SU905633A1 - Устройство дл контрол размерных параметров топологии фотошаблонов - Google Patents
Устройство дл контрол размерных параметров топологии фотошаблонов Download PDFInfo
- Publication number
- SU905633A1 SU905633A1 SU802921957A SU2921957A SU905633A1 SU 905633 A1 SU905633 A1 SU 905633A1 SU 802921957 A SU802921957 A SU 802921957A SU 2921957 A SU2921957 A SU 2921957A SU 905633 A1 SU905633 A1 SU 905633A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- mirror
- lens
- topology
- dimensional parameters
- image
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Description
(54) УСТРЮЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ РАЗМЕРНЫХ ПАРАМЕТРОВ ТОПОЛОГИИ ФОТОШАБЛОНОВ Изобретение относитс к измеритель ной технике, а именно к фотоэлектрическим устройствам дл измерени размерных параметров топологии фотошаблонов рагмиеров и координат элементов и совмещаемости фотошаблонов. Известно устройство цп контрол раз мерных параметров топологии фотошаблонов , содержащее координатный стол с датчиком линейного перемещени и фотоэлектрический тубус, включающий проекционную и вспомогательную осветител ную системы, узел сканатора с анализирующей щелью, объектив, два светодели тельных блока и окул рС . Недостатками устройства вл ютс конструктивна сложность из-за наличи двух осветителей и двух светоделительных блоков, а также недостаточно высока точность контрол . Наиболее близким к изобретению.по технической сущности вл етс устройств дл контрол размерных Параметров топо логии фотошаблонов, содержащее осветитель и последовательно установленные по ходу пучка световых пучей объектив, зеркало , зеркальный эпемент с анализирующей щелью и окул р, фотоприемник, расположеннь1Й эа анализирующей щелью зеркального элемента, предметный столик, установленный между осветителем и объективом с возможностью перемещени в « двух взаимно перпендикул рных направлени х относительно оси объектива 23. Недостатком прибора вп етс невысока точность измерени , ограниченна погрешностью измерени , которую вносит поперечное смещение изображени и, следовательно , оси иа серени при перефоку- сировке в пределах неплоскостности контролируемого фотошаблона. Кроме того, точность измерени ограничена чувствительностью фокусирующей подвижки и составл ющими погрешности измерени иоза нестабильности масштаба изображени и полевых аберраций объектива. Цель изобретени - повышение точнооти контрол . 390563 Эта цель достигаетс за счет того, что устройство снабжено двухкомпонент- ной оборачивающей системой, расположенной между зеркальш 1м элементом и л ром, зеркальный элемент расположен s в фокальной плоскости первого компонента оборачивающей системы, а фотоприемник , зеркальный элемент с анализирук шей щелью и первый компонент оборачивающей системы установлены с возмож- ю ностью совместного перемещени вдоль оси пучка световых лучей, проход щих от зеркала к зеркальному элементу. На фиг. 1 изображена принципиапьна схема устройства дл контрол раз-5 мерных параметров топологии фотошаблонов , разрез- на фиг. 2 - схема, по сн юща 11ринцШ1 измерени размера и положени контролируемого элемента. Устройство содержит осветитель 120 ( фиг. 1), предметный столик 2, датчики 3 линейных перемещений (указан только один из двух датчиков), объектив 4, зеркало 5, зеркальный элемент 6 с выполненной в нем анализирующей щелью 7, 25 фотоприемник 8, двухкомпонентную оборачивающую систему, состо щую из первого 9 и второго 10 компонентов, и окул р 11. Осветитель 1, датчики линейных перемещений 3 смонтированы на нижнем основании 30 12, по которому перемещаетс предметный столик 2 с контролируемым фотошаблоном 13. Объектив 4, зеркало 5, вто „1 ,-л рой компонент Ю оборачивающей систе мы и окул р 11 смонтированы на верх- 35 нем основании 14, по которому имеет возможность перемещатьс каретка 15с размещенными на ней зеркальным элементом в, фотоприемником 8 и первым компоноатом 9 оборачивающей системы, при- 40 чем зеркальный элемент G ррспо)1пже1. в фокапькой ППОС1ШСТИ первого компонента 9 оборачивающей системы. Перемещение каретки 15 происходит параллельно оси световых лучей, проход щих от зер-45 кала 5 к зеркальному элементу 6. Предлагаемое устройство работает в полуавтоматическом режиме с участием оператора, который предварительно наво- 5° дитс (прицеливаетс ) на контролируемый элемент фотошаблона 13. Скантфование элемента и измерение производитс автоматически . Измерение размерных парамет ров топологии фотошаблона 13 основано 55
на наве/1ении на край элемента топологии и отсчета положени по одному из датчиков 3 линейт 1Х перемеще(ий. Наведение
элементов топологии испопьзуот1 дл опреаепени совмещаемости фотошаблонов при их последовательном крнтропе. 34 на край осуществл етс спе уктщим ofipaзом . Изображение контролируемого -частка фотошаблона 13, освещенного в прохоц щем свете от осветител 1, строитс объективом 4 в плоскости зеркального элемента 6. Световой поток, прошедший через анапкэщ)ук1щую шель 7, попадает на фотоприемник 8. Свет, отраженный от зеркального элемента 6, направл етс в окул р 11 через компоненты 9 и Ю оборачивающей cvicтемы с параллельным ходом лучей, котора передает изображение анализирую щели 7 одновременно с изображением контролируемого участка фотошаблона 13 пре/дметную плоскость окул ра 11. Наведение на край элемента произвопитс в ходе непрерывного перемещени ( сканировани ) предметного столика 2 по оа«ой из координат, при этом изображение контролируемого элемента перемешаетс поперек анализирующей щели 7. Дл того, чтобы произвести сканирование, оператор, действу ручным управлением привода предметного столика 2, устанавливает изображение 16 (фиг. 2) анализирующей ще ° изображени контролируемого элемента 17 на линии 18 сканировани . Затем оператор запускает цикл работы. Происходит перемещение предметного сто 2 (фиг. 1) с посто нной скоростью. В ходе перемещени S сигнал фотоприL . л «с in емника 8 измен етс от минимального 1У . , - 2) ао максимального 20 и снова уменьшаетс до минимального, т. е. происходит фотометрирование изображени контропируемого элемента 1 / анализирую ° моменты, когда сигнал фотоприемиика 8 пересекает заранее заданный уровень 21, вырабатываютс импульсы отсчета 22 и 23, по которым производитс перенос текущей координаты предметного столика 2 (фиг. 1), отсчитаннон по сигналу датчика 3 пинейного перемещени в блок регистрации (не показан ). Таким образом происходит регистрапи координат краев элементов топологии фотощаблоно 13. Размер элемента опре- дел етс как разность координат двух его краев, а координата центра элемента определ етс как полусук ма координат краев. Информаци о координатах центров
Устройство обеспечивает точность иэмерени не хуже О,1-О,2 мкм. Это аостигаетс применением объектива 4 с числовой апертурой не менее 0,6 и увеличением не менее 2О, анализирующей щелью 7 шириной не более 0,5 мкм, привеаенной в плоскость фотошаблона 13, и аат чиками 3 линейных перемещений с аиск ретностью выработки счетных импульсов не более 0,05 мкм. Объектив 4 с числовой апертурой не менее 0,6 имеет в предметной плоскости глубину резкости не более 2 мкм.
Требовани к обеспечению чувствительности фокусировки и поперечной стабиль ности измерительной оси при перефокусировке на 15-2О мкм (в пределах неплоскостности контролируемого фотошаблона) удовлетвор ютс примененным способом фокусировани в плоскости промежуточкого изображени . При этом ошибка, вносима в результаты измерений, вызванна непр молинейностью перемещени каретки 15 вдоль оси пучка лучей, проход щих от зеркала 5 к зеркальному элементу 6, уменьшаетс пропорционально увеличению объектива 4.
Изменение масштаба изображени , св занное с перемещением каретки 15, как и наличие полевых аберраций объектива 4, не сказываетс на точности измерений, так как анализирующа щель 7 остаетс в центре пол зрени объектива 4 при всех положени х каретки 15, а отсчет координат производитс в плоскости контролируемого фотошаблона по датчикам 3 линейного перемещени .
Перемещение каретки 1 5 вдоль оси пучка лучей, проход щих от зеркала 5 к зеркальному элементу 6, приводит к изменению рассто ни между компонентами 9 и Ю оборачивающей системы и их относительному поперечному смещению. Однако благодар наличию, параллепьного
хода лучей изображение анализ1фук-чи щеми в окул ре 11 остаетс всег-ца резким и наблюдаетс одновременно с резким изображением контршифуемого участ ка фэтошаблона 13 в положении фокусировки .
Claims (2)
1.Компаратор 200 фирмы , ФРГ - Электронна промышленность , 1971, № 4, с. 1О5.
2.Анализатор микроразмеров, модель 2А фирмы М-соп, Япони . - Электрона промышленность , 1979, № 6,
с. 67, (прототип). 9. 0
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU802921957A SU905633A1 (ru) | 1980-05-12 | 1980-05-12 | Устройство дл контрол размерных параметров топологии фотошаблонов |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU802921957A SU905633A1 (ru) | 1980-05-12 | 1980-05-12 | Устройство дл контрол размерных параметров топологии фотошаблонов |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU905633A1 true SU905633A1 (ru) | 1982-02-15 |
Family
ID=20894713
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU802921957A SU905633A1 (ru) | 1980-05-12 | 1980-05-12 | Устройство дл контрол размерных параметров топологии фотошаблонов |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU905633A1 (ru) |
-
1980
- 1980-05-12 SU SU802921957A patent/SU905633A1/ru active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7420670B2 (en) | Measuring instrument and method for operating a measuring instrument for optical inspection of an object | |
US4070116A (en) | Gap measuring device for defining the distance between two or more surfaces | |
US5003342A (en) | Exposure apparatus | |
DE69839069T2 (de) | Wiederholte projektion eines maskenmusters unter verwendung einer zeitsparenden höhenmessung | |
US5907405A (en) | Alignment method and exposure system | |
US4566795A (en) | Alignment apparatus | |
US6016186A (en) | Alignment device and method with focus detection system | |
KR970059840A (ko) | 주사형 투사노광장치 및 이를 사용한 소자제조방법 | |
US4829193A (en) | Projection optical apparatus with focusing and alignment of reticle and wafer marks | |
JPS5979527A (ja) | パタ−ン検出装置 | |
CN101154050A (zh) | 将光刻机中的硅片在线调节到最佳曝光位置的方法 | |
SU905633A1 (ru) | Устройство дл контрол размерных параметров топологии фотошаблонов | |
US4380395A (en) | Reduction projection aligner system | |
JPH0258766B2 (ru) | ||
EP0019941B1 (en) | Reduction projection aligner system | |
KR100295477B1 (ko) | 물체의치수를측정하는장치 | |
JP2003207323A (ja) | 光学式変位測定器 | |
CA1193030A (en) | Alignment device for integrated circuit manufacturing machines | |
JPH07321030A (ja) | アライメント装置 | |
JPH03232215A (ja) | 位置合せ方法 | |
JPH0519297B2 (ru) | ||
JPS6381818A (ja) | 投影光学装置 | |
JP2000228345A (ja) | 位置検出装置及び方法、並びに露光装置 | |
JP2643270B2 (ja) | 間隔測定装置 | |
JPH07123102B2 (ja) | 投影光学装置 |