JPH01316258A - チタン―鉄―珪素表面コーティングを有する窒化硼素含有蒸着用ボート - Google Patents
チタン―鉄―珪素表面コーティングを有する窒化硼素含有蒸着用ボートInfo
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- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 30
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 30
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims abstract description 26
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims abstract description 24
- MFARIGQNTZVVEE-UHFFFAOYSA-N [Si].[Fe].[Ti] Chemical compound [Si].[Fe].[Ti] MFARIGQNTZVVEE-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 20
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims abstract description 45
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims abstract description 44
- 239000002002 slurry Substances 0.000 claims abstract description 29
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 20
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 18
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 17
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 17
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 claims abstract description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 15
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims abstract description 13
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 11
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 claims abstract description 9
- 239000011819 refractory material Substances 0.000 claims abstract description 8
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims abstract description 7
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 5
- 239000011863 silicon-based powder Substances 0.000 claims abstract description 5
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical group CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 12
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 12
- LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N N-Butanol Chemical compound CCCCO LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000011118 polyvinyl acetate Substances 0.000 claims description 6
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 6
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 6
- QYEXBYZXHDUPRC-UHFFFAOYSA-N B#[Ti]#B Chemical compound B#[Ti]#B QYEXBYZXHDUPRC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910033181 TiB2 Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229920002689 polyvinyl acetate Polymers 0.000 claims description 5
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims description 4
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L calcium difluoride Chemical compound [F-].[F-].[Ca+2] WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 2
- 229910001634 calcium fluoride Inorganic materials 0.000 claims description 2
- BRPQOXSCLDDYGP-UHFFFAOYSA-N calcium oxide Chemical compound [O-2].[Ca+2] BRPQOXSCLDDYGP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000000292 calcium oxide Substances 0.000 claims description 2
- ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N calcium oxide Inorganic materials [Ca]=O ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 abstract description 20
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 20
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 abstract description 15
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 15
- 239000002245 particle Substances 0.000 abstract description 7
- 230000008569 process Effects 0.000 abstract description 5
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000009736 wetting Methods 0.000 description 6
- 229910000676 Si alloy Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 4
- UGACIEPFGXRWCH-UHFFFAOYSA-N [Si].[Ti] Chemical compound [Si].[Ti] UGACIEPFGXRWCH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 3
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 239000013338 boron nitride-based material Substances 0.000 description 2
- 230000001680 brushing effect Effects 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 2
- 238000005488 sandblasting Methods 0.000 description 2
- UVGLBOPDEUYYCS-UHFFFAOYSA-N silicon zirconium Chemical compound [Si].[Zr] UVGLBOPDEUYYCS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 239000003981 vehicle Substances 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000663 Hydroxyethyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 239000004354 Hydroxyethyl cellulose Substances 0.000 description 1
- 239000004721 Polyphenylene oxide Substances 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 238000000498 ball milling Methods 0.000 description 1
- 239000010953 base metal Substances 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000001934 delay Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000010285 flame spraying Methods 0.000 description 1
- 230000008570 general process Effects 0.000 description 1
- 239000008240 homogeneous mixture Substances 0.000 description 1
- 235000019447 hydroxyethyl cellulose Nutrition 0.000 description 1
- XWHPIFXRKKHEKR-UHFFFAOYSA-N iron silicon Chemical compound [Si].[Fe] XWHPIFXRKKHEKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 238000007750 plasma spraying Methods 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920000570 polyether Polymers 0.000 description 1
- 239000005060 rubber Substances 0.000 description 1
- -1 siloxanes Chemical class 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011135 tin Substances 0.000 description 1
- 238000009827 uniform distribution Methods 0.000 description 1
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 description 1
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/009—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone characterised by the material treated
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
- C04B41/50—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials
- C04B41/51—Metallising, e.g. infiltration of sintered ceramic preforms with molten metal
- C04B41/5133—Metallising, e.g. infiltration of sintered ceramic preforms with molten metal with a composition mainly composed of one or more of the refractory metals
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
- C04B41/50—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials
- C04B41/51—Metallising, e.g. infiltration of sintered ceramic preforms with molten metal
- C04B41/5188—Metallising, e.g. infiltration of sintered ceramic preforms with molten metal organic
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- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/80—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone of only ceramics
- C04B41/81—Coating or impregnation
- C04B41/85—Coating or impregnation with inorganic materials
- C04B41/88—Metals
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
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- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
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- Crucibles And Fluidized-Bed Furnaces (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、蒸発表面に溶融アルミニウム、銅、銀、錫等
のような溶融金属に容易に濡れるチタン−鉄−珪素基コ
ーティングを付着せしめた窒化硼素含有蒸発容器に関す
るものである。本発明はまた、窒化硼素含有蒸発容器の
表面にチタン−鉄−珪素基コーティングを被覆するため
の方法にも関係する。本発明容器は、メタライジング等
の蒸着用途での金属収納目的に好適に使用される。
のような溶融金属に容易に濡れるチタン−鉄−珪素基コ
ーティングを付着せしめた窒化硼素含有蒸発容器に関す
るものである。本発明はまた、窒化硼素含有蒸発容器の
表面にチタン−鉄−珪素基コーティングを被覆するため
の方法にも関係する。本発明容器は、メタライジング等
の蒸着用途での金属収納目的に好適に使用される。
ｌ匪立宣旦
鋼、ゴム、プラスチック等の多様な材料から作製された
様々の物品をアルミニウム等を蒸着することによりメタ
ライズする即ち金属被覆することは広〈実施されている
。
様々の物品をアルミニウム等を蒸着することによりメタ
ライズする即ち金属被覆することは広〈実施されている
。
実施において、物品の実際のコーティング或いはメタラ
イジング作業は、蒸発されるべき金属とそれと間をおい
て配置されたコーティング或いはメタライジングすべき
物品或いはウェブとを納めた真空室内で実施される。一
般に、蒸発されるべき金属は、金属を溶融せしめそして
蒸発を開始せしめるに十分の温度にある耐火容器或いは
るつぼ内に置かれ、コントロールされた速度で対象物に
イリ着される。
イジング作業は、蒸発されるべき金属とそれと間をおい
て配置されたコーティング或いはメタライジングすべき
物品或いはウェブとを納めた真空室内で実施される。一
般に、蒸発されるべき金属は、金属を溶融せしめそして
蒸発を開始せしめるに十分の温度にある耐火容器或いは
るつぼ内に置かれ、コントロールされた速度で対象物に
イリ着される。
良米肢頒
上記の一般的プロセスにおいて、アルミニウムのような
溶融金属と実質上反応しない容器或いはるつぼが使用さ
れることが必須である。この要件は、そうした容器或い
はるつぼを窒化硼素或いは窒化硼素基複合体から作製す
ることにより極めて好適に満足される。しかし、この型
式の材料の使用に伴う一つの欠点は、メタライジング装
置の始動期間中、即ち温度が充分上がっていない間、ア
ルミニウムのような溶融金属による窒化硼素基蒸発容器
の濡わが乏しく、制限された濡れしか得られないことで
あった。この濡れの遅れはメタライジングプロセスの全
体効率を減じ、可能なら回避されるべきである。
溶融金属と実質上反応しない容器或いはるつぼが使用さ
れることが必須である。この要件は、そうした容器或い
はるつぼを窒化硼素或いは窒化硼素基複合体から作製す
ることにより極めて好適に満足される。しかし、この型
式の材料の使用に伴う一つの欠点は、メタライジング装
置の始動期間中、即ち温度が充分上がっていない間、ア
ルミニウムのような溶融金属による窒化硼素基蒸発容器
の濡わが乏しく、制限された濡れしか得られないことで
あった。この濡れの遅れはメタライジングプロセスの全
体効率を減じ、可能なら回避されるべきである。
米国特許筒３．７２４．９９６号は、表面にジルコニウ
ム−珪素合金を付着せしめた窒化硼素含有蒸発容器を開
示し、付着コーティングはジルコニウム−珪素合金の一
部を接触状態にある窒化硼素収納容器と昇温下で反応せ
しめることにより形成される。
ム−珪素合金を付着せしめた窒化硼素含有蒸発容器を開
示し、付着コーティングはジルコニウム−珪素合金の一
部を接触状態にある窒化硼素収納容器と昇温下で反応せ
しめることにより形成される。
米国特許箱３．７３０．５０７号は、表面にチタン珪素
合金を付着せしめた窒化硼素含有蒸発容器を開示し、こ
の場合コーティングはチタン珪素基合金の一部を接触状
態にある窒化硼素収納容器部分と昇温下で反応させるこ
とにより形成された。
合金を付着せしめた窒化硼素含有蒸発容器を開示し、こ
の場合コーティングはチタン珪素基合金の一部を接触状
態にある窒化硼素収納容器部分と昇温下で反応させるこ
とにより形成された。
日が １ しよ と る９
これら容器をアルミニウムを蒸発するのに使用するに当
たり、各容器は抵抗加熱体として、溶融アルミニウム収
納体としてそしてアルミニウム蒸発のための蒸発表面形
成体として作用する。先行技術の容器は良好に機能を為
すけれども、■アルミニウムにより一層低い温度での濡
れを可能とすること、 ■容器寿命が改善されること、 ■新しいボートが速やかに−様な蒸発速度で安定化する
こと、 ■容器の摩耗が−様であること、 ■ウェブ上に−様な金属付着がもたらされることへの要
望が未だ尚存在する。
たり、各容器は抵抗加熱体として、溶融アルミニウム収
納体としてそしてアルミニウム蒸発のための蒸発表面形
成体として作用する。先行技術の容器は良好に機能を為
すけれども、■アルミニウムにより一層低い温度での濡
れを可能とすること、 ■容器寿命が改善されること、 ■新しいボートが速やかに−様な蒸発速度で安定化する
こと、 ■容器の摩耗が−様であること、 ■ウェブ上に−様な金属付着がもたらされることへの要
望が未だ尚存在する。
容器の濡れ開始（ｗｅｔ−ｉｎ）の遅れはメタライジン
グプロセスの全体効率を下げる。幾つかの場合に、作業
者はなるたけ速やかに濡れ状態を得るように容器を過熱
する場合があるが、もしその高めの温度で操作をそのま
ま継続すると容器の寿命が短縮する恐れがある。
グプロセスの全体効率を下げる。幾つかの場合に、作業
者はなるたけ速やかに濡れ状態を得るように容器を過熱
する場合があるが、もしその高めの温度で操作をそのま
ま継続すると容器の寿命が短縮する恐れがある。
ｌ豆五月道
本発明の目的は、様々の蒸発プロセスにおいてアルミニ
ウムのような溶融金属と共に使用されることを可能とす
る新規なコーティングを備えた窒化硼素含有容器を開発
することである。
ウムのような溶融金属と共に使用されることを可能とす
る新規なコーティングを備えた窒化硼素含有容器を開発
することである。
本発明のまた別の目的は、溶融アルミニウムのような溶
融金属により即座に濡れる新規なコーティングを備えた
窒化硼素含有容器を開発することである。
融金属により即座に濡れる新規なコーティングを備えた
窒化硼素含有容器を開発することである。
本発明の更に別の目的は、パッケージング、コンデンサ
フィルム及び太陽光／マイクロ波フィルム用途向けにア
ルミニウムを蒸発するのに効率的に使用されることを可
能ならしめる新規なコーティングを備えた窒化硼素含有
容器を開発することである。
フィルム及び太陽光／マイクロ波フィルム用途向けにア
ルミニウムを蒸発するのに効率的に使用されることを可
能ならしめる新規なコーティングを備えた窒化硼素含有
容器を開発することである。
及旦ｊ口ｌ戒
本発明者は、チタン−鉄−珪素のコーティング層が上記
の目的に非常に好適なことを見出した。
の目的に非常に好適なことを見出した。
本発明は、窒化硼素を、好ましくはそれと併用するに適
合性のある耐火材料と共に、含んで成る容器であって、
容器が表面の少な（とも一部をチタン−鉄−珪素の層で
被覆されていることを特徴とする容器を提供する。
合性のある耐火材料と共に、含んで成る容器であって、
容器が表面の少な（とも一部をチタン−鉄−珪素の層で
被覆されていることを特徴とする容器を提供する。
本発明はまた、耐火性窒化硼素含有蒸発容器をチタン−
鉄−珪素のコーティングで被覆する方法を提供するもの
であり、これは、 （ａ）チタン粉末、鉄粉末及び珪素粉末を混和して乾燥
混和物を形成する段階と、 （ｂ）段階（ａ）の乾燥混和物を液体ビヒクル、分散剤
及びバインダーと混合して、粉末の固体粒子が好ましく
は６５〜８０重量％を構成するスラリーを形成する段階
と、 （ｃ）容器の表面を段階（ｂ）のスラリーで被覆する段
階と、 （ｄ）容器の被覆表面を、好ましくは約１００℃の昇温
下で少なくとも２時間加熱してスラリーの液体部分を除
去しそしてバインダーを硬化する段階とを包含する。こ
の加熱段階を実施する望ましい範囲は、９５〜１０５℃
において１〜２．５時間である。１０５℃を超える温度
はある型式のバインダーを劣化する可能性がある。
鉄−珪素のコーティングで被覆する方法を提供するもの
であり、これは、 （ａ）チタン粉末、鉄粉末及び珪素粉末を混和して乾燥
混和物を形成する段階と、 （ｂ）段階（ａ）の乾燥混和物を液体ビヒクル、分散剤
及びバインダーと混合して、粉末の固体粒子が好ましく
は６５〜８０重量％を構成するスラリーを形成する段階
と、 （ｃ）容器の表面を段階（ｂ）のスラリーで被覆する段
階と、 （ｄ）容器の被覆表面を、好ましくは約１００℃の昇温
下で少なくとも２時間加熱してスラリーの液体部分を除
去しそしてバインダーを硬化する段階とを包含する。こ
の加熱段階を実施する望ましい範囲は、９５〜１０５℃
において１〜２．５時間である。１０５℃を超える温度
はある型式のバインダーを劣化する可能性がある。
免肚ユ且盗ヱ１１
液体ビヒクルとは、粉末粒子を懸濁する媒体である。適
当な液体ビヒクルは、メチルエチルケトン、アルコール
、水或いはバインダーを溶解する無機液体である。
当な液体ビヒクルは、メチルエチルケトン、アルコール
、水或いはバインダーを溶解する無機液体である。
分散剤は、スラリー全体を通しての粉末の分布の一様化
に寄与するものでありそして沈降防止剤としても作用“
しつる。適当な分散剤の例は、ブタノールゲル、ヒドロ
キシエチルセルロース、シロキサン、ポリエーテルアル
コール等である。
に寄与するものでありそして沈降防止剤としても作用“
しつる。適当な分散剤の例は、ブタノールゲル、ヒドロ
キシエチルセルロース、シロキサン、ポリエーテルアル
コール等である。
蒸発容器は、窒化硼素並びに二硼化チタン、窒化アルミ
ニウム、窒化チタン、弗化カルシウム、酸化カルシウム
及びその混合物から成る群がら選択される耐火材料から
構成しつる。
ニウム、窒化チタン、弗化カルシウム、酸化カルシウム
及びその混合物から成る群がら選択される耐火材料から
構成しつる。
好ましくは、蒸発容器は、市販の純窒化硼素から或いは
実質量の窒化硼素を含有する耐火複合材料いずれかから
作製されつる。実用上、少なくとも２０重量％窒化硼素
を含有する耐火複合材料を使用することが好ましい。良
好な結果は、すべてが窒化硼素単味から成る容器或いは
約２０〜８０重量％窒化硼素を含み、残部が二線化チタ
ンのような適合性のある耐火材料である容器を使用する
ことにより得られた。二線化チタンは窒化硼素基材料に
生成物品を電導性とするように、それが所望されるなら
、添加される。しかし、二線化チタン以外の耐火材料も
本発明の実施において使用可能であることを銘記された
い。
実質量の窒化硼素を含有する耐火複合材料いずれかから
作製されつる。実用上、少なくとも２０重量％窒化硼素
を含有する耐火複合材料を使用することが好ましい。良
好な結果は、すべてが窒化硼素単味から成る容器或いは
約２０〜８０重量％窒化硼素を含み、残部が二線化チタ
ンのような適合性のある耐火材料である容器を使用する
ことにより得られた。二線化チタンは窒化硼素基材料に
生成物品を電導性とするように、それが所望されるなら
、添加される。しかし、二線化チタン以外の耐火材料も
本発明の実施において使用可能であることを銘記された
い。
蒸発容器の表面コーティングを形成するのに使用される
チタン−鉄−珪素乾燥混和物（ブレンド）は、４５〜７
５重量％チタン粉末、１８〜３５重量％鉄粉末及び７〜
２０重量％珪素粉末の混和物として構成しつる。好まし
い乾燥混和物は、約５９重量％チタン、約２８重量％鉄
及び約１３重量％珪素から成る。
チタン−鉄−珪素乾燥混和物（ブレンド）は、４５〜７
５重量％チタン粉末、１８〜３５重量％鉄粉末及び７〜
２０重量％珪素粉末の混和物として構成しつる。好まし
い乾燥混和物は、約５９重量％チタン、約２８重量％鉄
及び約１３重量％珪素から成る。
チタン、鉄及び珪素の粉末粒子寸法は、実質上均質な混
合物を与えるに十分のものとすべきでありそして好まし
くは１００タイラーメッシュより小さいものとされつる
。より好ましくは、粉末は約３２５タイラーメッシュよ
り小さいものとされるべきである。
合物を与えるに十分のものとすべきでありそして好まし
くは１００タイラーメッシュより小さいものとされつる
。より好ましくは、粉末は約３２５タイラーメッシュよ
り小さいものとされるべきである。
乾燥混和物は、蒸発容器の表面に被覆可能なスラリーを
形成するように液体ビヒクル、分散剤及びバインダーと
混合されるべきである。好ましくは、スラリーの粉末の
固体粒子は、実施可能なかぎりほとんど無孔の最終コー
ティングを提供するようにスラリーの少なくとも６５重
量％とすべきである。好ましくは、スラリーの固体粒子
含有量はスラリーの６５〜８０重量％とすべきである。
形成するように液体ビヒクル、分散剤及びバインダーと
混合されるべきである。好ましくは、スラリーの粉末の
固体粒子は、実施可能なかぎりほとんど無孔の最終コー
ティングを提供するようにスラリーの少なくとも６５重
量％とすべきである。好ましくは、スラリーの固体粒子
含有量はスラリーの６５〜８０重量％とすべきである。
最も好ましくは、約７５重量％が固体弁である。
スラリーを調製するのに使用されるビヒクル、分散剤及
びバインダーは２種或いはそれ以上の物質として構成し
得る。スラリーを形成するのに適当な液体は、液体ビヒ
クルとしてのメチルエチルケトン（ＭＥＫ）に液体分散
剤及びバインダーとしてのポリ酢酸ビニル（ＰＶＡ）を
加えたものである。ブタノールゲルが分散性を改善しそ
して保存寿命を延長するのに添加されつる。
びバインダーは２種或いはそれ以上の物質として構成し
得る。スラリーを形成するのに適当な液体は、液体ビヒ
クルとしてのメチルエチルケトン（ＭＥＫ）に液体分散
剤及びバインダーとしてのポリ酢酸ビニル（ＰＶＡ）を
加えたものである。ブタノールゲルが分散性を改善しそ
して保存寿命を延長するのに添加されつる。
スラリーは刷毛塗り或いはスプレィインクにより蒸発容
器の表面に適用されつる。粉末組成物はまた、火炎溶射
、プラズマ溶射乃至は他の適当な技術により被覆されつ
る。塗布或いはスプレィインクによるような液体状態で
被覆されるなら、被覆された容器はその後、スラリーの
液体部分を乾燥或いは除去しそしてバインダーを硬化（
ｃｕｒｅ ）して容器表面上にチタン−鉄−珪素層を残
すように加熱される。容器の加熱は、約１００℃の昇温
下で、好ましくは９５℃以上でスラリーの液体部分を除
去しそしてバインダーを硬化するに十分の時間為される
。
器の表面に適用されつる。粉末組成物はまた、火炎溶射
、プラズマ溶射乃至は他の適当な技術により被覆されつ
る。塗布或いはスプレィインクによるような液体状態で
被覆されるなら、被覆された容器はその後、スラリーの
液体部分を乾燥或いは除去しそしてバインダーを硬化（
ｃｕｒｅ ）して容器表面上にチタン−鉄−珪素層を残
すように加熱される。容器の加熱は、約１００℃の昇温
下で、好ましくは９５℃以上でスラリーの液体部分を除
去しそしてバインダーを硬化するに十分の時間為される
。
上述したスラリー技術により与えられる利点は不規則な
形状の容器でも一層容易に被覆しうることである。
形状の容器でも一層容易に被覆しうることである。
図面は従来型式のメタライジング装置において−Ｍに使
用される型式の矩形断面の直方体状容器或いはるつぼを
示す。
用される型式の矩形断面の直方体状容器或いはるつぼを
示す。
番号２により示される空洞部を有する蒸発容器１が示さ
れる。空洞部の床（底面）が容器１の蒸発表面を構成し
そしてそこに機械的に結合されたチタン−鉄−珪素基台
金４で被覆される。蒸発容器１は窒化硼素基材料３から
形成される。
れる。空洞部の床（底面）が容器１の蒸発表面を構成し
そしてそこに機械的に結合されたチタン−鉄−珪素基台
金４で被覆される。蒸発容器１は窒化硼素基材料３から
形成される。
見立■ユ
６−１／２インチ長さＸ １−１／２インチ巾Ｘ ｌ／
２インチ高さを有しそして約３ ｉｎ’の空洞部を有す
る図面に示した型式の直方体状容器を、５０重量％窒化
硼素を含有し、残部が実質上二硼化チタンである複合耐
火材料から作製した。
２インチ高さを有しそして約３ ｉｎ’の空洞部を有す
る図面に示した型式の直方体状容器を、５０重量％窒化
硼素を含有し、残部が実質上二硼化チタンである複合耐
火材料から作製した。
５９．１重量％チタン粉末、２７．６重量％鉄粉末及び
１３．３重量％珪素粉末（すべて３２５タイラ一メツシ
ユ通過する寸法を有した）の乾燥混和物を、メチルエチ
ルケトン中でポリ酢酸ビニル添加を伴って湿式ボールミ
ル処理してスラリーを生成した。ポリ酢酸ビニルは乾燥
混和物を添加する前に塗料振動機においてメチルエチル
ケトンと予備混合した。ポリ酢酸ビニルはスラリーの液
体部分の３．１重量％であった。
１３．３重量％珪素粉末（すべて３２５タイラ一メツシ
ユ通過する寸法を有した）の乾燥混和物を、メチルエチ
ルケトン中でポリ酢酸ビニル添加を伴って湿式ボールミ
ル処理してスラリーを生成した。ポリ酢酸ビニルは乾燥
混和物を添加する前に塗料振動機においてメチルエチル
ケトンと予備混合した。ポリ酢酸ビニルはスラリーの液
体部分の３．１重量％であった。
約７５重量％の粉末粒子を有する生成スラリーをサンド
ブラスティングにより予め浄化した容器の空洞部の表面
上に刷毛塗りにより塗布した。サンドブラスティングは
また、表面を粗化し従ってコーティング結合を改善する
。コーティングは空洞部の表面が見えないように空洞部
の表面を覆った。
ブラスティングにより予め浄化した容器の空洞部の表面
上に刷毛塗りにより塗布した。サンドブラスティングは
また、表面を粗化し従ってコーティング結合を改善する
。コーティングは空洞部の表面が見えないように空洞部
の表面を覆った。
被覆した容器はその後、１００℃で２時間乾燥した。乾
燥後、容器はメタライザー内に置かれそして始動された
。アルミニウムを蒸発するとき。
燥後、容器はメタライザー内に置かれそして始動された
。アルミニウムを蒸発するとき。
始動前に空洞にアルミニウムワイヤを置くことが好まし
い。これは、蒸発されるべきアルミニウム量（ｇ／分）
に対する最小操作条件まで温度を増大しつるよう可能な
最低濡れ温度を操作者が見出すことを可能ならしめよう
。
い。これは、蒸発されるべきアルミニウム量（ｇ／分）
に対する最小操作条件まで温度を増大しつるよう可能な
最低濡れ温度を操作者が見出すことを可能ならしめよう
。
こうして作製した容器を従来型式の蒸発装置内でアルミ
ニウム蒸発容器として使用した。コーティングの無い容
器に対しての１３５０〜１５００℃に比較して、アルミ
ニウムは９００〜１０００℃の間ですぐに容器を濡らす
ことが認められた。
ニウム蒸発容器として使用した。コーティングの無い容
器に対しての１３５０〜１５００℃に比較して、アルミ
ニウムは９００〜１０００℃の間ですぐに容器を濡らす
ことが認められた。
更に、本コーテイング付き容器に対しては濡れ作用が穏
やかであるのに対し、コーティングの無い容器に対して
は濡れ作用が激しいことが観察された。
やかであるのに対し、コーティングの無い容器に対して
は濡れ作用が激しいことが観察された。
犬１ｕ江ｌ
上述したのと同様の組成物を調製したが、但しここでは
ポリ酢酸ビニル含有量はスラリーの液体部分の６．２重
量％とした。ブタノールゲル、沈降防止剤を全スラリー
の２重量％に等しい量において添加した。コーティング
付き容器の性能は例１と同等であった。
ポリ酢酸ビニル含有量はスラリーの液体部分の６．２重
量％とした。ブタノールゲル、沈降防止剤を全スラリー
の２重量％に等しい量において添加した。コーティング
付き容器の性能は例１と同等であった。
本コーティングはまた。１７００℃までは著しく蒸発す
るようには見えないことも観察された。
るようには見えないことも観察された。
先行技術のチタン−珪素合金コーティングは約１５００
℃で蒸発する。
℃で蒸発する。
本明細書において使用する「蒸発」とは、蒸発されるべ
き金属により濡れる蒸発容器の表面と関連して記載され
る。この表面が一般には蒸発容器に形成される空洞部の
床（底）であることは当業者には明らかである。しかし
、この表面がまた蒸発容器の側壁をも含みうろことは明
らかである。
き金属により濡れる蒸発容器の表面と関連して記載され
る。この表面が一般には蒸発容器に形成される空洞部の
床（底）であることは当業者には明らかである。しかし
、この表面がまた蒸発容器の側壁をも含みうろことは明
らかである。
加えて、本発明の利益を実現するのにチタン−鉄−珪素
混合物で蒸発表面全体を被覆する必要は゛ないことも銘
記されたい。従って、本発明は蒸発容器全体或いはその
蒸発表面の一部をチタン−鉄−珪素コーティングで被覆
した窒化硼素基蒸発容器を含むものであることを意図す
る。
混合物で蒸発表面全体を被覆する必要は゛ないことも銘
記されたい。従って、本発明は蒸発容器全体或いはその
蒸発表面の一部をチタン−鉄−珪素コーティングで被覆
した窒化硼素基蒸発容器を含むものであることを意図す
る。
ｌ豆立盈１
本発明に従う容器は、従来からのメタライジング装置に
おいてアルミニウムのための蒸発容器として理想的に適
合するのみならず、他の金属処理プロセスにおいて溶融
アルミニウム及び他の金属のための容器として有用であ
ることが理解されよう。本発明は、 ■アルミニウムにより一層低い温度での濡れを可能とす
ること、 ■容器寿命が改善されること、 ■新しいボートが速やかに−様な蒸発速度で安定化する
こと、 ■容器の摩耗が−様であること、 ■ウェブ状に−様な金属付着がもたらされることの点で
従来容器より優れている。
おいてアルミニウムのための蒸発容器として理想的に適
合するのみならず、他の金属処理プロセスにおいて溶融
アルミニウム及び他の金属のための容器として有用であ
ることが理解されよう。本発明は、 ■アルミニウムにより一層低い温度での濡れを可能とす
ること、 ■容器寿命が改善されること、 ■新しいボートが速やかに−様な蒸発速度で安定化する
こと、 ■容器の摩耗が−様であること、 ■ウェブ状に−様な金属付着がもたらされることの点で
従来容器より優れている。
図面は従来型式のメタライジング装置において一般に使
用される型式の直方体状容器或いはるつぼを示す斜視図
である。 １：蒸発容器 ２：空洞部 ３：窒化硼素基耐火材料 ４：チタンー鉄−珪素基合金
用される型式の直方体状容器或いはるつぼを示す斜視図
である。 １：蒸発容器 ２：空洞部 ３：窒化硼素基耐火材料 ４：チタンー鉄−珪素基合金
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）窒化硼素を含む蒸発容器において、容器がその表面
の少なくとも一部をチタン−鉄−珪素の層で被覆されて
いることを特徴とする蒸発容器。 ２）チタン−鉄−珪素層が４５〜７５重量％チタン、１
８〜３５重量％鉄及び７〜２０重量％珪素を含む特許請
求の範囲第１項記載の蒸発容器。 ３）チタン−鉄−珪素層が約５９重量％チタン、約２８
重量％鉄及び約１３重量％珪素から成る特許請求の範囲
第１項記載の蒸発容器。 ４）蒸発容器が二硼化チタン、窒化アルミニウム、窒化
チタン、弗化カルシウム、酸化カルシウム及びその混合
物から成る群から選択される耐火材料を更に含む特許請
求の範囲第１項記載の蒸発容器。 ５）蒸発容器が２０〜８０重量％窒化硼素を含有し、残
部が実質上二硼化チタンである特許請求の範囲第１項記
載の蒸発容器。 ６）蒸発容器が５０重量％窒化硼素を含有し、残部が実
質上二硼化チタンである特許請求の範囲第５項記載の蒸
発容器。 ７）チタン−鉄−珪素層が約５９重量％チタン、約２８
重量％鉄及び約１３重量％珪素から成る特許請求の範囲
第５項記載の蒸発容器。 ８）容器が直方体状であり、そしてその長辺及び短辺を
含む表面の一部に配置されそして容器中に深さの一部に
わたり突入する空洞部を有する特許請求の範囲第１項、
５項或いは７項記載の蒸発容器。 ９）窒化硼素含有蒸発容器をチタン−鉄−珪素コーティ
ングで被覆する方法をであって、（ａ）チタン粉末、鉄
粉末及び珪素粉末を混和して乾燥混和物を形成する段階
と、 （ｂ）段階（ａ）の乾燥混和物を液体ビヒクル、分散剤
及びバインダーと混合してスラリーを形成する段階と、 （ｃ）容器の表面を段階（ｂ）のスラリーで被覆する段
階と、 （ｄ）容器の被覆表面をスラリーの液体部分を除去しそ
してバインダーを硬化するよう加熱し、それにより容器
表面にチタン−鉄−珪素層を残す段階と を包含する窒化硼素含有蒸発容器をチタン−鉄−珪素コ
ーティングで被覆する方法。 １０）段階（ａ）において、乾燥混和物は、４５〜７５
重量％チタン、１８〜３５重量％鉄及び７〜２０重量％
珪素を含み、そして粉末が１００タイラーメッシュより
小さい寸法を有する特許請求の範囲第９項記載の方法。 １１）段階（ｂ）において、液体ビヒクルがメチルエチ
ルケトンでありそして分散剤及びバインダーーがポリ酢
酸ビニルである特許請求の範囲第１０項記載の方法。 １２）段階（ｂ）において、スラリーがブタノールゲル
を含有する特許請求の範囲第１１項記載の方法。 １３）段階（ｂ）において、スラリーが６５重量％を超
える固体粉末を含む特許請求の範囲第９〜１２項のいず
れか一項記載の方法。 １４）段階（ａ）において、乾燥混和物粉末は、３２５
タイラーメッシュより小さい寸法を有しそして段階（ｂ
）において、スラリーが６５〜８０重量％の固体粉末を
含む特許請求の範囲第９〜１２項のいずれか一項記載の
方法。 １５）段階（ｄ）において、容器の被覆表面が９５〜１
０５℃の温度に１〜２．５時間加熱されてスラリーの液
体部分を実質除去しそしてバインダーを硬化し、それに
より容器表面にチタン−鉄−珪素層を残す特許請求の範
囲第９〜１２項のいずれか一項記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US07/180,578 US4884788A (en) | 1988-04-12 | 1988-04-12 | Boron nitride containing vessel having a surface coating of titanium iron-silicon thereon |
| US180578 | 1988-04-12 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01316258A true JPH01316258A (ja) | 1989-12-21 |
| JPH0673933B2 JPH0673933B2 (ja) | 1994-09-21 |
Family
ID=22660969
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1089882A Expired - Fee Related JPH0673933B2 (ja) | 1988-04-12 | 1989-04-11 | チタン―鉄―珪素表面コーティングを有する窒化硼素含有蒸着用ボート |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4884788A (ja) |
| EP (1) | EP0337391B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0673933B2 (ja) |
| DE (1) | DE68902165T2 (ja) |
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| US10196729B2 (en) | 2015-09-25 | 2019-02-05 | Fujimi Incorporated | Slurry for thermal spraying, sprayed coating, and method for forming sprayed coating |
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| DE102015112135B4 (de) | 2015-07-24 | 2023-04-06 | Kennametal Inc. | Verdampferkörper mit Titanhydridbeschichtung, Verfahren zu dessen Herstellung und Verwendung |
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- 1988-04-12 US US07/180,578 patent/US4884788A/en not_active Expired - Lifetime
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1989
- 1989-04-11 JP JP1089882A patent/JPH0673933B2/ja not_active Expired - Fee Related
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- 1989-04-11 EP EP89106412A patent/EP0337391B1/en not_active Expired
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| DE68902165D1 (de) | 1992-08-27 |
| JPH0673933B2 (ja) | 1994-09-21 |
| EP0337391A3 (en) | 1990-02-07 |
| DE68902165T2 (de) | 1992-12-17 |
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