SU423206A1

SU423206A1 - Способ маркировки элементов интегральных схем

Info

Publication number: SU423206A1
Application number: SU1721709A
Authority: SU
Inventors: В. С. Черн В. Г. Захаров Н. Д. Матвеев Г. К. Самыгина В. А. Лепилин
Priority date: 1971-12-07
Filing date: 1971-12-07
Publication date: 1974-04-05

Description

1

Изобретение относитс к технологическому оборудованию дл производства нолуироводниковых приборов и может быть применено при маркировке негодных кристаллов и некоторых приборов на полупроводниковых нластинах при производстве интегральных микросхем .

Известен способ маркировки негодных элементов после замера зондами их электрических параметров, при котором алмазным наконечнико .м став т метку в виде царапины или точки на поверхности полупроводникового кристалла между контактными площадками. Недостатками известного способа вл ютс сложность механических устройств дл его реализации, а также нанесение метки на полупроводниковом кристалле, из-за чего он целиком бракуетс . Однако при изготовлении р да ириборов, например многоканальных коммутаторов на МОП-транзисторах, выход из стро одного канала не вли ет на работоспособность остальных каналов, поэтому практически можно использовать все кристаллы , имеющие хот бы один годный канал.

Предложенный способ маркировки элементов интегральных схем отличаетс тем, что после измерени их электрических параметров риску нанос т острием электроизмерительио2

го зонда на контактной площадке, соответствующей негодному элементу.

Способ реализуетс следующим образом. При обнаружении негодного элемента во врем измерени электрических параметров на измерительный зонд, упирающийс в контактную площадку, подают механические колебани , вызывающие перемещение остри зонда по контактной площадке. В результате на контактной площадке остаетс риска, легко различима под микроскоиом при разбраковке кристаллов с приборами.

Поеле разбраковки кристаллы поступают на сборку, причем с выводами корпуса соедин ют только контактные нлощадкн, не имеющие метки, т. е. соответствующие годным элементам.

Предмет изобретени

Сиособ маркировки элементов интегральных схем после измеренн их электрических параметров путем нанесени метю в виде риски, с т л и ч а ю 1Ц и и с тем, что. с целью упрощени процесса и обеспечени выделени годных элементов дл псслелуюн его их использовани , рпску нанос т острием электроизмерительного зонда на контактной площадке, соответствующей негодному элементу.