SU901660A1

SU901660A1 - Diffusion pump

Info

Publication number: SU901660A1
Application number: SU802907784A
Authority: SU
Inventors: Владимир Михайлович Либин
Original assignee: Предприятие П/Я А-3634
Priority date: 1980-04-09
Filing date: 1980-04-09
Publication date: 1982-01-30

Description

(5) ДИФФУЗИОННЫЙ НАСОС(5) DIFFUSION PUMP

1one

Изобретение относитс в вакуумной технике, а именно к конструкци м диффузионных вакуумных насосов.The invention relates to vacuum technology, namely, to designs of diffusion vacuum pumps.

.Известны диффузионные насобы, содержащие корпус с днищем, на внутренней поверхности которого выполнен цилиндрический выступ, а на наружной расположен нагреватель 1.There are known diffusions, comprising a housing with a bottom, on the inner surface of which a cylindrical protrusion is made, and on the outer surface there is a heater 1.

Недостатками известного насоса вл ютс невысокие откачные характеристики вследствие неоптимального распределени тепла от нагревател по объему рабочей жидкости.The drawbacks of the known pump are the low evacuation characteristics due to the non-optimal distribution of heat from the heater throughout the volume of the working fluid.

Цель изобретени - улучшение откачных характеристик насоса.The purpose of the invention is to improve the pumping characteristics of the pump.

Указанна цель достигаетс тем, что на наружной поверхности днища выполнена цилиндрическа бобышка с винтовой канавкой, и нагреватель размещен в последней.This goal is achieved by the fact that a cylindrical boss with a helical groove is made on the outer surface of the bottom, and the heater is placed in the latter.

Кроме того,о выступе выполнено глухое резьбовое отверстие,In addition, a blind hole is made on the protrusion,

На чертеже представлен насос, продольный разрез.The drawing shows the pump, a longitudinal section.

Диффузионный насос содержит корпусDiffusion pump includes a housing

1с днищем 2, на внутренней поверхности которого выполнен цилиндрический выступ 3 а на наружной расположен нагреватель k, причем на наружной поверхности днища 2 выполнена цилиндг. рическа бобышка 5 с винтовой канавкой 6 и нагреватель t размещен в последней . Кроме того, в выступе 3 выполнено глухое резьбовое отверстие 1 with the bottom 2, on the inner surface of which a cylindrical protrusion 3 a is made, on the outer side there is a heater k, and on the outer surface of the bottom 2 there is a cylinder. A brass nozzle 5 with a helical groove 6 and a heater t are placed in the latter. In addition, in the protrusion 3 is made deaf threaded hole

10 ( не показано), а по оси корпуса 1 установлены паропроводы 7 с соплами.10 (not shown), and along the axis of the housing 1 are installed steam lines 7 with nozzles.

Насос работает следующим образом. Тепло от нагревател k через днищеThe pump works as follows. Heat from heater k through bottom

2передаетс рабочей жидкости насоса, 2 transmits pump fluid,

IS котора преобразуетс в пар, истекающий через сопла паропроводов 7 и откачивающий газ из вакуумируемого объема. Вследствие расположени нагревател IS which is converted to steam flowing through the nozzles of the steam lines 7 and evacuating the gas from the evacuated volume. Due to the location of the heater

Claims

C in the screw groove 6 bosses 5 days 20 sch 2 and the presence of a cylindrical vy-. Stupa 3 The liquid in the central steam line receives a large amount of heat from heater k, which leads to 390 intensification of the vaporization process and, ultimately, to an improvement in the pumping characteristics of the pump. Claim 1. Diffusion pump, comprising a housing with a bottom, on the inner surface of which there is a cylindrical protrusion, and on the outside is a heater, characterized by 1 4 in that, in order to improve the pumping performance, a cylindrical boss with a helical groove is made on the outer surface of the bottom and the heater is placed in the latter.

2. A pump according to Claim 1, characterized in that a blind threaded hole is made in the protrusion. Sources of information taken into account in the examination 1. Patent of Germany No. 808l4 +, cl. 27 d 3/04, publ. 1951.