SU663001A1 - Электронный микроскоп - Google Patents
Электронный микроскопInfo
- Publication number
- SU663001A1 SU663001A1 SU772466492A SU2466492A SU663001A1 SU 663001 A1 SU663001 A1 SU 663001A1 SU 772466492 A SU772466492 A SU 772466492A SU 2466492 A SU2466492 A SU 2466492A SU 663001 A1 SU663001 A1 SU 663001A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- current
- electron
- electron microscope
- intermediate lens
- fluorescent screen
- Prior art date
Links
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
(54) ЭЛЕКТРОННЫЙ МИКРОСКОП
I
Изобретение относитс к облас и элект ,ронно-микроскопического приборостроени и может быть использовано в просвечивающей электронной микроскопии.
Известны электронные микроскопы, содержащие электронную пушку, конденсорный блок, отклон ющую систему и систему формировани изображени . Недостатком известного устройства вл етс изменение ркости свечени флуоресцирующего экрана при изменении увеличени электронного микроскопа , что приводит к снижению контраста изображени объекта при больщих увеличени х и увеличивает продблжительность исследовани из-за необходимости проведени дополнительной юстировки 1.
Наиболее близким к изобретению техническим реЩением вл етс просвечивающий растровый электронный микроскоп, содержащий электронную пущку, растровые отклон ющие катущки, электронно-оптическую систему со стабилизатором тока и регул тором тока промежуточной линзы, генератор разверток, флуоресцирующий экран и растровую приставку 2.
Данное устройство позвол ет работать в .просвечивающем режиме со сканированием первичного электронного пучка по объекту и получением изображени на флуоресцирующем экране.
При работе в этом режиме известное устройство имеет тот же недостаток: с изменением увеличени электронного микроскопа измен етс ркость свечени флуоресцирующего экрана.
Целью изобретени вл етс стабилизаци уровн ркости флуоресцирующего экрана при изменении увеличени .
Цель достигаетс тем, что в предлагаемом устройстве регул тор тока промежуточной линзы снабжен функциональным преобразователем , электрически соединенным со стабилизатором тока промежуточной линзы и генератором разверток и регулирующим изменение тока растрировани отклон ющих катушек в зависимости от тока промежуточной линзы согласно соотношению
УЛР-В,
где К - коэффициент пропорциональности, величина посто нна ;
I - ток растрировани , подаваемый на растровые от.клон ющие катущки;
I - ток обмотки промежуточной линзы; A - коэффициент увеличени проекционной линзы; В - коэффициент увеличени объективной ЛЙЙЗЫ. Конструкци устройства по сн етс чертежом , где показаны электронна пушка 1, конденсорный блок 2, растровые откло51 ющие катушки 3, электронный луч 4, исследуемый объект 5, предметна плоскость 6 объективной линзы 7, объективна линза 7, промежуточна линза 8, плоскость 9 изображени промежуточной лин:зы, проекционна линза 10, флуоресцирующий экран 11, стабилизатор тока 12 промежуточной линзы, регул тор тока с функциональным преобразователем 13, генератор разверток 14. Коэффициенты увеличени промежуточной Ли электронной В линз рассчйтьшаютс известным образом дл конкретных значений рассто ний между предметной пйрскрстью объективной линзы и ее средней плоскостью йо, между средними плоскост ми объективной и промежуточной линз 2ot и между средней плоскостью промежуточной, линзы и, ее плоскостью изображени в . Устройство работает следующим образом. Сформированный электронной пушкой и электронно-оптической системой электронный луч диаметром 300-1000 А сканируют по образцу с частотой кадров пор дка 20- 25 кадров в секунду. При данных значени х частоты развертки электронного луча и его диаметра на флуоресцирующем экране электронного микроскопа формируетс монолитна картина, полученна в параксиальной зоне объекта со стороной растра 3-4 мкм. При изменении увеличени электронного микроскопа с помощью регул тора тока измен ют ток обмотки промежуточной линзы. Одновременно функциональный преобразователь регул тора тока измен ет величину тока растрировани отклон ющих катушек согласно приведенному соотношению, что обеспечивает изменение площади растра
eSI«3,
.
Claims (2)
- 663001 электронного луча на поверхности объекта обратно пропорционально увеличению электронного микроскопа. Это обеспечивает сохранение посто нной ркости изображени на флуоресцирующем экране при изменении увеличени . Формула изобретени Электронный микроскоп, содержащий электронную пушку, растровые отклон ющие катущки, электронно-оптическую систему со стабилизатором тока и регул тором тока промежуточной линзы, генератор разверток и флуоресцирующий экран, отличающийс тем, что, с целью стабилизации уровн ркости флуоресцирующего экрана при изменении увеличени , регул тор тока промежуточной линзы снабжен функциональным преобразователем изменени тока по зависимости : . VAp-в; где К - коэффициент пропорциональности; /р- ток растрировани , подаваемый на растровые отклон ющие катущки; I - ток обмотки промежуточной линзы; А - коэффициент увеличени проекционной линзы; В - коэффициент увеличени объективной линзы, электрически соединенным со стабилизатором тока промежуточной линзы и генератором разверток. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1.Электронный микроскоп ЭМВ-ЮОЛМ, Техническое описание и инструкци по эксплуатации ЦФ 1.720.011 ТО, Йнешторгиздат, 1972. ;.
- 2.Scanning Electron Microscope Attachment Pilips 1970, Printed in the Netherlands, 7010.01.4550.11.Tf663001
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU772466492A SU663001A1 (ru) | 1977-03-28 | 1977-03-28 | Электронный микроскоп |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU772466492A SU663001A1 (ru) | 1977-03-28 | 1977-03-28 | Электронный микроскоп |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU663001A1 true SU663001A1 (ru) | 1979-05-15 |
Family
ID=20701073
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU772466492A SU663001A1 (ru) | 1977-03-28 | 1977-03-28 | Электронный микроскоп |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU663001A1 (ru) |
-
1977
- 1977-03-28 SU SU772466492A patent/SU663001A1/ru active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0673532B1 (en) | Imaging system | |
DE3924605C2 (de) | Rasterelektronenmikroskop | |
DE102005048677B4 (de) | Transmissionselektronenmikroskop und Bildbetrachtungsverfahren unter Verwendung desselben | |
US4714833A (en) | Arrangement for detecting secondary and/or backscatter electrons in an electron beam apparatus | |
US20060016992A1 (en) | Electron beam apparatus | |
US5805342A (en) | Imaging system with means for sensing a filtered fluorescent emission | |
US3919550A (en) | Scanning electron microscopes | |
SU663001A1 (ru) | Электронный микроскоп | |
JPH036615B2 (ru) | ||
US4988857A (en) | Misconvergence measuring apparatus | |
JP2957610B2 (ja) | 走査形電子顕微鏡 | |
JPH11135046A (ja) | 電子顕微鏡 | |
WO2021229732A1 (ja) | 荷電粒子線装置、荷電粒子線装置の制御方法 | |
EP1169662A1 (en) | A chromatically uncompensated optical system for composing colour images | |
JP2886168B2 (ja) | 電子線装置 | |
JP2002319361A (ja) | 走査電子顕微鏡の異種倍率設定方法 | |
SU1396025A1 (ru) | Способ наблюдени ЦМД-структур | |
KR830000956B1 (ko) | 주사전자 현미경등의 대물 렌즈 | |
CN1341272A (zh) | 彩色显示设备 | |
SU1243046A1 (ru) | Электронный микроскоп | |
US6633141B1 (en) | Display device with deflection means and means for influencing the distance between electron beams | |
KR830002861Y1 (ko) | 주사전자 현미경 및 그의유사장치의 주사상 관찰장치 | |
JPS6149362A (ja) | テレビジョン電子顕微鏡の焦点合わせ装置および焦点合わせ方法 | |
GB2123582A (en) | Correction of astigmatism in electron beam instruments | |
KR20020046145A (ko) | 하전 입자 비임을 제어하기 위한 분기식 마그네틱 렌즈 |