JP2001235391A - Leak inspecting device - Google Patents
Leak inspecting deviceInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は容器のリークを検査
するリーク検査装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a leak inspection device for inspecting a container for leaks.
【０００２】[0002]
【従来の技術】今日では部品等の信頼性を向上させるた
めに容器に密封することがある。この場合、容器に部品
等を密封しても容器がリークするようなものでは信頼性
が向上できず、容器のリークを検査する必要がある。2. Description of the Related Art At present, parts are sometimes hermetically sealed in order to improve the reliability of parts and the like. In this case, the reliability cannot be improved if the container leaks even if the parts are sealed in the container, and it is necessary to inspect the leak of the container.
【０００３】また、自動車等においてはエアコンディシ
ョニング用の機器が搭載され、これらの機器にリークが
あった場合ガス漏れが発生するため、リーク量が規定値
以内であるかを検査しなければならない。従来、低リー
ク量を検査する方法としては、例えばハロゲン、ヘリウ
ム等のガスを使用する方法、真空放置法、差圧法等があ
る。[0003] Further, vehicles and the like are equipped with air-conditioning equipment, and if there is a leak in these equipment, a gas leak occurs. Therefore, it is necessary to check whether the leak amount is within a specified value. Conventionally, methods for inspecting a low leak amount include a method using a gas such as halogen and helium, a vacuum leaving method, a differential pressure method, and the like.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】ガスによる方法は１０
-9Pa・cc/sec程度のリーク量を容易に検査することがで
きるが、ガスを使用するためにランニングコストが高
く、リークしたガス量を検出する測定装置が複雑高価
で、更にガスがリークして測定できるようになるまでの
時間（応答時間）が長くなり、流れ作業によって作られ
る製品のリークを検査するには検査系が膨大となる欠点
がある。The method using gas is 10
The leak amount of about -9 Pa · cc / sec can be easily inspected, but the running cost is high because the gas is used, the measuring device for detecting the leaked gas amount is complicated and expensive, and the gas leaks. There is a disadvantage that the time (response time) required until the measurement can be performed becomes long, and that the inspection system is enormous for inspecting the leak of the product produced by the assembly work.
【０００５】また真空放置法は検査物の容器の圧力を設
定した圧力（真空）にして放置し、所定時間後の容器の
圧力との差よりリークを検査する方法であるが、低リー
ク量の場合はリーク量が測定可能となる圧力に変化する
までに長時間を要する欠点がある。[0005] The vacuum leaving method is a method in which the pressure of the container to be inspected is left at a set pressure (vacuum) and the leakage is inspected from the difference from the pressure of the container after a predetermined time. In such a case, there is a disadvantage that it takes a long time before the leak amount changes to a pressure at which measurement is possible.
【０００６】また差圧法は、図９に示すように、マスタ
チャンバ２１および取付具２２に取付けられた検査物２
３を排気ポンプ２５で排気し、所定の気圧に排気された
ならばバルブＶ1 およびＶ2 を閉じ、バルブＶ3 および
Ｖ4 を開いて差圧計２４で差圧を測定してリークを検査
するものである。In the differential pressure method, as shown in FIG. 9, an inspection object 2 attached to a master chamber 21 and an attachment 22 is used.
3 was evacuated by the exhaust pump 25, if it is evacuated to a predetermined pressure by closing the valve V 1 and V 2, to inspect the leak by measuring the differential pressure in the differential pressure gauge 24 by opening the valve V 3 and V 4 Things.
【０００７】 すなわち、時間ｔ＝Ｔ1 で測定した差圧をＤＰ1 時間ｔ＝Ｔ1 ＋Ｔで測定した差圧をＤＰ2 Ｐ＝排気圧 取付具＋検査物の容積をＱ とすると、リーク量Ｌは Ｌ＝ＱＰ（ＤＰ1 −ＤＰ2 ）／Ｔ で算出することができる。That is, assuming that the differential pressure measured at time t = T 1 is DP 1, the differential pressure measured at time t = T 1 + T is DP 2 P = exhaust pressure, and the volume of fitting + inspection object is Q, the leakage amount L can be calculated by L = QP (DP 1 -DP 2 ) / T.
【０００８】この方法によればリーク量が１０-2Pa・cc
/sec程度のものを容易に検査することができるが、検査
測定系の構成が複雑であった。According to this method, the leak amount is 10 −2 Pa · cc.
Inspection of about / sec can be easily performed, but the configuration of the inspection and measurement system is complicated.
【０００９】本発明は簡単な装置構成で短時間にリーク
検査を可能にしたリーク検査装置を提供することを課題
とする。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a leak inspection apparatus capable of performing a leak inspection in a short time with a simple apparatus configuration.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】請求項１の発明において
は、入出力孔等を密封した検査物を収納するチャンバ
と、前記チャンバ内の真空圧を測定する真空圧計と、判
定圧力を記録した判定圧力記録部と、所定時間を計時す
る計時部と、バルブを開いて排気ポンプで前記チャンバ
内の空気を排気させると共に前記計時部で計時を開始さ
せ、所定時間計時されたとき前記真空圧計の圧力値と前
記判定圧力記録部に記録されている判定圧とを比較し、
該比較結果を出力する制御部と、を備える。According to the first aspect of the present invention, a chamber for accommodating an inspection object in which input / output holes are sealed, a vacuum manometer for measuring a vacuum pressure in the chamber, and a judgment pressure are recorded. The determination pressure recording unit, a timekeeping unit that measures a predetermined time, and a valve that is opened to exhaust air in the chamber with an exhaust pump and start timekeeping at the timekeeping unit. Compare the pressure value and the determination pressure recorded in the determination pressure recording unit,
A control unit that outputs the comparison result.
【００１１】請求項２の発明においては、前記制御部
が、前記真空圧計の圧力値が前記判定圧記録部に記録さ
れている判定圧より低いとき検査合格を出力する。請求
項３の発明においては、前記排気ポンプにタンクを接続
し、該タンクの真空圧が所定値になったとき前記バルブ
を開にする。In the invention according to claim 2, the control section outputs an inspection pass when the pressure value of the vacuum manometer is lower than the judgment pressure recorded in the judgment pressure recording section. In the invention according to claim 3, a tank is connected to the exhaust pump, and the valve is opened when the vacuum pressure in the tank reaches a predetermined value.
【００１２】請求項４の発明においては、前記チャンバ
と前記真空圧計との間にバルブを設け、該バルブを前記
比較結果後に閉じ、次の検査物の検査時に前記計時部が
前記所定時間より短い時間計時されたとき開いて閉じ、
更に前記所定時間の直前で開く。According to a fourth aspect of the present invention, a valve is provided between the chamber and the vacuum manometer, and the valve is closed after the result of the comparison, so that when the next inspection object is inspected, the timer is shorter than the predetermined time. Open and close when timed,
Further, it opens just before the predetermined time.
【００１３】請求項５の発明においては、前記チャンバ
と前記真空圧計との間にバルブを設け、該バルブを前記
比較結果後に閉じ、次の検査物の検査時に前記所定時間
の直前で開く。According to a fifth aspect of the present invention, a valve is provided between the chamber and the vacuum manometer, and the valve is closed after the result of the comparison, and is opened just before the predetermined time when the next inspection object is inspected.
【００１４】[0014]
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図１〜図３
を参照して説明する。図１は本発明の第１の実施例の構
成図、図２および図３は第１の実施例の動作フローチャ
ートである。図１において、１は検査物４を収納するチ
ャンバ、２はチャンバ１内の空気を排気する排気ポン
プ、３はチャンバ１内の真空圧を測定する真空圧計、Ｖ
1 ，Ｖ 2 およびＶ3 はバルブ、１１は判定圧力記録部、
１２は所定時間を計時する計時部、１３は制御部、１４
および１５はインタフェース（Ｉ／Ｏ）、１６は処理を
実行するプロセッサ（ＣＰＵ）である。1 to 3 show an embodiment of the present invention.
This will be described with reference to FIG. FIG. 1 shows the structure of the first embodiment of the present invention.
FIGS. 2 and 3 show an operation flow chart of the first embodiment.
It is. In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a switch for storing an inspection object 4.
The chamber 2 is an exhaust pump for exhausting the air in the chamber 1.
3 is a vacuum manometer for measuring the vacuum pressure in the chamber 1,
1, V TwoAnd VThreeIs a valve, 11 is a judgment pressure recording unit,
Reference numeral 12 denotes a timing unit for measuring a predetermined time, 13 denotes a control unit, 14
And 15 are interfaces (I / O), 16 is processing
A processor (CPU) to execute.
【００１５】検査物４の入出力孔を蓋４ａで密封し、チ
ャンバ１に収納後、チャンバ１の蓋１ａでチャンバ１を
密封する。なお１ｂはパッキンである。After the input / output holes of the inspection object 4 are sealed with the lid 4a and housed in the chamber 1, the chamber 1 is sealed with the lid 1a of the chamber 1. In addition, 1b is a packing.
【００１６】つぎに、第１の実施例の動作を説明する前
に、第１の実施例の原理を図４を参照して説明する。バ
ルブＶ2 を閉じ、バルブＶ1 を開いてチャンバ１内の空
気を排気ポンプ２で排気すると、チャンバ１内の圧力
は、図４に示されるように、大気圧より時間ｔの経過と
共に低下する。Next, before describing the operation of the first embodiment, the principle of the first embodiment will be described with reference to FIG. Closing the valve V 2, by opening the valve V 1 to exhaust air in the chamber 1 by the exhaust pump 2, the pressure in the chamber 1, as shown in FIG. 4, decreases with time than the atmospheric pressure t .
【００１７】いま、チャンバ１内に収納した検査物４に
リークが無い場合は、Ａで示すようにチャンバ１内の圧
力は時間と共に低下するが、検査物４にリークが有る場
合は検査物１内の空気がリークしてチャンバ１内に放出
され、Ｂで示すように、リークが無い場合に比べて時間
に対する圧力の低下が少なくなる。If there is no leak in the inspection object 4 stored in the chamber 1, the pressure in the chamber 1 decreases with time as shown by A, but if the inspection object 4 has a leak, The air inside leaks and is released into the chamber 1, and as shown by B, the decrease in pressure with respect to time is reduced as compared with the case where there is no leak.
【００１８】本発明はこの原理を応用したものであり、
予め許容されるリーク量が判明している検査物をチャン
バに収納して図４で示す時間対圧力の関係を求める。つ
ぎに、図４のＡで示すリーク無しに対して、或る程度の
圧力差が発生する所定時間Ｔ（Ｔ＝Ｔ2 −Ｔ1 、Ｔ1 ：
開弁時間、Ｔ2 ：計測時間）と計測時間Ｔ2における圧
力Ｐ2 を読取り、読取った所定時間Ｔを計時部１２に設
定し、また圧力Ｐ2 を判定圧力記録部１１に記録して初
期設定を終了する。The present invention is an application of this principle,
An inspection object for which the allowable leak amount is known is stored in the chamber, and the relationship between time and pressure shown in FIG. 4 is obtained. Next, a predetermined time T (T = T 2 −T 1 , T 1) at which a certain pressure difference occurs with respect to the absence of a leak indicated by A in FIG.
The valve opening time, T 2 : measurement time) and the pressure P 2 at the measurement time T 2 are read, the read predetermined time T is set in the timer 12, and the pressure P 2 is recorded in the determination pressure recording unit 11 and initialized. Finish setting.
【００１９】つぎに、図２および図３を参照して、第１
の実施例の動作を説明する。ステップＳ１では、操作者
は入出力孔等に蓋をして密封された検査物４をチャンバ
１内に収納し、チャンバ１に蓋１ａをかぶせて密封す
る。Next, referring to FIG. 2 and FIG.
The operation of this embodiment will be described. In step S1, the operator stores the inspection object 4 sealed with the lid on the input / output hole or the like in the chamber 1, covers the chamber 1 with the lid 1a, and seals the lid.
【００２０】ステップＳ２では、操作者が図示しない動
作スイッチをオンにすると、制御部１３は、Ｉ／Ｏ１５
を介してバルブＶ2 を閉じると共にバルブＶ1 を開にし
て排気ポンプ２によってチャンバ１内の空気の排気を開
始させる。In step S2, when the operator turns on an operation switch (not shown), the controller 13 controls the I / O 15
, The valve V 2 is closed and the valve V 1 is opened, and the exhaust pump 2 starts exhausting the air in the chamber 1.
【００２１】ステップＳ３では、制御部１３は、チャン
バ１内の排気を開始させると、計時部１２に指令して時
間の計時を開始させる。ステップＳ４では、制御部１３
は、計時部１２で所定時間Ｔ′の計時完了信号が出力さ
れるまで待機する。In step S3, when starting the evacuation of the chamber 1, the controller 13 instructs the timer 12 to start measuring time. In step S4, the control unit 13
Waits until the timer section 12 outputs a clocking completion signal for a predetermined time T ′.
【００２２】ステップＳ５では、制御部１３は、真空圧
計３のバルブＶ3 を一旦開いて後で再度閉にする。ステ
ップＳ６では、制御部１３は、計時部１２で所定時間
Ｔ″の計時完了信号が出力されるまで待機する。[0022] In step S5, the control unit 13, once opened again to close later valve V 3 of the vacuum pressure gauge 3. In step S6, the control unit 13 waits until the clocking unit 12 outputs a clocking completion signal for the predetermined time T ″.
【００２３】ステップＳ７では、制御部１３は、バルブ
Ｖ3 を開にする。なおステップＳ４〜Ｓ７でのバルブＶ
3 を開閉させる理由については後で説明する。ステップ
Ｓ８では、制御部１３は、計時部１２で所定時間Ｔの計
時完了信号が出力されるまで待機する。[0023] In step S7, the control unit 13, the valve V 3 to open. Note that the valve V in steps S4 to S7
The reason for opening and closing 3 will be described later. In step S8, the control unit 13 waits until the clocking unit 12 outputs a clocking completion signal for the predetermined time T.
【００２４】ステップＳ９では、制御部１３は、Ｉ／Ｏ
１４を介して真空圧計３が出力する圧力値Ｐを取込み、
ステップＳ１０に移って取込んだ圧力値Ｐが判定圧力記
録部１１に記録されている判定圧力Ｐ2 より低いか否か
を判定する。ステップＳ１０で、圧力値Ｐが判定圧力Ｐ
2 より低い場合はステップＳ１１に移って検査合格を、
また高い場合はステップＳ１２に移って検査不合格を出
力してステップＳ１３に移る。In step S9, the control unit 13 sets the I / O
The pressure value P output from the vacuum pressure gauge 3 via 14 is taken in,
Pressure value P taken-shifts to step S10 determines whether less than the reference pressure P 2 that is recorded in the reference pressure recording unit 11. In step S10, the pressure value P is equal to the determination pressure P
If it is lower than 2 , move to step S11 to pass the inspection,
If the value is higher, the process proceeds to step S12 to output an inspection failure, and then proceeds to step S13.
【００２５】ステップＳ１３では、制御部１３は、バル
ブＶ1 およびＶ3 を閉じて排気を停止させると共にバル
ブＶ2 を開にしてチャンバ１内に吸気する。ステップＳ
１０では、操作者はチャンバ１の蓋１ａを開いて検査物
４を取出し、ステップＳ１に移って次の検査物の検査を
開始する。[0025] In step S13, the control unit 13 sucked into the chamber 1 by a valve V 2 in opened to stop the discharge by closing the valve V 1 and V 3. Step S
At 10, the operator opens the lid 1a of the chamber 1 to take out the inspection object 4, and moves to step S1 to start inspection of the next inspection object.
【００２６】つぎに、ステップＳ４〜Ｓ７およびＳ１３
でのバルブＶ3 を開閉させる理由を説明する。検査が終
了し、前述したステップＳ１３でバルブＶ2 を開にする
とチャンバ１内の圧力は排気圧より大気圧に急激に変化
する。このためチャンバ１内の圧力を測定する真空圧計
３にダメージを与える。Next, steps S4 to S7 and S13
The reason for opening and closing the valve V 3 for explaining. Inspection is completed, the pressure in the chamber 1 when the valve V 2 in opened in step S13 described above is abruptly changed to the atmospheric pressure than the exhaust pressure. For this reason, the vacuum manometer 3 for measuring the pressure in the chamber 1 is damaged.
【００２７】したがって、バルブＶ2 を開にする前にバ
ルブＶ3 を閉じて真空圧計３の圧力を検査終了時の排気
圧に保ち、バルブＶ3 の開は次の検査物４の検査を開始
し、リーク検査の判定を行う時間に近づいた時に開にす
る。Therefore, before opening the valve V 2 , the valve V 3 is closed to maintain the pressure of the vacuum gauge 3 at the exhaust pressure at the end of the inspection, and the opening of the valve V 3 starts the inspection of the next inspection object 4. Then, it is opened when approaching the time for making a leak test determination.
【００２８】図５はバルブＶ3 の開閉による真空圧計３
の圧力を示している。図５において、点線はチャンバ１
内の圧力を示し、時間Ｔ1 ，Ｔ2 およびＴは図４で説明
した通りである。時間Ｔ1 でバルブＶ1 を開き、チャン
バ１内の空気の排気を開始（ステップＳ２）すると、点
線で示されるように圧力が低下する。[0028] Figure 5 is a vacuum pressure gauge 3 by opening and closing the valve V 3
Shows the pressure. In FIG. 5, the dotted line indicates the chamber 1
, And the times T 1 , T 2 and T are as described in FIG. Opening the valve V 1 at time T 1, Then start the evacuation of the air in the chamber 1 (step S2), and the pressure as indicated by a dotted line decreases.
【００２９】チャンバ１内の圧力が真空圧計３の圧力に
近づいた時間Ｔ3 になると、バルブＶ3 を開にして真空
圧計３の圧力をチャンバ１内の圧力と同じにしてバルブ
３を閉じる（ステップＳ５）。さらに時間が経過し、時
間Ｔ2 の直前である時間Ｔ4 になるとバルブＶ3 を開と
し（ステップＳ７）、リーク検査に対処させる。When a time T 3 at which the pressure in the chamber 1 approaches the pressure of the vacuum manometer 3 is reached, the valve V 3 is opened to make the pressure of the vacuum manometer 3 equal to the pressure in the chamber 1 and the valve 3 is closed ( Step S5). More time has passed, when it is time T 4 is immediately before the time T 2 and the valve V 3 opened (step S7), and is addressed to the leak test.
【００３０】時間Ｔ（＝Ｔ2 −Ｔ1 ）とともに、時間
Ｔ′（＝Ｔ3 −Ｔ1 ）およびＴ″（Ｔ 4 −Ｔ1 ）を予め
記録させ、ステップＳ４では記録されている時間Ｔ′経
過したか否かを判定させ、またステップＳ６では記録さ
れている時間Ｔ″経過したか否かを判定させている。Time T (= TTwo-T1) Along with time
T '(= TThree-T1) And T "(T Four-T1) In advance
In step S4, the recorded time T '
Is determined, and in step S6 the recorded
It is determined whether or not the time T ″ has elapsed.
【００３１】またＴ，Ｔ′およびＴ″との間には、図５
で示されるように、 Ｔ′＜Ｔ″＜Ｔ なる関係があり、これらの値は予め実験によって求め
る。FIG. 5 shows the relationship between T, T 'and T ".
As shown by, there is a relationship of T '<T "<T, and these values are obtained in advance by experiments.
【００３２】なお実施例ではステップＳ４およびＳ５で
時間Ｔ′でバルブＶ3 を開にして再度閉じていたが、ス
テップＳ４およびＳ５を削除して時間Ｔ″経過したとき
バルブＶ3 を開にするようにしてもよい。[0032] Although the embodiment has been closed again the valve V 3 to open at a time T 'steps S4 and S5, the valve V 3 to open when time T "has elapsed to remove the steps S4 and S5 You may do so.
【００３３】つぎに、図６および図７を参照して、本発
明の第２の実施例を説明する。図６は第２の実施例の構
成図、図７は第２の実施例の動作フローチャートであ
る。第２の実施例の構成は、図６に示されるように、図
１で説明した第１の実施例の構成にタンク５、真空圧計
６およびバルブＶ4 が付加される。Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 6 is a configuration diagram of the second embodiment, and FIG. 7 is an operation flowchart of the second embodiment. Configuration of the second embodiment, as shown in FIG. 6, the tank 5 to the configuration of the first embodiment described in FIG. 1, vacuum pressure gauge 6 and valve V 4 is added.
【００３４】第１の実施例ではチャンバ内の圧力が低下
し、検査物内の圧力との間に差が生じ、検査物内の空気
がチャンバ内にリークすることにより、図４で説明した
ように、リーク有とリーク無しの場合とで圧力差が生じ
る。したがって、短時間で検査を行うには短時間でチャ
ンバ内の圧力を低下させればよい。In the first embodiment, the pressure in the chamber decreases, a difference is generated between the pressure in the inspection object and the air in the inspection object leaks into the chamber. Then, a pressure difference occurs between the case with the leak and the case without the leak. Therefore, in order to perform the inspection in a short time, the pressure in the chamber may be reduced in a short time.
【００３５】第２の実施例においては、バルブＶ1 を閉
じて予めタンク５を排気ポンプで排気させておき、図８
に示すように、バルブＶ1 を時間ｔ＝Ｔ1 で開にすると
チャンバ内の圧力は大気圧よりＰ3 に急激に低下する。
したがって、第１の実施例に比べて、第２の実施例では
チャンバ内の圧力を大気圧より圧力Ｐ3 に低下させるま
での時間を短縮することができる。[0035] In the second embodiment, keep closing the valve V 1 is evacuated beforehand tank 5 by the exhaust pump, FIG. 8
As shown, the pressure in the chamber when the open valve V 1 at time t = T 1 drops rapidly to P 3 than atmospheric pressure.
Therefore, in comparison with the first embodiment, the second embodiment can shorten the time to reduce the pressure in the chamber to a pressure P 3 than atmospheric pressure.
【００３６】なお第２の実施例では、バルブＶ1 を開に
したとき、毎回チャンバ内の圧力がＰ3 となるように、
バルブＶ1 を開く前のタンク５の圧力を真空圧計６によ
り測定して所定の圧力になるよう調整している。In the second embodiment, when the valve V 1 is opened, the pressure in the chamber becomes P 3 every time.
The pressure before the tank 5 to open the valve V 1 as measured by the vacuum gauge 6 is adjusted to a predetermined pressure.
【００３７】つぎに、図７を参照して、第２の実施例の
動作を説明する。第２の実施例では、第１の実施例で説
明した図２および図３のステップＳ１とステップＳ２と
の間に、図７で示すステップＳ２０が、またステップＳ
２に続いてＳ２１が挿入され、またステップＳ１３に代
えてステップＳ１３′が実行される。Next, the operation of the second embodiment will be described with reference to FIG. In the second embodiment, between step S1 and step S2 of FIGS. 2 and 3 described in the first embodiment, step S20 shown in FIG.
After step 2, S21 is inserted, and step S13 'is executed instead of step S13.
【００３８】すなわち、ステップＳ２０では、制御部１
３は、真空圧計６の圧力値が所定値になるよう制御し、
所定の圧力値になったときステップＳ２に移り、バルブ
Ｖ2を閉じると共にバルブＶ1 を開いてチャンバ１内の
空気を排気する。That is, in step S20, the control unit 1
3 controls the pressure value of the vacuum manometer 6 to be a predetermined value,
Proceeds to step S2 when a predetermined pressure value, to exhaust air in the chamber 1 by opening the valve V 1 closes the valve V 2.
【００３９】ステップＳ２での排気が終了するとステッ
プＳ２１に移り、直ちにバルブＶ4を閉じ、タンク５よ
り排気を無くする。またステップＳ１３′では、ステッ
プＳ１３のバルブＶ1 およびＶ3 の閉、およびバルブＶ
2 の開に加えて、バルブＶ4 を開にしてタンク５内の空
気を排気する。[0039] proceeds to step S21 when the exhaust in step S2 is completed, immediately close the valve V 4, eliminating the exhaust from the tank 5. In addition the step S13 ', closing the valves V 1 and V 3 of step S13, and the valve V
2 in addition to the open, for exhausting the air in the tank 5 and the valve V 4 to open.
【００４０】[0040]
【発明の効果】密封した検査物をチャンバ内に収納し、
バルブを開いて排気ポンプでチャンバ内の空気を排気さ
せ、所定時間経過後のチャンバ内の圧力値と予め記録さ
れている判定圧力とを比較して検査の合否を出力させる
ようにしたので、簡単な装置構成で短時間にリーク検査
を行うことができる。According to the present invention, the sealed inspection object is stored in the chamber,
The valve is opened, the air in the chamber is exhausted by the exhaust pump, and the pressure value in the chamber after a lapse of a predetermined time is compared with a pre-recorded judgment pressure to output a pass / fail test. Leak inspection can be performed in a short time with a simple device configuration.
【図１】本発明の第１の実施例の構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram of a first embodiment of the present invention.
【図２】第１の実施例の動作フローチャートである。FIG. 2 is an operation flowchart of the first embodiment.
【図３】第１の実施例の動作フローチャートである。FIG. 3 is an operation flowchart of the first embodiment.
【図４】第１の実施例の原理を説明するための図であ
る。FIG. 4 is a diagram for explaining the principle of the first embodiment.
【図５】バルブＶ3 の動作を説明するための図である。5 is a diagram for explaining the operation of the valve V 3.
【図６】本発明の第２の実施例の構成図である。FIG. 6 is a configuration diagram of a second embodiment of the present invention.
【図７】第２の実施例の動作フローチャートである。FIG. 7 is an operation flowchart of the second embodiment.
【図８】第２の実施例の原理を説明するための図であ
る。FIG. 8 is a diagram for explaining the principle of the second embodiment.
【図９】従来例の説明図である。FIG. 9 is an explanatory diagram of a conventional example.
１ チャンバ １ａ，４ａ 蓋 １ｂ パッキン ２ 排気ポンプ ３，６ 真空圧計 ４ 検査物 ５ タンク １１ 判定圧力記録部 １２ 計時部 １３ 制御部 １４，１５ インタフェース（Ｉ／Ｏ） １６ プロセッサ（ＣＰＵ） Ｖ1 ，Ｖ2 ，Ｖ3 ，Ｖ4 バルブ1 chamber 1a, 4a lid 1b packing second exhaust pump 3,6 vacuum gauge 4 inspected 5 tank 11 determining pressure recording unit 12 timing unit 13 control unit 14 interface (I / O) 16 processor (CPU) V 1, V 2, V 3, V 4 valve
Claims (5)
チャンバと、 前記チャンバ内の真空圧を測定する真空圧計と、 判定圧力を記録した判定圧力記録部と、 所定時間を計時する計時部と、 バルブを開いて排気ポンプで前記チャンバ内の空気を排
気させると共に前記計時部で計時を開始させ、所定時間
計時されたとき前記真空圧計の圧力値と前記判定圧力記
録部に記録されている判定圧とを比較し、該比較結果を
出力する制御部と、を備えたことを特徴とするリーク検
査装置。1. A chamber for accommodating an inspection object in which input / output holes are sealed, a vacuum manometer for measuring a vacuum pressure in the chamber, a judgment pressure recording unit for recording a judgment pressure, and a clock for measuring a predetermined time. Opening a valve, exhausting the air in the chamber with an exhaust pump, and starting timekeeping in the timekeeping unit, and when a predetermined time is measured, the pressure value of the vacuum pressure gauge and the determination pressure recording unit are recorded. And a control unit for comparing the determined pressure with a predetermined judgment pressure and outputting the comparison result.
前記判定圧記録部に記録されている判定圧より低いとき
検査合格を出力するようにしたことを特徴とする請求項
１記載のリーク検査装置。2. The inspection device according to claim 1, wherein the control unit outputs an inspection pass when the pressure value of the vacuum pressure gauge is lower than a judgment pressure recorded in the judgment pressure recording unit. Leak inspection device.
ンクの真空圧が所定値になったとき前記バルブを開にす
るようにしたことを特徴とする請求項１または２記載の
リーク検査装置。3. The leak inspection apparatus according to claim 1, wherein a tank is connected to the exhaust pump, and the valve is opened when a vacuum pressure of the tank reaches a predetermined value. .
ルブを設け、該バルブを前記比較結果後に閉じ、次の検
査物の検査時に前記計時部が前記所定時間より短い時間
計時されたとき開いて閉じ、更に前記所定時間の直前で
開くようにしたことを特徴とする請求項１，２または３
記載のリーク検査装置。4. A valve is provided between the chamber and the vacuum manometer, and the valve is closed after the comparison result, and is opened when the timer is clocked for a time shorter than the predetermined time at the next inspection of the inspection object. And closing it immediately before the predetermined time.
The leak inspection device as described.
ルブを設け、該バルブを前記比較結果後に閉じ、次の検
査物の検査時に前記所定時間の直前で開くようにしたこ
とを特徴とする請求項１，２または３記載のリーク検査
装置。5. A valve is provided between the chamber and the vacuum manometer, and the valve is closed after the result of the comparison, and is opened just before the predetermined time when a next inspection object is inspected. The leak inspection apparatus according to claim 1, 2 or 3.
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