SU663001A1

SU663001A1 - Электронный микроскоп

Info

Publication number: SU663001A1
Application number: SU772466492A
Authority: SU
Inventors: Александр Николаевич Пилянкевич; Иван Семенович Лялько; Анатолий Миронович Климовицкий; Валентин Алексеевич Кобыляков
Original assignee: Предприятие П/Я В-2613
Priority date: 1977-03-28
Filing date: 1977-03-28
Publication date: 1979-05-15

Description

(54) ЭЛЕКТРОННЫЙ МИКРОСКОП

I

Изобретение относитс к облас и элект ,ронно-микроскопического приборостроени и может быть использовано в просвечивающей электронной микроскопии.

Известны электронные микроскопы, содержащие электронную пушку, конденсорный блок, отклон ющую систему и систему формировани изображени . Недостатком известного устройства вл етс изменение ркости свечени флуоресцирующего экрана при изменении увеличени электронного микроскопа , что приводит к снижению контраста изображени объекта при больщих увеличени х и увеличивает продблжительность исследовани из-за необходимости проведени дополнительной юстировки 1.

Наиболее близким к изобретению техническим реЩением вл етс просвечивающий растровый электронный микроскоп, содержащий электронную пущку, растровые отклон ющие катущки, электронно-оптическую систему со стабилизатором тока и регул тором тока промежуточной линзы, генератор разверток, флуоресцирующий экран и растровую приставку 2.

Данное устройство позвол ет работать в .просвечивающем режиме со сканированием первичного электронного пучка по объекту и получением изображени на флуоресцирующем экране.

При работе в этом режиме известное устройство имеет тот же недостаток: с изменением увеличени электронного микроскопа измен етс ркость свечени флуоресцирующего экрана.

Целью изобретени вл етс стабилизаци уровн ркости флуоресцирующего экрана при изменении увеличени .

Цель достигаетс тем, что в предлагаемом устройстве регул тор тока промежуточной линзы снабжен функциональным преобразователем , электрически соединенным со стабилизатором тока промежуточной линзы и генератором разверток и регулирующим изменение тока растрировани отклон ющих катушек в зависимости от тока промежуточной линзы согласно соотношению

УЛР-В,

где К - коэффициент пропорциональности, величина посто нна ;

I - ток растрировани , подаваемый на растровые от.клон ющие катущки;

I - ток обмотки промежуточной линзы; A - коэффициент увеличени проекционной линзы; В - коэффициент увеличени объективной ЛЙЙЗЫ. Конструкци устройства по сн етс чертежом , где показаны электронна пушка 1, конденсорный блок 2, растровые откло51 ющие катушки 3, электронный луч 4, исследуемый объект 5, предметна плоскость 6 объективной линзы 7, объективна линза 7, промежуточна линза 8, плоскость 9 изображени промежуточной лин:зы, проекционна линза 10, флуоресцирующий экран 11, стабилизатор тока 12 промежуточной линзы, регул тор тока с функциональным преобразователем 13, генератор разверток 14. Коэффициенты увеличени промежуточной Ли электронной В линз рассчйтьшаютс известным образом дл конкретных значений рассто ний между предметной пйрскрстью объективной линзы и ее средней плоскостью йо, между средними плоскост ми объективной и промежуточной линз 2ot и между средней плоскостью промежуточной, линзы и, ее плоскостью изображени в . Устройство работает следующим образом. Сформированный электронной пушкой и электронно-оптической системой электронный луч диаметром 300-1000 А сканируют по образцу с частотой кадров пор дка 20- 25 кадров в секунду. При данных значени х частоты развертки электронного луча и его диаметра на флуоресцирующем экране электронного микроскопа формируетс монолитна картина, полученна в параксиальной зоне объекта со стороной растра 3-4 мкм. При изменении увеличени электронного микроскопа с помощью регул тора тока измен ют ток обмотки промежуточной линзы. Одновременно функциональный преобразователь регул тора тока измен ет величину тока растрировани отклон ющих катушек согласно приведенному соотношению, что обеспечивает изменение площади растра

eSI«3,

.

Claims

663001 электронного луча на поверхности объекта обратно пропорционально увеличению электронного микроскопа. Это обеспечивает сохранение посто нной ркости изображени на флуоресцирующем экране при изменении увеличени . Формула изобретени Электронный микроскоп, содержащий электронную пушку, растровые отклон ющие катущки, электронно-оптическую систему со стабилизатором тока и регул тором тока промежуточной линзы, генератор разверток и флуоресцирующий экран, отличающийс тем, что, с целью стабилизации уровн ркости флуоресцирующего экрана при изменении увеличени , регул тор тока промежуточной линзы снабжен функциональным преобразователем изменени тока по зависимости : . VAp-в; где К - коэффициент пропорциональности; /р- ток растрировани , подаваемый на растровые отклон ющие катущки; I - ток обмотки промежуточной линзы; А - коэффициент увеличени проекционной линзы; В - коэффициент увеличени объективной линзы, электрически соединенным со стабилизатором тока промежуточной линзы и генератором разверток. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1.Электронный микроскоп ЭМВ-ЮОЛМ, Техническое описание и инструкци по эксплуатации ЦФ 1.720.011 ТО, Йнешторгиздат, 1972. ;.
2.Scanning Electron Microscope Attachment Pilips 1970, Printed in the Netherlands, 7010.01.4550.11.

Tf

663001