SSSS
(Л(L
И-AND-
о about
00 Изобретение относитс к вакуумной технике . Известен криогенный насос, содержащий откачивающий элемент в виде сосуда 1.. Однако откачивающей поверхностью дан ного насоса вл етс только днище .сосуда, что ограничивает быстроту действи насоса. По основному авт. св. № 643665 известен криогенный вакуумный насос, в корпусе которого размещен внутри охлаждаемого экрана откачивающий элемент, выполненный в виде сосуда, заполненного криоагентом и разделенного по высоте перегородками , при этом перегородки снабжены патрубками , расположенными концентрично оси сосуда, и имеют тепловой контакт со стенками последнего 2. Основной недостаток известного насоса состоит в том, что криоагент в карманах, образованных перегородками выкипает неравномерно , в результате чего отдельные участки поверхности откачивающего элемента могут перегреватьс . Целью изобретени вл етс повышение быстроты откачки. Указанна цель достигаетс тем, что в криогенном вакуумном насосе, в корпусе которого размещен внутри охлаждаемого экрана откачивающий элемент, выполненный в виде сосуда, заполненного криоагентом и разделенного по высоте перегородками , при этом перегородки снабжены патрубками , расположенными концентрично оси сосуда, и имеют тепловой контакт со стенками последнего, в сосуде с тепловым контактом установлена трубка, снабженна защитным кожухом, а патрубки имеют переменный диаметр, увеличивающийс от нижних перегородок к верхним. На чертеже изображен предлагаемый насос, продольный разрез. Криогенный вакуумный насос, в корпусе 1 которого размещен внутри охлаждаемого экрана 2 откачивающий элемент, выполненный в виде сосуда 3, заполненного криоагентом и разделенного по высоте перегородками 4. Перегородки 4 снабжены патрубками 5, расположенными концентрично оси сосуда 3, и имеют тепловой контакт со стенками последнего. В сосуде 3 с тепловым контактом установлена трубка 6, .снабженна защитным кожухом 7, а патрубки 5 имеют переменный диаметр D, увеличивающийс от нижних перегородок 4 к верхним. Насос работает следующим образом. Полость насоса откачивают вспомогательным насосом (не показан) до давлени 10 - 10 Па. Затем полость экрана 2 заполн ют жидким азотом, а полость откачивающего элемента - жидким гелием. Откачиваемый газ проходит к сосуду 3 и конденсируетс на его днище и боковой поверхности , отдава свою теплоту. За счет подводимой к трубке 6 теплоты в ней происходит интенсивна циркул ци криоагента. Образующиес отдельные мелкие пузырьки пара сливаютс в крупные и течение потока приобретает «порщневой ха рактер. При этом каждый паровой «поршень двигает перед собой жидкостную пробку, Поскольку плотность криогента в трубке 6 меньше, чем в самом сосуде 3 откачивающего элемента, то циркул ци не прекращаетс и по мере снижени уровн жидкого гели в сосуде 3. Трубка 6 работает как парлифт . Жидкий гелий парлифтом забрасываетс на верхнюю перегородку 4, с которой последовательно переливаетс на нижерасположенные перегородки 4. Кожух 7 защищает внешнюю поверхность трубки 6 от охлаждени жидким гелием., -повЫща интенсивность циркул ции криоагента в трубке 6. Таким образом, обеспечиваетс надежное охлаждение откачивающего элемента по всей его высоте.00 The invention relates to vacuum technology. A cryogenic pump is known that contains a pumping element in the form of a vessel 1. However, the pumping surface of this pump is only the bottom of the vessel, which limits the speed of the pump. According to the main author. St. No. 643665 is well known for a cryogenic vacuum pump in which case an evacuation element is placed inside the cooled screen, made in the form of a vessel filled with a cryoagent and divided by partitions in height, while the partitions are provided with nozzles located concentric with the vessel axis 2 and have thermal contact with the latter’s walls 2. The main disadvantage of the known pump is that the cryoagent in the pockets formed by the partitions boils unevenly, as a result of which separate parts of the surface are pumped out o The element may overheat. The aim of the invention is to increase the speed of pumping. This goal is achieved by the fact that in a cryogenic vacuum pump, in the casing of which a pumping element is placed inside the cooled screen, made in the form of a vessel filled with a cryoagent and divided by partitions in height, the partitions are provided with nozzles located concentric with the vessel axis the walls of the latter, in a vessel with thermal contact, have a tube fitted with a protective casing, and the nozzles have a variable diameter increasing from the lower partitions to the upper ones. The drawing shows the proposed pump, a longitudinal section. A cryogenic vacuum pump, in case 1 of which is placed inside a cooled screen 2, a pumping element made in the form of a vessel 3 filled with a cryoagent and divided in height by partitions 4. The partitions 4 are provided with nozzles 5 located concentrically with the vessel axis . In the vessel 3 with thermal contact, a tube 6 is installed, equipped with a protective casing 7, and the nozzles 5 have a variable diameter D, increasing from the lower partitions 4 to the upper ones. The pump works as follows. The cavity of the pump is pumped out with an auxiliary pump (not shown) to a pressure of 10 to 10 Pa. Then the cavity of the screen 2 is filled with liquid nitrogen, and the cavity of the pumping element is filled with liquid helium. The evacuated gas flows to vessel 3 and condenses on its bottom and side surface, giving off its heat. Due to the heat supplied to the tube 6, the cryoagent is intensively circulating in it. The individual small vapor bubbles that form are merged into large ones and the flow of the stream acquires a piston character. At the same time, each steam piston moves a liquid plug in front of it. Since the cryogenic density in tube 6 is less than in the vessel 3 of the pumping-out element, the circulation does not stop as the level of liquid helium in vessel 3 decreases. Pipe 6 works as a parlift. Liquid helium with a parlift is thrown onto the upper partition 4, from which it is successively poured onto the lower partitions 4. The housing 7 protects the outer surface of the tube 6 from cooling with liquid helium., The cryoagent circulation rate in the tube 6 is reliably cooled by all its height.