SU1652843A1 - Method and apparatus for checking air-tightness of articles - Google Patents

Method and apparatus for checking air-tightness of articles Download PDF

Info

Publication number
SU1652843A1
SU1652843A1 SU884635778A SU4635778A SU1652843A1 SU 1652843 A1 SU1652843 A1 SU 1652843A1 SU 884635778 A SU884635778 A SU 884635778A SU 4635778 A SU4635778 A SU 4635778A SU 1652843 A1 SU1652843 A1 SU 1652843A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
trap
chamber
tightness
valve
control
Prior art date
Application number
SU884635778A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Александр Евстафьевич Лямин
Владимир Федотович Деревенских
Александр Игоревич Разов
Георгий Викторович Шульженко
Александр Григорьевич Чернявский
Виктор Сергеевич Бочков
Original Assignee
Военный Инженерный Краснознаменный Институт Им.А.Ф.Можайского
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Военный Инженерный Краснознаменный Институт Им.А.Ф.Можайского filed Critical Военный Инженерный Краснознаменный Институт Им.А.Ф.Можайского
Priority to SU884635778A priority Critical patent/SU1652843A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU1652843A1 publication Critical patent/SU1652843A1/en

Links

Abstract

Изобретение относитс  к контролю герметичности замкнутых малогабаритных изделий и позвол ет снизить потребление энергии и инерционность контрол , а также упростить используемое оборудование. В устройство, содержащее масс-спектрометрическую камеру 1, азотную ловушку 2, Лорвакуум- ный насос 4, высоковакуумный насос 6 и соедин ющие их вентили 3, 5, 7, введен вентиль 8, позвол ющий изолировать внутреннюю полость ловушки 2 от откачной системы во врем  ее разгерметизации . При контроле герметичности заполненное пробным газом изделие 15 размещают во внутренней полости ловушки 2, использу  последнюю в качестве контрольной камеры, при -этом закрыты все вентили 3, 5, 7, 8. Герметизируют крышку 10 ловушки 2, включают насос 4 и через вентили 5 и 8 откачивают камеру 1 и ловушку 2 Затем включают насос 6, открывают вентили 7 и 3 и по показани м течеискател  суд т о герметичности издели  15. 2 с.п.ф-лы, 3 ил. й (ЛThe invention relates to the monitoring of the tightness of closed small-sized products and reduces the energy consumption and inertia of the control, as well as simplifies the equipment used. A device 8 containing a mass spectrometry chamber 1, a nitrogen trap 2, a Lorvacuum pump 4, a high vacuum pump 6, and valves connecting them, 3, 5, 7, is inserted to isolate the internal cavity of the trap 2 from the exhaust system its depressurization. When checking the tightness, the product 15 filled with test gas is placed in the inner cavity of the trap 2, using the latter as a control chamber, with all the valves 3, 5, 7, 8 closed. Seal the cover 10 of the trap 2, turn on the pump 4 and through the valves 5 and 8, the chamber 1 and the trap 2 are pumped out. Then the pump 6 is turned on, the valves 7 and 3 are opened and, according to the leakage detector, the leaktightness of the product 15 is judged. 2 sec. Ff, 3 sg. nd (L

Description

Изобретение относитс  к испытательной технике, а именно к контролю герметичности замкнутых преимущественно малогабаритных объектов.The invention relates to a test technique, namely to the control of the tightness of closed, predominantly small objects.

Цель изобретени  - снижение потреблени  энергии и инерционности контрол  и упрощение используемого оборудовани  при контроле малогабаритных изделий путем исключени  из вакуумной системы специальной вакуумной камеры дп  размещени  издели .The purpose of the invention is to reduce energy consumption and inertia of control and simplify the equipment used in controlling small-sized products by excluding from the vacuum system a special vacuum chamber for placing the product.

На фиг. 1 показана схема устрой- , ства; на фигс 2 - азотна  ловушка с трубопроводом дп  подачи пробного газа в изделие; на %tr. 3 - то же, без сосуда дл  жидкого азота.FIG. 1 shows the layout of the device; FIG. 2 shows a nitrogen trap with a piping dp supplying test gas to the product; by% tr. 3 - the same, without a vessel for liquid nitrogen.

Устройство дл  контрол  герметичности , выполненное на основе гелиевого течеискател , содержит масгспект- рометрическую камеру 1, соединенную с внутренней полостью азотной ловушки 2 через первый вентиль 3 Форва- куумный насос 4 соединен через второй вентиль 5,масс-спектрометрической. камерой 1. Высоковакуумнып насос 6 Ьоединен своим входом с внутренней полостью азотной ловушки 2 через третий вентиль 7. а выходом - с фор- вакуумным насосом 4, который соединен с внутренней полостью ачотной ловушки 2 через четвертым net. тиль 8,A device for monitoring the tightness, made on the basis of a helium leak detector, contains a mass-spectrometric chamber 1 connected to the internal cavity of the nitrogen trap 2 through the first valve 3 The forvacuum pump 4 is connected via the second valve 5 by mass spectrometry. chamber 1. High vacuum pump 6 connect its input with the internal cavity of the nitrogen trap 2 through the third valve 7. and the output with the for-vacuum pump 4, which is connected to the internal cavity of the acho trap 2 through the fourth net. til 8,

Ловушка 2 представл ет ; опои Сланцевый стакан 9, снабженныи крышкой 10, котора  через гермети- ь чую прокладку крепитс  ботьг,р | I к фланОTrap 2 is; opoi Slate cup 9, provided with a lid 10, which is fastened through a hermetic gasket to the bottom, p | I to flanO

ел toate to

00 4ь GO00 4 GO

цу стакана 9 и в которой размещен сосуд 12 дл  жидкого азота.a glass of glass 9 and in which a vessel 12 for liquid nitrogen is placed.

На фиг. 2 представлена штатна  азотна  ловушка 2, на крышке 10 которой смонтирован трубопровод 13 с вентилем 14 дл  подачи пробного газа в испытуемое изделие 15.FIG. 2 shows a standard nitrogen trap 2, on the lid 10 of which a pipeline 13 is mounted with a valve 14 for supplying test gas to the test article 15.

На фиг. 3 вместо штатной крышки 10 аз отной ловушки 2 с сосудом 12 применена технологическа  крышка 16, на которой смонтирован трубопровод 17 с вентилем 18 дл  подачи пробного газа в испытуемое изделие 15.FIG. 3, instead of the standard lid 10 of the separate trap 2 with the vessel 12, a technological lid 16 is applied, on which a pipeline 17 is mounted with a valve 18 for supplying test gas to the test article 15.

Вентиль 19 соедин ет внутреннюю полость ловушки 2 с атмосферой, а вентиль 20 - высоковакуумный и форвакуумный насосы 6 и 4.The valve 19 connects the internal cavity of the trap 2 with the atmosphere, and the valve 20 connects the high vacuum and forevacuum pumps 6 and 4.

Способ контрол  герметичности замкнутых изделий реализуетс  следующим образом. IThe method of monitoring the tightness of closed products is implemented as follows. I

В исходном состо нии все обесточено ,.все вентили закрыты. Демонтируют крышку 10 азотной ловушки 2, размещают в ней испытуемое изделие 15, которое предварительно заполнено пробным газом, например гелием , после чего вновь ст гивают крышку 10 болтами 11 со стаканом 9. Включают форвакуумный насос 4, открывают вентили 8 и 5 и провод т предва рительную откачку масспектрометри- ческой камеры 1 и ловушки 2, после чего вентили 8 и 5 закрывают и открывают вентиль 20. Включают питание высоковакуумного насоса 6 и вывод т его на рабочий режим. Затем открываю вентили 7 и 3 и по показани м течеискател  суд т о герметичности объекта 15. Дл  контрол  герметичности следующего издели  15 вентили 7 и 3 закрывают, открывают вентиль 19 демонтируют крышку 10, изымают испытанное изделие 15, размещают в стакане 9 новое изделие 15, осуществл ют монтаж крышки 10, закрывают вентили 19 и 20, открывают вентиль 8, провод т предварительную откачку ловушки 2, после чего закрывают вентиль 8 и открывают вентиль 20, затем открывают вентили 7 и 3 и провод т контроль герметичности издели  15. При необходимости в азотную ловушку 2 заливают жидкий азот.In the initial state, everything is de-energized, all valves are closed. The lid 10 of the nitrogen trap 2 is removed, the test article 15 is placed in it, which is pre-filled with test gas, such as helium, and then the lid is again pulled out 10 with bolts 11 with a glass 9. The foreline pump 4 is turned on, the valves 8 and 5 are opened and pumping out the mass spectrometry chamber 1 and the trap 2, after which the valves 8 and 5 close and open the valve 20. Turn on the power supply of the high vacuum pump 6 and bring it to the operating mode. Then I open the valves 7 and 3 and, judging by the leak detector, judge the tightness of the object 15. To check the tightness of the next product 15, the valves 7 and 3 close, open the valve 19, remove the cover 10, remove the tested product 15, place the new product 15 in glass 9, the cover 10 is mounted, the valves 19 and 20 are closed, the valve 8 is opened, the trap 2 is pre-evacuated, then the valve 8 is closed and the valve 20 is opened, then the valves 7 and 3 are opened and the tightness of the product 15 is monitored. nitrogen 2 nd trap poured liquid nitrogen.

Способ, реализуемый по схеме, изображенной на фиг. 2, отличаетс  от предыдущего тем, что в процессе контрол  герметичности в испытуемое изделие 15 череч трубопровод 13 иThe method implemented according to the scheme shown in FIG. 2 differs from the previous one in the process of testing the tightness of the test article 15 through the pipe 13 and

5five

00

5five

00

5five

00

5five

00

5five

вентиль 14 подаетс  пробный газ под заданным давлением.valve 14 is supplied with test gas at a predetermined pressure.

Способ, реализуемый по схеме, изображенной на фиг. 3, предполагает монтаж технологической крышки 16, снабженной трубопроводом 17 и вентилем 18. При этом могут испытыватьс  не только малогабаритные объекты, но и объекты, объем которых не пре- нышает объем стакана 9 штатной азотной ловушки 2 течеискател .The method implemented according to the scheme shown in FIG. 3, involves the installation of a technological cover 16, equipped with a pipeline 17 and a valve 18. At that, not only small objects can be tested, but also objects whose volume does not exceed the volume of the cup 9 of the standard nitrogen trap 2 of the leak detector.

Дл  повышени  производительности контрол  по схемам, изображенным на фиг. 2 и 3, могут испытыватьс  одновременно несколько изделий. При этом каждое изделие снабжаетс  индивидуальным трубопроводом и вентилем подачи пробного газа, а затем осуществл етс  подача пробного газа поочередно в каждый из испытуемых изделий.In order to increase the productivity of the control according to the schemes shown in FIG. 2 and 3, several products may be tested simultaneously. In addition, each product is supplied with an individual pipeline and a sample gas supply valve, and then the test gas is supplied alternately to each of the test products.

Использование внутренней полости азотной ловушки масс-спектрометричес- кого течеискател  в качестве вакуумной камеры при контроле герметичности малогабаритных замкнутых изделий позвол ет:The use of the internal cavity of the nitrogen trap of a mass spectrometric leak detector as a vacuum chamber while monitoring the tightness of compact closed products allows:

-исключить необходимость использовани  специальных камер, которые предназначались дл  размещени  испытуемых изделий;- eliminate the need to use special chambers that were intended to accommodate the tested products;

-снизить энергозатраты на производство контрол , поскольку отпадает необходимость энергообеспечени  устройств дл  откачки ранее используемой в прототипе отдельной вакуумной камеры;- to reduce the energy consumption for the production of the control, since there is no need for energy supply of devices for pumping a separate vacuum chamber previously used in the prototype;

-сократить номенклатуру технологического оборудовани  (нет камеры, нет вакуумных шлангов и трубопроводов , сообщающих камеру с течеискате- лем, нет оборудовани  дл  откачки вакуумной камеры);- reduce the range of technological equipment (there is no chamber, there are no vacuum hoses and pipelines that communicate the chamber with the leak detector, there is no equipment for pumping out the vacuum chamber);

-уменьшить инерционность контрол  (в течеискателе азотна  ловушка размещена в непосредственной близости с измерительной масс-спектрометричес- кой камерой, что, в сравнении с прототипом , сокращает путь, проходимый молекулами пробного газа в масс-спект- рометрическую камеру;- to reduce the inertia of the control (in the leak detector, the nitrogen trap is placed in close proximity to the measuring mass spectrometry chamber, which, in comparison with the prototype, shortens the path taken by the molecules of the test gas to the mass spectrometric chamber;

-снизить трудоемкость контрол ;-reduce the complexity of the control;

-повысить производительность контрол  за счет исключени  затрат времени на откачку специальной контрольной камеры.- to increase the productivity of the control by eliminating the time spent on pumping out a special control chamber.

Claims (2)

1. Способ контрол  герметичности изделий, заключающийс  в том, что1. The way to control the tightness of products, which consists in the fact that изделие, заполненное пробным газом, размещают в контрольной камере, которую герметизируют, откачивают и сообщают с масс-спектрометрическон ка-, мерой течеискател , с помощью последней определ ют наличие пробного газа В контрольной камере, по которому суд т о герметичности издели , о т л и- чающийс   тем, что, с целью снижени  потреблени  энергии и инерционности контрол  и упрощени  используемого оборудовани  при контроле малогабаритных изделий, в качестве контрольной камеры используют внутреннюю полость азотной ловуш- кч течеискател .A product filled with test gas is placed in a control chamber, which is sealed, pumped out and communicated with a mass spectrometry chamber, a measure of a leak detector, with the help of the latter, the presence of a test gas is determined in the control chamber, which judges the tightness of the product, and due to the fact that, in order to reduce energy consumption and inertia of the control and simplify the equipment used in the control of small-sized products, the internal cavity of the nitrogen trap is used as a control chamber l 5five 2. Устройство дл  контрол  герме - тичности изделий, содержащее масс- спектрометрическую камеру, соединенную с ней своей внутренней полостью через первый вентиль азотную ловушку , форвакуумный насос, соединенный с масс-спектрометрической камерой через второй вентиль, и высоковакуумный насос, соединенный своим входом через третий вентиль с внутренней полостью азотноЯ ловушки, а выходом - с входом форвакуумного насоса , отличающеес  тем, чте оно снабжено четвертым вентилем, сообщающим внутреннюю полость азотной ловушки с форвакуумным насосом.2. A device for monitoring the hermeticity of products, containing a mass spectrometric chamber connected to it by its internal cavity through a first valve, a nitrogen trap, a fore vacuum pump connected to a mass spectrometric chamber through a second valve, and a high vacuum pump connected by its entrance through a third A valve with an internal cavity of a nitrogen trap, and an outlet with an input to a forevacuum pump, characterized in that it is equipped with a fourth valve that communicates the internal cavity of a nitrogen trap with a forevacuum pump. Sos. 7373 Фиг.22 т юt you Фиг.11 Фиг.ЗFig.Z
SU884635778A 1988-11-14 1988-11-14 Method and apparatus for checking air-tightness of articles SU1652843A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU884635778A SU1652843A1 (en) 1988-11-14 1988-11-14 Method and apparatus for checking air-tightness of articles

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU884635778A SU1652843A1 (en) 1988-11-14 1988-11-14 Method and apparatus for checking air-tightness of articles

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1652843A1 true SU1652843A1 (en) 1991-05-30

Family

ID=21422040

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU884635778A SU1652843A1 (en) 1988-11-14 1988-11-14 Method and apparatus for checking air-tightness of articles

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1652843A1 (en)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Течеискатель гелиевый ПТИ-10. Паспорт, 1980, с. 64-69, 93. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4735084A (en) Method and apparatus for gross leak detection
RU2013110064A (en) METHOD AND INSTALLATION FOR LEAKAGE CONTAINERS TEST
SU1652843A1 (en) Method and apparatus for checking air-tightness of articles
JP3430979B2 (en) Leak test method and leak test device
GB1382720A (en) Leak detecting system and method for passing a measured sample of gas to a leak detector
JPH04268430A (en) Leakage detecting apparatus
JP2001235391A (en) Leak inspecting device
SU1504527A1 (en) Apparatus for testing articles for fluid-tightness
SU1619085A1 (en) Method of checking air-tightness of articles
JPS6315133A (en) Method for checking vacuum leak
SU1628669A1 (en) Method of checking hermetic state of articles
RU2791564C1 (en) Device for tightness testing of hollow products when they are heated in a vacuum chamber
JPH0723715Y2 (en) Double leak inspection device
JPS62115337A (en) Testing instrument for pressure-proof airtightness
CN217637844U (en) Semiconductor device encapsulation gas tightness leak hunting testing arrangement
CN109253392A (en) A kind of control method of helium leak check filling recyclable device
RU2073379C1 (en) METHOD FOR SPACE SHIP LEAKAGE CONTROL AND DEVICE FOR ITS IMPLEMENTATION (OPTIONS)
RU1837191C (en) Method for testing articles for tightness
SU1288517A1 (en) Method of tightness test of articles
JPS6093936A (en) Leak detector
SU823926A1 (en) Method and device for fluid-tightness testing of hollow objects
JP3324619B2 (en) Package leak measuring device
SU796675A1 (en) Apparatus for fluid-tightness testing of articles
SU413390A1 (en)
RU1822607C (en) Device for check of reservoir for tightness