JP3430979B2 - Leak test method and leak test device - Google Patents
Leak test method and leak test deviceInfo
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Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、被検体内にトレー
サガス（Ｈｅガス等）を導入し、このトレーサガスの漏
れの有無又は許容限度以上の漏れがあるか否かを判定す
る漏洩試験方法及び漏洩試験装置に係わり、特に、トレ
ーサガスの漏れの判定を行いながら他の被検体に交換で
きる漏洩試験方法および漏洩試験装置に関するものであ
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a leak test method for introducing a tracer gas (He gas or the like) into a subject and determining whether or not the tracer gas is leaking or is leaking beyond an allowable limit. The present invention also relates to a leak test apparatus, and more particularly to a leak test method and a leak test apparatus that can be replaced with another subject while determining a tracer gas leak.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来より、ドラム缶、エアコン室外機、
コンプレッサ、アルミホイール、自動車用燃料タンクな
どの各種被検体の溶接箇所や壁面にある微少な孔や亀裂
等を検出するために、これらの各種被検体にトレーサガ
スを充填し、この被検体から漏れ出たトレーサガスを検
出するトレーサガス検査法が知られている。2. Description of the Related Art Conventionally, drums, air conditioner outdoor units,
In order to detect minute holes or cracks on welded parts or wall surfaces of various objects such as compressors, aluminum wheels, fuel tanks for automobiles, etc., fill these various objects with tracer gas and leak from these objects. A tracer gas inspection method for detecting the tracer gas emitted is known.
【０００３】この種のトレーサガス検査法は、例えば図
２に示すように、気密に密閉された真空チャンバ６０に
電磁バルブＶ１および配管Ｐ１を通して導通可能に真空
ポンプ６１を接続し、電磁バルブＶ２および配管Ｐ２を
通して導通可能にガス検出器（ディテクタ）６２を接続
して漏洩試験装置を構成し、予めトレーサガスが充填さ
れた被検体（以下、この被検体をワークという）Ｘをこ
のチャンバ６０内に配置する。In this type of tracer gas inspection method, for example, as shown in FIG. 2, a vacuum pump 61 is connected to an airtightly sealed vacuum chamber 60 through an electromagnetic valve V1 and a pipe P1 so that the electromagnetic valve V2 and A leak detector is configured by connecting a gas detector (detector) 62 through a pipe P2 so as to be able to conduct electricity, and a subject (hereinafter, referred to as a workpiece) X filled with a tracer gas is introduced into the chamber 60. Deploy.
【０００４】この後、電磁バルブＶ１を開にして真空チ
ャンバ６０内に残存する空気を排気し、この真空チャン
バ６０内を真空状態にすると、ワークＸに漏洩箇所があ
る場合には、ワークＸ内に封入されたＨｅガスがチャン
バ６０内に漏れ出し、漏れ出したＨｅガスは電磁バルブ
Ｖ２および配管Ｐ２を通してディテクタ６２内に流入し
て、ディテクタ６２によりＨｅガスが検出される。この
方法によれば、ワークＸの全体のリークの有無を検出で
き、ワークＸ全体のリーク量の判定を行うことができ
る。なお、真空チャンバ６０内は電磁バルブＶ３および
配管Ｐ３を通して大気中に導通可能に接続されており、
試験終了後に電磁バルブＶ３を開にして真空チャンバ６
０内の真空状態が解除される。Thereafter, the electromagnetic valve V1 is opened to evacuate the air remaining in the vacuum chamber 60, and the vacuum chamber 60 is evacuated to a vacuum state. He gas leaked into the chamber 60 leaks into the chamber 60, and the leaked He gas flows into the detector 62 through the electromagnetic valve V2 and the pipe P2, and the He gas is detected by the detector 62. According to this method, it is possible to detect whether or not there is a leak in the entire work X, and it is possible to determine the amount of leak in the entire work X. The inside of the vacuum chamber 60 is connected to the atmosphere through an electromagnetic valve V3 and a pipe P3,
After the test, the electromagnetic valve V3 is opened to open the vacuum chamber 6
The vacuum state in 0 is released.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たようなトレーサガス検査法にあっては、ワークＸを収
納する真空チャンバ６０とガス検出器（ディテクタ）６
２とが連通しているため、検査が終了するまでワークＸ
を真空チャンバ６０から取り出すことができず、検査終
了までに長時間を要して、検査効率が悪いという問題を
生じた。そこで、本発明は上記問題点を解消するべくな
されたものであって、真空チャンバー内に収容した被検
体からのトレーサガスの漏れの判定を行いながら、真空
チャンバー内に収容した被検体を他の被検体に交換でき
るようにすることを目的とするものである。However, in the tracer gas inspection method as described above, the vacuum chamber 60 for accommodating the work X and the gas detector (detector) 6 are provided.
Since it is in communication with 2, work X until the inspection is completed
Could not be taken out from the vacuum chamber 60, and it took a long time to complete the inspection, resulting in poor inspection efficiency. Therefore, the present invention has been made to solve the above problems, and while performing the determination of the tracer gas leakage from the subject housed in the vacuum chamber, the subject housed in the vacuum chamber It is intended to be exchangeable with the subject.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段およびその作用・効果】上
記課題を解決するため、本発明の漏洩試験方法は、トレ
ーサガスが充填された被検体を真空チャンバ内に収納す
る収納工程と、真空チャンバ内をガス検出器とは異なる
場所に配設された真空ポンプにより被検体よりも減圧に
する減圧工程と、真空チャンバ内が予め設定された所定
の圧力に達したら真空チャンバと真空ポンプとの間に形
成された隔室と真空ポンプとの間の連通を遮断するとと
もに、隔室とガス検出器との間を連通させて被検体から
漏れ出たトレーサガスをガス検出器に連通させる連通工
程と、真空チャンバと隔室との間を遮断する遮断工程
と、真空チャンバ内に収納された被検体を他の被検体に
交換する交換工程とを備えるようにしている。Means for Solving the Problem and Its Action / Effect To solve the above-mentioned problems, the leakage test method of the present invention comprises a storing step of storing an object filled with tracer gas in a vacuum chamber, and a vacuum chamber. The inside is different from the gas detector
A decompression process of reducing the pressure below that of the object by a vacuum pump installed at a place, and a chamber formed between the vacuum chamber and the vacuum pump and a vacuum when the inside of the vacuum chamber reaches a preset predetermined pressure. While disconnecting the communication with the pump, the communication step of connecting the tracer gas leaking from the subject to the gas detector by connecting the compartment and the gas detector, and the vacuum chamber and the compartment A shutoff process for shutting off the space and a replacement process for exchanging the subject housed in the vacuum chamber for another subject are provided.
【０００７】これにより、減圧工程において被検体より
も減圧にされた真空チャンバと被検体との差圧に基づい
て被検体内に充填されたトレーサガスが真空チャンバ内
に漏洩し、この漏洩したトレーサガスは隔室に流入する
こととなる。ついで、連通工程により真空チャンバ内が
予め設定された所定の圧力に達したら、隔室と真空ポン
プとの間の連通は遮断される。これにより、隔室内に流
入したトレーサガスは他の経路の隔室内に流入すること
はない。また、連通工程により、隔室とガス検出器との
間が連通されると、隔室に流入したトレーサガスはガス
検出器内に流入するようになるので、ガス検出器はトレ
ーサガスの検出を開始する。As a result, the tracer gas filled in the subject leaks into the vacuum chamber on the basis of the differential pressure between the subject and the vacuum chamber that has been depressurized in the depressurizing step, and the leaked tracer The gas will flow into the compartment. Then, when the inside of the vacuum chamber reaches a preset predetermined pressure in the communication step, the communication between the compartment and the vacuum pump is cut off. As a result, the tracer gas that has flowed into the compartment does not flow into the compartment of another path. Further, when the compartment and the gas detector are communicated by the communication step, the tracer gas flowing into the compartment comes into the gas detector, so the gas detector detects the tracer gas. Start.
【０００８】ついで、遮断工程により真空チャンバと隔
室との間が遮断されて、ガス検出器がトレーサガスが漏
洩しているか否かあるいは許容限度以上の漏洩であるか
否かの判定を行っている間に、交換工程により真空チャ
ンバ内に収納された被検体を他の被検体に交換すること
ができるようになる。Next, the vacuum chamber and the compartment are shut off by the shutoff process, and the gas detector determines whether the tracer gas is leaking or is leaking beyond the allowable limit. During the replacement, the subject stored in the vacuum chamber can be exchanged for another subject during the replacement step.
【０００９】一方、本発明に係る漏洩試験装置において
は、真空チャンバ内に第１配管を介して接続されて真空
チャンバ内を被検体よりも減圧にする真空ポンプと、真
空チャンバと真空ポンプとの間に配設されて第１配管を
介して真空チャンバと真空ポンプとに接続された隔室
と、隔室に第２配管を介して接続されて隔室内に流入し
たトレーサガスを検出するガス検出器と、真空チャンバ
と隔室との間の第１配管に接続されて真空チャンバと隔
室とを連通させる第１バルブと、隔室と真空ポンプとの
間の第１配管に接続されて隔室と真空ポンプとを連通さ
せる第２バルブと、隔室とガス検出器との間の第２配管
に接続されて隔室とガス検出器とを連通させる第３バル
ブとを備えるようにしている。On the other hand, in the leak test apparatus according to the present invention, a vacuum pump connected to the vacuum chamber via the first pipe to reduce the pressure in the vacuum chamber to a pressure lower than that of the subject, and the vacuum chamber and the vacuum pump. A compartment that is arranged between the compartments and is connected to the vacuum chamber and the vacuum pump via the first pipe, and a gas detector that is connected to the compartment via the second pipe and detects the tracer gas flowing into the compartment. And a first valve connected between the vacuum chamber and the compartment to connect the vacuum chamber and the compartment, and a first pipe connected between the compartment and the vacuum pump. A second valve that connects the chamber to the vacuum pump and a third valve that connects to the second pipe between the compartment and the gas detector to connect the compartment to the gas detector are provided. .
【００１０】これにより、真空ポンプを駆動した後、第
１バルブと第２バルブとを開状態にすると、真空チャン
バ内は被検体よりも減圧状態となる。これにより、被検
体内と真空チャンバ内とで差圧が生じて被検体より真空
チャンバ内にトレーサガスが漏れ出るようになる。つい
で、真空チャンバ内が所定の圧力に達した後、第２バル
ブを閉状態にするとともに第３バルブを開状態にする
と、真空チャンバ内とガス検出器内とが連通するように
なって、ガス検出器はトレーサガスの検出を開始する。
この後、第１バルブを閉状態にすると、真空チャンバ内
とガス検出器内とが遮断されるので、ガス検出器でトレ
ーサガスの検出を行いながら真空チャンバ内に収納され
た被検体を他の被検体に交換できるようになる。As a result, when the first valve and the second valve are opened after driving the vacuum pump, the inside of the vacuum chamber is in a reduced pressure state as compared with the subject. As a result, a differential pressure is generated between the inside of the subject and the inside of the vacuum chamber, and the tracer gas leaks from the subject into the vacuum chamber. Then, after the inside of the vacuum chamber has reached a predetermined pressure, the second valve is closed and the third valve is opened, so that the inside of the vacuum chamber and the inside of the gas detector communicate with each other, and The detector begins detecting tracer gas.
After that, when the first valve is closed, the inside of the vacuum chamber and the inside of the gas detector are shut off, so that while the tracer gas is being detected by the gas detector, the analyte stored in the vacuum chamber is not It becomes possible to exchange for the subject.
【００１１】[0011]
【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態を図
１に基づいて詳細に説明するが、本発明はこの実施の形
態に何ら限定されるものではなく、その要旨を変更しな
い範囲において適宜変更して実施することが可能なもの
である。なお、図１は本発明の漏洩試験装置を模式的に
示すブロック図である。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIG. 1. However, the present invention is not limited to this embodiment, and the scope thereof is not changed. Can be appropriately changed and implemented. It should be noted that FIG. 1 is a block diagram schematically showing the leakage test apparatus of the present invention.
【００１２】１．漏洩試験装置
本発明の漏洩試験装置は、トレーサガス（Ｈｅガス）が
充填された被検体（以下、この被検体をワークという）
Ｘを気密に収納する真空チャンバ１０と、この真空チャ
ンバ１０内をワークよりも減圧にする真空ポンプ２０
と、真空チャンバ１０と真空ポンプ２０との間に配設さ
れた隔室３０と、隔室３０内に流入したトレーサガスを
検出するガス検出器（ディテクタ）４０と、後述する各
配管Ｐ１〜Ｐ３および各電磁バルブＶ１〜Ｖ４と、真空
ポンプ２０の駆動、停止を制御するとともに、各電磁バ
ルブＶ１〜Ｖ４の開閉等を制御する制御装置５０とから
構成されている。1. Leakage Test Apparatus The leak test apparatus of the present invention is a subject filled with tracer gas (He gas) (hereinafter, this subject is referred to as a work).
A vacuum chamber 10 for hermetically containing X, and a vacuum pump 20 for reducing the pressure in the vacuum chamber 10 below the work.
A compartment 30 disposed between the vacuum chamber 10 and the vacuum pump 20, a gas detector (detector) 40 for detecting the tracer gas flowing into the compartment 30, and pipes P1 to P3 described later. Also, each electromagnetic valve V1 to V4, and a control device 50 that controls driving and stopping of the vacuum pump 20 and controls opening and closing of each electromagnetic valve V1 to V4.
【００１３】そして、真空チャンバ１０と真空ポンプ２
０とは隔室３０を介して第１配管Ｐ１が接続されてお
り、真空チャンバ１０と隔室３０との間の第１配管Ｐ１
には第１電磁バルブＶ１が接続されており、隔室３０と
真空ポンプ２０との間の第１配管Ｐ１には第２電磁バル
ブＶ２が接続されている。また、隔室３０とガス検出器
（ディテクタ）４０との間には第２配管Ｐ２が接続され
ており、この第２配管Ｐ２には第３電磁バルブＶ３が接
続されている。さらに、真空チャンバ１０には第３配管
Ｐ３が接続されており、この第３配管Ｐ３には第４電磁
バルブＶ４が接続されている。Then, the vacuum chamber 10 and the vacuum pump 2
The first pipe P1 is connected to 0 through the partition chamber 30, and the first pipe P1 between the vacuum chamber 10 and the partition chamber 30 is connected.
Is connected to the first electromagnetic valve V1, and the second electromagnetic valve V2 is connected to the first pipe P1 between the compartment 30 and the vacuum pump 20. A second pipe P2 is connected between the compartment 30 and the gas detector (detector) 40, and a third electromagnetic valve V3 is connected to the second pipe P2. Further, a third pipe P3 is connected to the vacuum chamber 10, and a fourth electromagnetic valve V4 is connected to the third pipe P3.
【００１４】真空チャンバ１０は、図示しない固定箱
と、この固定箱に対して上下方向に移動可能な可動蓋と
から構成され、この可動蓋上にワークＸを載置した後、
可動蓋駆動装置により駆動された可動蓋が上方に移動し
て固定箱の下端部に達した際に、固定箱の下端部と可動
蓋とが密閉化されるように構成されている。なお、真空
チャンバ１０内には、真空チャンバ１０内の圧力を測定
する圧力計が配設されており、この圧力計の測定値は制
御装置５０に入力されるようになされている。The vacuum chamber 10 is composed of a fixed box (not shown) and a movable lid which is vertically movable with respect to the fixed box. After the work X is placed on the movable lid,
When the movable lid driven by the movable lid drive device moves upward and reaches the lower end of the fixed box, the lower end of the fixed box and the movable lid are sealed. A pressure gauge for measuring the pressure in the vacuum chamber 10 is provided in the vacuum chamber 10, and the measured value of the pressure gauge is input to the control device 50.
【００１５】真空ポンプ２０は、駆動状態で第１電磁バ
ルブＶ１および第２電磁バルブＶ２が開状態になると、
第１配管Ｐ１および隔室３０を介して真空チャンバ１０
内に連通して、真空チャンバ１０内に存在する空気を排
気して、ワークＸ内より圧力が低い所定の圧力（例え
ば、１トール以下）になるまで真空チャンバ１０内を減
圧状態にする。真空チャンバ１０内がワークＸ内より圧
力が低い減圧状態になると、この真空チャンバ１０内に
収納されたワークＸ内に充填されたトレーサガス（Ｈｅ
ガス）が真空チャンバ１０内に漏れ出すようになる。When the first electromagnetic valve V1 and the second electromagnetic valve V2 are opened when the vacuum pump 20 is in a driving state,
Vacuum chamber 10 via first pipe P1 and compartment 30
The air existing in the vacuum chamber 10 is exhausted by communicating with the inside, and the inside of the vacuum chamber 10 is depressurized until the pressure becomes lower than a predetermined pressure in the work X (for example, 1 Torr or less). When the inside of the vacuum chamber 10 is in a depressurized state where the pressure is lower than the inside of the work X, the tracer gas (He
Gas) leaks into the vacuum chamber 10.
【００１６】隔室３０は、真空チャンバ１０内が所定の
圧力に達した後、第１電磁バルブＶ１を閉状態にして、
真空チャンバ１０内と隔室３０内とを遮断状態とするこ
とにより、真空チャンバ１０内に収納されたワークＸを
他の被検体に交換しても、ディテクタ４０でトレーサガ
ス（Ｈｅガス）の検出ができるようにするために設けら
れている。また、第２電磁バルブＶ２を閉状態にするこ
とにより、真空ポンプ２０に接続された第１配管Ｖ１に
連通する第４配管Ｖ４を介して接続される他の経路に隔
室３０内に流入したトレーサガス（Ｈｅガス）が流出し
ないために設けられている。The compartment 30, after the vacuum chamber 10 reaches a predetermined pressure, the first solenoid valve V1 in the closed state,
By disconnecting the inside of the vacuum chamber 10 from the inside of the compartment 30, even if the workpiece X stored in the vacuum chamber 10 is replaced with another subject, the detector 40 detects the tracer gas (He gas). It is provided to allow Moreover, by closing the second electromagnetic valve V2, the second electromagnetic valve V2 flows into the compartment 30 into another path connected via the fourth pipe V4 communicating with the first pipe V1 connected to the vacuum pump 20. It is provided so that the tracer gas (He gas) does not flow out.
【００１７】ディテクタ４０は、第３電磁バルブＶ３が
開状態になると、隔室３０内に流入したトレーサガス
（Ｈｅガス）の検出量を第２配管Ｐ２を通して検出し、
これを電気信号に変換して、その検出信号を制御装置５
０の判定部に出力する。これにより、ワークＸからトレ
ーサガスが漏洩しているか否か、あるいは許容限度以上
の漏洩であるか否かの測定を行うことができるようにな
る。When the third electromagnetic valve V3 is opened, the detector 40 detects the detected amount of tracer gas (He gas) flowing into the compartment 30 through the second pipe P2,
This is converted into an electric signal, and the detection signal is converted into the control device 5.
It outputs to the judgment unit of 0. As a result, it becomes possible to measure whether the tracer gas is leaking from the work X, or whether the tracer gas is leaking beyond the allowable limit.
【００１８】制御装置５０は演算処理部と記憶部と入出
力部等とから構成され、記憶部に記憶されたプログラム
基づいて演算処理を行うものである。これにより、例え
ば、真空チャンバ１０の可動蓋を移動させる図示しない
可動蓋駆動装置に駆動信号を送出すると、可動蓋駆動装
置のサーボモータは駆動して可動蓋を予め設定された所
定量だけ移動させて、所定位置にて停止する。また、真
空ポンプ２０に駆動信号を送出すると真空ポンプ２０は
駆動し、停止信号を送出すると真空ポンプ２０の駆動は
停止する。真空チャンバ１０内が所定の圧力に達すると
制御装置５０は第２電磁バルブＶ２に閉信号を送出し
て、第２電磁バルブＶ２を閉状態にするとともに、第３
電磁バルブＶ３に開信号を送出して、第３電磁バルブＶ
３を開状態にする。The control device 50 is composed of an arithmetic processing unit, a storage unit, an input / output unit, etc., and performs arithmetic processing based on a program stored in the storage unit. Thus, for example, when a drive signal is sent to a movable lid driving device (not shown) that moves the movable lid of the vacuum chamber 10, the servo motor of the movable lid driving device is driven to move the movable lid by a predetermined amount set in advance. Stop at a predetermined position. When the drive signal is sent to the vacuum pump 20, the vacuum pump 20 is driven, and when the stop signal is sent, the driving of the vacuum pump 20 is stopped. When the inside of the vacuum chamber 10 reaches a predetermined pressure, the control device 50 sends a close signal to the second electromagnetic valve V2 to close the second electromagnetic valve V2, and the third electromagnetic valve V2 is closed.
An open signal is sent to the electromagnetic valve V3 to output the third electromagnetic valve V3.
Open 3
【００１９】また、制御装置５０は各電磁バルブＶ１，
Ｖ２，Ｖ３，Ｖ４に開信号あるいは閉信号を送出して、
各電磁バルブＶ１，Ｖ２，Ｖ３，Ｖ４は開状態あるいは
閉状態とする。さらに、ディテクタ４０に検出開始信号
を送出すると、ディテクタ４０はトレーサガス（Ｈｅガ
ス）の検出を開始する。一方、ディテクタ４０がトレー
サガス（Ｈｅガス）を検出すると、制御装置５０はこの
検出信号を受信して、制御装置５０の判定部はワークＸ
からトレーサガスが漏洩しているか否か、あるいは許容
限度以上の漏洩であるか否かの判定を行う。Further, the controller 50 controls each electromagnetic valve V1,
Send an open signal or a closed signal to V2, V3, V4,
Each of the electromagnetic valves V1, V2, V3, V4 is opened or closed. Further, when a detection start signal is sent to the detector 40, the detector 40 starts detecting tracer gas (He gas). On the other hand, when the detector 40 detects the tracer gas (He gas), the control device 50 receives this detection signal, and the determination unit of the control device 50 causes the work X
It is determined whether the tracer gas is leaking from the device, or whether the tracer gas is over the allowable limit.
【００２０】２．漏洩試験方法
次に、上述のように構成された漏洩試験装置を使用して
ワークの漏洩試験方法について説明する。
（１）被検体（ワーク）の準備
先ず、ワークに設けられた開口（図示せず）よりトレー
サガス（Ｈｅガス）を充填した後、開口に封止栓を嵌着
して、トレーサガス（Ｈｅガス）をワーク内に密封す
る。この場合、トレーサガス（Ｈｅガス）の充填圧力は
大気圧とほぼ同程度の圧力となっている。2. Leakage Test Method Next, a leak test method for a workpiece using the leak test apparatus configured as described above will be described. (1) Preparation of test object (workpiece) First, after filling a tracer gas (He gas) from an opening (not shown) provided in the work piece, a sealing plug is fitted into the opening to make a tracer gas (He). Gas) is sealed in the work. In this case, the filling pressure of the tracer gas (He gas) is almost the same as the atmospheric pressure.
【００２１】この後、ワークを真空チャンバ１０の可動
蓋上に載置した後、制御装置５０に設けられた開始スイ
ッチをオンにすると、制御装置５０は図示しない可動蓋
移動装置に駆動信号を送出する。すると、可動蓋移動装
置は駆動して、可動蓋を固定箱の下端部まで移動させて
停止させる。これにより、真空チャンバ１０内は気密に
なる。なお、開始スイッチをオンにすると、制御装置５
０は真空ポンプ２０に駆動信号を送出して真空ポンプ２
０を駆動させる。このとき、各電磁バルブＶ１，Ｖ２，
Ｖ３，Ｖ４は閉じられている。Thereafter, when the work is placed on the movable lid of the vacuum chamber 10 and the start switch provided in the control device 50 is turned on, the control device 50 sends a drive signal to a movable lid moving device (not shown). To do. Then, the movable lid moving device is driven to move the movable lid to the lower end of the fixed box and stop it. As a result, the inside of the vacuum chamber 10 becomes airtight. When the start switch is turned on, the control device 5
0 sends a drive signal to the vacuum pump 20 to send the vacuum pump 2
Drive 0. At this time, each electromagnetic valve V1, V2
V3 and V4 are closed.
【００２２】（２）漏洩試験
次に、制御装置５０は第１電磁バルブＶ１および第２電
磁バルブＶ２に開信号を送出して、第１電磁バルブＶ１
および第２電磁バルブＶ２を開状態にする。これによ
り、真空チャンバ１０内の空気は排気されて、真空チャ
ンバ１０内はワークＸよりも減圧状態となる。この結
果、真空チャンバ１０内とワークＸ内とで差圧を生じ
て、ワークＸ内に充填されたトレーサガス（Ｈｅガス）
は真空チャンバ１０内に漏れ出し、漏れ出したトレーサ
ガス（Ｈｅガス）は隔室３０内に流入することとなる。(2) Leakage test Next, the control device 50 sends an open signal to the first electromagnetic valve V1 and the second electromagnetic valve V2, and the first electromagnetic valve V1
And the second electromagnetic valve V2 is opened. As a result, the air in the vacuum chamber 10 is exhausted, and the inside of the vacuum chamber 10 is in a reduced pressure state than the work X. As a result, a differential pressure is generated between the vacuum chamber 10 and the work X, and the tracer gas (He gas) filled in the work X is generated.
Will leak into the vacuum chamber 10, and the leaked tracer gas (He gas) will flow into the compartment 30.
【００２３】ついで、真空チャンバ１０内が所定の圧力
に達すると、真空チャンバ１０内に設けられた圧力計は
検出信号を制御装置５０に送出する。これにより、制御
装置５０は第２電磁バルブＶ２に閉信号を送出して、第
２電磁バルブＶ２を閉状態にするとともに、第３電磁バ
ルブＶ３に開信号を送出して、第３電磁バルブＶ３を開
状態にする。これにより、隔室３０内に流入したトレー
サガス（Ｈｅガス）はディテクタ４０内に流入し、ディ
テクタ４０はトレーサガス（Ｈｅガス）の検出を開始す
る。Then, when the pressure in the vacuum chamber 10 reaches a predetermined pressure, the pressure gauge provided in the vacuum chamber 10 sends a detection signal to the controller 50. As a result, the control device 50 sends a close signal to the second electromagnetic valve V2 to close the second electromagnetic valve V2 and sends an open signal to the third electromagnetic valve V3 to send the third electromagnetic valve V3. To open. As a result, the tracer gas (He gas) flowing into the compartment 30 flows into the detector 40, and the detector 40 starts detecting the tracer gas (He gas).
【００２４】ついで、制御装置５０は第１電磁バルブＶ
１に閉信号を送出して、第１電磁バルブＶ１を閉状態に
する。これにより、隔室３０は真空チャンバ１０との連
通が遮断され、トレーサガス（Ｈｅガス）の検出を開始
したディテクタ４０は引き続いてトレーサガス（Ｈｅガ
ス）の検出動作を継続して、Ｈｅガスの検出量を電気信
号に変換し、その検出信号を制御装置５０の判定部に出
力する。これにより、ワークＸからトレーサガスが漏洩
しているか否か、あるいは許容限度以上の漏洩であるか
否かの判定を行うことができるようになる。また、真空
チャンバ１０は隔室３０との連通が遮断されているの
で、真空チャンバ１０内に検査すべき他の被検体を配置
することが可能となる。Next, the control device 50 uses the first electromagnetic valve V
A close signal is sent to 1 to close the first electromagnetic valve V1. As a result, the communication between the compartment 30 and the vacuum chamber 10 is cut off, and the detector 40, which has started the detection of the tracer gas (He gas), continues the operation of detecting the tracer gas (He gas) to detect the He gas. The detected amount is converted into an electric signal, and the detected signal is output to the determination unit of the control device 50. This makes it possible to determine whether or not the tracer gas is leaking from the work X, or whether or not the tracer gas is over the allowable limit. Further, since the communication between the vacuum chamber 10 and the compartment 30 is cut off, it is possible to place another object to be inspected in the vacuum chamber 10.
【００２５】（３）真空チャンバ内に収納されたワーク
の交換
ディテクタ４０がトレーサガスが漏洩しているか否か、
あるいは許容限度以上の漏洩であるか否かの判定を行っ
ている間に、制御装置５０は第４電磁バルブＶ４に開信
号を送出して、第４電磁バルブＶ４を開状態にする。こ
れにより、真空チャンバ１０内は配管Ｐ３を介して大気
中に連通して、真空チャンバ１０内の真空状態は解除さ
れる。ついで、制御装置５０は図示しない可動蓋移動装
置に駆動信号を送出する。すると、可動蓋移動装置は駆
動して、ワークＸの上端が固定箱の下端より下方に位置
するまで移動蓋を下降させた後、所定位置に停止させ
る。ついで、ワークＸを移動蓋より取り出し、検査すべ
き他のワークと交換することができるようになる。(3) Whether or not the tracer gas is leaking from the replacement detector 40 of the work stored in the vacuum chamber,
Alternatively, the control device 50 sends an open signal to the fourth electromagnetic valve V4 to open the fourth electromagnetic valve V4 while determining whether or not the leakage is more than the allowable limit. As a result, the interior of the vacuum chamber 10 communicates with the atmosphere via the pipe P3, and the vacuum state in the vacuum chamber 10 is released. Next, the control device 50 sends a drive signal to a movable lid moving device (not shown). Then, the movable lid moving device is driven to lower the movable lid until the upper end of the work X is located below the lower end of the fixed box, and then stops at a predetermined position. Then, the work X can be taken out of the movable lid and replaced with another work to be inspected.
【００２６】ディテクタ４０がトレーサガスの検出を終
了すると、即ち、ディテクタ４０が検出信号を制御装置
５０の判定部に出力して、ワークＸからトレーサガスが
漏洩しているか否か、あるいは許容限度以上の漏洩であ
るか否かの判定を終了すると、制御装置５０は第３電磁
バルブＶ３に閉信号を送出して、第３電磁バルブＶ３を
閉状態にする。これにより、ディテクタ４０は交換され
たワークからのトレーサガスの検出の準備が完了するこ
ととなる。When the detector 40 finishes detecting the tracer gas, that is, the detector 40 outputs a detection signal to the determination unit of the control device 50 to determine whether or not the tracer gas leaks from the work X, or exceeds the allowable limit. When the determination as to whether or not the leakage has occurred, the control device 50 sends a close signal to the third electromagnetic valve V3 to close the third electromagnetic valve V3. As a result, the detector 40 is ready to detect the tracer gas from the replaced work.
【００２７】上述したように、本発明においては、ディ
テクタ４０がトレーサガス（Ｈｅガス）の検出量を検出
してトレーサガスが漏洩しているか否か、あるいは許容
限度以上の漏洩であるか否かの判定を行っている間に、
真空チャンバ１０は隔室３０との連通が遮断されている
ので、真空チャンバ１０内に検査すべき他のワークを配
置することが可能となる。このため、検査のためのサイ
クルタイムを短くすることが可能となる。As described above, in the present invention, whether the detector 40 detects the detected amount of the tracer gas (He gas) and leaks the tracer gas, or whether the leak exceeds the allowable limit. While making the judgment
Since the communication between the vacuum chamber 10 and the compartment 30 is cut off, another work to be inspected can be placed in the vacuum chamber 10. Therefore, the cycle time for inspection can be shortened.
【００２８】なお、制御装置５０が第１電磁バルブＶ１
に閉信号を送出するタイミングを短くして、第１電磁バ
ルブＶ１を閉状態にする時間を速くすれば、ワークの交
換周期を速くすることが可能となり、逆に、制御装置５
０が第１電磁バルブＶ１に閉信号を送出するタイミング
を長くして、第１電磁バルブＶ１を閉状態にする時間を
長くすれば、ワークの交換周期を遅くすることが可能と
なる。Note that the control device 50 uses the first electromagnetic valve V1.
By shortening the timing of sending the closing signal to the first electromagnetic valve V1 to shorten the time for closing the first electromagnetic valve V1, the work replacement cycle can be shortened, and conversely, the control device 5
If the timing at which 0 sends the closing signal to the first electromagnetic valve V1 is lengthened and the time for which the first electromagnetic valve V1 is closed is lengthened, the work replacement cycle can be delayed.
【００２９】また、ディテクタ４０がトレーサガス（Ｈ
ｅガス）の検出量を検出してトレーサガスが漏洩してい
るか否か、あるいは許容限度以上の漏洩であるか否かの
判定を行っている間は、第２電磁バルブＶ２は閉状態に
あるため、隔室３０と真空ポンプ２０との間は遮断状態
にある。このため、真空ポンプ２０が駆動状態であって
も、隔室３０に流入したトレーサガスは真空ポンプ２０
に吸引されることはなく、トレーサガスの分圧は高い状
態であるため、トレーサガスの検出感度を上昇させるこ
とが可能となる。Further, the detector 40 has a tracer gas (H
The second electromagnetic valve V2 is in the closed state while the detected amount of e gas) is being detected to determine whether the tracer gas is leaking or is leaking beyond the allowable limit. Therefore, the compartment 30 and the vacuum pump 20 are in a disconnected state. Therefore, even if the vacuum pump 20 is in a driving state, the tracer gas that has flowed into the compartment 30 is not pumped by the vacuum pump 20.
Since the tracer gas is not sucked into the chamber and the partial pressure of the tracer gas is high, it is possible to increase the tracer gas detection sensitivity.
【００３０】さらに、ディテクタ４０がトレーサガス
（Ｈｅガス）の検出量を検出してトレーサガスが漏洩し
ているか否か、あるいは許容限度以上の漏洩であるか否
かの判定を行っている間は、第２電磁バルブＶ２は閉状
態にある。このため、図１に示すように、第１配管Ｐ１
に連通して接続された第４配管Ｐ４を介して図示しない
電磁バルブを接続し、この電磁バルブを通して他の真空
チャンバを接続するようにすれば、第１配管Ｐ１を通し
て連通された複数の真空チャンバ内の空気の吸引を行っ
ても、隔室３０と真空ポンプ２０との間は遮断状態にあ
るので、隔室３０内のトレーサガス（Ｈｅガス）の検出
量は他の真空チャンバ内のトレーサガス（Ｈｅガス）の
影響を受けることなく検出することができるようにな
る。Further, while the detector 40 is detecting the detected amount of the tracer gas (He gas) to determine whether the tracer gas is leaking or is leaking beyond the allowable limit, , The second electromagnetic valve V2 is in the closed state. Therefore, as shown in FIG. 1, the first pipe P1
If a non-illustrated electromagnetic valve is connected through a fourth pipe P4 connected to and connected to another vacuum chamber through this electromagnetic valve, a plurality of vacuum chambers connected through the first pipe P1 can be connected. Even if the air in the chamber is sucked, the chamber 30 and the vacuum pump 20 are in a shut-off state, so the detected amount of the tracer gas (He gas) in the chamber 30 is the tracer gas in another vacuum chamber. It becomes possible to detect without being affected by (He gas).
【００３１】この結果、１つの真空チャンバ内のトレー
サガス（Ｈｅガス）の検出を実行している間に他の真空
チャンバ内のワークの交換を平行して行うことが可能に
なるので、１台の真空ポンプ１０を使用して複数の真空
チャンバ内のトレーサガス（Ｈｅガス）の検出が可能と
なり、この種の漏洩試験システムを安価に構築すること
ができるようになる。なお、１台の真空ポンプ１０に対
して何個の真空チャンバを接続するかは、ワークの交換
時間と漏洩検査時間の長さに応じて、効率のよい個数と
なるように適宜選択するようにすればよい。[0031] As a result, since it is possible to perform in parallel the replacement of the work in the other vacuum chamber while performing detection of one of the tracer gas in the vacuum chamber (He gas), one The tracer gas (He gas) in a plurality of vacuum chambers can be detected by using the vacuum pump 10 described above, and a leak test system of this type can be constructed at low cost. It should be noted that how many vacuum chambers are connected to one vacuum pump 10 should be appropriately selected depending on the length of the work replacement time and the leak inspection time so that the number is efficient. do it.
【００３２】なお、上述した実施の形態においては、隔
室３０を第１配管Ｐ１と別体に設ける例について説明し
たが、内径がトレーサガスを蓄積できる程度に太い第１
配管Ｐ１を用いる場合は、新たに隔室３０を設ける必要
がなく、第１電磁バルブＶ１と第２電磁バルブＶ２との
間で区画された第１配管Ｐ１内を隔室として使用するこ
とができる。また、上述した実施の形態においては、各
電磁バルブの開閉を制御装置により自動的に制御する例
について説明したが、各電磁バルブを手動により開閉す
るようにしてもよい。この場合、電磁バルブに代えて他
のバルブを用いるようにしてもよい。In the above-described embodiment, an example in which the compartment 30 is provided separately from the first pipe P1 has been described, but the first inner diameter is thick enough to accumulate tracer gas.
When the pipe P1 is used, it is not necessary to newly provide the compartment 30, and the inside of the first pipe P1 partitioned between the first electromagnetic valve V1 and the second electromagnetic valve V2 can be used as the compartment. . Further, in the above-described embodiment, the example in which the opening / closing of each electromagnetic valve is automatically controlled by the control device has been described, but each electromagnetic valve may be opened / closed manually. In this case, another valve may be used instead of the electromagnetic valve.
【００３３】また、上述した実施の形態においては、被
検体（ワーク）Ｘ内のトレーサガスの充填圧力を大気圧
程度とし、チャンバ内や隔室内を真空ポンプで減圧にす
るようにしたが、被検体が高圧に耐えるものであれば、
被検体内のトレーサガスの充填圧力を大気圧より高くし
ておき、チャンバ内を真空ポンプなどで減圧せずに差圧
を発生させることで、チャンバ内に出てくるトレーサガ
スで漏洩試験を行うようにしてもよい。この場合は、漏
洩試験の都度、隔室にヘリウム以外の不活性ガス、例え
ばネオンガス、キセノンガスなどを流通させるようにし
てトレーサガスを洗浄するようにすればよい。Further, in the above-mentioned embodiment, the filling pressure of the tracer gas in the object (work) X is set to about atmospheric pressure, and the inside of the chamber or the compartment is decompressed by the vacuum pump. If the sample can withstand high pressure,
Perform a leak test with the tracer gas that comes out of the chamber by setting the filling pressure of the tracer gas in the subject higher than atmospheric pressure and generating a differential pressure without reducing the pressure in the chamber with a vacuum pump or the like. You may do it. In this case, the tracer gas may be cleaned by circulating an inert gas other than helium, such as neon gas or xenon gas, in the compartment every leak test.
【図１】 本発明の漏洩試験装置を模式的に示すブロッ
ク図である。FIG. 1 is a block diagram schematically showing a leak test apparatus of the present invention.
【図２】 従来例の漏洩試験装置を模式的に示すブロッ
ク図である。FIG. 2 is a block diagram schematically showing a conventional leak test apparatus.
Ｘ…被検体（ワーク）、１０…真空チャンバ、２０…真
空ポンプ、３０…隔室、４０…ガス検出器（ディテク
タ）、５０…制御装置、Ｐ１…第１配管、Ｐ２…第２配
管、Ｐ３…第３配管、Ｖ１…第１電磁バルブ、Ｖ２…第
２電磁バルブ、Ｖ３…第３電磁バルブ、Ｖ４…第４電磁
バルブX ... Subject (work), 10 ... vacuum chamber, 20 ... vacuum pump, 30 ... compartment, 40 ... gas detector (detector), 50 ... control device, P1 ... first piping, P2 ... second piping, P3 ... third pipe, V1 ... first electromagnetic valve, V2 ... second electromagnetic valve, V3 ... third electromagnetic valve, V4 ... fourth electromagnetic valve
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平７−218376（ＪＰ，Ａ) 実開 平３−28441（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01M 3/20 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) References JP-A-7-218376 (JP, A) Actual Kaihei 3-28441 (JP, U) (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB name) G01M 3/20
Claims (3)
被検体より漏洩しているか否かあるいは許容限度以上の
漏洩であるか否かの判定を行う漏洩試験方法であって、 前記トレーサガスが充填された被検体を真空チャンバ内
に収納する収納工程と、 前記真空チャンバ内をガス検出器とは異なる場所に配設
された真空ポンプにより前記被検体よりも減圧にする減
圧工程と、 前記真空チャンバ内が予め設定された所定の圧力に達し
たら前記真空チャンバと前記真空ポンプとの間に形成さ
れた隔室と前記真空ポンプとの間の連通を遮断するとと
もに、前記隔室と前記ガス検出器との間を連通させて前
記被検体から漏れ出たトレーサガスを前記隔室を介して
前記ガス検出器に連通させる連通工程と、 前記真空チャンバと前記隔室との間を遮断する遮断工程
と、前記真空チャンバ内に収納された 前記被検体を他の被検
体に交換する交換工程とを備えるようにしたことを特徴
とする漏洩試験方法。1. A leak test method for determining whether or not a tracer gas filled in a subject is leaking from the subject or a leak exceeding a permissible limit. And a storage step of storing the sample filled with the sample in a vacuum chamber, and arranging the inside of the vacuum chamber at a location different from that of the gas detector.
A depressurizing step of reducing the pressure to a level lower than that of the subject by a vacuum pump, and a chamber formed between the vacuum chamber and the vacuum pump when the inside of the vacuum chamber reaches a preset predetermined pressure; thereby blocking communication between the vacuum pump, communicates the tracer gas leaking from the test object communicates between said gas detector and said compartment in the gas detector through the compartment A communication step, a shutoff step for shutting off between the vacuum chamber and the compartment, and an exchanging step for exchanging the subject housed in the vacuum chamber for another subject. Characteristic leak test method.
チャンバ内に気密に収納し、この真空チャンバ内に漏れ
出た前記トレーサガスを検出する漏洩試験装置であっ
て、 前記真空チャンバ内に第１配管を介して接続されて同真
空チャンバ内を前記被検体よりも減圧にする真空ポンプ
と、 前記真空チャンバと前記真空ポンプとの間に配設されて
前記第１配管を介して前記真空チャンバと前記真空ポン
プとに接続された隔室と、 前記隔室に第２配管を介して接続されて同隔室内に流入
した前記トレーサガスを検出するガス検出器と、 前記真空チャンバと前記隔室との間の前記第１配管に接
続されて前記真空チャンバと前記隔室とを連通させる第
１バルブと、 前記隔室と前記真空ポンプとの間の前記第１配管に接続
されて前記隔室と前記真空ポンプとを連通させる第２バ
ルブと、 前記隔室と前記ガス検出器との間の前記第２配管に接続
されて前記隔室と前記ガス検出器とを連通させる第３バ
ルブとを備えたことを特徴とする漏洩試験装置。2. A leak test apparatus for airtightly storing a test object filled with tracer gas in a vacuum chamber and detecting the tracer gas leaking into the vacuum chamber, the leak test apparatus comprising: A vacuum pump connected via one pipe to reduce the pressure in the vacuum chamber below that of the subject; and the vacuum chamber arranged between the vacuum chamber and the vacuum pump via the first pipe. And a compartment connected to the vacuum pump, a gas detector connected to the compartment via a second pipe to detect the tracer gas flowing into the compartment, the vacuum chamber and the compartment. A first valve connected to the first pipe between the vacuum chamber and the compartment, and a first valve connected to the first pipe between the compartment and the vacuum pump. And the vacuum pump A second valve communicating with the gas detector, and a third valve connected to the second pipe between the compartment and the gas detector to communicate the compartment with the gas detector. Characteristic leak test equipment.
ルブと前記第２バルブとを開状態にして前記真空チャン
バ内を前記被検体よりも減圧にした後、前記第２バルブ
を閉状態にするとともに前記第３バルブを開状態にして
前記ガス検出器での前記トレーサガスの検出を開始さ
せ、ついで、前記第１バルブを閉状態にして前記ガス検
出器で前記トレーサガスの検出を行うとともに、前記真
空チャンバ内に収納された前記被検体を他の被検体に交
換できるようにしたことを特徴とする請求項２に記載の
漏洩試験装置。3. The vacuum pump is driven to open the first valve and the second valve to reduce the pressure inside the vacuum chamber to a pressure lower than that of the subject, and then to close the second valve. At the same time, the third valve is opened to start detecting the tracer gas by the gas detector, and then the first valve is closed to detect the tracer gas by the gas detector. The leak test apparatus according to claim 2, wherein the subject housed in the vacuum chamber can be exchanged for another subject.
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