SU602069A1 - Ускоритель пр мого действи - Google Patents
Ускоритель пр мого действиInfo
- Publication number
- SU602069A1 SU602069A1 SU762385301A SU2385301A SU602069A1 SU 602069 A1 SU602069 A1 SU 602069A1 SU 762385301 A SU762385301 A SU 762385301A SU 2385301 A SU2385301 A SU 2385301A SU 602069 A1 SU602069 A1 SU 602069A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- direct
- action accelerator
- electrodes
- electron
- accelerator
- Prior art date
Links
Landscapes
- Particle Accelerators (AREA)
Description
кое ускор ющее напр жение, а к электродам электронной пушки 8 и отклон ющим пластинам 9 системы развертки - соответствующее питающее напр жение. При разогретом катоде электронной пущки 8 электроны , регулируемые уиравл юи1,ей сеткой, проход т между отклои 1опи1ми пластинами 9, под действием отклон ющего напр жени измен ют направление движени , попадают в ускор ющий зазор 6, где ускор ютс до заданной скорости, и сквозь выпускное окно 10 выход т 13 атмосферу. Благодар сферической конструкции ускор ю ци .х электродов и помещени отклон ющих нластин и нущки вблизи центра сфер, удаетс существенно увеличить угол развертки электронного луча и добитьс возмол ностп облучени электронным лучом широкоформатных изделий. 4 Ф о р м у л а изобретени Ускоритель пр мого действи , содержащий электронную пушку, ускор ющий зазор , выполненный в виде концентрических электродов сферической формы, о т л и ч аю И1 и и с тем, что, с целью увеличени поверхности облучени при сохранении равномерности выход щего нучка электронов, электронна нущка расположена внутри сферической системы электродов, а иа ее выходе расположена отклон юща система. Источники информации, нрин тые во внимаппе нрп экспертизе 1.Патент Японии № 39-7547, кл. 136F 32, опублнк. 1964. 2.За вка № 2106517/25, кл. П 05Н 5/02, 1974, но которой прин то рещение о выдаче авторского свидетельства.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU762385301A SU602069A1 (ru) | 1976-06-28 | 1976-06-28 | Ускоритель пр мого действи |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU762385301A SU602069A1 (ru) | 1976-06-28 | 1976-06-28 | Ускоритель пр мого действи |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU602069A1 true SU602069A1 (ru) | 1979-05-30 |
Family
ID=20670261
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU762385301A SU602069A1 (ru) | 1976-06-28 | 1976-06-28 | Ускоритель пр мого действи |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU602069A1 (ru) |
-
1976
- 1976-06-28 SU SU762385301A patent/SU602069A1/ru active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR890015435A (ko) | 라인빔을 이용한 충전입자 빔 노출시스템 | |
US3363124A (en) | Apparatus including secondary emission means for neutralizing an ion beam | |
SU602069A1 (ru) | Ускоритель пр мого действи | |
EP0334334A3 (en) | Photo-cathode image projection apparatus for patterning a semiconductor device | |
JPS5367099A (en) | Electron beam shape accelerator | |
JPH04109598A (ja) | 高速原子線源 | |
GB1570314A (en) | Device for scanning a target with a beam of charged particles | |
JPS5776837A (en) | Apparatus for multipile electron beam exposure | |
JPH01264151A (ja) | 荷電粒子線装置における複数ビーム発生装置 | |
JPS62112777A (ja) | 薄膜形成装置 | |
JPS5764932A (en) | Electron bean exposure device | |
SU422128A1 (ru) | Способ ускорени положительно зар женных частиц | |
JPH02105099A (ja) | 高速原子源 | |
JPS6465759A (en) | Charged powder apparatus with beam discriminator | |
JPS63221547A (ja) | イオン中和器 | |
JPS6314867A (ja) | イオン注入装置 | |
JPH02112140A (ja) | 低速イオン銃 | |
JPS5621324A (en) | X-ray generator | |
SU652743A1 (ru) | Линейный ускоритель электронов | |
JPS5750758A (en) | Scan type electron microscope | |
SU588901A1 (ru) | Способ получени высокотемпературной плазмы | |
SU467707A1 (ru) | Способ ускорени ионов | |
JPS5691423A (en) | Electron beam exposure device | |
JPH03252037A (ja) | 荷電粒子ビーム装置 | |
JPS62158755U (ru) |