SU602069A1 - Ускоритель пр мого действи - Google Patents

Ускоритель пр мого действи

Info

Publication number
SU602069A1
SU602069A1 SU762385301A SU2385301A SU602069A1 SU 602069 A1 SU602069 A1 SU 602069A1 SU 762385301 A SU762385301 A SU 762385301A SU 2385301 A SU2385301 A SU 2385301A SU 602069 A1 SU602069 A1 SU 602069A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
direct
action accelerator
electrodes
electron
accelerator
Prior art date
Application number
SU762385301A
Other languages
English (en)
Inventor
Е.А. Абрамян
И.И. Девяткин
Ю.Д. Козлов
В.П. Марин
В.С. Медовиков
Л.Г. Суходолец
Original Assignee
Институт высоких температур АН СССР
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Институт высоких температур АН СССР filed Critical Институт высоких температур АН СССР
Priority to SU762385301A priority Critical patent/SU602069A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU602069A1 publication Critical patent/SU602069A1/ru

Links

Landscapes

  • Particle Accelerators (AREA)

Description

кое ускор ющее напр жение, а к электродам электронной пушки 8 и отклон ющим пластинам 9 системы развертки - соответствующее питающее напр жение. При разогретом катоде электронной пущки 8 электроны , регулируемые уиравл юи1,ей сеткой, проход т между отклои 1опи1ми пластинами 9, под действием отклон ющего напр жени  измен ют направление движени , попадают в ускор ющий зазор 6, где ускор ютс  до заданной скорости, и сквозь выпускное окно 10 выход т 13 атмосферу. Благодар  сферической конструкции ускор ю ци .х электродов и помещени  отклон ющих нластин и нущки вблизи центра сфер, удаетс  существенно увеличить угол развертки электронного луча и добитьс  возмол ностп облучени  электронным лучом широкоформатных изделий. 4 Ф о р м у л а изобретени  Ускоритель пр мого действи , содержащий электронную пушку, ускор ющий зазор , выполненный в виде концентрических электродов сферической формы, о т л и ч аю И1 и и с   тем, что, с целью увеличени  поверхности облучени  при сохранении равномерности выход щего нучка электронов, электронна  нущка расположена внутри сферической системы электродов, а иа ее выходе расположена отклон юща  система. Источники информации, нрин тые во внимаппе нрп экспертизе 1.Патент Японии № 39-7547, кл. 136F 32, опублнк. 1964. 2.За вка № 2106517/25, кл. П 05Н 5/02, 1974, но которой прин то рещение о выдаче авторского свидетельства.
SU762385301A 1976-06-28 1976-06-28 Ускоритель пр мого действи SU602069A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU762385301A SU602069A1 (ru) 1976-06-28 1976-06-28 Ускоритель пр мого действи

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU762385301A SU602069A1 (ru) 1976-06-28 1976-06-28 Ускоритель пр мого действи

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU602069A1 true SU602069A1 (ru) 1979-05-30

Family

ID=20670261

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU762385301A SU602069A1 (ru) 1976-06-28 1976-06-28 Ускоритель пр мого действи

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU602069A1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR890015435A (ko) 라인빔을 이용한 충전입자 빔 노출시스템
US3363124A (en) Apparatus including secondary emission means for neutralizing an ion beam
SU602069A1 (ru) Ускоритель пр мого действи
EP0334334A3 (en) Photo-cathode image projection apparatus for patterning a semiconductor device
JPS5367099A (en) Electron beam shape accelerator
JPH04109598A (ja) 高速原子線源
GB1570314A (en) Device for scanning a target with a beam of charged particles
JPS5776837A (en) Apparatus for multipile electron beam exposure
JPH01264151A (ja) 荷電粒子線装置における複数ビーム発生装置
JPS62112777A (ja) 薄膜形成装置
JPS5764932A (en) Electron bean exposure device
SU422128A1 (ru) Способ ускорени положительно зар женных частиц
JPH02105099A (ja) 高速原子源
JPS6465759A (en) Charged powder apparatus with beam discriminator
JPS63221547A (ja) イオン中和器
JPS6314867A (ja) イオン注入装置
JPH02112140A (ja) 低速イオン銃
JPS5621324A (en) X-ray generator
SU652743A1 (ru) Линейный ускоритель электронов
JPS5750758A (en) Scan type electron microscope
SU588901A1 (ru) Способ получени высокотемпературной плазмы
SU467707A1 (ru) Способ ускорени ионов
JPS5691423A (en) Electron beam exposure device
JPH03252037A (ja) 荷電粒子ビーム装置
JPS62158755U (ru)