JP3201667B2 - Check valve test apparatus and check valve test method - Google Patents

Check valve test apparatus and check valve test method

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JP3201667B2
JP3201667B2 JP02159793A JP2159793A JP3201667B2 JP 3201667 B2 JP3201667 B2 JP 3201667B2 JP 02159793 A JP02159793 A JP 02159793A JP 2159793 A JP2159793 A JP 2159793A JP 3201667 B2 JP3201667 B2 JP 3201667B2
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check valve
pressure
helium
test
control valve
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幸男 皆見
信一 池田
徹哉 小島
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清原 まさ子
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、逆止弁用試験装置と逆
止弁の試験方法の改良に係り、逆閉止圧力を極めて低く
出来るようにした高性能逆止弁の試験に主として利用さ
れるものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an improvement in a check valve test apparatus and a check valve test method, and is mainly used for testing a high-performance check valve capable of extremely reducing a check closing pressure. Things.
【0002】[0002]
【従来の技術】逆止弁の試験には、クラッキング試
験、逆閉止圧力試験(低圧シートリーク試験)、シ
ートリーク試験(弁座漏洩試験)及び耐圧・気密試験
等がある。そして、前記クラッキング試験では、二次側
を大気へ開放した状態で一次側から順方向の圧力を加え
た際に、二次側へ所定量の流体が流れ始めるときの最低
圧力が検査される。また、前記逆閉止圧力試験では、一
次側を大気へ開放した状態で二次側から逆方向の正圧力
が加わった際に、流体の逆流を遮断できるときの最低圧
力が検査される。更に、前記シートリークの試験では、
一次側を大気へ開放した状態で二次側より所定の逆方向
圧力を加えた際の、シートリーク量が検査される。
2. Description of the Related Art Check valve tests include a cracking test, a reverse closing pressure test (low pressure seat leak test), a seat leak test (valve seat leak test), and a pressure resistance / air tightness test. In the cracking test, when a forward pressure is applied from the primary side while the secondary side is open to the atmosphere, a minimum pressure at which a predetermined amount of fluid starts flowing to the secondary side is examined. In the reverse closing pressure test, when a positive pressure is applied in the reverse direction from the secondary side while the primary side is open to the atmosphere, the minimum pressure at which the reverse flow of the fluid can be cut off is examined. Further, in the sheet leak test,
The sheet leak amount when a predetermined reverse pressure is applied from the secondary side while the primary side is open to the atmosphere is inspected.
【0003】例えば、前記従前の逆閉止圧力試験に於い
ては、図7に示す如く逆止弁Aの一次側S1 を大気へ開
放すると共に、二次側S2 より加える圧力Pを0kgf
/cm2 Gより徐々に昇圧し、シートから一次側への流
体のリークが停止したことを所謂水上置換法で確認す
る。そして、前記リークが停止したときの圧力△Pが
0. 1kgf/cm2 G以下であれば、当該逆止弁の逆
閉止圧力は合格値にあると判断している。
For example, said at the opposite closing pressure testing of conventional, the primary side S 1 of the check valve A with opening to the atmosphere as shown in FIG. 7, 0 kgf pressure P added from the secondary side S 2
/ Cm 2 G, and it is confirmed by the so-called water displacement method that the leakage of the fluid from the sheet to the primary side has stopped. If the pressure ΔP at the time when the leak is stopped is 0.1 kgf / cm 2 G or less, it is determined that the check valve closing pressure of the check valve is at an acceptable value.
【0004】一方、近年逆止弁の性能が大幅に向上し、
例えば図8の如き構造のダイヤフラム型逆止弁Aに於い
ては、前記逆閉止圧力△Pを0. 01kgf/cm2
bs程度の低圧力にまで下げることが可能になってい
る。従って、当該ダイヤフラム型逆止弁Aの様な高性能
逆止弁の検査に於いては、シートからのリークの検出も
高精度で行う必要があり、必然的に高感度なリーク検出
法が要求されることになる。ところが、従前の逆止弁の
逆閉止圧力試験やシートリーク試験で用いられている水
上置換法や石けん膜法等のリーク検出法は、リークの最
小検出感度が10-5Acc/s(1気泡0. 1cc,3
600sec間の検出値)程度であって比較的悪いた
め、高性能逆止弁の逆閉止圧力試験等へ適用した場合に
は、逆閉止圧力△Pに大きな誤差を含むことになる。
On the other hand, in recent years, the performance of check valves has greatly improved,
For example, in a diaphragm check valve A having a structure as shown in FIG. 8, the reverse closing pressure ΔP is set to 0.01 kgf / cm 2 a.
The pressure can be reduced to a low pressure of about bs. Therefore, in the inspection of a high-performance check valve such as the diaphragm type check valve A, it is necessary to detect a leak from a sheet with high accuracy, and a leak detection method with high sensitivity is inevitably required. Will be done. However, the leak detection methods such as the water displacement method and the soap film method used in the conventional check pressure of the check valve and the seat leak test have a minimum leak detection sensitivity of 10 -5 Acc / s (one bubble). 0.1cc, 3
(A detection value during 600 sec), which is relatively bad, and when applied to a reverse closing pressure test of a high performance check valve, the reverse closing pressure ΔP includes a large error.
【0005】一方、流体のリークを高感度で検出する方
策としては、ヘリウムリークディテクター(以下HeL
Dと呼ぶ)の利用が考えられる。当該HeLDはリーク
の最小検出感度が5×10-11 Acc/s程度であって
極めてよく、高精度なリークの検出、延ては高精度な逆
閉止圧力△Pの測定が可能となる。
On the other hand, as a measure for detecting a fluid leak with high sensitivity, a helium leak detector (hereinafter referred to as HeL) is used.
D). The HeLD has a very low minimum leak detection sensitivity of about 5 × 10 −11 Acc / s, and enables highly accurate leak detection and, in turn, highly accurate measurement of the reverse closing pressure ΔP.
【0006】而して、前記HeLDによるリーク検出
は、通常一次側S1 を高真空(10-4torr程度)
に、また二次側S2 を大気圧に近い状態に保持して行わ
れている。従って、前記シートリーク試験(弁座漏洩試
験)の方は、当該HeLDを被検査逆止弁の一次側へ接
続することにより、簡単且つ容易に高精度なリーク量検
出が行なえる。これに対して、前記逆閉止圧力試験に於
いては、前述の通り一次、二次間の差圧△Pが0. 01
kgf/cm2 abs程度の近傍でリークの検出を行わ
ねばならないため、従前のHeLDによるリークの検出
方法をそのまま適用できないと云う問題がある。
[0006] In the leak detection by the HeLD, the primary side S 1 is usually set to a high vacuum (about 10 -4 torr).
A, also it has been made to hold the secondary side S 2 in a state close to atmospheric pressure. Therefore, in the seat leak test (valve seat leak test), by connecting the HeLD to the primary side of the check valve to be inspected, the leak amount can be detected easily and easily with high accuracy. On the other hand, in the reverse closing pressure test, as described above, the differential pressure ΔP between the primary and the secondary was 0.01.
Since leak detection must be performed in the vicinity of about kgf / cm 2 abs, there is a problem that the conventional leak detection method using HeLD cannot be directly applied.
【0007】[0007]
【発明が解決しようとする課題】本発明は、従前の逆止
弁検査に於ける上述の如き問題、即ち、水上置換法や
石けん膜法によるリーク検査を用いる場合には、高性能
逆止弁に於いてはその逆閉止圧力等を高精度で検出する
ことができないこと、HeLDを用いれば、高精度な
リーク検出を行うことが可能となるが、高性能逆止弁で
はその逆閉止圧力が極めて低いため、従前のHeLDに
よるリーク検出方法を高性能逆止弁の逆閉止圧力検査に
はそのまま適用できないこと等の問題を解決せんとする
ものであり、ダイヤフラム型逆止弁等の高性能逆止弁で
あっても、その逆閉止圧力検査やシートリーク検査等の
各種の検査を簡単に、しかも高精度で行なえるようにし
た逆止弁用試験装置と逆止弁の試験方法を提供するもの
である。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in consideration of the above-mentioned problems in the conventional check valve inspection, that is, in the case of using a leak inspection by a water replacement method or a soap film method, a high performance check valve. However, the use of HeLD makes it possible to detect leaks with high accuracy. However, in the case of a high-performance check valve, the reverse close pressure cannot be detected. It is extremely low, and it is intended to solve the problem that the conventional leak detection method using HeLD cannot be applied as it is to the check pressure of a high-performance check valve, and a high-performance check valve such as a diaphragm check valve is used. Provide a check valve test device and a check valve test method that can easily perform various tests such as a check valve pressure check and a seat leak test with high accuracy even for a stop valve. Things.
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】本件装置発明は、被検査
逆止弁1の一次側に制御弁V8 を介設して連結したヘリ
ウムリークディテクター2と;前記被検査逆止弁1の二
次側に制御弁V2 を介設して連結したヘリウム流量調整
器5と;前記ヘリウム流量調整器5へ制御弁V 1 を通し
てヘリウムガスを供給するヘリウムガス供給口9と;前
記制御弁V2 の出口側に制御弁V4 を介設して連結した
真空ポンプ3と;前記被検査逆止弁1の一次側圧力を計
測する圧力計7及び二次側圧力を計測する圧力計8とを
発明の基本構成とするものである。
According to the present invention, there is provided an apparatus for inspection.
Control valve V on the primary side of check valve 18Helicopter connected via
Um leak detector 2;
Control valve V on the next sideTwoHelium flow adjustment via intermediary
And a control valve V to the helium flow regulator 5 1Through
Helium gas supply port 9 for supplying helium gas through;
Control valve VTwoControl valve V on the outlet side ofFourConnected via
A vacuum pump 3; measuring the primary pressure of the check valve 1 to be inspected;
And a pressure gauge 8 for measuring the secondary pressure.
This is a basic configuration of the present invention.
【0009】また、本件方法発明は、被検査逆止弁1の
二次側を大気へ連通させると共に、その一次側をヘリウ
ムリークディテクター2の真空ポンプによって高真空に
保持し、次に、被検査逆止弁1の二次側の大気への連通
を遮断したあと、ヘリウム流量調整器5を通して被検査
逆止弁1の二次側へヘリウムガスを供給すると共に、被
検査逆止弁1の二次側を真空ポンプ3によって順次排気
し、前記被検査逆止弁1の二次側圧力P2 と一次側圧力
1 との差△Pを所望の設定値とした場合に於けるヘリ
ウムリークディテクター2の検出値から、被検査逆止弁
の逆閉止圧力を確認することを発明の基本構成とするも
のである。
Further, the method of the present invention provides a method in which the secondary side of the check valve to be inspected 1 is communicated with the atmosphere, and the primary side thereof is maintained at a high vacuum by the vacuum pump of the helium leak detector 2. After shutting off the communication of the check valve 1 with the atmosphere on the secondary side, helium gas is supplied to the secondary side of the check valve 1 through the helium flow regulator 5 and the check valve 1 the following side sequentially evacuated by vacuum pump 3, the in helium leak detector when the difference △ P was desired set value of the secondary side pressure P 2 and the primary pressure P 1 to be inspected check valve 1 The basic configuration of the present invention is to confirm the check closing pressure of the check valve to be inspected from the detected value of 2.
【0010】[0010]
【作用】被検査逆止弁1の一次側は、予かじめヘリウム
リークディテクター2の真空ポンプによって真空引きさ
れ、圧力P1 の高真空度に保持されている。一方、被検
査逆止弁1の二次側へはヘリウム流量調整器5を通して
十分なヘリウムガスが連続供給されると共に、当該被検
査逆止弁1の二次側は真空ポンプ3によって連続的に排
気される。その結果、被検査逆止弁1の二次側圧力P2
は、流量調整器5を通して定流量で供給されるヘリウム
ガスと、真空ポンプ3によって排出されるヘリウムガス
流量によって定まる所望の低圧力P2 に調整され、当該
二次側圧力P2 と前記一次側圧力P1 との差△Pが、被
検査逆止弁1の弁体に加えられることになる。前記被検
査逆止弁1の逆閉止圧力の確認は、前記差圧△Pが所定
値の場合に於けるヘリウムリークディテクター2の漏洩
検出値の大・小によって行われる。
[Action] primary side of the inspection check valve 1 is evacuated by a vacuum pump of the pre beforehand helium leak detector 2, is held in a high vacuum degree of the pressure P 1. On the other hand, a sufficient helium gas is continuously supplied to the secondary side of the check valve 1 to be inspected through the helium flow controller 5, and the secondary side of the check valve 1 is continuously operated by the vacuum pump 3. Exhausted. As a result, the secondary pressure P 2 of the check valve 1 to be inspected
Includes a helium gas supplied at a constant flow rate through the flow regulator 5 is adjusted to a desired low pressure P 2 determined by the helium gas flow discharged by the vacuum pump 3, the secondary side pressure P 2 and the primary side The difference ΔP from the pressure P 1 is applied to the valve element of the check valve 1 to be inspected. The check of the reverse closing pressure of the check valve 1 to be inspected is performed based on the magnitude of the leak detection value of the helium leak detector 2 when the differential pressure ΔP is a predetermined value.
【0011】[0011]
【実施例】以下、図面に基づいて本発明の実施例を説明
する。図1は本発明に係る逆止弁用試験装置の全体系統
図であり、図に於いて、1は被検査逆止弁、2はヘリウ
ムリークディテクター、3は真空ポンプ、4は気密試験
箱、5はヘリウム流量調整器、6は窒素流量調整器、7
は一次側圧力計、8は二次側圧力計、9・10はヘリウ
ムガス供給口、11は窒素ガスN2 供給口、12は排気
口、13は制御装置、V1 〜V12は制御弁である。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is an overall system diagram of a check valve test apparatus according to the present invention, in which 1 is a check valve to be inspected, 2 is a helium leak detector, 3 is a vacuum pump, 4 is an airtight test box, 5 is a helium flow controller, 6 is a nitrogen flow controller, 7
Primary pressure gauge, 8 secondary pressure gauge, 9.10 helium gas supply port, 11 is a nitrogen gas N 2 supply port, 12 an exhaust port, 13 a control device, V 1 ~V 12 control valve It is.
【0012】前記被検査逆止弁1はダイヤフラム型逆止
弁等の高性能逆止弁であり、金属製の気密試験箱4内へ
取外し自在に収納されている。また、前記ヘリウムリー
クディテクター2には公知のDLMS−33LSターボ
仕様(日本真空技術株式会社製)が使用されており、そ
の最小検出リーク量は4×10-12 気泡・m3 /sec
(3×10-11 torr,l/sec)である。更に、
前記真空ポンプ3には油回転ポンプ又はドライポンプが
使用されており、到達圧力は10-2torr、排気速度
は150l/minに選定されている。
The check valve 1 to be inspected is a high-performance check valve such as a diaphragm check valve, and is detachably housed in a metal hermetic test box 4. The helium leak detector 2 uses a well-known DLMS-33LS turbo specification (manufactured by Nippon Vacuum Engineering Co., Ltd.), and its minimum detection leak amount is 4 × 10 −12 bubbles · m 3 / sec.
(3 × 10 −11 torr, l / sec). Furthermore,
An oil rotary pump or a dry pump is used as the vacuum pump 3, the ultimate pressure is set to 10 -2 torr, and the exhaust speed is set to 150 l / min.
【0013】前記気密試験箱4は金属製の耐圧・密閉式
容器であり、上蓋を開放して内部へ逆止弁1を収納し、
これをメタルシール型の継手を介して一次側及び二次側
管路へ夫々連結したあと、前記上蓋を閉じて逆止弁1を
密封する。尚、前記逆止弁1と管路との接続は、エアー
シリンダー等の自動連結機構を用いた自動接続とするの
が望ましく、また、内部放出ガスの発生を少なくして真
空引きを容易にするため、継手機構はメタルタイプの構
造とするのが望ましい。
The airtight test box 4 is a metal pressure-resistant and airtight container. The upper lid is opened and the check valve 1 is housed therein.
After this is connected to the primary side and the secondary side via a metal seal type joint, respectively, the upper lid is closed and the check valve 1 is sealed. It is desirable that the connection between the check valve 1 and the pipeline be automatic connection using an automatic connection mechanism such as an air cylinder, etc. In addition, the generation of internal discharge gas is reduced to facilitate vacuuming. Therefore, it is desirable that the joint mechanism has a metal type structure.
【0014】前記ヘリウム流量調整器5及び窒素流量調
整器6は所謂マスフローコントローラであり、操作信号
(0〜5V)を入力することにより、ヘリウムガス又は
窒素ガスの流量(最大流量5l/min)が調整され
る。また、前記一次側及び二次側圧力計7,8は、所謂
バラメトロン型真空計(0. 01kgf/cm2 abs
〜15kgf/cm2 abs)であって、本実施例では
0. 01kgf/cm2 程度の分解能を有する真空計が
使用されている。
The helium flow regulator 5 and the nitrogen flow regulator 6 are so-called mass flow controllers. By inputting an operation signal (0 to 5 V), the flow rate of helium gas or nitrogen gas (maximum flow rate 5 l / min) is increased. Adjusted. The primary and secondary pressure gauges 7, 8 are so-called balametron type vacuum gauges (0.01 kgf / cm 2 abs).
1515 kgf / cm 2 abs), and in this embodiment, a vacuum gauge having a resolution of about 0.01 kgf / cm 2 is used.
【0015】前記制御弁V1 〜V12は空気圧作動型のス
トップ弁であり、その最高使用圧力は20kgf/cm
2 Gに設定されている。また、前記ヘリウムガス供給口
9へは1. 33kgf/cm2 abs(0. 3kgf/
cm2 G)のヘリウムガスと12. 03kgf/cm2
abs(11kgf/cm2 G)のヘリウムガスが切換
自在に供給され、且つヘリウムガス供給口10へは1
2. 03kgf/cm2 absのヘリウムガスが供給さ
れている。更に、前記窒素ガス供給口11へは2. 03
kgf/cm2 abs(1kgf/cm2 G)の窒素ガ
スが供給されている。
The control valves V 1 to V 12 are pneumatically operated stop valves, and their maximum operating pressure is 20 kgf / cm.
2 G is set. In addition, 1.33 kgf / cm 2 abs (0.3 kgf /
cm 2 G) helium gas and 12.03 kgf / cm 2
Hels gas of abs (11 kgf / cm 2 G) is supplied in a switchable manner, and 1 helium gas is supplied to the helium gas supply port 10.
Helium gas of 2.03 kgf / cm 2 abs is supplied. Further, 2.03 is supplied to the nitrogen gas supply port 11.
A nitrogen gas of kgf / cm 2 abs (1 kgf / cm 2 G) is supplied.
【0016】前記制御装置13はマイクロコンピュータ
を主体として形成されており、ヘリウムリークディテク
ター2、真空ポンプ3、流量調整器5,6及び各制御弁
1〜V12等の作動を自動制御することにより、後述す
る被検査逆止弁1の各試験を、予かじめ定めた順序で自
動的に行うと共に、ヘリウムリークディテクター2や圧
力計7,8の標準設定値と測定値を対比することによ
り、各試験結果の合否を判定すると共に、これを記録並
びに表示する。
[0016] The control device 13 is formed as a microcomputer, a helium leak detector 2, the vacuum pump 3, the flow regulator 5, 6 and automatically controlling the operation of such control valves V 1 ~V 12 In this way, each test of the check valve 1 to be inspected, which will be described later, is automatically performed in a predetermined order, and the measured values are compared with the standard set values of the helium leak detector 2 and the pressure gauges 7 and 8. The pass / fail of each test result is determined, and this is recorded and displayed.
【0017】次に、本発明に係る逆止弁用試験装置を用
いた各種の試験方法について説明する。尚、被検査逆止
弁1の仕様は、呼び径6. 35φ、最高使用圧力11.
03kgf/cm2 abs,耐圧16. 03kgf/c
2 absのものが使用されており、その逆閉止圧力は
0. 01kgf/cm2 abs以下、クラッキング圧力
は0. 07kgf/cm2 abs以下、シートリーク量
は1×10-9Acc/s以下に夫々設定されている。 (1)クラッキング圧力試験 図2に示す如く、制御装置13(図示省略)からの信号
により、制御弁V3 ,V5 ,V9 及びV10を開とし、そ
の他の制御弁を閉にする。次に、流量調整器6から3l
/minのN2 ガスを被検査逆止弁1へ順方向に流し、
二次側圧力計8の読みを測定する。この時、二次側圧力
計8の読みが基準値0. 07kgf/cm2 abs以下
であれば、当該逆止弁1はクラッキング圧力試験に合格
とし、前記圧力計8の読みが0. 07kgf/cm2
bs以上であれば、不合格とする。尚、これらの合否の
判定は、制御装置13内に於いて自動的に行われる。
Next, various test methods using the check valve test apparatus according to the present invention will be described. The check valve 1 to be inspected has a nominal diameter of 6.35φ and a maximum operating pressure of 11.
03kgf / cm 2 abs, withstand pressure 16.03kgf / c
m 2 abs, the reverse closing pressure is 0.01 kgf / cm 2 abs or less, the cracking pressure is 0.07 kgf / cm 2 abs or less, and the sheet leak amount is 1 × 10 −9 Acc / s or less. Are set respectively. (1) Cracking pressure test As shown in FIG. 2, the control valves V 3 , V 5 , V 9 and V 10 are opened and other control valves are closed by a signal from the control device 13 (not shown). Next, 3 l from the flow regulator 6
/ Min N 2 gas in the forward direction to the check valve 1 to be inspected,
The reading of the secondary pressure gauge 8 is measured. At this time, if the reading of the secondary pressure gauge 8 is equal to or less than the reference value of 0.07 kgf / cm 2 abs, the check valve 1 passes the cracking pressure test, and the reading of the pressure gauge 8 is 0.07 kgf / cm2. cm 2 a
If it is not less than bs, it is rejected. It should be noted that these pass / fail judgments are automatically made in the control device 13.
【0018】(2)逆閉止圧力試験 図3は逆止弁の逆指圧力試験の実施説明図である。試験
に際しては、先ず制御装置13(図示省略)からの信号
により、制御弁V2 ,V4 ,V6 ,V7 ,V10,V11
12を閉に、また制御弁V3 ,V5 ,V8 を開にし、逆
止弁1の二次側を大気へ開放した状態でヘリウムリーク
ディテクター2を作動させ、逆止弁1の一次側を高真空
度に排気する。
(2) Reverse Closing Pressure Test FIG. 3 is an explanatory diagram of a check finger pressure test of the check valve. At the time of the test, first, the control valves V 2 , V 4 , V 6 , V 7 , V 10 , V 11 ,
The V 12 closed, also the control valve V 3, V 5, V 8 is opened, the secondary side of the check valve 1 is operated helium leak detector 2 in a state of open to the atmosphere, the primary check valve 1 The side is evacuated to a high vacuum.
【0019】次に、V3 を閉、V2 及びV4 を開に切替
えて、ヘリウム流量調整器5を通してHe(1. 33k
gf/cm2 abs)を大流量で流すと共に、真空ポン
プ3を起動して、逆止弁1の二次側を大気圧より徐々に
排気する。尚、真空ポンプ3の排気速度は、ヘリウム流
量調整器5から供給されるHe流量とマッチングした速
度に調整される。そして、二次側圧力計8が0. 01k
gf/cm2 absにまで減圧された際のヘリウムリー
クディテクター2の設定値(即ち、逆止弁1の二次側か
ら一次側への漏洩量)を検出し、当該ヘリウムリークデ
ィテクター2の設定値がバックグランド値よりも上昇し
ない場合、若しくは5秒間内の漏洩量の測定値が1×1
-9Acc/sを越えない場合には、当該逆止弁1は逆
圧閉圧力試験に合格したものとする。また、逆に、逆止
弁1の二次側圧力調整過程に於いてヘリウムリークディ
テクター2の測定値が1×10-8Acc/sを越えた場
合には、当該逆止弁は逆圧閉圧力試験に不合格とし、直
ちに制御弁V8 を閉にする。尚、この場合、制御弁V 8
を閉にするのは、所謂ヘリウムリークディテクターのH
e汚染を防止するためである。
Next, VThreeClosed, VTwoAnd VFourSwitch to open
He (1.33k) through the helium flow controller 5
gf / cmTwoabs) at a high flow rate and a vacuum pump
Start the valve 3 and gradually set the secondary side of the check valve 1 from atmospheric pressure.
Exhaust. In addition, the pumping speed of the vacuum pump 3 is helium flow.
Speed matching with He flow rate supplied from quantity regulator 5
Adjusted every time. Then, the secondary pressure gauge 8 reads 0.01 k.
gf / cmTwoHelium Lee when depressurized to abs
Set value of detector 2 (that is, whether the secondary side of check valve 1
From the helium leak to the primary side)
The setting value of detector 2 rises above the background value
If no, or the measured value of leakage within 5 seconds is 1 × 1
0 -9If Acc / s is not exceeded, the check valve 1
It shall pass the closing pressure test. Also, conversely, check
In the process of adjusting the secondary pressure of valve 1, helium leak
The measured value of Tector 2 is 1 × 10-8If you exceed Acc / s
In that case, the check valve fails the back pressure closing pressure test and
Control valve V8To close. In this case, the control valve V 8
Is closed by the so-called H helium leak detector.
This is to prevent e-contamination.
【0020】(3)低圧シートリークテスト及び高圧シ
ートリークテスト 図4は逆止弁1の低圧シートリーク試験と高圧シートリ
ーク試験の実施説明図であり、制御弁V1 ,V2 ,V5
及びV8 を開にすると共に、V3 ,V4 ,V6 ,V7
10,V11及びV12を閉にして、供給口9から1. 33
kgf/cm2 absのヘリウムを制御弁V1 の入口側
へ供給する。この際、一次側を予かじめ高真空状態とし
たヘリウムリークディテクター2の測定値がバックグラ
ンド値を越えない場合、又は5秒間内の漏洩量が1×1
-9Acc/s以下であれば、当該逆止弁は低圧シート
リークラストに合格したものとし、逆に、前記5秒間内
の漏洩測定値が1×10-9Acc/sを越えた場合に
は、低圧シートリークテストに不合格とする。
(3) Low Pressure Seat Leak Test and High Pressure Seat Leak Test FIG. 4 is a diagram for explaining the execution of the low pressure seat leak test and the high pressure seat leak test of the check valve 1, and the control valves V 1 , V 2 , V 5
And with the V 8 in the open, V 3, V 4, V 6, V 7,
The V 10, V 11 and V 12 in the closed, 1. from the supply port 9 33
supplying helium kgf / cm 2 abs to the inlet side of the control valve V 1. At this time, when the measured value of the helium leak detector 2 in which the primary side is preliminarily set to the high vacuum state does not exceed the background value, or the leakage amount within 5 seconds is 1 × 1
If 0 -9 Acc / s or less, the check valve is considered to have passed the low pressure seat crust. Conversely, if the leak measurement value within 5 seconds exceeds 1 × 10 -9 Acc / s. In this case, the low pressure sheet leak test is rejected.
【0021】次に、制御弁V1 へのHe供給ラインを切
換えて、ヘリウムガス供給口9より12. 03kgf/
cm2 abs(11kg/cm2 G)のヘリウムを供給
すると共に、ヘリウム流量調整器5を通して徐々に逆止
弁1の二次側を昇圧する。前記昇圧途中に於いてヘリウ
ムリークディテクター2の設定値が1×10-8Acc/
sを越えた場合には、当該逆止弁は高圧シートリーク試
験に不合格とする。また、二次側圧力計8の読みが1
2. 03kg/cm2 absなった後、5秒間内のリー
ク量が1×10-9Acc/s以下であれば、当該逆止弁
1は高圧シートリーク試験に合格したものとする。
Next, the He supply line to the control valve V 1 is switched so that the helium gas supply port 9 supplies 12.03 kgf /
Helium of cm 2 abs (11 kg / cm 2 G) is supplied, and the pressure on the secondary side of the check valve 1 is gradually increased through the helium flow regulator 5. During the pressure increase, the set value of the helium leak detector 2 is 1 × 10 −8 Acc /
If s is exceeded, the check valve fails the high pressure seat leak test. The reading of the secondary pressure gauge 8 is 1
If the amount of leak within 5 seconds after reaching 2.03 kg / cm 2 abs is 1 × 10 −9 Acc / s or less, the check valve 1 is considered to have passed the high pressure sheet leak test.
【0022】(4)気密試験 前記高圧シートリーク試験が終わると、図5に示す如
く、先ず制御弁V2を閉に、制御弁V3 を開にし、逆止
弁1の二次側残圧をパージする。次に、制御弁V2 ,V
3 を閉にすると共に制御弁V12を開にして、気密試験箱
4内をヘリウムリークディテクター2の真空ポンプによ
って真空排気すると共に、ヘリウムリークディテクター
2の作動準備が完了したことを確認する。その後、制御
弁V11を開放し、供給口10から12. 03kgf/c
2abs(11kg/cm2 G)のヘリウムを逆止弁
1の一次側へ印加する。この際、ヘリウムリークディテ
クター2の測定値が1×10-8Acc/sを越えた場合
には、制御弁12を閉にし、且つ当該逆止弁1は気密試
験に不合格とする。また、10秒間内に於けるヘリウム
リークディテクター2の測定値が1×10-9Acc/s
以下であれば、当該逆止弁1は気密試験に合格したもの
とする。
[0022] (4) When the airtightness test the high-pressure seat leak test is completed, as shown in FIG. 5, the first control valve V 2 closed, the control valve V 3 is opened, the secondary side residual pressure of the check valve 1 Purge. Next, the control valves V 2 , V
3 and a control valve V 12 as well as the closed to the open, the airtightness test box 4 while evacuating by a vacuum pump helium leak detector 2, to make sure that armed helium leak detector 2 is completed. Thereafter, by opening the control valve V 11, from the supply port 10 12. 03kgf / c
Helium of m 2 abs (11 kg / cm 2 G) is applied to the primary side of the check valve 1. At this time, when the measured value of the helium leak detector 2 exceeds 1 × 10 −8 Acc / s, the control valve 12 is closed and the check valve 1 fails the airtight test. The measured value of the helium leak detector 2 within 10 seconds is 1 × 10 −9 Acc / s.
If it is below, it is assumed that the check valve 1 has passed the airtightness test.
【0023】(5)逆止弁用試験装置のパージ操作 前記(1)〜(4)の各試験が終われば、最後に系内の
Heガスのパージ操作を行う。図6に示す如く、先ず、
制御弁V5 ,V3 を開にして逆止弁1の二次側を大気へ
開放し、その後制御弁V3 を閉に、制御弁V10を開にし
て、供給口11より窒素ガス(2. 03kgf/cm2
abs)を系内へ充填する。次に、制御弁V3 ,V10
閉に、制御弁V4 ,V6 ,V7 を開にし、真空ポンプ3
を運転して約10秒間系内を排気する。
(5) Purging operation of the check valve test device After each of the tests (1) to (4) is completed, finally, the He gas in the system is purged. First, as shown in FIG.
The control valves V 5 and V 3 are opened to open the secondary side of the check valve 1 to the atmosphere, then the control valve V 3 is closed, the control valve V 10 is opened, and the nitrogen gas ( 2.03 kgf / cm 2
abs) into the system. Next, the control valves V 3 and V 10 are closed, the control valves V 4 , V 6 and V 7 are opened, and the vacuum pump 3
Is operated to evacuate the system for about 10 seconds.
【0024】上述の如きN2 充填操作と真空排気操作と
複数回繰り返したあと、制御弁V3を開にし、更に気密
試験箱4を開放して、被検査逆止弁1を別のものと交換
する。
After the N 2 filling operation and the evacuation operation as described above are repeated a plurality of times, the control valve V 3 is opened, the airtight test box 4 is opened, and the check valve 1 to be inspected is replaced with another one. Exchange.
【0025】尚、本発明では、上記の(1)〜(5)の
各試験やパージ操作は、全て制御装置13からの指令に
より自動的に行われ、同様に、逆止弁1の各試験結果に
基づく合否の判定も制御装置13に於いて自動的に行わ
れる。
In the present invention, each of the tests (1) to (5) and the purging operation are automatically performed according to a command from the control device 13, and similarly, each test of the check valve 1 is performed. The pass / fail judgment based on the result is also automatically performed in the control device 13.
【0026】[0026]
【発明の効果】本件発明においては、被検査逆止弁1の
一次側にヘリウムリークディテクター2を接続し、当該
ヘリウムリークディテクター2により逆止弁1の一次側
を高真空度P1 に真空引きすると共に、逆止弁1の二次
側へヘリウム流量調整器5を通して所定流量のヘリウム
ガスを供給しつつ当該逆止弁1の一次側を真空ポンプ3
によって真空引きする構成としている。その結果、前記
真空ポンプ3による真空引き量を調整することにより、
被検査逆止弁1の二次側圧力P2 を所望の値に容易に調
整することができ、これにより、被検査逆止弁1の一次
・二次間の差圧△P(△P=P2 −P1 )が容易に且つ
正確に調整可能となり、ダイヤフラム型逆止弁等の逆閉
止圧力の極めて低い高性能逆止弁であっても、その逆閉
止圧力等を高精度で検出若しくは確認することが出来
る。
In the present invention, according to the present invention, it connects the helium leak detector 2 on the primary side of the test check valve 1, evacuated by the helium leak detector 2 primary side of the check valve 1 in a high vacuum P 1 At the same time, the helium gas at a predetermined flow rate is supplied to the secondary side of the check valve 1 through the helium flow controller 5 while the primary side of the check valve 1 is
The vacuum is drawn. As a result, by adjusting the amount of evacuation by the vacuum pump 3,
The secondary pressure P 2 of the inspection check valve 1 can be easily adjusted to a desired value, thereby, the pressure difference between the primary and secondary of the inspection check valve 1 △ P (△ P = P 2 -P 1 ) can be easily and accurately adjusted, and even if a high-performance check valve having a very low reverse closing pressure such as a diaphragm check valve, the reverse closing pressure or the like can be detected or detected with high accuracy. You can check.
【0027】また、本件発明においては、制御装置13
によって各制御弁の切替作動等を行うことにより、逆止
弁1に必要とするクラッキング圧力試験、逆閉止圧力試
験、低・高圧シートリーク試験、気密試験及びパージ操
作等を順序よく高能率でしかも高精度で実施することが
可能となる。本発明は上述の通り、優れた実用的効用を
奏するものである。
In the present invention, the control device 13
By performing switching operation of each control valve, the cracking pressure test, the reverse closing pressure test, the low / high pressure seat leak test, the airtightness test, the purge operation, and the like required for the check valve 1 are performed in a high efficiency and high order. It is possible to carry out with accuracy. As described above, the present invention has excellent practical utility.
【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]
【図1】本発明に係る逆止弁用試験装置の系統図であ
る。
FIG. 1 is a system diagram of a check valve test apparatus according to the present invention.
【図2】逆止弁のクラッキング圧力試験の実施説明図で
ある。
FIG. 2 is an explanatory view of an implementation of a cracking pressure test of a check valve.
【図3】逆止弁の逆閉止圧力試験の実施説明図である。FIG. 3 is an explanatory view of an implementation of a check pressure test of a check valve;
【図4】逆止弁の低圧及び高圧シートリーク試験の実施
説明図である。
FIG. 4 is an explanatory view of a low-pressure and high-pressure seat leak test of a check valve.
【図5】逆止弁の気密試験の実施説明図である。FIG. 5 is an explanatory view of an airtightness test of a check valve.
【図6】逆止弁用試験装置のパージ操作に於ける窒素充
填操作及び真空排気操作の実施説明図である。
FIG. 6 is an explanatory view of a nitrogen filling operation and a vacuum evacuation operation in a purge operation of the check valve test device.
【図7】従前の逆閉止圧力試験の実施説明図である。FIG. 7 is an explanatory view of a conventional reverse closing pressure test.
【図8】ダイヤフラム型逆止弁の一例を示すものであ
る。
FIG. 8 shows an example of a diaphragm check valve.
【符号の説明】[Explanation of symbols]
1は被検査逆止弁、2はヘリウムリークディテクター、
3は真空ポンプ、4は気密試験箱、5はヘリウム流量調
整器、6は窒素流量調整器、7は一次側圧力計、8は二
次側圧力計、9,10はヘリウムガス供給口、11は窒
素ガス供給口、12は排気口、13は制御装置、V1
12は制御弁。
1 is a check valve to be inspected, 2 is a helium leak detector,
3 is a vacuum pump, 4 is an airtight test box, 5 is a helium flow regulator, 6 is a nitrogen flow regulator, 7 is a primary pressure gauge, 8 is a secondary pressure gauge, 9 and 10 are helium gas supply ports, 11 Is a nitrogen gas supply port, 12 is an exhaust port, 13 is a control device, V 1 to
V 12 the control valve.
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01M 13/00 G01M 3/02 G01M 3/20 G01M 3/26 Continuation of the front page (58) Field surveyed (Int. Cl. 7 , DB name) G01M 13/00 G01M 3/02 G01M 3/20 G01M 3/26

Claims (4)

    (57)【特許請求の範囲】(57) [Claims]
  1. 【請求項1】 被検査逆止弁(1)の一次側に制御弁
    (V8 )を介設して連結したヘリウムリークディテクタ
    ー(2)と;前記被検査逆止弁(1)の二次側に制御弁
    (V2 )を介設して連結したヘリウム流量調整器(5)
    と;前記ヘリウム流量調整器(5)へ制御弁(V1 )を
    通してヘリウムガスを供給するヘリウムガス供給口
    (9)と;前記制御弁(V2 )の出口側に制御弁
    (V4 )を介設して連結した真空ポンプ(3)と;前記
    被検査逆止弁(1)の一次側圧力を計測する圧力計
    (7)及び二次側圧力を計測する圧力計(8)とから構
    成したことを特徴とする逆止弁用試験装置。
    1. A helium leak detector which is connected by interposed a control valve (V 8) on the primary side of the test check valve (1) (2); the secondary inspection check valve (1) Helium flow regulator (5) connected via a control valve (V 2 ) on the side
    When, the helium flow regulator (5) to the control valve (V 1) helium gas supply port for supplying helium gas through (9) and; control valve on the outlet side of said control valve (V 2) to (V 4) A vacuum pump (3) interposed and connected; a pressure gauge (7) for measuring the primary pressure of the check valve (1) and a pressure gauge (8) for measuring the secondary pressure. A test device for a check valve.
  2. 【請求項2】 被検査逆止弁(1)を着脱自在に収納す
    る気密試験箱(4)と;前記気密試験箱(4)内の被検
    査逆止弁(1)の一次側へ制御弁(V8 )を介設して、
    及び気密試験箱(4)の内部へ制御弁(V12)を介設し
    て夫々連結したヘリウムリークディテクター(2)と;
    前記被検査逆止弁(1)の二次側に制御弁(V5 )及び
    制御弁(V2 )を介設して連結したヘリウム流量調整器
    (5)と;前記ヘリウム流量調整器(5)へ制御弁(V
    1 )を通して低圧ヘリウムガス又は高圧ヘリウムガスを
    切換的に供給するヘリウムガス供給口(9)と;前記制
    御弁(V2 )と制御弁(V5 )との接続管路へ制御弁
    (V4 )を介設して、また前記制御弁(V8 )と被検査
    逆止弁(1)との接続管路へ制御弁(V7 )を介設し
    て、更に前記気密試験箱(4)の内部へ制御弁(V6
    を介設して夫々連結した真空ポンプ(3)と;前記被検
    査逆止弁(1)の一次側圧力を計測する圧力計(7)及
    び二次側圧力を計測する圧力計(8)と;前記被検査逆
    止弁(1)の一次側へ制御弁(V11)を通して高圧ヘリ
    ウムを供給するヘリウムガス供給口(10)と;前記被
    検査逆止弁(1)の一次側へ制御弁(V10)を介設して
    連結した窒素流量調整器(6)と;前記窒素流量調整器
    (6)へ制御弁(V9 )を通して窒素ガスを供給する窒
    素ガス供給口(11)と;被検査逆止弁(1)の二次側
    へ制御弁(V3 )を通して連結した排気口(12)と;
    前記各制御弁(V1 〜V12)及び各流量調整器(5),
    (6)の作動を制御すると共に両圧力計(7),(8)
    及びヘリウムリークディテクター(2)の計測値より試
    験結果の合否を判定表示する制御装置(14)とより構
    成したことを特徴とする逆止弁用検査装置。
    2. An airtight test box (4) for removably storing a check valve (1) to be inspected; and a control valve to a primary side of the check valve (1) in the airtight test box (4). (V 8 )
    And internal to the control valve of the gas-tight test chamber (4) and (V 12) and interposed respectively connected helium leak detector (2);
    The secondary side control valve of the inspection check valve (1) (V 5) and the control valve (V 2) Helium flow controller which is connected by interposed a (5); the helium flow regulator (5 ) To the control valve (V
    1) through the low-pressure helium gas or high-pressure helium gas switching interchangeably to supply helium gas supply port (9) and, the control valve (V 2) and the control valve (V 5) and the control valve to the connection conduit (V 4 ), And a control valve (V 7 ) to the connection line between the control valve (V 8 ) and the check valve (1) to be inspected, and further the airtight test box (4) Control valve (V 6 )
    A vacuum gauge (7) for measuring the primary pressure and a pressure gauge (8) for measuring the secondary pressure of the check valve (1). ; the control valve to the primary side of the test check valve (1) the helium gas supply port for supplying the high-pressure helium through (V 11) (10) and; control valve wherein the primary side of the test check valve (1) A nitrogen flow regulator (6) connected via a (V 10 ); a nitrogen gas supply port (11) for supplying nitrogen gas to the nitrogen flow regulator (6) through a control valve (V 9 ); exhaust port connected through the control valve to the secondary side of the test check valve (1) (V 3) and (12);
    The control valves (V 1 to V 12 ) and the flow regulators (5),
    Controls the operation of (6) and both pressure gauges (7), (8)
    And a control device (14) for judging and displaying the success or failure of the test result from the measured value of the helium leak detector (2).
  3. 【請求項3】 気密試験箱(4)を、被検査逆止弁
    (1)の一次側及び二次側を各管路へ自動的に連結する
    自動連結機構を備えた構成とした請求項2に記載の逆止
    弁用試験装置。
    3. The airtight test box (4) is provided with an automatic connection mechanism for automatically connecting the primary side and the secondary side of the check valve (1) to be inspected to each pipeline. 3. The test device for a check valve according to claim 1.
  4. 【請求項4】 被試験逆止弁(1)の二次側を大気へ連
    通させると共にその一次側をヘリウムリークディテクタ
    ー(2)の真空ポンプによって高真空に保持し、次に、
    被検査逆止弁(1)の二次側の前記大気への連通を遮断
    したあと、ヘリウム流量調整器(5)を通して被検査逆
    止弁(1)の二次側へヘリウムガスを供給しつつ被検査
    逆止弁(1)の二次側を真空ポンプ(3)によって順次
    排気し、前記被検査逆止弁(1)の二次側圧力P2 と一
    次側圧力P1 との差△Pを所望の設定値とした場合に於
    けるヘリウムリークディテクター(2)の検出値から、
    被検査逆止弁の逆閉止圧力を検査することを特徴とする
    逆止弁の試験方法。
    4. The check valve (1) under test is connected to the secondary side to the atmosphere and the primary side is maintained at a high vacuum by a vacuum pump of a helium leak detector (2).
    After shutting off the communication of the secondary side of the check valve (1) with the atmosphere, the helium gas is supplied to the secondary side of the check valve (1) through the helium flow regulator (5). the secondary side of the test check valve (1) are sequentially evacuated by vacuum pump (3), the difference between the secondary pressure P 2 and the primary side pressure P 1 of the inspection check valve (1) △ P From the detected value of the helium leak detector (2) when
    A check method for a check valve, comprising: checking a check closing pressure of a check valve to be inspected.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20130047001A (en) * 2011-10-31 2013-05-08 대우조선해양 주식회사 Leakage testing apparatus for double check valve and its testing method
WO2019004401A1 (en) * 2017-06-30 2019-01-03 株式会社キッツ Device for inspecting valve seat and pressure resistance of valve, method for inspecting same, and valve

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4596472B2 (en) * 2005-09-09 2010-12-08 株式会社東京自働機械製作所 Check valve inspection device and method
CN104019973B (en) * 2014-06-12 2017-01-11 珠海格力电器股份有限公司 Detection device and method of valve block spring of refrigerant filter
WO2018003977A1 (en) * 2016-06-30 2018-01-04 株式会社キッツ Apparatus and method for pressure resistance test for valve, and hydrogen gas-detection unit
KR102266496B1 (en) * 2020-04-01 2021-06-18 주식회사 성우테크윈 Air flow control valve performance test simulation device

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20130047001A (en) * 2011-10-31 2013-05-08 대우조선해양 주식회사 Leakage testing apparatus for double check valve and its testing method
KR101938164B1 (en) * 2011-10-31 2019-04-12 대우조선해양 주식회사 Leakage testing apparatus for double check valve and its testing method
WO2019004401A1 (en) * 2017-06-30 2019-01-03 株式会社キッツ Device for inspecting valve seat and pressure resistance of valve, method for inspecting same, and valve

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