SU538346A1 - Устройство контрол контактировани - Google Patents
Устройство контрол контактированиInfo
- Publication number
- SU538346A1 SU538346A1 SU1687054A SU1687054A SU538346A1 SU 538346 A1 SU538346 A1 SU 538346A1 SU 1687054 A SU1687054 A SU 1687054A SU 1687054 A SU1687054 A SU 1687054A SU 538346 A1 SU538346 A1 SU 538346A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- contacts
- contact
- switch
- monitoring device
- amplifier
- Prior art date
Links
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Description
1
Изобретение относитс к микроэлектронике , а именно к устройствам контрол наличи контактов между выводами измер емой интегральной схемы и контактами контактора измерительного или испытательного оборудовани .
Известны устройства контрол наличи контактов между выводами приборов и соот- ветствуюшими двойными контактами контактора , в которых контроль осуществл етс путем включени коммутатором всех двойных контактов в одну последовательную электрическую цепь, замыкающими звень ми которой вл ютс выводы приборов, с последующим анализом состо ни образовавшейс цепи 111.
Недостатком этого устройства вл етс то, что оно информирует только о наличии или отсутствии контактов без указани качества и места отсутстви контактов.
С целью контрол качества контактировани с указанием мест нарушени контактов предлагаемое устройство снабжено анализатором контрол качества контактировани , подключаемым коммутатором поочередно ко
зсем контролируемым двойным контактам, выполненным в виде измерител сопротивлений малых величин с усилителем, соединенным с пороговым устройством, включенным на вход блока логической обработки результатов измерени .
На чертеже представлена схема устройства и его подключение, например к зондовой установке дл функциональной проверки микросхем -на пластине.
Функциональна проверка микросхемы 1 на кремниевой пластине до ее разрезки на отдельные кристаллы производитс измерителем 2, который подключаетс к контактным площадкам 3 измер емой схемы с помощью двойных зондов 4 зондовой установки 5.
Измеритель 2 может иметь как однопроводные , так и двухпроводные измерительные линии 6 и линии обратной св зи 7. Дл проверки качества контактов коммутатором 8 подключаетс устройство 9, которое может быть выполнено в виде одного анализатора, подключаемого коммутатором 8 поочередно к каждому контролируемому двойному контакту , либо из нескольких автономных анализаторов , число которых равно числу контролируемых контактов, подключаемых комму татором одновременно. Анализатор представ л ет собой, например, четырехгочечный измеригель сопротивлений малых величин,которь й подсоед инен к контролируемому контакту в двух спаренных точках 1О и 11 с операционным усилителем 12, формирующим сигнал При таком включении точка 10 имеет практически нулевой потенциал, благодар чему контроль места контактировани осуществл етс при нулевом потенциале на выводе 3 микросхемы, что исключает возможные повреждени микросхем при контроле контактировани . Кроме того, дл предотвращени попадани на вывод микросхемы высокого напр же ни от источника 5, которое может привест к пробою микросхемы при плохом контакте со стороны половины зонда 4, включенной в точке 1О, анализатор имеет ограничительное сопротивление 13, включенное параллельно измер емому переходному сопротивлению до контактов коммутатора 8. В случае необходимости иметь предварительный уровень напр жени , на фоне которого измер лось бы падение напр жени , соответствующее контролируемому переходному сопротивлению в анализатор включено сопротивление 14. Анализатор имеет усилитель 15, который поднимает выходной уровень напр жени операционного усилител и компаратор 16, представл ющий собой пороговое устройство, вырабатывающее логический сигнал. Логичес кие сигналы поступают в блок 17 логической обработки результатов измерени и выра ботки соответствующих команд. Дл оценки правильности работы устройства 9 служит информатор 18. Источники питани Е могут быть как посто нного, так и переменного, напр жени . В случае одновременного подключени нескольких анализаторов каждый из них должен иметь свой источник питани , что устран ет взаимное вли ние анализато- ров друг на друга при проверке контролируемых цепей. Этим исключаютс возможные повреждени микросхем при контроле и перетечке токов, что могло бы привести к неправильному контролю. Устройство контрол качества контактировани выполнено на интегральных схемах, а коммутатор устройства выполнен на герметизированных контактах с электромагнитным управлением. Устоойство работает следующим образом. От измерител 2 подаетс команда на пуск зондовой установки 5, в результате происходит контактирование зондов 4 с контактными площадками 3 микросхемы 1.После контактировани из зондовой установки подаетс команда на подключение устройства 9. Логический блок 17 выдает команду на включение коммутатора 8. В случае применени нескольких анализаторов коммутатор подключает их одновременно, в результате така схема проверки обладает большим быстродействием. Если используетс один анализатор, то коммутатор подключает его поочередно ко всем исследуемым местам контактировани . После срабатывани коммутатора 8 устройство 9 подключаетс к зондам 4. От источника Е напр жение подаетс на зонды и на операционный усилитель 12. Усилитель 12 вл етс преобразователем переходного сопротивлени , возникающего в месте контактировани зонда 4 с контактной площадкой микросхемы в напр жение, пропорциональное величине переходного сопротивлени . Сигнал, сформировавшийс в операционном усилителе 12, поступает в усилитель 15, который поднимает уровень сигнала и подает его на компаратор 16. Здесь происходит сравнение прищедшего сигнала с опорным сигналом. Если величина переходного сопротивлени в месте контактировани лежит в диапазоне от нул ом. и до заданной величины, значение которой задаетс регулируемым ровнем порога срабатывани компаратора 16, то уровень сигнала с усилител 15 ниже уровн порога срабатывани компаратора, и последний не включаетс , т.е. в этом случае на выходе компаратора вырабатываетс логический сигнал, соответствующий хорощему качеству контакта. Логические сигналы со всех компараторов подаютс в суммирующее устройство блок 17 логической обработки результатов измерений и выработки соответствующих команд . Если все логические сигна;-1Ь1 соответствуют хорощим контактам, то блок 17 выдает команду на включение измерител 2 дл проверки микросхемы 1, предварительно подав команду на коммутатор 8 дл отключени устройства 9. Величина переходного сопротивлени ,на которое настраиваетс порог срабатывани компаратора 16,выбираетс такой,чтобы практически исключалось вли ние ее на точность измерени параметра микросхем. После окончани измерени микросхем 1 измеритель 2 снова подает команду дл перехода зондовой установки 5 на следующую микросхему. Если же величина переходного сопротивлени хот бы в одном из контролируемых контактов равна или выще заданной, то уровень сигнала с усилител 15 в одном из анализаторов превыщает уровень порога срабатывани компаратора 16 и последний выдает логический сигнал, соответствующий
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU1687054A SU538346A1 (ru) | 1971-07-29 | 1971-07-29 | Устройство контрол контактировани |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU1687054A SU538346A1 (ru) | 1971-07-29 | 1971-07-29 | Устройство контрол контактировани |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU538346A1 true SU538346A1 (ru) | 1976-12-05 |
Family
ID=20484763
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU1687054A SU538346A1 (ru) | 1971-07-29 | 1971-07-29 | Устройство контрол контактировани |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU538346A1 (ru) |
-
1971
- 1971-07-29 SU SU1687054A patent/SU538346A1/ru active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6791344B2 (en) | System for and method of testing a microelectronic device using a dual probe technique | |
US6191596B1 (en) | Method for detecting a contact position between an object to be measured and measuring pins | |
GB1414013A (en) | Testing of electrical interconnection networks on substrates | |
US4720671A (en) | Semiconductor device testing device | |
KR20080088422A (ko) | 반도체 장치 및 반도체 장치 모듈 | |
US6833722B2 (en) | Electronic circuit device with a short circuit switch using transistors and method of testing such a device | |
SU538346A1 (ru) | Устройство контрол контактировани | |
KR100216116B1 (ko) | 반도체 시험장치의 핀 시험회로 | |
CN113064041A (zh) | 场效应晶体管的导通电阻测量方法及测量装置 | |
CN115079075A (zh) | 用于检验wat测试机台的测试结构及方法、测试系统 | |
US3458814A (en) | Tester for determining the semiconductor material type of transistors | |
SU1045178A1 (ru) | Устройство контрол контактировани интегральных схем | |
CN212459794U (zh) | 一种具有通道测试功能的探针卡 | |
KR100718457B1 (ko) | 반도체 테스트 장치와 이를 이용한 반도체 소자 검사방법 | |
CN117783828A (zh) | 测试电路及测试电路的工作方法 | |
JPS54162475A (en) | Inspection unit for semiconductor device | |
JPS63177437A (ja) | 半導体集積回路装置の試験方法 | |
SU783726A1 (ru) | Устройство дл контрол интегральных микросхем с пам тью | |
KR20000013295A (ko) | 듀얼 테스트 장치 | |
SU646279A1 (ru) | Устройство контрол контактировани интегральных схем | |
JPS6262300B2 (ru) | ||
KR980012185A (ko) | 웨이퍼의 전기적 테스트 장치 | |
KR970022342A (ko) | 반도체 장치의 테스트 장치 | |
SU1383231A1 (ru) | Устройство контрол контактировани интегральных схем | |
JPH0827307B2 (ja) | プリント配線板の試験装置 |