SU607284A1 - Электропровод ща паста - Google Patents

Description

Изобретение относитс  к электропровод щим материалам, примен емым в производстве полупроводниковых приборов. Известны электропровод щие составы на основе м гкого металла, полимерлого св зующего и органического растворител , причем в качестве токопровод щего наполнител  используетс  порошкообразныйТлеталл, например серебро, а в качестве св зующих веществ различные клеи или смолы 1. Известные составы обеспечивают хорощую электропроводность и электрический контакт, но их трудно удал ть с поверхности издели , на которое они нанос тс . Известна элeкTpoпpvJвoд щa  паста дл  печатных плат и интегральных .микросхем, содержаща  органические термореактивные св зующие , например фенольные, ксилольные, эпоксидные смолы, и металлические наполнители в виде кристаллов-дендритов, например меди, железа, и аморфных чешуек, например, серебра , меди, -причем чешуйки располагаютс  частично между дендритами, образу  сплощную поверхностную пленку 2. Эта паста обладает повышенными адгезионными свойствами. Однако невозможно качественно удал ть компоненты пасты с поверхности изделий, например полупроводниковых пластин и кристаллов, когда требуетс  создать временный контакт с изделием , например, при разделении полупроводниковых пластин на кристаллы электроэрозионным методом. С це.чью повышени  технологичности процесса нанесени  пасты и последующего ее удалени  с поверхвости издели  при сохранении надежного контакта пре.длагаема  пае%а содержит в качестве термореактивных органических св зующих воск пчелиный и канифоль, а в качестве наполнител  - металлические щарики диаметром 5-50 мкм при следующем соотношении компонентов, вес. Металлические шарики 85-90 Воск пчелиный9-13 Канифоль1-2 Наличие органических св зующих агентов пчелиного воска и канифоли обеспечивает хорошие адгезионные свойства пасты, например, качественную приклейку полупроводниковых пластин к рабочему столику, на котором производ т разделение пластин на кристаллы. Воск и канифоль хорошо раствор ютс  в органических растворител х, не оставл   на поверхности загр знений, что обеспечивает качественное удаление наносимого cqcTaBa.

Металлические шарики изготавливают из олова и сплавов на его основе, цинка и других металлов и могут быть использованы многократно . Диаметр шариков 5-50 мкм обеспечивает требоваии  плотной Упаковки дл  создани  надежного контакта и качественное удаление с поверхности.

Электропровод шую пасту приготавливают следующим образом.

Навески воска пчелиного и канифоли заданного состава засыпают в фарфоровый тигель и на плитке нагревают до 130- 150°С. После полного расплавлени  компоиеитов производ т добавление металлических шариков заданного диаметра .и перемешивание состава стекл нной палочкой до получени  одиородной массы.

По предлагаемому способу была изготовлена электропровод ща  паста следующего состава , вес.°/о:

Металлические шарики 90 JBocK пчелиный9

Канифоль1

Паста этого состава была применена при разделении полупроводниковых пластин на кристаллы , электроэрозиоиным способом Опробование показало качественное разделение и последующее качественное удаление пасты с поосрхности кристаллов.

Claims (2)

1.Авторское свидетельство СССР № 342226, кл. Н 01 В 1/02, 1972.

2.Патент США № 3.767.519, кл. 161 - 168, 1973.