SU1678439A1

SU1678439A1 - Способ удалени воды и кислорода из инертных газов

Info

Publication number: SU1678439A1
Application number: SU894642394A
Authority: SU
Inventors: Владимир Степанович Зонтов; Виталий Федорович Попенко; Дмитрий Николаевич Звуков; Кирилл Николаевич Семененко; Виктор Николаевич Вербецкий; Сергей Владиленович Митрохин
Original assignee: Предприятие П/Я Х-5476
Priority date: 1989-01-27
Filing date: 1989-01-27
Publication date: 1991-09-23

Abstract

Изобретение относитс к технологии очистки газов от воды и кислорода и может быть использовано в микроэлектронике дл приготовлени легирующих газовых смесей с гидридами и дл создани высокочистой инертной среды при производстве полупроводниковых приборов и материалов. Цель изобретени - повысить глубину очистки инертного газа за счет предварительного активировани поглотител кислорода и дополнительного св зывани воды. Дл этого в способе удалени воды и кислорода из инертных газов, включающем последовательное контактирование инертного газа с поглотител ми воды и кислорода, в качестве поглотител кислорода используют интерметаллическое соединение типа TIB или ABs, где А - лантан или лантаноид, В - Fe, Со, NI или их смесь, поглотитель кислорода предварительно гидрируют при повышенном давлении с образованием гидридов, после чего нагревают до разложени гидридов , а инертный газ.проконтактировавшийс поглотителем кислорода, подвергают дальнейшему контактированию с поглотителем воды. 1 ил., 1 табл. С/1 с

Description

Изобретение относитс к технологии очистки газов от воды и кислорода и может быть использовано в микроэлектронике дл приготовлени легирующих газовых смесей с гидридами и дл создани высокочистой инертной среды при производстве полупроводниковых приборов и материалов.

Цель изобретени - повышение глубины очистки инертного газа за счет предварительного активировани поглотител кислорода и дополнительного св зывани воды.

На чертеже представлена колонка дл осуществлени способа удалени воды и кислорода из инертных газов, общий вид.

Колонка содержит металлический сосуд 1, заполненный первым слоем - поглотителем воды 2, в качестве которого могут быть

использованы цеолит, алюмогель и силика- гель, и поглотителем кислорода 3, в качестве которого используют интерметаллическое соединение, а также вторым слоем поглотител воды 4.

Способ удалени воды и кислорода из инертных газов осуществл ют следующим образом.

Предварительно активируют интерметаллическое соединение типа TIB или ABs, где А - лантан или лантаноид, В - металл из р да Fe.Co.NI или смесь этих соединений. Дл этого поглотитель кислорода гидрируют при повышенном (до 15-20 атм) давлении с образованием гидрида. После этого удал ют избыточный водород и нагревают до разложени гидрида с удалением выделившегос водорода. Эти операции проOs

VI

00

4 Ы Ю

вод т несколько раз. Затем приступают к поглощению воды и кислорода из инертных газов, пропуска их последовательно через слои поглотител воды, поглотител кислорода предлагаемого состава и снова поглотител воды, Контакт поглотителей воды и кислорода провод т при 20-30°С.

П р и м е р 1. Металлический сосуд из нержавеющей стали длиной 1000 мм и диаметром 60 мм, снабженный съемной крышкой (с высококачественными уплотнител ми) и имеющий с обеих сторон сильфонные вентили (входной и выходной), заполн ют цеолитом (NaA) в количестве 300 г, затем интерметаллическим соединением LaNis в количестве 1 кг и вновь цеолитом (NaA) в количестве 700 г, Затем провод т подготовку колонки к работе. Дл этого колонку помещают в печь, подсоедин ют через сильфонные вентили к вакуумному насосу и источнику водорода и осуществл ют процесс гидрировани и дегидрировани интерметаллического соединени : откачивают до остаточного давлени 1 -10 мм рт.ст. и нагревают до 200-250°С и затем подают под давлением 15-20 атм водород. После этого выключают нагрев и закрывают подачу водорода. После установлени равновеси (прекращение изменени давлени ) провод т откачку с одновременным нагревом до 250°С (т.е. провод т удаление водорода из образовавшегос гидрида интерметаллического соединени ). Этот процесс повтор ют не менее 5 раз. Затем производ т откачку колонки в течение 2 ч при 250°С и заполн ют ее тем газом, который подлежит очистке (до давлени 3 атм).

Подготовленную к работе таким образом колонку подсоедин ют к системе подачи газа, подлежащего очистке. Систему продувают газом, содержащимс в колон- ке, и через входной вентиль подают очищаемый газ - аргон под давлением 20 атм с расходом 15 л/мин.

В очищенном газе концентраци воды

составл ет не более 4 10 об.% (-82°С по

точке росы), а по кислороду - 2-3 об. %.

Поглощение воды и кислорода провод т при 20-25°С.

Примеры 2-8 провод т таким же образом , измен состав поглотителей воды и кислорода. Их основные параметры представлены в таблице.

Claims

Формула изобретени Способ удалени воды и кислорода из

инертных газов, включающий последовательное контактирование инертного газа с поглотител ми воды и кислорода, отличающийс тем, что, с целью повышени глубины очистки инертного газа за счет

предварительного активировани поглотител кислорода и дополнительного св зывани воды, в качестве поглотител кислорода используют интерметаллические соединени типа TIB или АВб, где А - лантан или

лантаноид, В - Fe, Co, Ni или их смесь, при этом поглотитель кислорода предварительно гидрируют при повышенном давлении с образованием гидридов, а затем нагревают до разложени гидридов, а инертный газ.

проконтактировавший с поглотителем кислорода , подвергают дальнейшему контактированию с поглотителем воды.

s

«5