SU381643A1 - Высокоогнеупорный керамический материал - Google Patents
Высокоогнеупорный керамический материалInfo
- Publication number
- SU381643A1 SU381643A1 SU1640508A SU1640508A SU381643A1 SU 381643 A1 SU381643 A1 SU 381643A1 SU 1640508 A SU1640508 A SU 1640508A SU 1640508 A SU1640508 A SU 1640508A SU 381643 A1 SU381643 A1 SU 381643A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- ceramic material
- oxide
- constant ceramic
- dioxide
- highly constant
- Prior art date
Links
Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Description
Изобретение относитс к вьюокоо гнеупоргным окисным конструкционным керамическим М1атери,алам, « пользуемым в металлургии, Знергетике и 1радиоэлектр;анике.
Известны .высакоо неупорные керамические мат&риальг на основе тугоплавких окислюв, ле гирав.а11вьгх доба,В1ками двуокиси цир-коии . двуокиси гафии .
Дл уменьшеииЯ сублимации, лластической деформации и увеличение прочности предлагаемый материал содержит в качестве тугоплавких окислов окислы сканди и иттрп при следуюи;ем соотношении указанных /компонентов , мол. 7о: Окись сканди Окись иттри Двуокись циркони ДвуО|Кись гафИи
Материал готов т по обычной керамической техиолотки любым нз -известных методов , обеспечивающих .получение однородной тонкой смеси исходных окислов.
TeMinepaTypa спекани заготовок изделий предлагаемого м.атериала 1800-2000° С (в зависимости от способа формован и и размера частии исходлгого порошка), продолжительность спекани 0,5-3 час. Спека ние можно проводить, как в воздухе, и в нейтральной 1ИЛИ восстановительной среде. В последнем случае после спекани необходим окислительный отжиг изделий в воздухе при 1300° С в течение 2-3 чаС:
Пример, СмесЬ 1онкоДис1перснь11Х порошков (мол. %) окиси сканди 62, окиси 1И.ттри 20, двуокиси 9, двуокиси циркони 9 готов т следую.и1им образом. 21,4 г окщси сканди , 11,3 г окиси иттфи , 5,95 г азотнокислого цнрКанила двуводного и 8,05 г азотнокислого гафни двуводиого раствор ют в азотной кислоте. Раствор выпаривают при перемешивании и нрокал1ивают остато1К при 800° С в течение 2 час.
Из полученный смеси полусухим прессовапием готов т образцы.
Образцы сиекают в ва-кууме мм рт. ст. при температуре 2150-30° С 1,5 час, а затем отжигают в воздухе при 1300° С в течение
3 час.
Размер зерен в образцах 20-35 мкм, выделени второй фазы расиоложены между зернами в виде овальных включений. Пластичеека деформаци образца под нагрузкой
2 кг/см при температуре 2130-30° С в течение 4 час менее 0,1 %.
Удельное электросопротивление материала при 1000° С около 5-10 Ол-CHI., при 1500°С- около 8-102 Ом-см., при 2000° С -около
3-103 Ом-см. 3 Предмет изобретени Высокоогвеупорный керамический материал основе тугоплавких 0;КислоБ и добавок двуокиси Ц«|ркоииЯ:, двуокиси (ГафНИ , от- 5 личающийс те.м, что, ic целью умеиьшени сублим ации, пластической деформации и ув«лИЧени прочности, он содержит в качестве 4 тугоплавких о.кислов окислысканди и иттри :при следующем соотношении указанных ком1понентов, мол. %: Окись Сюанди 2-96 Окись итт.ри 2-96 Двуокись циркони 1-20 Двуокись 1гафни 1-20
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU1640508A SU381643A1 (ru) | 1971-03-22 | 1971-03-22 | Высокоогнеупорный керамический материал |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU1640508A SU381643A1 (ru) | 1971-03-22 | 1971-03-22 | Высокоогнеупорный керамический материал |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU381643A1 true SU381643A1 (ru) | 1973-05-22 |
Family
ID=20470661
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU1640508A SU381643A1 (ru) | 1971-03-22 | 1971-03-22 | Высокоогнеупорный керамический материал |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU381643A1 (ru) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4205051A (en) * | 1977-10-15 | 1980-05-27 | Toyota Jidosha Kogyo Kabushiki Kaisha | Stabilized zirconia for oxygen ion-conductive solid electrolyte |
| US20080213496A1 (en) * | 2002-02-14 | 2008-09-04 | Applied Materials, Inc. | Method of coating semiconductor processing apparatus with protective yttrium-containing coatings |
| US10622194B2 (en) | 2007-04-27 | 2020-04-14 | Applied Materials, Inc. | Bulk sintered solid solution ceramic which exhibits fracture toughness and halogen plasma resistance |
| US10840113B2 (en) | 2007-04-27 | 2020-11-17 | Applied Materials, Inc. | Method of forming a coated article and semiconductor chamber apparatus from yttrium oxide and zirconium oxide |
-
1971
- 1971-03-22 SU SU1640508A patent/SU381643A1/ru active
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4205051A (en) * | 1977-10-15 | 1980-05-27 | Toyota Jidosha Kogyo Kabushiki Kaisha | Stabilized zirconia for oxygen ion-conductive solid electrolyte |
| US20080213496A1 (en) * | 2002-02-14 | 2008-09-04 | Applied Materials, Inc. | Method of coating semiconductor processing apparatus with protective yttrium-containing coatings |
| US10622194B2 (en) | 2007-04-27 | 2020-04-14 | Applied Materials, Inc. | Bulk sintered solid solution ceramic which exhibits fracture toughness and halogen plasma resistance |
| US10840113B2 (en) | 2007-04-27 | 2020-11-17 | Applied Materials, Inc. | Method of forming a coated article and semiconductor chamber apparatus from yttrium oxide and zirconium oxide |
| US10840112B2 (en) | 2007-04-27 | 2020-11-17 | Applied Materials, Inc. | Coated article and semiconductor chamber apparatus formed from yttrium oxide and zirconium oxide |
| US10847386B2 (en) | 2007-04-27 | 2020-11-24 | Applied Materials, Inc. | Method of forming a bulk article and semiconductor chamber apparatus from yttrium oxide and zirconium oxide |
| US11373882B2 (en) | 2007-04-27 | 2022-06-28 | Applied Materials, Inc. | Coated article and semiconductor chamber apparatus formed from yttrium oxide and zirconium oxide |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| SU381643A1 (ru) | Высокоогнеупорный керамический материал | |
| Wu et al. | Effect of CeO 2 on reaction-sintered mullite-ZrO 2 ceramics | |
| GB1438602A (en) | Method of preparing ceramic substances by sintering | |
| JP2786719B2 (ja) | 希土類酸化物燒結体の製造方法 | |
| KR890002158B1 (ko) | 질화규소 세라믹스 소결체 및 그 제조방법 | |
| JPH0696471B2 (ja) | ジルコニアセラミックスの製造方法 | |
| JP2501649B2 (ja) | マイクロ波誘電体セラミックス | |
| SU833846A1 (ru) | Керамический материал | |
| JPH0712971B2 (ja) | 誘電体磁器組成物 | |
| JPH0321500B2 (ru) | ||
| JP3160899B2 (ja) | 酸化物高温超伝導体の製造方法 | |
| KR910009891B1 (ko) | 초전도체 세라믹 소결체의 제조방법 | |
| JP2883234B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体 | |
| SU1079641A1 (ru) | Керамический материал | |
| RU1806046C (ru) | Способ изготовлени керамических изделий | |
| JP3291817B2 (ja) | 誘電体磁器組成物 | |
| JPH0864031A (ja) | 誘電体磁器組成物 | |
| SU1087492A1 (ru) | Шихта дл изготовлени керамики и способ подготовки шихты | |
| SU471342A1 (ru) | Огнеупорный материал | |
| SU1273351A1 (ru) | Керамический материал | |
| Pham et al. | Technological investigation for producing UO 2 powder from ADU by using rotary furnace | |
| SU381642A1 (ru) | Керамический материал | |
| KR820000377B1 (ko) | CaTio₃구조를 가지는 유전체(誘電體)의 제조방법 | |
| SU473700A1 (ru) | Шихта дл изготовлени огнеупоров | |
| JP3810861B2 (ja) | 高焼結性ランタンカルシウムクロマイト粉末およびその製造方法 |