JP4605927B2

JP4605927B2 - Leak test equipment

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Publication number: JP4605927B2
Application number: JP2001077134A
Authority: JP
Inventors: 一成久保田; 哲也馬渕; 裕三太田
Original assignee: Yamaha Fine Technologies Co Ltd
Current assignee: Yamaha Fine Technologies Co Ltd
Priority date: 2001-03-16
Filing date: 2001-03-16
Publication date: 2011-01-05
Anticipated expiration: 2021-03-16
Also published as: JP2002277342A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被試験体内又はチャンバ内にトレーサガス（Ｈｅ等）を導入し、被試験体のトレーサガスの漏れの有無又は許容限度以上の漏れがあるか否かを判定する漏洩試験装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、漏洩試験装置（リークテスタ）として、以下に示すものがある。図９は、従来の漏洩試験装置を示す模式図である。図９に示すように、従来の漏洩試験装置においては、真空チャンバ１１２はその内側に、被試験体（ワーク）１１１を気密的に格納することができる。この被試験体１１１はパイプ１１７に連結されており、このパイプ１１７はチャンバ１１２の外側に気密的に導出されている。そして、このパイプ１１７を介して被試験体１１１が排気ポンプ１１６に連結されている。このパイプ１１７にはバルブＶ１２が設けられている。また、このパイプ１１７には、空気源１２１及びトレーサガス供給源１２２が夫々パイプ１２３及び１２４を介して接続されており、被試験体１１１の内部に夫々エアー（空気）及びトレーサガス（Ｈｅ等）を導入するようになっている。パイプ１２３及びパイプ１２４には、夫々バルブＶ１４及びバルブＶ１５が設けられており、被試験体１１１に導入するエアー及びトレーサガスの流量を夫々バルブＶ１４及びバルブＶ１５の開度及び開閉時間により調整することができる。
【０００３】
一方、真空チャンバ１１２はパイプ１１８に連結されており、このパイプ１１８は排気ポンプ１１５に連結されている。また、このパイプ１１８にはバルブＶ１１が設けられている。更に、パイプ１１８には空気源１２５がパイプ１２６を介して接続されており、チャンバ１１２内にエアーを導入するようになっている。このパイプ１２６にはバルブＶ１３が設けられており、チャンバ１１２に導入するエアの流量をバルブＶ１３の開度及び開閉時間により調整することができる。圧力センサ１１４は、パイプ１１７に接続されており、被試験体１１１内の圧力を検出する。また、チャンバ１１２には、パイプ１２８によりトレーサガス検知器１１３に連結されている。このパイプ１２８には、センシングバルブ（センサ配管）Ｖ１６が設けられている。
【０００４】
次に、このように構成された従来の漏洩試験装置を使用した漏洩試験方法について説明する。なお、予め、トレーサガス検知器が正常に作動して確実に漏れを検出するための被試験体１１１内の圧力の最大許容値が求められているとする。
【０００５】
先ず、チャンバ１１２内に被試験体１１１を装入し、被試験体１１１とパイプ１１７とを連結する。次に、排気ポンプ１１５，１１６を駆動し、バルブＶ１１，Ｖ１２を開にして、チャンバ１１２内及び被試験体１１１内を排気する。このとき、被試験体１１１の内の圧力を圧力センサ１１４で検出しながら、被試験体１１１内の圧力がトレーサガス検知器１１３が正常に動作する規定の圧力（最大許容値）以下になるように真空引きし、バルブＶ１１を閉じる。次に、センシングバルブＶ１６を開け、チャンバ１１２と検出器１１３を接続する。その後、バルブＶ１２を閉じ、バルブＶ１５を開いて、被試験体１１１内にトレーサガスを導入する。そして、トレーサガス検知器１１３により被試験体１１１から漏れて出たトレーサガスを検出する。ここで、被試験体１１１に漏れがあれば、漏れ出てきたトレーサガスはセンシングバルブＶ１６を通じてトレーサガス検知器１１３で検出される。そして、所定時間経過後の値（リークレート値）と、予め決められたしきい値とが比較され、リークレート値がしきい値以下か否かにより、被試験体１１１が合格か否かが決定される。
【０００６】
試験の終了後は、以下のようにして大気圧まで戻す。先ず、バルブＶ１５、Ｖ１６を閉じ、バルブＶ１２を開け、被試験体１１１内のトレーサガスを排気する。そして、バルブＶ１３，Ｖ１４を開け、被試験体１１１及びチャンバ１１２内へ大気を導入して、被試験体１１１及びチャンバ１１２の圧力を大気圧にまで戻す。その後、チャンバ１１２内から被試験体１１１を取り出す。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の技術においては、パイプ１１７に接続された圧力センサ１１４により、被試験体１１１内の圧力を検出していたため、空気の排気及びトレースガス導入時に気体の流動が生じ、この気体の流動による圧力損失により、ワーク内の圧力が正確に検出できないという問題点がある。
【０００８】
また、被試験体内の圧力を正確に検出するために、パイプ１１７に接続された圧力センサ１１４とは別に、図９に示すように、被試験体１１１に連結され、チャンバ１１２の外側へ気密的に導出されたパイプ１２０と、このパイプ１２０に連結された圧力センサ１２７とを設け、被試験体１１１内の圧力を検出することもできるが、この場合、毎回、漏洩試験の度にパイプ１２０を被試験体１１１に接続する必要がある。更に、被試験体１１１に、パイプ１２０を接続するための連通口を設ける必要があるという問題点がある。
【０００９】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、被試験体内の圧力を、試験工数を増加することなく正確に計測し、被試験体の漏れを極めて高い精度で検出することができる漏洩試験装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本願第１発明に係る漏洩試験装置は、被試験体を気密的に格納可能のチャンバと、このチャンバ内を排気するチャンバ内排気手段と、前記チャンバ内のトレーサガスを検出するトレーサガス検出手段と、前記チャンバの外部に設けられ前記被試験体内を排気する被試験体内排気手段と、前記被試験体の内部にトレーサガスを供給するトレーサガス供給部と、前記チャンバの外部に設けられた圧力センサと、前記被試験体と前記被試験体内排気手段とを連結する排気配管と、一端部が前記排気配管内に挿入されその先端が前記被試験体の排気部又は前記被試験体内部に配置され他端部が前記圧力センサに接続されたセンサ配管と、前記圧力センサによる前記被試験体内の圧力検出結果をもとに前記被試験体内排気手段による排気を制御する制御手段と、を有し、
前記センサ配管と前記排気配管とはその一部において二重構造を有し、
前記制御手段は、前記圧力センサによる前記被試験体内の圧力検出値が所定値以下に達した後、前記被試験体内に前記トレーサガスを導入するために前記被試験体内排気手段及び前記トレーサガス供給部を制御し、
前記トレーサガス供給部は、前記排気配管内にトレーサガスを供給するものであり、
前記センサ配管は、前記排気配管における前記トレーサガスの供給位置よりも前記被試験体よりの位置にて前記排気配管から外部に出て、前記圧力センサに接続されている
ことを特徴とする。
【００１１】
本願第２発明に係る漏洩試験装置は、被試験体を気密的に格納可能のチャンバと、このチャンバ内を排気するチャンバ内排気手段と、前記チャンバ内のトレーサガスを検出するトレーサガス検出手段と、前記チャンバの外部に設けられ前記被試験体内を排気する被試験体内排気手段と、前記被試験体の内部にトレーサガスを供給するトレーサガス供給部と、前記チャンバの外部に設けられた圧力センサと、前記被試験体と前記圧力センサとを連結するセンサ配管と、一端部が前記センサ配管内に挿入されてその先端が前記センサ配管と前記被試験体との接続部又はそれより手前に配置され他端部が前記被試験体内排気手段に接続された排気配管と、前記圧力センサによる前記被試験体内の圧力検出結果をもとに前記被試験体内排気手段による排気を制御する制御手段と、を有し、
前記センサ配管と前記排気配管とはその一部において二重構造を有し、
前記制御手段は、前記圧力センサによる前記被試験体内の圧力検出値が所定値以下に達した後、前記被試験体内に前記トレーサガスを導入するために前記被試験体内排気手段及び前記トレーサガス供給部を制御し、
前記トレーサガス供給部は、前記排気配管内にトレーサガスを供給するものであり、
前記排気配管が前記センサ配管から外部に出る位置は、前記排気配管における前記トレーサガスの供給位置よりも前記被試験体よりの位置である
ことを特徴とする。
【００１２】
本願第３発明に係る漏洩試験装置は、被試験体を気密的に格納可能のチャンバと、前記被試験体内を排気する被試験体内排気手段と、前記被試験体内のトレーサガスを検出するトレーサガス検出手段と、前記チャンバ内を排気するチャンバ内排気手段と、前記チャンバの内部にトレーサガスを供給するトレーサガス供給部と、前記チャンバの外部に設けられた圧力センサと、前記チャンバと前記チャンバ内排気手段とを連結する排気配管と、一端部が前記排気配管内に挿入されその先端が前記チャンバの排気部又は前記チャンバ内部に配置され他端部が前記圧力センサに接続されたセンサ配管と、前記圧力センサによる前記チャンバ内の圧力検出結果をもとに前記チャンバ内排気手段による排気を制御する制御手段と、を有し、
前記センサ配管と前記排気配管とはその一部において二重構造を有し、
前記制御手段は、前記圧力センサによる前記チャンバ内の圧力検出値が所定値以下に達した後、前記チャンバ内に前記トレーサガスを導入するために前記チャンバ内排気手段及び前記トレーサガス供給部を制御し、
前記トレーサガス供給部は、前記排気配管内にトレーサガスを供給するものであり、
前記センサ配管は、前記排気配管における前記トレーサガスの供給位置よりも前記被試験体よりの位置にて前記排気配管から外部に出て、前記圧力センサに接続されている
ことを特徴とする。
【００１３】
本願第４発明に係る漏洩試験装置は、被試験体を気密的に格納可能のチャンバと、前記被試験体内を排気する被試験体内排気手段と、前記被試験体内のトレーサガスを検出するトレーサガス検出手段と、前記チャンバ内を排気するチャンバ内排気手段と、前記チャンバの内部にトレーサガスを供給するトレーサガス供給部と、前記チャンバの外部に設けられた圧力センサと、前記チャンバと前記圧力センサとを連結するセンサ配管と、一端部が前記センサ配管内に挿入されてその先端が前記センサ配管と前記チャンバとの接続部又はそれより手前に配置され他端部が前記チャンバ内排気手段に接続された排気配管と、前記圧力センサによる前記チャンバ内の圧力検出結果をもとに前記チャンバ内排気手段による排気を制御する制御手段と、を有し、
前記センサ配管と前記排気配管とはその一部において二重構造を有し、
前記制御手段は、前記圧力センサによる前記チャンバ内の圧力検出値が所定値以下に達した後、前記チャンバ内に前記トレーサガスを導入するために前記チャンバ内排気手段及び前記トレーサガス供給部を制御し、
前記トレーサガス供給部は、前記排気配管内にトレーサガスを供給するものであり、
前記排気配管が前記センサ配管から外部に出る位置は、前記排気配管における前記トレーサガスの供給位置よりも前記被試験体よりの位置である
ことを特徴とする。
【００１５】
本発明においては、圧力センサが、先端が前記被試験体の排気部又は前記被試験体内部に配置されたセンサ配管か、若しくは、前記被試験体に連結されたセンサ配管か、又は、先端が前記チャンバの排気部又は前記チャンバ内部に配置されたセンサ配管か、若しくは、前記チャンバに連結されたセンサ配管に接続されているため、被試験体内又はチャンバ内の気体排気時における気体流動による圧力損失の影響を受けずに、被試験体内又はチャンバ内の圧力を極めて正確に検出することができる。そして、この圧力センサによる被試験体内又はチャンバ内の圧力検出結果をもとに、前記被試験体内排気手段又は前記チャンバ内排気手段による排気を制御するため、トレーサガスの導入前に、被試験体内又はチャンバ内を極めて高精度で排気でき、被試験体の漏れ検出精度が極めて高い。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例について、添付の図面を参照して具体的に説明する。図１は、本発明の第１の参考例に係る漏洩試験装置を示す模式図である。
【００１７】
図１に示すように、真空チャンバ１２はその内側に、検査対象である被試験体１１を気密的に格納可能になっている。この被試験体１１はパイプ（排気配管）１７に連結されており、このパイプ１７はチャンバ１２の外側に気密的に導出され、排気ポンプ１６に連結されている。このパイプ１７にはバルブＶ２が設けられており、このバルブＶ２の開度により被試験体１１内から排気する気体の流量を調整することができる。また、また、このパイプ１７には、空気源２１及びトレーサガス供給源２２が夫々パイプ２３及び２４を介して接続されており、被試験体１１の内部に夫々エアー（空気）及びトレーサガス（Ｈｅ等）を導入するようになっている。パイプ２３及びパイプ２４には、夫々バルブＶ４及びバルブＶ５が設けられており、被試験体１１に導入するエアー及びトレーサガスの流量を夫々バルブＶ４及びバルブＶ５の開度により調整することができる。更に、パイプ１７の直径Ｄ１よりも径が小さい直径Ｄ２のパイプ（センサ配管）１９の一端部がパイプ１７内に挿入されており、このパイプ１９の先端が被試験体１１の排気部に配置されている。パイプ１９の他端部はパイプ１７から導出されている。パイプ１９を導出するため、パイプ１７にはパイプ２３、２４の接続位置よりもチャンバ１２から離隔した位置に貫通穴が設けられ、この貫通穴からパイプ１９が気密的に導出されており、被試験体１１内の圧力を検出する圧力センサ１４に接続されている。なお、被試験体１１の排気部とは、被試験体１１とパイプ１７との連結部である。また、パイプ１９の先端は、被試験体１１内部に延出されていてもよい。更に、パイプ１９を導出する貫通穴は、いずれの位置に形成してもよく、例えば、パイプ１７及び２３の接続部と、パイプ１７及び２４の接続部との間に形成してもよい。
【００１８】
一方、真空チャンバ１２はパイプ１８に連結されており、このパイプ１８は排気ポンプ１５に連結されている。パイプ１８にはバルブＶ１が設けられ、このバルブＶ１の開度により、チャンバ１２内から排気される気体の流量を調整することができる。更に、パイプ１８には空気源２５がパイプ２６を介して接続されており、チャンバ１２内にエアーを導入するようになっている。このパイプ２６にはバルブＶ３が設けられており、チャンバ１２に導入するエアの流量をバルブＶ３の開度及び開閉時間により調整することができる。なお、パイプ１８に接続するパイプ２６及びバルブＶ３を設けず、チャンバ１２にパイプ２７を接続し、このパイプ２７にバルブＶ７を設けて、このバルブＶ７の開閉により、チャンバ１２内に大気を導入してもよい。更に、チャンバ１２にパイプ２８が接続され、このパイプ２８にトレーサガス検知器１３が連結されている。パイプ２８には、センシングバルブＶ６が設けられている。
【００１９】
以下、本参考例に係る漏洩試験装置を使用した漏洩試験方法について説明する。なお、予め、トレーサガス検知器が正常に作動して確実に漏れを検出するための被試験体１１内の圧力の最大許容値が求められているとする。
【００２０】
先ず、チャンバ１２に被試験体１１を配置する。トレーサガス導入管１７の先端部を被試験体１１のトレーサガス供給口に直接又はカプラー等を介して接続し、チャンバ１２の扉を閉めて密閉状態にする。
【００２１】
次に、チャンバ真空引きバルブＶ１を開け、チャンバ１２内の気体を所定の圧力まで真空引きすると同時に、試験体真空引きバルブＶ２を開け、被試験体１１に接続された配管１７から被試験体１１内の気体を所定の圧力まで真空引きする。このとき、圧力センサ１４で被試験体１１内の圧力を検出しつつ、被試験体１１内の圧力が規定の圧力（最大許容値）以下になるまで真空引きする。
【００２２】
バルブＶ１を閉た後、センシングバルブＶ６を開け、チャンバ１２とトレーサガス用検出器１３とを接続する。そして、バルブＶ２を閉じ、バルブＶ５を開けてトレーサガス供給源から所定圧力のトレーサガスを被試験体１１内へ供給する。ここで、もし、被試験体１１に漏れがあれば、漏れ出てきたトレーサガスはセンシングバルブＶ６を通じてトレーサガス検知器１３で検出される。そして、所定時間経過後の値（リークレート値）と、予め決められたしきい値とが比較され、リークレート値がしきい値以下か否かにより、被試験体１１が合格か否かが決定される。
【００２３】
合否の判定が終わると、以下の手順で被試験体１１及びチャンバ１２を大気圧まで戻す。先ず、チャンバ１２とトレーサガス検知器１３とを接続するバルブＶ６と、トレーサガスを被試験体１１に導入するバルブＶ５とを閉じる。そして、バルブＶ２を開けて、被試験体１１内のトレーサガスを排気ポンプ１６により排出し、次いでバルブＶ４及びバルブＶ３を開け、夫々被試験体１１及びチャンバ１２に大気を導入する。また、バルブＶ３を設けず、チャンバ１２にバルブＶ７を設けた場合は、バルブＶ７を開けることにより、チャンバ１２内に大気を導入してもよい。その後、チャンバ１２の扉を開けて被試験体１１を取り出し、リークテストを終了する。その後、別の被試験体１１をチャンバ内に置き、同様のリークテストを繰り返す。
【００２４】
なお、本参考例においては、圧力センサ１４は、被試験体１１内の圧力を検出するものとしたが、圧力センサ１４をチャンバ１２に接続されたパイプ１８に接続し、被試験体内の圧力とチャンバ１２内の圧力差を検出できるものとしてもよい。
【００２５】
このように、漏洩試験においては、被試験体１１内の大気を所定の圧力以下に真空引きした後、トレーサガスを導入する。この際、被試験体１１に漏れがあると被試験体１１からトレーサガスがチャンバ１２内へ漏れだすため、この漏れだしたトレーサガスをトレーサガス検知器１３により検出するが、トレーサガスの導入に先立ち、被試験体１１内の圧力が規定の圧力値以下になるように排気されていないと、被試験体１１からトレーサガスと共に大気がチャンバ内に漏れだしてしまい、トレーサガス検知器１３によるトレーサガス検出精度が低下してしまう。トレーサガス検出精度を向上させて、漏洩試験の精度を向上させるためには、トレーサガスの導入に先立ち、被試験体１１内の圧力が規定値以下になるように排気することが必要である。
【００２６】
本参考例においては、被試験体１１内に大気及びトレーサガスを供給するため及び被試験体１１から大気及びトレーサガスを排出するためのパイプ１７とは別に、パイプ１９を被試験体１１の排気部に配置し、このパイプ１９に被試験体１１内の圧力を検出するための圧力センサ１４を接続したため、大気及びトレーサガスの気体流動による圧力損失の影響を受けずに圧力センサ１４により被試験体１１内の圧力を高精度で検出できる。従って、被試験体１１内を排気する際には、排気ポンプ１６の排気をバルブＶ２の開閉により正確に制御して被試験体１１内の圧力を正確に規定圧力以下に真空引きすることができるため、被試験体１１に漏れがある場合に被試験体１１からのトレーサガスの漏れを正確に検出することができ、漏洩試験の精度が極めて高いものとなる。
【００２７】
次に、本発明の第１の実施例について説明する。図２は、本実施例の漏洩試験装置を示す模式図である。なお、図２に示す第１の実施例において、図１に示す第１の参考例と同一の構成要素には、同一の符号を付してその詳細な説明は省略する。
【００２８】
第１の参考例においては、被試験体に対して大気及びトレーサガスの導入及び排気を行うパイプ１７内に圧力検出用のパイプ１９を挿入したものであったが、本実施例においては、図２に示すように、パイプ３７の直径Ｄ１より小さい直径Ｄ３のパイプ３９が、パイプ３７内に挿入され、その一端部が被試験体１１の排気部に配置されている。パイプ３９の他端部は、パイプ３７に設けられた貫通孔からパイプ３７の外側へ気密的に導出され、被試験体１１内の圧力を検出する圧力センサ１４に接続されている。パイプ３７には、空気源２１及びトレーサガス供給源２２が夫々パイプ３３及び３４を介して接続されており、被試験体１１の内部に夫々エアー（空気）及びトレーサガス（Ｈｅ等）を導入するようになっている。パイプ３３及びパイプ３４には、夫々バルブＶ４及びバルブＶ５が設けられており、被試験体１１に導入するエアー及びトレーサガスの流量を夫々バルブＶ４及びバルブＶ５の開度により調整することができる。その他の構成は、第１の参考例と同様である。
【００２９】
このように構成された本実施例の漏洩装置を使用して漏洩試験を行うと、パイプ３９がパイプ３７から導出される貫通孔が、パイプ３３、３４よりもチャンバ１２に近い位置に形成されており、被試験体１１と圧力センサ１４とを連結するパイプ３９が短いため、圧力センサ１４の応答性が高くなり、また、被試験体１１内の圧力検出精度が向上する。
【００３０】
また、本実施例においても、第１の参考例と同様に、被試験体１１内の気体を排気し、被試験体１１内へ気体を供給するためのパイプ３７とは別に、圧力検出用のパイプ３９を設けたため、パイプ３７内の気体流動に関係なく被試験体１１内の圧力を高精度で検出でき、漏洩試験の精度が極めて高い。
【００３１】
次に、本発明の第２の参考例について説明する。図３は、本参考例に係る漏洩試験装置を示す模式図である。本参考例においては、図３に示すように、チャンバ１２には直径Ｄ１のパイプ４９が連結されている。このパイプ４９はチャンバ１２の外側に気密的に導出され、圧力センサ１４に接続されている。また、パイプ４９の直径Ｄ１より径が小さい直径Ｄ４のパイプ４７の一端部がパイプ４９の内部に挿入され、その先端が被試験体１１内まで延出され被試験体１１の排気部に配置されている。パイプ４７の他端部はパイプ４９に設けられた貫通孔からパイプ４９の外側へ気密的に導出され排気ポンプ１６に接続されている。パイプ４７は、パイプ４９の外側に気密的導出されているため、パイプ４９内に大気が流入しない。また、このパイプ４７には、パイプ４３及びパイプ４４が接続され、パイプ４９の外側に気密的に導出されている。そして、パイプ４９の外側において、パイプ４３及びパイプ４４が夫々空気源２１及びトレーサガス源２２に連結されて、被試験体１１に夫々大気及びトレーサガスを導入するようになっている。このパイプ４３及びパイプ４４には夫々バルブＶ４及びバルブＶ５が設けられ、被試験体１１に導入するエアー及びトレーサガスの流量を夫々バルブＶ４及びバルブＶ５の開度により調整することができる。その他の構成は、第１の参考例と同様である。
【００３２】
このように構成された本参考例においては、圧力センサ１４と被試験体１１とを連結するパイプ４９の直径が大きいため、圧力センサ１４の応答性が高く、被試験体１１内の圧力を精度よく検出できる。また、本実施例においても、第１の参考例と同様の効果を奏する。
【００３３】
次に、本発明の第２の実施例について説明する。図４は、本実施例の漏洩試験装置を示す模式図である。図４に示すように、被試験体１１に連結され、チャンバ１２の外側へ気密的に導出される直径Ｄ１のパイプ５９に被試験体１１内の圧力を検出する圧力センサ１４が接続されている。また、パイプ５９の直径Ｄ１より小さい直径Ｄ５のパイプ５７の一端部がパイプ５９の内部に挿入され、その先端が被試験体１１の排気部に配置されている。パイプ５７の他端部は、パイプ５９に設けられた貫通孔からパイプ５９の外側に気密的に導出され、被試験体１１内の気体を吸引する排気ポンプ１６に接続されている。更に、パイプ５９から導出されたパイプ５７には、パイプ５９の外側でパイプ５３及び５４を介して夫々空気源２１及びトレーサガス源２２に接続されている。パイプ５３及び５４には、夫々バルブＶ４及びＶ５が設けられ、被試験体１１に導入するエアー及びトレーサガスの流量を夫々バルブＶ４及びバルブＶ５の開度により調整することができる。その他の構成及び漏洩試験方法は、第１の参考例と同様である。
【００３４】
このように構成された本実施例においては、圧力センサ１４と被試験体１１とを連結するパイプ５９が第２の参考例よりも短いため、更に圧力センサ１４の応答性が高く、被試験体１１内の圧力検出精度が向上する。更に、パイプ５９の外側に導出されたパイプ５７にパイプ５３及び５４を接続し、これに夫々空気源２１及びトレーサガス源２２を接続するため、パイプ５９にパイプ５３及び５４の貫通穴を設けてパイプ５９から気密的に導出する必要がなく、装置が簡便になる。また、本実施例においても、第１の参考例と同様の効果を奏する。
【００３５】
なお、上述の第１及び第２の実施例、並びに第１及び第２の参考例は、いずれも、被試験体１１にトレーサガスを導入し、チャンバ１２内へ漏れ出てくるトレーサガスを検出するものとしたが、以下に示す第３及び第４実施例、並びに第３及び第４の参考例のように、チャンバ１２内にトレーサガスを導入し、被試験体１１内へ漏れ出てくるトレーサガスを検出するようにしてもよい。この場合、被試験体１１とトレーサガス検知器とを接続し、チャンバと圧力センサとを接続する。また、チャンバには、チャンバ内の大気及びトレーサガスを排気する排気ポンプ、チャンバ内へトレーサガス及び大気を導入する夫々トレーサガス供給源及び空気供給源を接続する。
【００３６】
次に、本発明の第３の参考例について説明する。図５は、本参考例の漏洩試験装置を示す模式図である。なお、図５に示す第３の参考例において、図１に示す第１の参考例と同一の構成要素には、同一の符号を付してその詳細な説明は省略する。
【００３７】
本参考例においては、図５に示すように、図１に示す第１の参考例と比較して、被試験体１１とトレーサガス検知器１３とがパイプ２８により接続され、パイプ１７、１９がチャンバ１２に接続されており、更に、パイプ１８が被試験体１１に接続されている点が異なり、それ以外の構成は第１の参考例と同様である。即ち、本参考例では、排気ポンプ１６はチャンバ１２内を排気し、空気源２１及びトレーサガス供給源２２はチャンバ１２内にエアー及びトレーサガスを導入し、排気ポンプ１５は被試験体１１内を排気し、空気源２５は被試験体１１内にエアーを供給する。本参考例においても、第１の参考例と同様の効果を得ることができる。
【００３８】
次に、本発明の第３の実施例について説明する。図６は、本実施例の漏洩試験装置を示す模式図である。なお、図６に示す第３の実施例において、図２に示す第１の実施例と同一の構成要素には、同一の符号を付してその詳細な説明は省略する。
【００３９】
本実施例においては、図６に示すように、第１の実施例と比較して、被試験体１１とトレーサガス検知器１３とがパイプ２８により接続され、パイプ３７、３９がチャンバ１２に接続されており、更に、パイプ１８が被試験体１１に接続されている点が異なり、それ以外の構成は第１の実施例と同様である。本実施例においても、第１の実施例と同様の効果を得ることができる。
【００４０】
次に、本発明の第４の参考例について説明する。図７は、本参考例の漏洩試験装置を示す模式図である。なお、図７に示す第４の参考例において、図３に示す第２の参考例と同一の構成要素には、同一の符号を付してその詳細な説明は省略する。
【００４１】
本参考例においては、図７に示すように、第２の参考例と比較して、被試験体１１とトレーサガス検知器１３とがパイプ２８により接続され、パイプ４７、４９がチャンバ１２に接続されており、更に、パイプ１８が被試験体１１に接続されている点が異なり、それ以外の構成は第２の参考例と同様である。本参考例においても、第２の参考例と同様の効果を得ることができる。
【００４２】
次に、本発明の第４の実施例について説明する。図８は、本実施例の漏洩試験装置を示す模式図である。なお、図８に示す第４の実施例において、図４に示す第２の実施例と同一の構成要素には、同一の符号を付してその詳細な説明は省略する。
【００４３】
本実施例においては、図８に示すように、第２の実施例と比較して、被試験体１１とトレーサガス検知器１３とがパイプ２８により接続され、パイプ５７、５９がチャンバ１２に接続されており、更に、パイプ１８が被試験体１１に接続されている点が異なり、それ以外の構成は第２の実施例と同様である。本実施例においても、第２の実施例と同様の効果を得ることができる。
【００４４】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明によれば、被試験体内にトレーサガスを導入する場合は、被試験体内の排気を行う排気配管とは別に、一端部が被試験体の排気部又は被試験体内部に配置され他端部が圧力センサに接続されたセンサ配管を設けたため、被試験体内の圧力を正確に検出でき、この正確な圧力検出結果をもとに被試験体内の排気を制御するため、漏洩試験の精度を著しく向上させることができる。
【００４５】
一方、チャンバ内にトレーサガスを導入する場合は、排気配管とは別に、一端部がチャンバの排気部又はチャンバ内部に配置され他端部が圧力センサに接続されたセンサ配管を設けたため、チャンバ内の圧力を正確に検出でき、この正確な圧力検出結果をもとにチャンバ内の排気を制御するため、漏洩試験の精度を著しく向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の参考例に係る漏洩試験装置を示す模式図である。
【図２】本発明の第１の実施例に係る漏洩試験装置を示す模式図である。
【図３】本発明の第２の参考例に係る漏洩試験装置を示す模式図である。
【図４】本発明の第２の実施例に係る漏洩試験装置を示す模式図である。
【図５】本発明の第３の参考例に係る漏洩試験装置を示す模式図である。
【図６】本発明の第３の実施例に係る漏洩試験装置を示す模式図である。
【図７】本発明の第４の参考例に係る漏洩試験装置を示す模式図である。
【図８】本発明の第４の実施例に係る漏洩試験装置を示す模式図である。
【図９】従来の漏洩試験装置を示す模式図である。
【符号の説明】
１１、１１１；被試験体、１２、１１２；チャンバ、１７、１８、２７、２９、３７、３９、４７、４９、５７、５９、１１７、１１８；パイプ、１５、１６、１１５、１１６；排気ポンプ、１３、１１３；トレーサガス検知器、Ｖ１〜Ｖ７、Ｖ１１〜Ｖ１６；バルブ、１４、１１４；圧力センサ[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a leak test apparatus that introduces a tracer gas (He or the like) into a body under test or a chamber and determines whether or not there is a leak of the tracer gas in the body under test or whether there is a leak exceeding an allowable limit.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, there are the following leak test apparatuses (leak testers). FIG. 9 is a schematic diagram showing a conventional leakage test apparatus. As shown in FIG. 9, in a conventional leak test apparatus, a vacuum chamber 112 can store a device under test (workpiece) 111 in an airtight manner. The DUT 111 is connected to a pipe 117, and the pipe 117 is led out of the chamber 112 in an airtight manner. The device under test 111 is connected to the exhaust pump 116 via the pipe 117. The pipe 117 is provided with a valve V12. Further, an air source 121 and a tracer gas supply source 122 are connected to the pipe 117 via pipes 123 and 124, respectively, and air (air) and tracer gas (He or the like) are respectively provided inside the device under test 111. Is supposed to be introduced. The pipe 123 and the pipe 124 are respectively provided with a valve V14 and a valve V15, and the flow rates of the air and the tracer gas introduced into the device under test 111 are adjusted by the opening degree and the opening / closing time of the valve V14 and the valve V15, respectively. Can do.
[0003]
On the other hand, the vacuum chamber 112 is connected to a pipe 118, and this pipe 118 is connected to an exhaust pump 115. The pipe 118 is provided with a valve V11. Further, an air source 125 is connected to the pipe 118 through a pipe 126 so that air is introduced into the chamber 112. The pipe 126 is provided with a valve V13, and the flow rate of air introduced into the chamber 112 can be adjusted by the opening degree and the opening / closing time of the valve V13. The pressure sensor 114 is connected to the pipe 117 and detects the pressure in the device under test 111. The chamber 112 is connected to the tracer gas detector 113 by a pipe 128. This pipe 128 is provided with a sensing valve (sensor pipe) V16.
[0004]
Next, a leak test method using the conventional leak test apparatus configured as described above will be described. Note that it is assumed that the maximum allowable value of the pressure in the DUT 111 is required in advance so that the tracer gas detector operates normally and reliably detects leakage.
[0005]
First, the device under test 111 is inserted into the chamber 112 and the device under test 111 and the pipe 117 are connected. Next, the exhaust pumps 115 and 116 are driven, the valves V11 and V12 are opened, and the chamber 112 and the device under test 111 are exhausted. At this time, the pressure inside the device under test 111 is detected by the pressure sensor 114 so that the pressure inside the device under test 111 falls below a prescribed pressure (maximum allowable value) at which the tracer gas detector 113 operates normally. And vacuum the valve V11. Next, the sensing valve V16 is opened, and the chamber 112 and the detector 113 are connected. Thereafter, the valve V12 is closed, the valve V15 is opened, and the tracer gas is introduced into the device under test 111. Then, the tracer gas detector 113 detects the tracer gas leaked from the device under test 111. Here, if there is a leak in the DUT 111, the leaked tracer gas is detected by the tracer gas detector 113 through the sensing valve V16. Then, a value after a predetermined time (leak rate value) is compared with a predetermined threshold value, and whether or not the device under test 111 passes is determined by whether or not the leak rate value is equal to or less than the threshold value. It is determined.
[0006]
After completion of the test, return to atmospheric pressure as follows. First, the valves V15 and V16 are closed, the valve V12 is opened, and the tracer gas in the device under test 111 is exhausted. Then, the valves V13 and V14 are opened, the atmosphere is introduced into the device under test 111 and the chamber 112, and the pressure of the device under test 111 and the chamber 112 is returned to atmospheric pressure. Thereafter, the device under test 111 is taken out from the chamber 112.
[0007]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the prior art, since the pressure in the DUT 111 is detected by the pressure sensor 114 connected to the pipe 117, a gas flow occurs when the air is exhausted and the trace gas is introduced. There is a problem that the pressure in the workpiece cannot be accurately detected due to the pressure loss due to.
[0008]
In addition, in order to accurately detect the pressure in the body under test, separately from the pressure sensor 114 connected to the pipe 117, it is connected to the body under test 111 as shown in FIG. The pressure sensor 127 connected to the pipe 120 and the pressure sensor 127 connected to the pipe 120 can be provided to detect the pressure in the device under test 111. In this case, the pipe 120 is connected each time a leak test is performed. It is necessary to connect to the device under test 111. Furthermore, there is a problem that it is necessary to provide a communication port for connecting the pipe 120 to the device under test 111.
[0009]
The present invention has been made in view of such a problem, and can accurately measure the pressure in the device under test without increasing the number of test steps, and can detect leakage of the device under test with extremely high accuracy. An object is to provide a leak test apparatus.
[0010]
[Means for Solving the Problems]
  A leak test apparatus according to the first invention of the present application includes a chamber capable of hermetically storing a device under test, an in-chamber exhaust means for exhausting the inside of the chamber, and a tracer gas detection means for detecting a tracer gas in the chamber. A device-exhaust means for exhausting the inside of the device under test provided outside the chamber, a tracer gas supply unit for supplying a tracer gas to the inside of the device under test, and a pressure sensor provided outside the chamber And an exhaust pipe that connects the device under test and the exhaust means within the device under test; one end portion is inserted into the exhaust pipe, and a tip thereof is disposed in the exhaust portion of the device under test or inside the device under test. Control for controlling the exhaust by the in-test body exhaust means based on the sensor pipe having the other end connected to the pressure sensor and the pressure detection result in the test body by the pressure sensor Has a stage, a,
The sensor pipe and the exhaust pipe have a double structure in a part thereof,
The control means is configured to supply the tracer gas and the tracer gas supply in order to introduce the tracer gas into the test object after a pressure detected value in the test object by the pressure sensor reaches a predetermined value or less. ControlAnd
The tracer gas supply unit supplies a tracer gas into the exhaust pipe.
The sensor pipe exits from the exhaust pipe at a position closer to the DUT than the supply position of the tracer gas in the exhaust pipe and is connected to the pressure sensor.Ru
It is characterized by that.
[0011]
  A leak test apparatus according to a second invention of the present application includes a chamber capable of hermetically storing a device under test, a chamber exhaust means for exhausting the chamber, and a tracer gas detection means for detecting a tracer gas in the chamber. A device-exhaust means for exhausting the inside of the device under test provided outside the chamber, a tracer gas supply unit for supplying a tracer gas to the inside of the device under test, and a pressure sensor provided outside the chamber A sensor pipe that connects the device under test and the pressure sensor, one end of the sensor pipe is inserted into the sensor pipe, and a tip of the sensor pipe is disposed at or before the connection between the sensor pipe and the device under test. And the other end of the exhaust pipe connected to the in-vivo exhaust means and the in-test body exhaust means based on the pressure detection result in the in-test body by the pressure sensor. Includes a control means for controlling the mind, the,
The sensor pipe and the exhaust pipe have a double structure in a part thereof,
The control means is configured to supply the tracer gas and the tracer gas supply in order to introduce the tracer gas into the test object after a pressure detected value in the test object by the pressure sensor reaches a predetermined value or less. ControlAnd
The tracer gas supply unit supplies a tracer gas into the exhaust pipe.
The position where the exhaust pipe goes out from the sensor pipe is a position closer to the DUT than the supply position of the tracer gas in the exhaust pipe.Ru
It is characterized by that.
[0012]
  According to a third aspect of the present invention, there is provided a leak test apparatus comprising: a chamber capable of hermetically storing a device under test; a device-exhaust means for exhausting the device under test; and a tracer gas for detecting a tracer gas within the device under test. Detecting means; chamber exhaust means for exhausting the chamber; a tracer gas supply section for supplying a tracer gas into the chamber; a pressure sensor provided outside the chamber; the chamber and the chamber An exhaust pipe that connects the exhaust means, a sensor pipe having one end inserted into the exhaust pipe and a distal end disposed in the exhaust part of the chamber or inside the chamber, and the other end connected to the pressure sensor; Control means for controlling exhaust by the exhaust means in the chamber based on the pressure detection result in the chamber by the pressure sensor,
The sensor pipe and the exhaust pipe have a double structure in a part thereof,
The control means controls the exhaust means in the chamber and the tracer gas supply unit to introduce the tracer gas into the chamber after the pressure detection value in the chamber by the pressure sensor reaches a predetermined value or less.And
The tracer gas supply unit supplies a tracer gas into the exhaust pipe.
The sensor pipe exits from the exhaust pipe at a position closer to the DUT than the supply position of the tracer gas in the exhaust pipe and is connected to the pressure sensor.Ru
It is characterized by that.
[0013]
  According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a leak test apparatus comprising: a chamber capable of hermetically storing a DUT; a DUT exhaust means for exhausting the DUT; and a tracer gas for detecting a tracer gas in the DUT. Detection means, chamber exhaust means for exhausting the inside of the chamber, a tracer gas supply section for supplying a tracer gas into the chamber, a pressure sensor provided outside the chamber, the chamber and the pressure sensor And one end of the sensor pipe is inserted into the sensor pipe, the tip of the sensor pipe is connected to the sensor pipe and the chamber, or the other end is connected to the chamber exhaust means. And an exhaust pipe and control means for controlling exhaust by the exhaust means in the chamber based on a pressure detection result in the chamber by the pressure sensor. And,
The sensor pipe and the exhaust pipe have a double structure in a part thereof,
The control means controls the exhaust means in the chamber and the tracer gas supply unit to introduce the tracer gas into the chamber after the pressure detection value in the chamber by the pressure sensor reaches a predetermined value or less.And
The tracer gas supply unit supplies a tracer gas into the exhaust pipe.
The position where the exhaust pipe goes out from the sensor pipe is a position closer to the DUT than the supply position of the tracer gas in the exhaust pipe.Ru
It is characterized by that.
[0015]
In the present invention, the pressure sensor may be a sensor pipe whose tip is disposed within the exhaust part of the device under test or the test body, or a sensor pipe connected to the device under test, or Pressure loss due to gas flow at the time of exhausting gas from inside the chamber under test or in the chamber because it is connected to the exhaust part of the chamber, the sensor pipe arranged inside the chamber, or the sensor pipe connected to the chamber It is possible to detect the pressure in the test object or the chamber very accurately without being affected by the above. Then, based on the pressure detection result in the test subject or the chamber by the pressure sensor, the exhaust from the test subject exhaust means or the chamber exhaust means is controlled. Alternatively, the inside of the chamber can be evacuated with extremely high accuracy, and the leakage detection accuracy of the DUT is extremely high.
[0016]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
  Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 shows the first aspect of the present invention.referenceIt is a schematic diagram which shows the leak test apparatus which concerns on an example.
[0017]
As shown in FIG. 1, the vacuum chamber 12 is capable of airtightly storing a device under test 11 to be inspected therein. The DUT 11 is connected to a pipe (exhaust pipe) 17, and the pipe 17 is led out of the chamber 12 in an airtight manner and connected to an exhaust pump 16. The pipe 17 is provided with a valve V2, and the flow rate of the gas exhausted from the DUT 11 can be adjusted by the opening degree of the valve V2. In addition, an air source 21 and a tracer gas supply source 22 are connected to the pipe 17 via pipes 23 and 24, respectively, and air (air) and tracer gas (He Etc.) are introduced. The pipe 23 and the pipe 24 are provided with a valve V4 and a valve V5, respectively, and the flow rates of air and tracer gas introduced into the device under test 11 can be adjusted by the opening degrees of the valve V4 and the valve V5, respectively. Further, one end of a pipe (sensor pipe) 19 having a diameter D2 smaller than the diameter D1 of the pipe 17 is inserted into the pipe 17, and the tip of the pipe 19 is disposed in the exhaust part of the device under test 11. ing. The other end of the pipe 19 is led out from the pipe 17. In order to lead out the pipe 19, a through hole is provided in the pipe 17 at a position farther from the chamber 12 than the connection position of the pipes 23 and 24, and the pipe 19 is led out from the through hole in an airtight manner. It is connected to a pressure sensor 14 that detects the pressure in the body 11. The exhaust portion of the device under test 11 is a connection portion between the device under test 11 and the pipe 17. Further, the tip of the pipe 19 may be extended into the device under test 11. Furthermore, the through hole for leading the pipe 19 may be formed at any position, for example, between the connection part of the pipes 17 and 23 and the connection part of the pipes 17 and 24.
[0018]
On the other hand, the vacuum chamber 12 is connected to a pipe 18, and the pipe 18 is connected to an exhaust pump 15. The pipe 18 is provided with a valve V1, and the flow rate of the gas exhausted from the chamber 12 can be adjusted by the opening degree of the valve V1. Further, an air source 25 is connected to the pipe 18 through a pipe 26 so that air is introduced into the chamber 12. The pipe 26 is provided with a valve V3, and the flow rate of air introduced into the chamber 12 can be adjusted by the opening degree and the opening / closing time of the valve V3. The pipe 26 and the valve V3 connected to the pipe 18 are not provided, the pipe 27 is connected to the chamber 12, the valve V7 is provided to the pipe 27, and air is introduced into the chamber 12 by opening and closing the valve V7. May be. Further, a pipe 28 is connected to the chamber 12, and the tracer gas detector 13 is connected to the pipe 28. The pipe 28 is provided with a sensing valve V6.
[0019]
  The bookreferenceA leak test method using the leak test apparatus according to the example will be described. Note that it is assumed that the maximum allowable value of the pressure in the DUT 11 is required in advance so that the tracer gas detector operates normally and reliably detects leakage.
[0020]
First, the device under test 11 is placed in the chamber 12. The tip of the tracer gas introduction pipe 17 is connected to the tracer gas supply port of the device under test 11 directly or via a coupler or the like, and the door of the chamber 12 is closed to be in a sealed state.
[0021]
Next, the chamber evacuation valve V1 is opened, and the gas in the chamber 12 is evacuated to a predetermined pressure. At the same time, the test body evacuation valve V2 is opened, and the device under test 11 is connected from the pipe 17 connected to the device under test 11. The gas inside is evacuated to a predetermined pressure. At this time, the pressure in the device under test 11 is detected by the pressure sensor 14 and evacuation is performed until the pressure in the device under test 11 falls below a specified pressure (maximum allowable value).
[0022]
After the valve V1 is closed, the sensing valve V6 is opened, and the chamber 12 and the tracer gas detector 13 are connected. Then, the valve V2 is closed, the valve V5 is opened, and a tracer gas having a predetermined pressure is supplied into the device under test 11 from the tracer gas supply source. Here, if there is a leak in the DUT 11, the leaked tracer gas is detected by the tracer gas detector 13 through the sensing valve V6. Then, a value (leak rate value) after a lapse of a predetermined time is compared with a predetermined threshold value, and whether or not the device under test 11 is acceptable is determined by whether the leak rate value is equal to or less than the threshold value. It is determined.
[0023]
When the pass / fail determination is completed, the device under test 11 and the chamber 12 are returned to atmospheric pressure by the following procedure. First, the valve V6 that connects the chamber 12 and the tracer gas detector 13 and the valve V5 that introduces the tracer gas into the DUT 11 are closed. Then, the valve V2 is opened, the tracer gas in the device under test 11 is exhausted by the exhaust pump 16, and then the valves V4 and V3 are opened to introduce the atmosphere into the device under test 11 and the chamber 12, respectively. When the valve V3 is not provided and the valve V7 is provided in the chamber 12, the atmosphere may be introduced into the chamber 12 by opening the valve V7. Thereafter, the door of the chamber 12 is opened, the device under test 11 is taken out, and the leak test is terminated. Thereafter, another test object 11 is placed in the chamber, and the same leak test is repeated.
[0024]
  BookreferenceIn the example, the pressure sensor 14 detects the pressure in the DUT 11, but the pressure sensor 14 is connected to a pipe 18 connected to the chamber 12, and the pressure in the DUT is measured in the chamber 12. It is good also as what can detect a pressure difference.
[0025]
As described above, in the leak test, the atmosphere in the DUT 11 is evacuated to a predetermined pressure or lower, and then the tracer gas is introduced. At this time, if there is a leak in the DUT 11, the tracer gas leaks from the DUT 11 into the chamber 12, and this leaked tracer gas is detected by the tracer gas detector 13. If the pressure in the DUT 11 is not evacuated so that the pressure in the DUT 11 is equal to or lower than a predetermined pressure value, the atmosphere leaks into the chamber together with the tracer gas from the DUT 11, and the tracer by the tracer gas detector 13 is used. Gas detection accuracy will fall. In order to improve the accuracy of the tracer gas detection and improve the accuracy of the leak test, it is necessary to exhaust the pressure in the DUT 11 so that the pressure in the DUT 11 is lower than the specified value prior to the introduction of the tracer gas.
[0026]
  BookreferenceIn the example, apart from the pipe 17 for supplying air and tracer gas into the device under test 11 and for discharging air and tracer gas from the device under test 11, the pipe 19 is used as the exhaust part of the device under test 11. The pressure sensor 14 is arranged and connected to the pipe 19 to detect the pressure in the device under test 11, so that the device under test 11 is not affected by the pressure loss due to the atmospheric or tracer gas flow. The internal pressure can be detected with high accuracy. Therefore, when the inside of the device under test 11 is exhausted, the exhaust of the exhaust pump 16 can be accurately controlled by opening and closing the valve V2, and the pressure inside the device under test 11 can be accurately evacuated to a specified pressure or less. Therefore, when there is a leak in the DUT 11, the leak of the tracer gas from the DUT 11 can be accurately detected, and the accuracy of the leak test is extremely high.
[0027]
  Next, the first of the present invention1Examples will be described. FIG. 2 is a schematic diagram showing a leakage test apparatus according to the present embodiment. The second shown in FIG.1In the first embodiment, the first shown in FIG.referenceThe same components as those in the example are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.
[0028]
  FirstreferenceIn the example, the pressure detection pipe 19 is inserted into the pipe 17 for introducing and evacuating the atmosphere and tracer gas to the DUT. In this embodiment, as shown in FIG. In addition, a pipe 39 having a diameter D3 smaller than the diameter D1 of the pipe 37 is inserted into the pipe 37, and one end thereof is disposed in the exhaust part of the device under test 11. The other end of the pipe 39 is hermetically led out from the through hole provided in the pipe 37 to the outside of the pipe 37 and connected to the pressure sensor 14 that detects the pressure in the device under test 11. An air source 21 and a tracer gas supply source 22 are connected to the pipe 37 via pipes 33 and 34, respectively, and air (air) and tracer gas (He or the like) are introduced into the device under test 11, respectively. It is like that. The pipe 33 and the pipe 34 are provided with a valve V4 and a valve V5, respectively, and the flow rates of air and tracer gas introduced into the device under test 11 can be adjusted by the opening degrees of the valve V4 and the valve V5, respectively. Other configurations are the firstreferenceSimilar to the example.
[0029]
When a leakage test is performed using the leakage device of the present embodiment configured as described above, the through hole through which the pipe 39 is led out from the pipe 37 is formed at a position closer to the chamber 12 than the pipes 33 and 34. In addition, since the pipe 39 connecting the device under test 11 and the pressure sensor 14 is short, the responsiveness of the pressure sensor 14 is improved, and the pressure detection accuracy in the device under test 11 is improved.
[0030]
  Also in this embodiment, the firstreferenceSimilarly to the example, since the pipe 39 for pressure detection is provided separately from the pipe 37 for exhausting the gas in the DUT 11 and supplying the gas into the DUT 11, the gas flow in the pipe 37 Regardless of the pressure, the pressure in the DUT 11 can be detected with high accuracy, and the accuracy of the leak test is extremely high.
[0031]
  Next, the first of the present invention2ofreferenceAn example will be described. Figure 3 shows the bookreferenceIt is a schematic diagram which shows the leak test apparatus which concerns on an example. BookreferenceIn the example, a pipe 49 having a diameter D1 is connected to the chamber 12 as shown in FIG. This pipe 49 is led out of the chamber 12 in an airtight manner and is connected to the pressure sensor 14. In addition, one end of a pipe 47 having a diameter D4 smaller than the diameter D1 of the pipe 49 is inserted into the pipe 49, and the tip of the pipe 47 extends into the device under test 11 and is disposed in the exhaust part of the device under test 11. ing. The other end of the pipe 47 is hermetically led out from the through hole provided in the pipe 49 to the outside of the pipe 49 and connected to the exhaust pump 16. Since the pipe 47 is led out of the pipe 49 in an airtight manner, the atmosphere does not flow into the pipe 49. Further, the pipe 43 and the pipe 44 are connected to the pipe 47 and are led out from the pipe 49 in an airtight manner. Outside the pipe 49, the pipe 43 and the pipe 44 are connected to the air source 21 and the tracer gas source 22, respectively, so as to introduce the atmosphere and the tracer gas into the device under test 11, respectively. The pipe 43 and the pipe 44 are provided with a valve V4 and a valve V5, respectively, and the flow rates of air and tracer gas introduced into the device under test 11 can be adjusted by the opening degrees of the valve V4 and the valve V5, respectively. Other configurations are the firstreferenceSimilar to the example.
[0032]
  Book configured in this wayreferenceIn the example, since the diameter of the pipe 49 connecting the pressure sensor 14 and the DUT 11 is large, the responsiveness of the pressure sensor 14 is high, and the pressure in the DUT 11 can be accurately detected. Also in this embodiment, the firstreferenceThe effect is similar to the example.
[0033]
  Next, the first of the present invention2Examples will be described. FIG. 4 is a schematic diagram showing a leakage test apparatus according to the present embodiment. As shown in FIG. 4, a pressure sensor 14 that detects the pressure in the DUT 11 is connected to a pipe 59 having a diameter D <b> 1 that is coupled to the DUT 11 and is airtightly led out of the chamber 12. . Further, one end of a pipe 57 having a diameter D5 smaller than the diameter D1 of the pipe 59 is inserted into the pipe 59, and the tip thereof is disposed in the exhaust part of the device under test 11. The other end of the pipe 57 is airtightly led out of the pipe 59 from a through hole provided in the pipe 59 and connected to an exhaust pump 16 that sucks the gas in the device under test 11. Further, the pipe 57 led out from the pipe 59 is connected to the air source 21 and the tracer gas source 22 via the pipes 53 and 54 outside the pipe 59, respectively. The pipes 53 and 54 are provided with valves V4 and V5, respectively, and the flow rates of air and tracer gas introduced into the device under test 11 can be adjusted by the opening degrees of the valves V4 and V5, respectively. Other configurations and leak test methods arereferenceSimilar to the example.
[0034]
  This implementation configured in this wayExample, A pipe 59 for connecting the pressure sensor 14 and the DUT 11 is2ofreferenceSince it is shorter than the example, the responsiveness of the pressure sensor 14 is further high, and the pressure detection accuracy in the DUT 11 is improved. Furthermore, in order to connect the pipes 53 and 54 to the pipe 57 led out of the pipe 59 and to connect the air source 21 and the tracer gas source 22 to the pipe 57, through holes of the pipes 53 and 54 are provided in the pipe 59, respectively. It is not necessary to lead out airtightly from the pipe 59, and the apparatus becomes simple. Also in this embodiment, the firstreferenceThe effect is similar to the example.
[0035]
  The first mentioned aboveas well asFirst2Examples of, And first and second reference examplesIn both cases, the tracer gas is introduced into the DUT 11 and the tracer gas leaking into the chamber 12 is detected.3 andFirst4Example, And third and fourth reference examplesAs described above, the tracer gas may be introduced into the chamber 12 and the tracer gas leaking into the device under test 11 may be detected. In this case, the device under test 11 and the tracer gas detector are connected, and the chamber and the pressure sensor are connected. The chamber is connected to an exhaust pump for exhausting the atmosphere and the tracer gas in the chamber, and a tracer gas supply source and an air supply source for introducing the tracer gas and the atmosphere into the chamber, respectively.
[0036]
  Next, the first of the present invention3ofreferenceAn example will be described. Figure 5 shows the bookreferenceIt is a schematic diagram which shows the leak test apparatus of an example. The first shown in FIG.3ofreferenceIn the example, the first shown in FIG.referenceThe same components as those in the example are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.
[0037]
  BookreferenceIn the example, as shown in FIG. 5, the first shown in FIG.referenceCompared to the example, the DUT 11 and the tracer gas detector 13 are connected by a pipe 28, the pipes 17 and 19 are connected to the chamber 12, and the pipe 18 is connected to the DUT 11. The other configuration is the firstreferenceSimilar to the example. That is, bookreferenceIn the example, the exhaust pump 16 exhausts the inside of the chamber 12, the air source 21 and the tracer gas supply source 22 introduce air and the tracer gas into the chamber 12, and the exhaust pump 15 exhausts the inside of the device under test 11, The source 25 supplies air into the device under test 11. BookreferenceIn the example, the firstreferenceThe same effect as the example can be obtained.
[0038]
  Next, the first of the present invention3Examples will be described. FIG. 6 is a schematic diagram showing a leakage test apparatus according to the present embodiment. The first shown in FIG.3In the embodiment shown in FIG.1The same components as those in the embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.
[0039]
  In this embodiment, as shown in FIG.1Compared to the first embodiment, the device under test 11 and the tracer gas detector 13 are connected by a pipe 28, the pipes 37 and 39 are connected to the chamber 12, and the pipe 18 is connected to the device under test 11. The other configuration is the first1This is the same as the embodiment. Also in this embodiment, the first1The same effect as in the embodiment can be obtained.
[0040]
  Next, the first of the present invention4ofreferenceAn example will be described. Figure 7 shows the bookreferenceIt is a schematic diagram which shows the leak test apparatus of an example. The first shown in FIG.4ofreferenceIn the example, as shown in FIG.2ofreferenceThe same components as those in the example are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.
[0041]
  BookreferenceIn the example, as shown in FIG.2ofreferenceCompared to the example, the device under test 11 and the tracer gas detector 13 are connected by a pipe 28, the pipes 47 and 49 are connected to the chamber 12, and the pipe 18 is connected to the device under test 11. The other configuration is the first2ofreferenceSimilar to the example. BookreferenceAlso in the example2ofreferenceThe same effect as the example can be obtained.
[0042]
  Next, the first of the present invention4Examples will be described. FIG. 8 is a schematic diagram showing the leakage test apparatus of the present embodiment. The first shown in FIG.4In the embodiment shown in FIG.2The same components as those in the embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.
[0043]
  In this embodiment, as shown in FIG.2Compared to the first embodiment, the device under test 11 and the tracer gas detector 13 are connected by the pipe 28, the pipes 57 and 59 are connected to the chamber 12, and the pipe 18 is connected to the device under test 11. The other configuration is the first2This is the same as the embodiment. Also in this embodiment, the first2The same effect as in the embodiment can be obtained.
[0044]
【The invention's effect】
As described above in detail, according to the present invention, when the tracer gas is introduced into the body under test, one end is the exhaust section of the body under test or the device under test separately from the exhaust pipe for exhausting the body under test. Since the sensor piping is provided inside the body and the other end is connected to the pressure sensor, the pressure in the body under test can be detected accurately, and the exhaust in the body under test is controlled based on this accurate pressure detection result. Therefore, the accuracy of the leak test can be remarkably improved.
[0045]
On the other hand, when introducing the tracer gas into the chamber, a sensor pipe having one end disposed inside the chamber or inside the chamber and the other end connected to the pressure sensor is provided separately from the exhaust pipe. Since the exhaust pressure in the chamber is controlled based on the accurate pressure detection result, the accuracy of the leak test can be remarkably improved.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 shows the first of the present invention.referenceIt is a schematic diagram which shows the leak test apparatus which concerns on an example.
FIG. 2 shows the first aspect of the present invention.1It is a schematic diagram which shows the leak test apparatus which concerns on an Example.
FIG. 3 shows the first aspect of the present invention.2ofreferenceIt is a schematic diagram which shows the leak test apparatus which concerns on an example.
FIG. 4 shows the first aspect of the present invention.2It is a schematic diagram which shows the leak test apparatus which concerns on an Example.
FIG. 5 shows the first of the present invention.3ofreferenceIt is a schematic diagram which shows the leak test apparatus which concerns on an example.
FIG. 6 shows the first of the present invention.3It is a schematic diagram which shows the leak test apparatus which concerns on an Example.
FIG. 7 shows the first of the present invention.4ofreferenceIt is a schematic diagram which shows the leak test apparatus which concerns on an example.
FIG. 8 shows the first of the present invention.4It is a schematic diagram which shows the leak test apparatus which concerns on an Example.
FIG. 9 is a schematic view showing a conventional leakage test apparatus.
[Explanation of symbols]
  11, 111; DUT, 12, 112; Chamber, 17, 18, 27, 29, 37, 39, 47, 49, 57, 59, 117, 118; Pipe, 15, 16, 115, 116; Exhaust pump 13, 113; Tracer gas detectors, V1 to V7, V11 to V16; Valves, 14, 114; Pressure sensor

Claims

A chamber in which the object to be tested can be stored in an airtight manner, a chamber exhaust means for exhausting the chamber, a tracer gas detection means for detecting a tracer gas in the chamber, and the device under test provided outside the chamber Exhaust means for exhausting the body, a tracer gas supply unit for supplying a tracer gas to the inside of the test object, a pressure sensor provided outside the chamber, the test object, and the test object An exhaust pipe for connecting the exhaust means, one end of the exhaust pipe is inserted into the exhaust pipe, a tip thereof is disposed in the exhaust part of the device under test or inside the device under test, and the other end is connected to the pressure sensor. Sensor piping and control means for controlling the exhaust by the in-test body exhaust means based on the pressure detection result in the under-test body by the pressure sensor,
The sensor pipe and the exhaust pipe have a double structure in a part thereof,
The control means is configured to supply the tracer gas and the tracer gas supply in order to introduce the tracer gas into the test object after a pressure detected value in the test object by the pressure sensor reaches a predetermined value or less. part to control the,
The tracer gas supply unit supplies a tracer gas into the exhaust pipe.
Leak test the sensor pipe, wherein also the supply position of the tracer gas in the exhaust pipe out to the outside from the exhaust pipe at a position closer to the test object, characterized in that it is connected to the pressure sensor apparatus.

A chamber in which the object to be tested can be stored in an airtight manner, a chamber exhaust means for exhausting the chamber, a tracer gas detection means for detecting a tracer gas in the chamber, and the device under test provided outside the chamber A body exhaust means for exhausting the body, a tracer gas supply section for supplying a tracer gas to the interior of the body under test, a pressure sensor provided outside the chamber, the body under test and the pressure sensor A sensor pipe for connecting the sensor pipe, one end of the sensor pipe is inserted into the sensor pipe, the tip of the sensor pipe is connected to the sensor pipe and the device under test, or the other end of the sensor pipe is exhausted within the device under test. And an exhaust pipe connected to the controller, and a control means for controlling the exhaust by the in-test body exhaust means based on the pressure detection result in the under-test body by the pressure sensor,
The sensor pipe and the exhaust pipe have a double structure in a part thereof,
The control means is configured to supply the tracer gas and the tracer gas supply in order to introduce the tracer gas into the test object after a pressure detected value in the test object by the pressure sensor reaches a predetermined value or less. part to control the,
The tracer gas supply unit supplies a tracer gas into the exhaust pipe.
The exhaust pipe is positioned out to the outside from the sensor pipe, leakage testing device according to claim position der Rukoto than the test object than the supply position of the tracer gas in the exhaust pipe.

A chamber in which the device under test can be stored in an airtight manner, a device under test exhaust device for exhausting the device under test, a tracer gas detection device for detecting a tracer gas within the device under test, and a chamber for exhausting the interior of the chamber An inner exhaust means, a tracer gas supply section for supplying a tracer gas into the chamber, a pressure sensor provided outside the chamber, an exhaust pipe connecting the chamber and the exhaust means in the chamber, and one end A sensor pipe in which a portion is inserted into the exhaust pipe and a tip thereof is disposed in the exhaust part of the chamber or inside the chamber and the other end is connected to the pressure sensor, and a pressure detection result in the chamber by the pressure sensor Control means for controlling the exhaust by the exhaust means in the chamber based on,
The sensor pipe and the exhaust pipe have a double structure in a part thereof,
The control means controls the exhaust means in the chamber and the tracer gas supply unit to introduce the tracer gas into the chamber after the pressure detection value in the chamber by the pressure sensor reaches a predetermined value or less. And
The tracer gas supply unit supplies a tracer gas into the exhaust pipe.
Leak test the sensor pipe, wherein also the supply position of the tracer gas in the exhaust pipe out to the outside from the exhaust pipe at a position closer to the test object, characterized in that it is connected to the pressure sensor apparatus.

A chamber in which the device under test can be stored in an airtight manner, a device under test exhaust device for exhausting the device under test, a tracer gas detection device for detecting a tracer gas within the device under test, and a chamber for exhausting the interior of the chamber An inner exhaust means, a tracer gas supply section for supplying a tracer gas into the chamber, a pressure sensor provided outside the chamber, a sensor pipe for connecting the chamber and the pressure sensor, and one end portion An exhaust pipe which is inserted into the sensor pipe and has a distal end disposed at or near the connection between the sensor pipe and the chamber and the other end connected to the exhaust means in the chamber; and the pressure sensor Control means for controlling exhaust by the exhaust means in the chamber based on the pressure detection result in the chamber,
The sensor pipe and the exhaust pipe have a double structure in a part thereof,
The control means controls the exhaust means in the chamber and the tracer gas supply unit to introduce the tracer gas into the chamber after the pressure detection value in the chamber by the pressure sensor reaches a predetermined value or less. And
The tracer gas supply unit supplies a tracer gas into the exhaust pipe.
The exhaust pipe is positioned out to the outside from the sensor pipe, leakage testing device according to claim position der Rukoto than the test object than the supply position of the tracer gas in the exhaust pipe.