SU1726368A1 - Способ очистки хлористого водорода - Google Patents
Способ очистки хлористого водорода Download PDFInfo
- Publication number
- SU1726368A1 SU1726368A1 SU904811204A SU4811204A SU1726368A1 SU 1726368 A1 SU1726368 A1 SU 1726368A1 SU 904811204 A SU904811204 A SU 904811204A SU 4811204 A SU4811204 A SU 4811204A SU 1726368 A1 SU1726368 A1 SU 1726368A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- chloride
- hydrogen chloride
- iron
- oxygen
- purification
- Prior art date
Links
Abstract
Изобретение позвол ет проводить очистку хлористого водорода одновременно от воды и кислорода при увеличении глубины очистки от кислорода и упростить процесс очистки. Дл этого хлористый водород пропускают через слой хлорида железа (II), нанесенного на активированный уголь, с расходом не более 500 . Температура поглотител при очистке может находитьс в интервале -70..+ 200°С. Хлорид железа (II) нанос т на активированный уголь путем пропитки угл водным раствором хлорида железа (II) с содержанием хлорида железа (II) 25-40,6 мае. %. Количество хлорида железа (II) составл ет 22-35 мае.% от массы поглотител , 1 табл.
Description
СО
С
Изобретение относитс к технологии очистки газов и может быть использовано дл финишной очистки хлористого водорода , примен емого в электронной промышленности дл травлени кремниевых подложек.
Цель изобретени - одновременна очистка от кислорода без снижени глубины очистки от паров воды.
Подготовка поглотител .
230 г активированного угл марки СКТ зернением 2,0-2,7 мм помещают в колонку из нержавеющей стали емкостью 500 л и пропитывают водным раствором хлорида железа (II). После этого колонку с поглотителем высушивают в токе особо чистого азота при 300°С в течение 3 ч, вакуумируют до остаточного давлени мм рт.ст., охлаждают до комнатной температуры и герметизируют .
Экспериментально установлено, что дл получени поглотител с содержанием FeCl2 22-35% концентраци FeCte в водном растворе, примен емом дл пропитки, должна быть не ниже 25%. Верхний предел концентрации FeCl2 определ етс концентрацией насыщенного раствора, равной 40,6%.
Пример 1. Колонку с подготовленным поглотителем подсоедин ют к баллону с хлористым водородом и пропускают хлористый водород при комнатной температуре с расходом 300 (150 л/ч). После очистки хлористый водород подаетс в установку травлени кремниевых пластин. Содержание воды в исходном хлористом водороде 1-10 об.%, кислорода об.%. СодерSs|
Ю О
со
ON 00
жание воды после очистки об.%, кислорода - об.%.
Содержание воды в хлористом водороде определ ли методом точки росы, содержание кислорода - хроматографически.
Другие примеры реализации предлагаемого способа очистки хлористого водорода приведены в таблице.
Использование предлагаемого способа очистки хлористого водорода по сравнению с прототипом позвол ет проводить одновременную очистку от кислорода и воды, а также избежать использовани агрессивных и легко воспламен ющихс реагентов при подготовке поглотител .
Claims (1)
- Формула и зо бретени Способ очистки хлористого водорода от паров воды, включающий пропускание его через слой поглотител , представл ющий собой хлорид металла, нанесенный на твердый носитель, отличающийс тем, что, с целью одновременной очистки от кислорода без снижени глубины очистки от паров воды, в качестве поглотител используют хлорид железа (II), нанесенный на активированный уголь в количестве 22-35% от общей массы, и пропускание ведут с расходом неболее 500 ч-1
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU904811204A SU1726368A1 (ru) | 1990-04-06 | 1990-04-06 | Способ очистки хлористого водорода |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU904811204A SU1726368A1 (ru) | 1990-04-06 | 1990-04-06 | Способ очистки хлористого водорода |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1726368A1 true SU1726368A1 (ru) | 1992-04-15 |
Family
ID=21506634
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU904811204A SU1726368A1 (ru) | 1990-04-06 | 1990-04-06 | Способ очистки хлористого водорода |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU1726368A1 (ru) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5958356A (en) * | 1997-11-05 | 1999-09-28 | Air Products And Chemicals, Inc. | Method for removal of moisture from gaseous HCl |
| US6221132B1 (en) | 1999-10-14 | 2001-04-24 | Air Products And Chemicals, Inc. | Vacuum preparation of hydrogen halide drier |
| US7288201B2 (en) | 1997-07-29 | 2007-10-30 | Entegris, Inc. | Methods for removing moisture from hydrogen halides |
-
1990
- 1990-04-06 SU SU904811204A patent/SU1726368A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Патент GB Мг 2188043. кл. С 01 В 7/07, 1987. * |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7288201B2 (en) | 1997-07-29 | 2007-10-30 | Entegris, Inc. | Methods for removing moisture from hydrogen halides |
| US5958356A (en) * | 1997-11-05 | 1999-09-28 | Air Products And Chemicals, Inc. | Method for removal of moisture from gaseous HCl |
| US6221132B1 (en) | 1999-10-14 | 2001-04-24 | Air Products And Chemicals, Inc. | Vacuum preparation of hydrogen halide drier |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4713224A (en) | One-step process for purifying an inert gas | |
| US4215096A (en) | Removal of acidic contaminants from gas streams by caustic impregnated activated carbon | |
| US4273751A (en) | Removal of acidica contaminants from gas streams by caustic impregnated activated carbon | |
| DE3267902D1 (en) | Process and apparatus for the purification of helium contained in a gaseous mixture | |
| JP3511003B2 (ja) | 気体ハロゲン化水素から水を除去する方法及び吸着剤 | |
| WO2002022254A3 (en) | Adsorbent for purifying perfluorocarbon, process for producing same, high purity octafluoropropane and octafluorocyclobutane, and use thereof | |
| SU1726368A1 (ru) | Способ очистки хлористого водорода | |
| US5512262A (en) | Process for cleaning harmful gas | |
| AU617900B2 (en) | A process for the separation of carbon dioxide | |
| KR19990044922A (ko) | 기체 염화수소로부터 수분을 제거하기 위한 흡착제 및 방법 | |
| JP3516716B2 (ja) | トリフルオロメタンの精製法 | |
| JPH09142833A (ja) | アンモニア中の水分の除去方法および装置 | |
| US6790419B1 (en) | Purification of gaseous inorganic halide | |
| US6033460A (en) | Reactive matrix for removing moisture from a fluorine containing gas and process | |
| EP1409400A1 (en) | Purification of gaseous inorganic halide | |
| JPS61197415A (ja) | ジクロロシランの精製法 | |
| JPH0692879A (ja) | ペンタフルオロエタンの精製方法 | |
| US3983216A (en) | Process for the removal of vinyl chloride from gas streams | |
| RU2034776C1 (ru) | Способ очистки фторида водорода | |
| SU1678439A1 (ru) | Способ удалени воды и кислорода из инертных газов | |
| KR100356611B1 (ko) | 질소 정제 방법 및 정제 장치 | |
| JP3433226B2 (ja) | 塩素ガス分離膜 | |
| SU1747130A1 (ru) | Способ очистки газов от ртути | |
| JPH05123575A (ja) | 水蒸気の精製方法 | |
| SU1214607A1 (ru) | Способ разложени комплексонов в азотнокислых растворах |