SU538346A1 - Устройство контрол контактировани - Google Patents

Description

1

Изобретение относитс  к микроэлектронике , а именно к устройствам контрол  наличи  контактов между выводами измер емой интегральной схемы и контактами контактора измерительного или испытательного оборудовани .

Известны устройства контрол  наличи  контактов между выводами приборов и соот- ветствуюшими двойными контактами контактора , в которых контроль осуществл етс  путем включени  коммутатором всех двойных контактов в одну последовательную электрическую цепь, замыкающими звень ми которой  вл ютс  выводы приборов, с последующим анализом состо ни  образовавшейс  цепи 111.

Недостатком этого устройства  вл етс  то, что оно информирует только о наличии или отсутствии контактов без указани  качества и места отсутстви  контактов.

С целью контрол  качества контактировани  с указанием мест нарушени  контактов предлагаемое устройство снабжено анализатором контрол  качества контактировани , подключаемым коммутатором поочередно ко

зсем контролируемым двойным контактам, выполненным в виде измерител  сопротивлений малых величин с усилителем, соединенным с пороговым устройством, включенным на вход блока логической обработки результатов измерени .

На чертеже представлена схема устройства и его подключение, например к зондовой установке дл  функциональной проверки микросхем -на пластине.

Функциональна  проверка микросхемы 1 на кремниевой пластине до ее разрезки на отдельные кристаллы производитс  измерителем 2, который подключаетс  к контактным площадкам 3 измер емой схемы с помощью двойных зондов 4 зондовой установки 5.

Измеритель 2 может иметь как однопроводные , так и двухпроводные измерительные линии 6 и линии обратной св зи 7. Дл  проверки качества контактов коммутатором 8 подключаетс  устройство 9, которое может быть выполнено в виде одного анализатора, подключаемого коммутатором 8 поочередно к каждому контролируемому двойному контакту , либо из нескольких автономных анализаторов , число которых равно числу контролируемых контактов, подключаемых комму татором одновременно. Анализатор представ л ет собой, например, четырехгочечный измеригель сопротивлений малых величин,которь й подсоед инен к контролируемому контакту в двух спаренных точках 1О и 11 с операционным усилителем 12, формирующим сигнал При таком включении точка 10 имеет практически нулевой потенциал, благодар  чему контроль места контактировани  осуществл  етс  при нулевом потенциале на выводе 3 микросхемы, что исключает возможные повреждени  микросхем при контроле контактировани . Кроме того, дл  предотвращени  попадани  на вывод микросхемы высокого напр же ни  от источника 5, которое может привест к пробою микросхемы при плохом контакте со стороны половины зонда 4, включенной в точке 1О, анализатор имеет ограничительное сопротивление 13, включенное параллельно измер емому переходному сопротивлению до контактов коммутатора 8. В случае необходимости иметь предварительный уровень напр жени , на фоне которого измер лось бы падение напр жени , соответствующее контролируемому переходному сопротивлению в анализатор включено сопротивление 14. Анализатор имеет усилитель 15, который поднимает выходной уровень напр жени  операционного усилител  и компаратор 16, представл ющий собой пороговое устройство, вырабатывающее логический сигнал. Логичес кие сигналы поступают в блок 17 логической обработки результатов измерени  и выра ботки соответствующих команд. Дл  оценки правильности работы устройства 9 служит информатор 18. Источники питани  Е могут быть как посто нного, так и переменного, напр жени . В случае одновременного подключени  нескольких анализаторов каждый из них должен иметь свой источник питани , что устран ет взаимное вли ние анализато- ров друг на друга при проверке контролируемых цепей. Этим исключаютс  возможные повреждени  микросхем при контроле и перетечке токов, что могло бы привести к неправильному контролю. Устройство контрол  качества контактировани  выполнено на интегральных схемах, а коммутатор устройства выполнен на герметизированных контактах с электромагнитным управлением. Устоойство работает следующим образом. От измерител  2 подаетс  команда на пуск зондовой установки 5, в результате происходит контактирование зондов 4 с контактными площадками 3 микросхемы 1.После контактировани  из зондовой установки подаетс  команда на подключение устройства 9. Логический блок 17 выдает команду на включение коммутатора 8. В случае применени  нескольких анализаторов коммутатор подключает их одновременно, в результате така  схема проверки обладает большим быстродействием. Если используетс  один анализатор, то коммутатор подключает его поочередно ко всем исследуемым местам контактировани . После срабатывани  коммутатора 8 устройство 9 подключаетс  к зондам 4. От источника Е напр жение подаетс  на зонды и на операционный усилитель 12. Усилитель 12  вл етс  преобразователем переходного сопротивлени , возникающего в месте контактировани  зонда 4 с контактной площадкой микросхемы в напр жение, пропорциональное величине переходного сопротивлени . Сигнал, сформировавшийс  в операционном усилителе 12, поступает в усилитель 15, который поднимает уровень сигнала и подает его на компаратор 16. Здесь происходит сравнение прищедшего сигнала с опорным сигналом. Если величина переходного сопротивлени  в месте контактировани  лежит в диапазоне от нул  ом. и до заданной величины, значение которой задаетс  регулируемым ровнем порога срабатывани  компаратора 16, то уровень сигнала с усилител  15 ниже уровн  порога срабатывани  компаратора, и последний не включаетс , т.е. в этом случае на выходе компаратора вырабатываетс  логический сигнал, соответствующий хорощему качеству контакта. Логические сигналы со всех компараторов подаютс  в суммирующее устройство блок 17 логической обработки результатов измерений и выработки соответствующих команд . Если все логические сигна;-1Ь1 соответствуют хорощим контактам, то блок 17 выдает команду на включение измерител  2 дл  проверки микросхемы 1, предварительно подав команду на коммутатор 8 дл  отключени  устройства 9. Величина переходного сопротивлени ,на которое настраиваетс  порог срабатывани  компаратора 16,выбираетс  такой,чтобы практически исключалось вли ние ее на точность измерени  параметра микросхем. После окончани  измерени  микросхем 1 измеритель 2 снова подает команду дл  перехода зондовой установки 5 на следующую микросхему. Если же величина переходного сопротивлени  хот  бы в одном из контролируемых контактов равна или выще заданной, то уровень сигнала с усилител  15 в одном из анализаторов превыщает уровень порога срабатывани  компаратора 16 и последний выдает логический сигнал, соответствующий