SU697467A1 - Керамический материал - Google Patents

Description

Изобретение относитс  к радиоэлектронной технике и может быть испо.льзоваио дл  изготовлени  высокотемпературных изделий, работаю щих в интервале температур до З15 в том числе конденсаторов, подложе дл  микросхем и оснований резистор В насто щее врем  как в отечест ной, так и зарубежной технике дл  изготовлени  различного вида подложек , работающих при высокой температуре , используют корундовую керамику с небольитими добавками дл снижени  температуры спекани . Известен керамический материал 1, содержащий, вес.%: Окись алюмини , 99,5-99,9 обожженна  в среде сухого водорода 0,1гО,5 Окись галли  Данньпт материал опекаетс  при 1б70±30с в вакууме с остаточньм давлением не более 10 NW.PT.CT. Микропористость керамики 1%. Мате риал имеет трудоемкую.технологию изготовлени , так как обжиг глинозема в среде сухого водорода ма.1О проилводителен отсутстви  в промьшленности печей большого габ рита. Наиболее близким техническим решением к данному  вл етс  используемый в СССР дл  изготовлени  подложек микросхем керамический материал Поликор, в который в качестве минерализатора к окиси алюг-дан-и  добавл ют различные соли магни  в количестве 0,2-0,25 вес.% в пересчете на МдО 2. Поликор характеризуетс  высокими физическими и диэлектрическими свойствами, спекаетс  в вакууме при температуре пор дка , Материал обладает механической прочностью пор дка 3000-3500 кг/см, диэлектрической проницаемостью ,510 ,8 при частоте 10 Гц; при 20 С-1 10 удельным объемом электросопротивлением при , при 400°С-10 ом.см. В св зи с высокой температурой спекани  этого материала его изготовление в производстве представл ет значительные трудности. Делью изобретени   вл етс  снижение температуры спекани  при сохранении высоких диэлектрических характеристик в широком интервале температур, что обеспечит возмож f.-tf «

: .-. V .

,/

ность использовани  мгпериала нар ду с изготовлением подложек: дл  изготовлени  высокотемпературных конденсаторов, работающих при ,

Поставленна  цель достигаетс  тем, что керамический материал на основе окиси алюмини  с добавками содержит в качестве последних двуокись циркони  или гафни , вес.%:

Окись алюмини 

Двуокись циркони  или гафни 

Пример 1. В вибромельницу загружают порошок глинозема 99,-8% и добавку двуокиси гафни  0,2%, формуют 15 заготовки и спекают их при 15701бЗО°С . Электрические характеристики материала: 315°С(3-4) р 315С 10 -103 ом-см .

Пример 2. Материал, содер- 20 жащий глинозема 99% и 1% двуокиси гафни  или циркони  имеет температуру спекани  1580-1640 С.Электрические характеристики материала : tg 6 З15с (3-ао) - lO -pv3l5°C lO -lo aM.CM. 25

При м.е р 3. При содержании в материале 99,5% .AI2.O5 и 0,5% двуокиси циркони , температура .его спекачи  составл ет 1580-1640 С. ЭлектриПредлагаемый материал

ческие характеристики: t 315°C {6-10 ) 10, Яу 31 5с - ом-гм

Компоненты (глинозем и добавку) измельчают в вибромельнице в течение 10-12 час до размера частиц неболее 2,5 мкм, затем готов т образцы либо прессованием дисков, либо отливкой через фильеру пленки, на которые нанос т серебр ные или Мо.г-Мп электроды.,

Образцы обжигают при 1600±30°С в воздушной среде или 1580+300С в вакууме при Мо-Мп металлизации, и получают дисковые или монолитные конденсаторы или подложки дл  различного вида микросхем.

Предлагаемый материал характеризуетс  широким интервалом спекани  при .наличии небольшой микропористости: при обжиге в воздушной среде микропористость : 5%; при спекании в вакууме 2%, при сохранении размера .пор 5 мкм и менее, что делает возможным изготовление этих материалов по пленочной технологии (150 мк 6 изгиба образцов - 3500 кг/см

(ср.знач.)

Ниже в таблице приведены некоторые свойства данного материала.