SU591622A1

SU591622A1 - Diffusion pump

Info

Publication number: SU591622A1
Application number: SU762318169A
Authority: SU
Inventors: Владимир Ильич Антюхов; Владимир Николаевич Кеменов
Original assignee: Предприятие П/Я В-2572
Priority date: 1976-02-02
Filing date: 1976-02-02
Publication date: 1978-02-05

Description

(54) ДИФФУЗИОННЫЙ НАСОС(54) DIFFUSION PUMP

Изобретение относитс к области вакуумной техники.The invention relates to the field of vacuum technology.

Известен диффузионный насос, содержащий корпус с кип тильником и паропроводом по оси 1.A diffusion pump is known, comprising a housing with a boiler and a steam line along axis 1.

Недостатком известного насоса вл етс то, что он имеет значительный вылет масла в откачиваемый объем.A disadvantage of the known pump is that it has a significant oil outflow into the pumped volume.

Известен также диффузионный насос, содержащий корпус с кип тильником рабочей жидкости в нижней части паропроводом по оси, снабженным соплами, и размещенный над верхним соплом паропровода отражатель 2.Also known is a diffusion pump, comprising a housing with a boiling fluid of the working fluid in the lower part of the steam line along an axis provided with nozzles, and a reflector 2 placed above the upper nozzle of the steam line.

В этом насосе миграци паров масла снижена , но недостаточно, чтобы можно было говорить о чистом вакууме и, кроме того, наличие отражател ведет к снижению быстроты действи насоса.In this pump, the migration of oil vapors is reduced, but not enough to be able to speak of a pure vacuum and, in addition, the presence of a reflector leads to a decrease in the speed of the pump.

Целью изобретени вл етс уменьшение величины обратно олотока паров рабочей жидкости .The aim of the invention is to reduce the amount of back vapor of the working fluid vapor.

Это достигаетс тем, что отражатель выполнен в виде сверхзвукового сопла, подключенного к источнику газа высокого давлени , расположенному снаружи корпуса.This is achieved by the fact that the reflector is designed as a supersonic nozzle connected to a high pressure gas source located outside the housing.

На чертеже изображен насос, продольный разрез.The drawing shows the pump, a longitudinal section.

В нижней части корпуса 1 диффузионного насоса расположен кип тильник 2 рабочей жидкости , по оси паропровод 3, снабженный соплами 4 и 5, и размещенный над верхним соплом 4 паропровода 3 отражатель.In the lower part of the housing 1 of the diffusion pump there is a boiler 2 of working fluid, along the axis of the steam line 3, equipped with nozzles 4 and 5, and a reflector placed above the upper nozzle 4 of the steam line 3.

Отражатель выполнен в виде сверхзвукового сопла 6, подключенного к источнику 7 газа высокого давлени , расположенному снаружи корпуса 1. Газ из источника 7 подаетс к соплу () через вентиль 8.The reflector is made in the form of a supersonic nozzle 6 connected to a source of high-pressure gas 7 located outside the housing 1. The gas from the source 7 is supplied to the nozzle () through a valve 8.

Насос работает следующим образом. Пары рабочей жидкости истекают из сопл 4 и 5 паропровода 3. Откачиваемый газ сжимаетс струей пара и выбрасываетс на сторону предварительного разрежени . При этом вентиль 8 закрыт и насос работает обычным образо.м. После достижени рабочего давлени вентиль 8 открываетс и перманентный газ начинает истекать из сопла 6, благодар чему снижаетс обратный вылет паров масла в откачиваемый объем, уменьшаетс величина предельного остаточного давлени , увеличиваетс быстрота действи насоса . При этом стру газа совершает работу по сжатию откачиваемого газа и выбрасываетс на сторону предварительного разрежени в.месте с ним.The pump works as follows. The vapors of the working fluid are exhausted from the nozzles 4 and 5 of the steam line 3. The evacuated gas is compressed by the jet of steam and thrown onto the side of the preliminary vacuum. In this case, the valve 8 is closed and the pump operates in the usual manner. After the working pressure is reached, the valve 8 opens and the permanent gas starts to flow out of the nozzle 6, due to which the return of oil vapors to the pumped volume is reduced, the value of the limiting residual pressure is reduced, and the speed of the pump is increased. At the same time, the gas jet performs work on the compression of the pumped gas and is thrown onto the side of the preliminary vacuum section along with it.

Claims

1. US patent number 3141606, 417-152

1972.

2. USSR author's certificate No. 377560 F 04 f 9/06, 1970.