SU1668107A1 - Способ изготовлени оптических деталей - Google Patents

Способ изготовлени оптических деталей Download PDF

Info

Publication number
SU1668107A1
SU1668107A1 SU884615920A SU4615920A SU1668107A1 SU 1668107 A1 SU1668107 A1 SU 1668107A1 SU 884615920 A SU884615920 A SU 884615920A SU 4615920 A SU4615920 A SU 4615920A SU 1668107 A1 SU1668107 A1 SU 1668107A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
tool
grinding
coolant
processing
roughness
Prior art date
Application number
SU884615920A
Other languages
English (en)
Inventor
Леонид Иванович Мастюгин
Анатолий Петрович Якимахо
Андрей Владиславович Катюк
Original Assignee
Предприятие П/Я М-5120
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я М-5120 filed Critical Предприятие П/Я М-5120
Priority to SU884615920A priority Critical patent/SU1668107A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1668107A1 publication Critical patent/SU1668107A1/ru

Links

Landscapes

  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к абразивной обработке стекла и может быть, в частности, использовано при шлифовании оптических поверхностей. Цель изобретени  - повышение качества и производительности обработки за счет обеспечени  возможности регулировани  зернистости инструмента. Дл  обработки используют инструмент на эпоксидной св зке, причем на стадии грубого шлифовани  в зону обработки подают СОЖ с температурой 15 - 30°С, а при чистовом шлифовании СОЖ подают нагретую до температуры 45 - 110°С. Инструмент разогреваетс , абразивные зерна вдавливаютс  в св зку и продолжаетс  процесс шлифовани  с меньшим врезанием абразивных зерен в обрабатываемый материал, что определ ет величину шероховатости обрабатываемой поверхности. 2 табл.

Description

Изобретение относитс  к абразивной обработке стекла и может быть, в частности, использовано при шлифовании поверхностей оптических деталей.
Цель изобретени  - повышение качества и производительности обработки за счет обеспечени  возможности регулировани  зернистости инструмента.
Дл  реализации способа используют инструмент на эпоксидной св зке, причем шлифование на начальной стадии осуществл ют инструментом с температурой рабочей поверхности 15-30°С, а на завершающей стадии шлифовани  рабочую поверхность инструмента нагревают до температуры, в пределах 45 1 10°С, определ емой выражением
р
.-- +20°С,
Да
где Ra20° - шероховатость обработанной по верхности, обеспечиваема  инструментом с температурой рабочей поверхности 15-30°С, мкм;
Ra - требуема  шероховатость обрабатываемой поверхности после обработки, мкм.
Врем  шлифовани  материала на завершающей стадии определ етс  выражением
Н
„ Т ° (ЙЛРТаТ-ЙТ+О где п - заданна  величина съема на
завершающей стадии шлифовани , мкм;
и о°
(-) -скорость съема абразивным инструментом при 15-30°С, мкм/с;
коэффициенты регрес- сии, завис щие от индивидуальных особенностей инструмента
а+П ..3)
6+(5...30)X10-3fС+ (0,5...1)
При разогревании св зки происходит вдавливание абразивных зерен в нее и выравнивание их по высоте, что определ ет шероховатость обрабатываемой поверхности стекла при использовании сравнительно крупных зерен, а при охлаждении CBHIKH до 15-30°С происходит восстановление аб (Л
о оэ оо
j
разивных зерен на прежнем уровне. Это объ сн етс  теплофизическими свойствами эпоксидной смолы. От степени разогрева св зки на завершающей стадии шлифовани  зависит величина шероховатости обрабатываемой детали и врем  шлифова-ни .
Использование в способе инструмента на эпоксидной св зке с его разогревом на завершающей стадии позвол ет сделать инструмент сплошным, позвол ющим снизить шероховатость обрабатываемой поверхности, а прилагаемое давление в процессе обработки не измен ть, что повышает эксплуатационные свойства инструмента и качество обработки.
Способ шлифовани  осуществл етс  следующим образом.
На станок устанавливают обрабатываемую деталь, сверху накладывают обрабатывающий инструмент на эпоксидной св зке. В зону обработки подают смазочно-охлаж- дающую жидкость (СОЖ) при 15-30°С, прилагают давление, привод т в действие кинематическую часть станка и осуществл ют процесс шлифовани . После сн ти  основной части припуска детали, не останавлива  станка, вместо СОЖ при 15-30°С подают СОЖ, нагретую до 45-1 10°С. Инструмент разогреваетс , абразивные зерна вдавливаютс  в св зку и продолжаетс  процесс шлифовани  с меньшим врезанием абразивных зерен в обрабатываемое стекло , что в конечном итоге определ ет величину шероховатости обработанной поверхности . После остановки кинематической части станка инструмент остывает, абразивные зерна восстанавливаютс  на прежнем уровне.
Способ испытывали в лабораторных услови х на испытательной установке при обработке стекла марки К8 с шероховатостью поверхности 1,25 мкм алмазным инструментом на эпоксидной св зке с зернистостью АСМ 60/40 1%-ной концентрации. Окружна  скорость вращени  инструмента при этом выбиралась равной 15 м/с, давление 5ХЮ4 Па. В качестве СОЖ использовали 30%-ный водный раствор глицерина. Подача СОЖ осуществл лась двум  помпами с разных резервуаров (в одном СОЖ холодна  при 15-30°С, в другом - нагреваема ). Врем  шлифовани  в процессе испытани  поддерживалось посто нным и выбиралось таким, чтобы на 1 переходе обеспечивалс  съем стекла, равный 80- 100 мкм. Съем 1 перехода контролировалс  прибором активного контрол  БВ 4111,
° после чего происходило переключение СОЖ. Сравнительные данные испытани  предложенного способа с различной исходной зернистостью инструмента и известного способа представлены в табл. 1 и 2.
5Из приведенных данных видно, что шероховатость обработанной поверхности по предложенному способу улучшаетс  в 1,1 - 2,5 раза по сравнению со шлифованием по известному способу.
Врем  шлифовани  по предложенному
0 способу уменьшаетс  в 1,7 раза по сравнению со шлифованием по известному способу
Кроме того, при шлифовании по предложенному способу не требовалось измен ть приложенное давление. По сравнению с известным способом конструкци  инструмента была сплошной, не требующей подналадки в процессе обработки и состо ла из одной фракции алмаза, что характеризует высокие эксплуатационные свойства инструмено та, используемого при шлифовании

Claims (1)

  1. Формула изобретени 
    Способ изготовлени  оптических деталей, при котором с одной установки детали по5 следовательно осуществл ют операции грубого и тонкого шлифовани  абразивным инструментом , отличающийс  тем, что, с целью повышени  качества и производительности обработки, берут инструмент на эпоксидной св зке, причем на операции грубого шлифо0 вани  рабочую поверхность инструмента нагревают до 15-30°С, а на операции чистового шлифовани  - до 45-110°С.
    5
    1668107
    Таблица 1
    Предложенный способ
    кци  аза АСВ 50, зка Ml, -на  центи 
    20 20 20 20 20 20 20 20 20
    20
    35
    45
    55
    70
    80
    90
    100
    110
    120
    20 20 20 20 20 20 20 20 20
    Известный способ
    Фракци  50 алмаза АСН 20/14, св зка М-015, 10%-на  концентраци 
    тость исходной поверхности , котора  соответствовала R 2,5
    Таблица2
    0,25 0,19 О, 12 0,11 О, 10 0,09 0,08 0,08 0,28
    0,20
SU884615920A 1988-12-05 1988-12-05 Способ изготовлени оптических деталей SU1668107A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU884615920A SU1668107A1 (ru) 1988-12-05 1988-12-05 Способ изготовлени оптических деталей

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU884615920A SU1668107A1 (ru) 1988-12-05 1988-12-05 Способ изготовлени оптических деталей

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1668107A1 true SU1668107A1 (ru) 1991-08-07

Family

ID=21413254

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU884615920A SU1668107A1 (ru) 1988-12-05 1988-12-05 Способ изготовлени оптических деталей

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1668107A1 (ru)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Авторское свидетельство СССР № 946888, кл. В 24 В 13/00, 1981. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN100365774C (zh) 半导体晶片的制造方法及晶片
US5036630A (en) Radial uniformity control of semiconductor wafer polishing
US6325709B1 (en) Rounded surface for the pad conditioner using high temperature brazing
DE69723338T2 (de) Verfahren zur Herstellung von Halbleiterscheiben
JP3925580B2 (ja) ウェーハ加工装置および加工方法
EP1118429B1 (en) Method and device for simultaneously grinding double surfaces, and method and device for simultaneously lapping double surfaces
CN101337336B (zh) 研磨半导体晶片的方法
CN112908834B (zh) 一种硅晶圆衬底快速绿色环保双面抛光方法
KR20010092732A (ko) 배면 손상을 형성하는 반도체 웨이퍼 처리방법
EP2128896B1 (en) Method of polishing a silicon wafer
KR100467872B1 (ko) 폴리싱 슬러리
CN106736875A (zh) 一种蓝宝石整流罩的加工方法
SU1668107A1 (ru) Способ изготовлени оптических деталей
EP3093105A1 (en) Method for producing substrates
US7367865B2 (en) Methods for making wafers with low-defect surfaces, wafers obtained thereby and electronic components made from the wafers
CN102019574B (zh) 超薄区熔硅抛光片的无蜡抛光工艺
JPH07100737A (ja) 半導体ウエーハの研磨方法
US6217417B1 (en) Method for polishing thin plate and plate for holding thin plate
JPH10328986A (ja) ディスク基板中間体とその製造方法及び研削加工装置
CN118165701B (zh) 一种金刚石用研磨液及金刚石衬底的研磨方法
CN111646479B (zh) 一种制备大粒径硅溶胶的方法
JPH11138422A (ja) 半導体基板の加工方法
SU1764958A1 (ru) Способ абразивно-жидкостной обработки
SU1348145A1 (ru) Способ абразивной обработки исландского шпата
JPS5927316B2 (ja) 結晶の無じよう乱鏡面研摩方法