SU1737924A1 - Способ получения покрытия с градиентом плотности в вакууме - Google Patents

Способ получения покрытия с градиентом плотности в вакууме

Info

Publication number
SU1737924A1
SU1737924A1 SU4740813/21A SU4740813A SU1737924A1 SU 1737924 A1 SU1737924 A1 SU 1737924A1 SU 4740813/21 A SU4740813/21 A SU 4740813/21A SU 4740813 A SU4740813 A SU 4740813A SU 1737924 A1 SU1737924 A1 SU 1737924A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
materials
electronic beam
electronic
frequency
change
Prior art date
Application number
SU4740813/21A
Other languages
English (en)
Inventor
А.И. Толшмяков
Б.А. Власов
И.В. Морозов
С.А. Холкин
О.В. Щедрин
Original Assignee
Всесоюзный научно-исследовательский институт экспериментальной физики
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Всесоюзный научно-исследовательский институт экспериментальной физики filed Critical Всесоюзный научно-исследовательский институт экспериментальной физики
Priority to SU4740813/21A priority Critical patent/SU1737924A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1737924A1 publication Critical patent/SU1737924A1/ru

Links

Landscapes

  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

Использование: нанесение покрытий методом электронно-лучевого испарения материалов в вакууме. Цель - расширение технологических возможностей, позволяющих наносить покрытия с изменяющимися по нормали к поверхности физико-механическими свойствами. Сущность изобретения: в вакуумной камере устанавливают тигли, в которых помещают два разнородных испаряемых материала. Одновременно ведут испарение двух материалов электронным лучом одной пушки. Для этого с помощью отклоняющей системы электронный луч с частотой f последовательно направляется на один и второй материал. Частоту воздействия выбирают такой, чтобы за время отсутствия электронного луча на наиболее тугоплавком материале последний не успевал охлаждаться ниже температуры испарения. Время воздействия электронного луча в пределах одного периода Т-1/f варьируют и задают с помощью управляющего устройства. Изменение времени нахождения луча на каждом из материалов приводит к перераспределению энергии электронного луча между ними, и как следствие, к изменению интенсивности их испарения. Это позволяет в формируемом покрытии постепенно один материал заменять на другой и формировать заданный профиль физико-механических свойств. 1 з. п. ф-лы, 5 ил.
SU4740813/21A 1989-09-27 1989-09-27 Способ получения покрытия с градиентом плотности в вакууме SU1737924A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU4740813/21A SU1737924A1 (ru) 1989-09-27 1989-09-27 Способ получения покрытия с градиентом плотности в вакууме

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU4740813/21A SU1737924A1 (ru) 1989-09-27 1989-09-27 Способ получения покрытия с градиентом плотности в вакууме

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1737924A1 true SU1737924A1 (ru) 1994-03-30

Family

ID=60532538

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU4740813/21A SU1737924A1 (ru) 1989-09-27 1989-09-27 Способ получения покрытия с градиентом плотности в вакууме

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1737924A1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2515875C2 (ru) * 2008-12-18 2014-05-20 Арселормитталь Франс Промышленный генератор пара для нанесения покрытия из сплава на металлическую полосу (ii)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2515875C2 (ru) * 2008-12-18 2014-05-20 Арселормитталь Франс Промышленный генератор пара для нанесения покрытия из сплава на металлическую полосу (ii)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4163071A (en) Method for forming hard wear-resistant coatings
ATE95846T1 (de) Verfahren und vorrichtung zur regelung der reaktiven schichtabscheidung auf substraten mittels magnetronkatoden.
SU1737924A1 (ru) Способ получения покрытия с градиентом плотности в вакууме
AU629491B2 (en) Texturing a mold surface
JPS6421973A (en) Device for manufacturing superconductive material
ATE103641T1 (de) Vorrichtung und verfahren zum beschichten von werkstuecken mittels bogenentladung.
JPS55145168A (en) Method and apparatus for controlling vacuum evaporation speed
DE59102249D1 (de) Substratheizen mit Niedervoltbogenentladung und variablem Magnetfeld.
JPS5711899A (en) Molecular beam epitaxial growth
JPS6465092A (en) Formation of thin diamond film
JPS5537429A (en) Production of optical thin film
SU1726555A1 (ru) Способ обработки диффузионных боридных покрытий на стальных детал х
JPS6452469A (en) Method for sterilizing, asceptic and antifungal treatment of material or processed product composed of synthetic resin, rubber, synthetic fiber, metal or ceramics
JPS5613690A (en) Method of increasing power of heater made of metallized fibrous sheet by following surface treatment
JPS57169082A (en) Continuous vacuum vapor-depositing method
JPS6467825A (en) Formation of oxide superconductor thin film
Pulker et al. Ion plating
JPS6431965A (en) Ion beam mixing device
JPS5763675A (en) Wristwatch case with diamond coating and its production
Titov Formation of Defects on the Surface of Silicon Carbide in Bombardment with Argon Ions with Energies of 5 to 100 eV
Tustison et al. Method for Growing a Metal Layer Over a Substrate
Fujii et al. Effect of the Solution Conditions on the Aging Response in beta Type Titanium Alloy
Inoue High Temperature Heating Sputtering Process
JPS53104534A (en) Method and apparatus for ion nitriding treatment
JPS6424175A (en) Manufacture of rotor electrode for distributor