна и способ его изготовления | |
| SU916971A1 (ru) | Способ изготовлени фольгового тензорезистора | |
| SU586319A1 (ru) | Способ изготовлени фольгового тензорезистора | |
| SU993009A1 (ru) | Способ изготовлени фольговых тензорезисторов | |
| SU1174739A1 (ru) | Способ настройки интегральных тензометрических мостов | |
| JPH0233903A (ja) | 測温素子 |