SU1704920A1 - Способ изготовлени мишеней, преимущественно керамических, дл получени напыл емых пленок - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к порошковой металлургии. Целью изобретени   вл етс  обеспечение люминесцентности распыл емых пленок. Предлагаемый способ заключаетс  в том, что порошки алюмини  и нитрида алюмини  смешивают (5-70% алюмини , остальное нитрид алюмини ) в смачивающей порошки и легко испар ющейс  жидкости, содержащей хлорид марганца, затем провод т сушку, прессование шихты и спекание при 660-700° С в защитной атмосфере .

Description

Изобретение относитс  к порошковой металлургии, в частности к способам изготовлени  мишеней.

Целью изобретени   вл етс  обеспечение люминесценции напыл емых пленок путем введени  в распыл емую мишень люминесцентной добавки (примесь марганца). Достижение поставленной цепи обеспечиваетс  введением в состав мишени марганца, который обладает свойством люминесцентности, посредством смешио ни  порошков AI и AIN в смачивающей и легко испар ющейс  жидкости, содержащей хлорид марганца, сушку, прессование и спекание при 680±20° С. причем соотношение порошков AI и AIN должно быть в пределах 5-70% Л1 и 95-30% AIN.

П р и м е р. Б дистиллированной воде раствор ют хлорид марганца необходимой концентрации. Дл  лучшего смачивани  нерастворимых частиц псрошков алюмини  и нитрида алюмини  в раствор добавл ют

спирт. В полученный раствор засыпают порошки нитрида алюмини  и алюмини . Образованную суспензию перемешивают. В результате жидкость смачивает, обволакивает поверхность частиц алюмини  и нитрида алюмини , а растворенный хлорид марганца равномерно распредел етс  по обьему порошка. После смешивани  суспензию просушивают с целью удалени  воды и спирта. Поскольку хлорид марганца при растворении диссоциирует на ионы Mn + и СГ. то в процессе сушки свободный хлор испар етс . Полученна  таким образом шихта содержит свободный алюминий, нитрид алюмини  и марганец.

Холодное прессование мишеней дл  последующего спекани  провод т при давлении 300-400 кг/см2.

Спекание заготовки мишени осуществл ют в свободном состо нии при 680±20° С в атмосфере зрюна.

(Л

с

VI

о

I

В процессе спекани  происходит расплавление алюмини  и смачивание поверхности частиц нитрида алюмини  и марганца. Свободный алюминий выступа- ет г качестве с йзующего.

Полученные предлагаемым способом мишени позвол ют получать пленки нитрида алюмини , легированные марганцем , которые обладают люминесценцией в кроеной области спектра.

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   Способ-изготовлени  мишеней, преимущественно керамических дл  получени 

   напыл емых пленок, включающий смешивание порошков, их прессование и спекание, отличаю 1ЦИЙСЯ тем, что, с целью обеспечени  люминесцентности напыл емых пленок, смешиванию подвергают порошки алюмини  и нитрида алюмини  при содержании 5-70% алюмини , остальное - нитрид алюмини , причем смешивание провод т в смачивающей порошки и легко испар ющейск жидкости, содержащей хлорид марганца, затем провод т сушку, а спекание осуществл ют при 660-700° С в защитной атмосфере.