JP2001004480A - Leakage tester - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、トレーサーガス
（ヘリウム等の漏れ検知用ガス）を使用して被検査物
（内部に気体や液体を収容して使用されるもの）の漏れ
度合を調べるリークテスターに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a leak for checking the degree of leak of an object to be inspected (a gas or a liquid contained therein) using a tracer gas (a gas for leak detection such as helium). About testers.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、リークテスターとして、内部に被
検査物を収容するチャンバーと、トレーサーガスを供給
するトレーサーガス供給手段と、前記チャンバー内のト
レーサーガス量を検出するトレーサーガス検出手段と、
前記トレーサーガス供給手段と前記チャンバー内に収容
された前記被検査物を接続する接続管とを備えたもの、
あるいは、内部に被検査物を収容するチャンバーと、同
チャンバーにトレーサーガスを供給するトレーサーガス
供給手段と、トレーサーガス量を検出するトレーサーガ
ス検出手段と、前記トレーサーガス検出手段と前記チャ
ンバー内に収容された前記被検査物を接続する接続管と
を備えたものがある。2. Description of the Related Art Conventionally, as a leak tester, a chamber accommodating an object to be inspected therein, a tracer gas supply means for supplying a tracer gas, a tracer gas detection means for detecting a tracer gas amount in the chamber,
One provided with the tracer gas supply means and a connection pipe for connecting the test object housed in the chamber,
Alternatively, a chamber accommodating an object to be inspected therein, a tracer gas supply means for supplying a tracer gas to the chamber, a tracer gas detection means for detecting a tracer gas amount, and a tracer gas detection means and a tracer gas detection means And a connecting pipe for connecting the inspection object to be inspected.
【０００３】これらのリークテスターにおいては、通
常、接続管として金属製のフレキシブル管が採用されて
いる。また、リークテストに際して、上記した被検査物
内及びチャンバー内は、トレーサーガスの供給前に所定
の圧力まで真空引きされるようになっていて、その後、
前者のリークテスターにおいては、被検査物内にトレー
サーガスが供給されてチャンバー内に漏れ出たトレーサ
ーガス量を検出するようになっており、また、後者のリ
ークテスターにおいては、チャンバー内にトレーサーガ
スが供給されて被検査物内に浸入したトレーサーガス量
を検出するようになっている。[0003] In these leak testers, usually, a flexible pipe made of metal is adopted as a connecting pipe. During the leak test, the inside of the inspection object and the inside of the chamber are evacuated to a predetermined pressure before the supply of the tracer gas.
In the former leak tester, the amount of tracer gas leaked into the chamber due to the supply of tracer gas into the inspection object is detected, and in the latter leak tester, the amount of tracer gas is detected in the chamber. Is supplied to detect the amount of tracer gas that has entered the inspection object.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】ところで、接続管とし
て採用されている金属製のフレキシブル管は、それ自体
が高価であってコスト高になることは勿論のこと、衝撃
によってクラックが入り易いため、取り扱いには十分な
注意を要する。また、稼動部に溶接個所を有しており、
その溶接により、製造コストが高くなることは勿論のこ
と、製品ごとに強度差が生じることがあるため、製品ご
とに耐久性の面でバラツキが生じるといった問題点があ
る。By the way, the metal flexible pipe used as the connection pipe itself is expensive and of course not only expensive, but also easily cracked by impact. Handle with care. In addition, the operating part has a welding point,
The welding not only increases the manufacturing cost, but also causes a difference in strength between products, and therefore, there is a problem in that durability varies from product to product.
【０００５】これらの問題点は樹脂等の非金属製のフレ
キシブル管を採用すれば解決するものの、非金属製のも
のでは管内外の圧力差によりトレーサーガスが透過し易
いため、トレーサーガス検出手段がチャンバー内のトレ
ーサーガス量を検出するものである場合には、被検査物
からチャンバー内に漏れ出るトレーサーガスに加えて、
接続管からチャンバー内に接続管を透過して漏れ出るト
レーサーガスも検出され、また、トレーサーガス検出手
段が被検査物内のトレーサーガス量を検出するものであ
る場合には、チャンバーから被検査物内に侵入するトレ
ーサーガスに加えて、チャンバーから被検査物内に接続
管を透過して侵入するトレーサーガスも検出され、被検
査物の漏れ度合いを正確に検出できないおそれがある。Although these problems can be solved by using a non-metallic flexible tube made of resin or the like, the tracer gas easily permeates due to the pressure difference between the inside and outside of the non-metallic tube. In the case of detecting the amount of tracer gas in the chamber, in addition to the tracer gas leaking from the test object into the chamber,
Tracer gas leaking through the connection pipe from the connection pipe into the chamber is also detected, and when the tracer gas detection means detects the amount of tracer gas in the test object, the tracer gas is detected from the chamber. In addition to the tracer gas that intrudes into the sample, the tracer gas that penetrates from the chamber into the test object through the connection pipe is also detected, and the leak degree of the test object may not be accurately detected.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明は、上記した問題
に対処すべくなされたものであり、内部に被検査物を収
容するチャンバーと、トレーサーガスを供給するトレー
サーガス供給手段と、前記チャンバー内のトレーサーガ
ス量を検出するトレーサーガス検出手段と、前記トレー
サーガス供給手段と前記チャンバー内に収容された前記
被検査物を接続する接続管とを備えたリークテスターに
おいて、前記チャンバー内に配設される前記接続管とし
て、前記被検査物に前記トレーサーガス供給手段からト
レーサーガスを導入する内管と同内管を被覆する外管と
からなる二重構造の非金属製接続管を採用したこと（請
求項１に係る発明）に特徴がある。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to address the above problems, and has a chamber for accommodating an inspection object therein, a tracer gas supply means for supplying a tracer gas, and the chamber. A leak tester provided with a tracer gas detecting means for detecting a tracer gas amount in the chamber, and a connection pipe for connecting the tracer gas supply means and the test object housed in the chamber. As the connection pipe, a non-metallic connection pipe having a double structure including an inner pipe for introducing a tracer gas from the tracer gas supply means to the inspection object and an outer pipe for covering the inner pipe is adopted. (The invention according to claim 1) is characterized.
【０００７】また、本発明は、内部に被検査物を収容す
るチャンバーと、同チャンバーにトレーサーガスを供給
するトレーサーガス供給手段と、トレーサーガス量を検
出するトレーサーガス検出手段と、前記トレーサーガス
検出手段と前記チャンバー内に収容された前記被検査物
を接続する接続管とを備えたリークテスターにおいて、
前記チャンバー内に配設される前記接続管として、前記
被検査物から前記トレーサーガス検出手段にトレーサー
ガスを導く内管と同内管を被覆する外管とからなる二重
構造の非金属製接続管を採用したこと（請求項２に係る
発明）に特徴がある。Further, the present invention provides a chamber for accommodating an object to be inspected therein, a tracer gas supply means for supplying a tracer gas to the chamber, a tracer gas detection means for detecting a tracer gas amount, and the tracer gas detection means. A leak tester comprising means and a connection pipe for connecting the test object housed in the chamber,
As the connection pipe disposed in the chamber, a non-metallic connection having a double structure including an inner pipe that guides a tracer gas from the inspection object to the tracer gas detection unit and an outer pipe that covers the same inner pipe. It is characterized by adopting a tube (the invention according to claim 2).
【０００８】これらの場合において、前記外管を多重構
造とすること（請求項３に係る発明）、前記接続管の内
管と外管との間に形成される筒状空間に除去用ガスを流
通させる流通手段を設けること（請求項４に係る発
明）、前記接続管の内管と外管との間に形成される筒状
空間を真空引きする真空引き手段を設けること（請求項
５に係る発明）が望ましい。In these cases, the outer pipe has a multi-layer structure (the invention according to claim 3), and the removing gas is supplied to a cylindrical space formed between the inner pipe and the outer pipe of the connecting pipe. Providing a circulation means for circulating (the invention according to claim 4), and providing a vacuum means for evacuating a cylindrical space formed between the inner pipe and the outer pipe of the connecting pipe (claim 5) Such an invention) is desirable.
【０００９】[0009]
【発明の作用・効果】本発明によるリークテスター（請
求項１に係る発明）においては、トレーサーガス供給手
段と被検査物を接続する接続管のチャンバー内に配設さ
れる接続管として、被検査物にトレーサーガス供給手段
からトレーサーガスを導入する内管と同内管を被覆する
外管とからなる二重構造の非金属製接続管を採用したた
め、金属製接続管に比して取り扱いが容易で使い勝手を
良くすることができるとともに製造コストを抑えて安価
に実施することができる。また、トレーサーガスの一部
が内管を透過して漏れ出たとしても、内管を被覆する外
管により、同ガスがチャンバー内へ直接透過して漏れ出
ることを抑制できるため、チャンバー内に透過して漏れ
出るトレーサーガス量を、一重の非金属製接続管を採用
した場合に比して減らすことができ、リークテストの精
度を上げることができる。In the leak tester according to the present invention (the invention according to claim 1), the connection pipe provided in the chamber of the connection pipe connecting the tracer gas supply means and the test object is inspected. A non-metallic connection pipe with a double structure consisting of an inner pipe that introduces tracer gas from the tracer gas supply means to the object and an outer pipe that covers the inner pipe is easier to handle than metal connection pipes. Therefore, the usability can be improved, and the manufacturing cost can be reduced and the cost can be reduced. Also, even if a part of the tracer gas leaks through the inner tube, the outer tube covering the inner tube can prevent the same gas from directly leaking into the chamber and leaking out. The amount of tracer gas that leaks out by permeation can be reduced as compared with the case where a single nonmetallic connection pipe is employed, and the accuracy of the leak test can be increased.
【００１０】また、本発明によるリークテスター（請求
項２に係る発明）においては、トレーサーガス検出手段
と被検査物を接続する接続管のチャンバー内に配設され
る接続管として、被検査物からトレーサーガス検出手段
にトレーサーガスを導く内管と同内管を被覆する外管と
からなる二重構造の非金属製接続管を採用したため、金
属製接続管に比して取り扱いが容易で使い勝手を良くす
ることができるとともに製造コストを抑えて安価に実施
することができる。また、トレーサーガスの一部が外管
を透過して浸入したとしても、外管の内側の内管によ
り、同ガスが被検査物内へ直接透過して浸入することを
抑制できるため、被検査物内に透過して浸入するトレー
サーガス量を、一重の非金属製接続管を採用した場合に
比して減らすことができ、リークテストの精度を上げる
ことができる。[0010] In the leak tester according to the present invention (the invention according to claim 2), the connection pipe provided in the chamber of the connection pipe connecting the tracer gas detection means and the inspection object is formed from the inspection object. A double-structured non-metallic connection pipe consisting of an inner pipe that guides the tracer gas to the tracer gas detection means and an outer pipe that covers the inner pipe is adopted, making it easier to handle and easier to use than a metal connection pipe. It is possible to improve the manufacturing cost and to reduce the manufacturing cost to implement it at low cost. Also, even if a part of the tracer gas penetrates through the outer tube and penetrates, the inner tube inside the outer tube can suppress the gas from directly penetrating into the object to be inspected. The amount of tracer gas that permeates and penetrates into the object can be reduced as compared with the case where a single nonmetallic connection pipe is employed, and the accuracy of the leak test can be increased.
【００１１】また、本発明の実施に際して、外管を多重
構造とした場合（請求項３に係る発明）においては、外
管を透過するガス量を減らすことができ、リークテスト
の精度を上げることができる。Further, when the present invention is implemented, when the outer tube has a multi-layer structure (the invention according to claim 3), the amount of gas permeating the outer tube can be reduced, and the accuracy of the leak test can be improved. Can be.
【００１２】また、本発明の実施に際して、接続管の内
管と外管との間に形成される筒状空間に除去用ガスを流
通させる流通手段を設けた場合には、同流通手段によっ
て流通される除去用ガスにより、内管と外管との間に形
成される筒状空間内のトレーサーガスを同筒状空間から
排出することができるため、接続管を透過して漏れ出る
（または浸入する）トレーサーガス量を効果的に減らす
ことができ、リークテストの精度を効果的に上げること
ができる。[0012] Further, when the present invention is practiced, if a flow means for flowing the removing gas is provided in a cylindrical space formed between the inner pipe and the outer pipe of the connecting pipe, the flow means is provided by the flow means. The tracer gas in the tubular space formed between the inner pipe and the outer pipe can be discharged from the tubular space by the removed gas, so that the tracer gas permeates through the connecting pipe and leaks (or enters). C) The amount of tracer gas can be effectively reduced, and the accuracy of the leak test can be effectively increased.
【００１３】また、本発明の実施に際して、接続管の内
管と外管との間に形成される筒状空間を真空引きする真
空引き手段を設けた場合には、内管と外管との間に形成
される筒状空間内のトレーサーガスを真空引き手段によ
って効果的に排出することができ、接続管を透過して漏
れ出る（浸入する）トレーサーガス量をほとんど無くす
ことができて、リークテストの精度をきわめて上げるこ
とができる。When the present invention is practiced, if a vacuuming means for vacuuming a cylindrical space formed between the inner pipe and the outer pipe of the connecting pipe is provided, the connection between the inner pipe and the outer pipe is provided. The tracer gas in the cylindrical space formed therebetween can be effectively exhausted by the evacuation means, and the amount of the tracer gas that leaks out (enters) through the connecting pipe can be almost eliminated, and the leakage can be reduced. The accuracy of the test can be greatly increased.
【００１４】[0014]
【発明の実施の形態】以下に、本発明の一実施形態を図
面に基づいて説明する。図１は本発明によるリークテス
ターの第１実施形態を示していて、このリークテスター
は、内部に被検査物Ｍを収容するチャンバー１０と、ト
レーサーガス（検知用のヘリウムガス）を供給するトレ
ーサーガス供給手段２０と、トレーサーガス量を検出す
るトレーサーガス検出手段３０と、トレーサーガス供給
手段２０と被検査物Ｍを接続する接続管４０等を備えて
いる。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows a first embodiment of a leak tester according to the present invention. The leak tester includes a chamber 10 containing an inspection object M therein, and a tracer gas for supplying a tracer gas (helium gas for detection). The apparatus includes a supply means 20, a tracer gas detection means 30 for detecting a tracer gas amount, a connection pipe 40 for connecting the tracer gas supply means 20 and the inspection object M, and the like.
【００１５】チャンバー１０は、前面に設けられた扉
（図示省略）を開くことにより被検査物Ｍを内部に収容
可能な直方体形状をしており、同チャンバー１０に設け
られた５つの接続口１１，１２，１３，１４，１５に
は、それぞれトレーサーガス供給手段２０、トレーサー
ガス検出手段３０、チャンバー１０の大気開放手段５
０、接続管４０の真空引き手段６０、チャンバー１０の
真空引き手段７０が接続されている。The chamber 10 has a rectangular parallelepiped shape in which the inspection object M can be accommodated by opening a door (not shown) provided on the front surface, and has five connection ports 11 provided in the chamber 10. , 12, 13, 14, and 15 respectively include a tracer gas supply means 20, a tracer gas detection means 30, and an atmosphere release means 5 of the chamber 10.
0, the evacuation means 60 of the connection pipe 40 and the evacuation means 70 of the chamber 10 are connected.
【００１６】トレーサーガス供給手段２０は、接続管４
０を通して被検査物Ｍにトレーサーガスを供給するもの
で、トレーサーガス供給ボンベ２１と、同ボンベ２１に
接続されるとともにチャンバー１０の接続口１１に接続
された導入管２２と、同導入管２２に介装された開閉バ
ルブＶ１を備えている。また、導入管２２における開閉
バルブＶ１よりも接続口１１側の部位には、第１真空ポ
ンプ２５に接続された配管２３と大気開放された配管２
４がそれぞれ接続されており、各配管２３，２４には各
開閉バルブＶ２，Ｖ３がそれぞれ介装されている。The tracer gas supply means 20 includes a connecting pipe 4
A tracer gas is supplied to the inspection object M through the nozzle 0, a tracer gas supply cylinder 21, an introduction pipe 22 connected to the cylinder 21 and connected to the connection port 11 of the chamber 10, and It has an interposed on-off valve V1. Further, a pipe 23 connected to the first vacuum pump 25 and a pipe 2 open to the atmosphere are provided at a portion of the introduction pipe 22 closer to the connection port 11 than the open / close valve V1.
4 are connected to each other, and open / close valves V2 and V3 are interposed in the pipes 23 and 24, respectively.
【００１７】トレーサーガス検出手段３０は、チャンバ
ー１０内のトレーサーガス量を検出するもので、それ自
体周知のトレーサーガス検出器３１と、同検出器３１に
接続されるとともにチャンバー１０の接続口１２に接続
された配管３２と、同配管３２に介装された開閉バルブ
Ｖ４を備えている。The tracer gas detecting means 30 detects the amount of tracer gas in the chamber 10. The tracer gas detector 31 is a well-known tracer gas detector 31 and is connected to the detector 31 and connected to the connection port 12 of the chamber 10. It has a connected pipe 32 and an on-off valve V4 interposed in the pipe 32.
【００１８】接続管４０は、図２に詳細に示したよう
に、被検査物Ｍにトレーサーガスを導入する樹脂製の内
管４１と、同内管４１を所定の筒状空間Ｓを有して被覆
する樹脂製の外管４２とからなる二重構造とされてお
り、一端がチャンバー１０内にてチャンバー１０の接続
口１１に接続具４３を介して気密的に接続されるととも
に、他端が被検査物Ｍの供給口ｍに接続具４４を介して
脱着可能かつ気密的に接続されるようになっている。As shown in detail in FIG. 2, the connection pipe 40 has a resin inner pipe 41 for introducing a tracer gas into the inspection object M, and a predetermined cylindrical space S for the inner pipe 41. And one end is airtightly connected to the connection port 11 of the chamber 10 through the connection tool 43 in the chamber 10, Are detachably and hermetically connected to the supply port m of the inspection object M via the connector 44.
【００１９】チャンバー１０の大気開放手段５０は、チ
ャンバー１０内を大気に連通して開放するもので、一端
がチャンバー１０の接続口１３に接続された配管５１
と、同配管５１の他端側に設けられた開閉バルブＶ５を
備えている。The atmosphere opening means 50 of the chamber 10 is for opening the inside of the chamber 10 by communicating with the atmosphere, and one end of the pipe 51 is connected to the connection port 13 of the chamber 10.
And an open / close valve V5 provided on the other end side of the pipe 51.
【００２０】接続管４０の真空引き手段６０は、内管４
１と外管４２間の筒状空間Ｓ内を所定の圧力まで真空引
きするもので、第２真空ポンプ６１と、同第２真空ポン
プ６１に接続されるとともにチャンバー１０の接続口１
４に接続された配管６２と、同配管６２に介装された開
閉バルブＶ６を備えている。The evacuation means 60 of the connection pipe 40 is
A vacuum is evacuated to a predetermined pressure in the cylindrical space S between the first vacuum pump 1 and the outer tube 42. The second vacuum pump 61 is connected to the second vacuum pump 61 and connected to the connection port 1 of the chamber 10.
4 and a switching valve V6 interposed in the piping 62.
【００２１】チャンバー１０の真空引き手段７０は、チ
ャンバー１０内を所定の圧力まで真空引きするもので、
第３真空ポンプ７１と、同第３真空ポンプ７１に接続さ
れるとともにチャンバー１０の接続口１５に接続された
配管７２と、同配管７２に介装された開閉バルブＶ７を
備えている。The evacuation means 70 of the chamber 10 evacuates the interior of the chamber 10 to a predetermined pressure.
A third vacuum pump 71, a pipe 72 connected to the third vacuum pump 71 and connected to the connection port 15 of the chamber 10, and an opening / closing valve V7 interposed in the pipe 72 are provided.
【００２２】上記のように構成した第１実施形態におけ
るリークテスターは、各真空ポンプ２５，６１，７１を
運転状態に維持するとともに、開閉バルブＶ６を間欠的
（または連続的）に開閉させて、内管４１と外管４２間
の筒状空間Ｓを真空引きする状態にて、下記の手順〜
を繰り返すことによって使用される。 開閉バルブＶ１〜Ｖ７を閉じた状態にて、チャンバー
１０の扉を開けてチャンバー１０内に被検査物Ｍを収容
し、接続管４０の先端を被検査物Ｍの供給口ｍに接続具
４４を介して接続した後に、チャンバー１０の扉を閉じ
る。 開閉バルブＶ２及びＶ７を開いて被検査物Ｍ内及びチ
ャンバー１０内を所定の圧力まで真空引きした後に、開
閉バルブＶ２及びＶ７を閉じる。 開閉バルブＶ１を開いてトレーサーガス供給ボンベ２
１から被検査物Ｍ内にトレーサーガスを供給し、所定圧
力にて所定時間維持する。 上記所定時間経過後に開閉バルブＶ４を開いて、トレ
ーサーガス検出器３１によって検出される検出値（リー
クレート値）を予め定めたしきい値と比較して合否判定
する。 開閉バルブＶ１及びＶ４を閉じる。 開閉バルブＶ３を開いて被検査物Ｍ内のトレーサーガ
スを排出して被検査物Ｍ内を大気開放するとともに、開
閉バルブＶ５を開いてチャンバー１０内を大気開放し、
その後、チャンバー１０の扉を開けて被検査物Ｍを取り
出す。The leak tester according to the first embodiment configured as described above maintains the vacuum pumps 25, 61, 71 in the operating state, and opens and closes the opening / closing valve V6 intermittently (or continuously). In the state where the cylindrical space S between the inner tube 41 and the outer tube 42 is evacuated,
Used by repeating. With the opening / closing valves V1 to V7 closed, the door of the chamber 10 is opened to accommodate the test object M in the chamber 10, and the connection tool 44 is connected to the supply port m of the test object M with the tip of the connection pipe 40. After connection via the door, the door of the chamber 10 is closed. After the open / close valves V2 and V7 are opened to evacuate the inside of the inspection object M and the chamber 10 to a predetermined pressure, the open / close valves V2 and V7 are closed. Open the open / close valve V1 and open the tracer gas supply cylinder 2
A tracer gas is supplied into the inspection object M from 1 and maintained at a predetermined pressure for a predetermined time. After the elapse of the predetermined time, the open / close valve V4 is opened, and a pass / fail judgment is made by comparing a detection value (leak rate value) detected by the tracer gas detector 31 with a predetermined threshold value. The on-off valves V1 and V4 are closed. The open / close valve V3 is opened to discharge the tracer gas in the test object M to open the inside of the test object M to the atmosphere, and the open / close valve V5 is opened to open the inside of the chamber 10 to the atmosphere.
Thereafter, the door of the chamber 10 is opened and the inspection object M is taken out.
【００２３】ところで、この第１実施形態においては、
トレーサーガス供給手段２０と被検査物Ｍを接続する接
続管４０として、被検査物Ｍにトレーサーガス供給手段
２０からトレーサーガスを導入する内管４１と同内管４
１を被覆する外管４２とからなる二重構造の樹脂製接続
管を採用したため、金属製接続管に比して取り扱いが容
易で使い勝手を良くすることができるとともに製造コス
トを抑えて安価に実施することができる。また、トレー
サーガスの一部が内管４１を透過して漏れ出たとして
も、内管４１を被覆する外管４２により、同ガスがチャ
ンバー１０内へ直接透過して漏れ出ることを抑制できる
ため、チャンバー１０内に接続管４０を透過して漏れ出
るトレーサーガス量を、一重の非金属製接続管を採用し
た場合に比して減らすことができ、リークテストの精度
を上げることができる。By the way, in the first embodiment,
As a connection pipe 40 connecting the tracer gas supply means 20 and the inspection object M, an inner pipe 41 and an inner pipe 4 for introducing a tracer gas from the tracer gas supply means 20 to the inspection object M
Since a resin connection pipe having a double structure consisting of the outer pipe 42 covering the metal pipe 1 is adopted, it is easier to handle and easier to use than a metal connection pipe, and the manufacturing cost is reduced and the cost is reduced. can do. Further, even if a part of the tracer gas leaks through the inner tube 41, the outer tube 42 covering the inner tube 41 can suppress the gas from directly leaking into the chamber 10 and leaking. The amount of tracer gas leaking through the connection pipe 40 into the chamber 10 can be reduced as compared with the case where a single nonmetallic connection pipe is employed, and the accuracy of the leak test can be increased.
【００２４】また、本実施形態においては、内管４１と
外管４２との間に筒状空間Ｓを設けて、同筒状空間Ｓを
真空引き手段６０によって間欠的または連続的に真空引
きするようにしたため、内管４１を透過して筒状空間Ｓ
内に漏れ出たトレーサーガスを真空引き手段６０によっ
て効果的に排出することができるとともに、外管４２の
内外周の圧力差（筒状空間Ｓ内とチャンバー１０内との
圧力差）をほとんど無くすことができて、外管４２を透
過してチャンバー１０内に漏れ出るトレーサーガス量を
ほとんど無くすことができる。したがって、リークテス
トの精度をきわめて上げることができる。In this embodiment, a cylindrical space S is provided between the inner tube 41 and the outer tube 42, and the cylindrical space S is evacuated intermittently or continuously by the evacuation means 60. As a result, the cylindrical space S
The tracer gas leaked into the inside can be effectively exhausted by the evacuation means 60, and the pressure difference between the inner and outer peripheries of the outer tube 42 (the pressure difference between the inside of the cylindrical space S and the inside of the chamber 10) is almost eliminated. Therefore, the amount of tracer gas that passes through the outer tube 42 and leaks into the chamber 10 can be almost eliminated. Therefore, the accuracy of the leak test can be significantly increased.
【００２５】図３は、本発明によるリークテスターの第
２実施形態（被検査物Ｍ内の容積に比してチャンバー１
０内の残留容積が小さい場合に、トレーサーガス使用量
が少なくて有効な実施形態）を示していて、このリーク
テスターにおいては、チャンバー１０の接続口１１にト
レーサーガス検出手段３０が接続されて被検査物Ｍとト
レーサーガス検出手段３０が接続管４０によって接続さ
れる構成及びチャンバー１０の接続口１２にトレーサー
ガス供給手段２０が接続されてトレーサーガス供給手段
２０からチャンバー１０内にトレーサーガスが供給され
るようになっている構成を除いて上記第１実施形態と実
質的に同じ構成であるため、同一構成には同一符号を付
して詳細な説明は省略する。なお、配管２３，２４は配
管３２における開閉バルブＶ４よりも接続口１１側の部
位に接続されている。FIG. 3 shows a second embodiment of the leak tester according to the present invention.
In this leak tester, the tracer gas detecting means 30 is connected to the connection port 11 of the chamber 10 when the residual volume in the chamber 0 is small and the amount of tracer gas used is small. A configuration in which the inspection object M and the tracer gas detection means 30 are connected by the connection pipe 40, and the tracer gas supply means 20 is connected to the connection port 12 of the chamber 10 so that the tracer gas is supplied from the tracer gas supply means 20 into the chamber 10. Since the configuration is substantially the same as that of the first embodiment except for the configuration described above, the same reference numerals are given to the same configurations, and detailed description will be omitted. The pipes 23 and 24 are connected to a portion of the pipe 32 closer to the connection port 11 than the on-off valve V4.
【００２６】上記のように構成した第２実施形態におけ
るリークテスターは、各真空ポンプ２５，６１，７１を
運転状態に維持するとともに、開閉バルブＶ６を間欠的
（または連続的）に開閉させて、内管４１と外管４２間
の筒状空間Ｓを真空引きする状態にて、下記の手順〜
を繰り返すことによって使用される。 開閉バルブＶ１〜Ｖ７を閉じた状態にて、チャンバー
１０の扉を開けてチャンバー１０内に被検査物Ｍを収容
し、接続管４０の先端を被検査物Ｍの供給口ｍに接続具
４４を介して接続した後に、チャンバー１０の扉を閉じ
る。 開閉バルブＶ２及びＶ７を開いて被検査物Ｍ内及びチ
ャンバー１０内を所定の圧力まで真空引きした後に、開
閉バルブＶ２及びＶ７を閉じる。 開閉バルブＶ１を開いてトレーサーガス供給ボンベ２
１からチャンバー１０内にトレーサーガスを供給し、所
定圧力にて所定時間維持する。 上記所定時間経過後に開閉バルブＶ４を開いて、トレ
ーサーガス検出器３１によって検出される検出値（リー
クレート値）を予め定めたしきい値と比較して合否判定
する。 開閉バルブＶ１及びＶ４を閉じる。 開閉バルブＶ５を開いてチャンバー１０内の圧力を大
気圧程度まで下げた後に、開閉バルブＶ５を閉じる。 開閉バルブＶ７を開いてチャンバー１０内のトレーサ
ーガスを第３真空ポンプ７１に排出した後に、開閉バル
ブＶ７を閉じる。 開閉バルブＶ５を開いてチャンバー１０内を大気開放
するとともに、開閉バルブＶ３を開いて被検査物Ｍ内を
大気開放し、その後、チャンバー１０の扉を開けて被検
査物Ｍを取り出す。The leak tester according to the second embodiment configured as described above maintains the vacuum pumps 25, 61, 71 in the operating state, and opens and closes the opening / closing valve V6 intermittently (or continuously). In the state where the cylindrical space S between the inner tube 41 and the outer tube 42 is evacuated,
Used by repeating. With the opening / closing valves V1 to V7 closed, the door of the chamber 10 is opened to accommodate the test object M in the chamber 10, and the connection tool 44 is connected to the supply port m of the test object M with the tip of the connection pipe 40. After connection via the door, the door of the chamber 10 is closed. After the open / close valves V2 and V7 are opened to evacuate the inside of the inspection object M and the chamber 10 to a predetermined pressure, the open / close valves V2 and V7 are closed. Open the open / close valve V1 and open the tracer gas supply cylinder 2
A tracer gas is supplied from 1 into the chamber 10 and maintained at a predetermined pressure for a predetermined time. After the elapse of the predetermined time, the open / close valve V4 is opened, and a pass / fail judgment is made by comparing a detection value (leak rate value) detected by the tracer gas detector 31 with a predetermined threshold value. The on-off valves V1 and V4 are closed. After the open / close valve V5 is opened to reduce the pressure in the chamber 10 to about the atmospheric pressure, the open / close valve V5 is closed. After the open / close valve V7 is opened and the tracer gas in the chamber 10 is discharged to the third vacuum pump 71, the open / close valve V7 is closed. The opening and closing valve V5 is opened to open the inside of the chamber 10 to the atmosphere, and the opening and closing valve V3 is opened to open the inside of the inspection object M to the atmosphere. Then, the door of the chamber 10 is opened to take out the inspection object M.
【００２７】ところで、この第２実施形態においては、
トレーサーガス検出手段３０と被検査物Ｍを接続する接
続管４０として、被検査物Ｍからトレーサーガス検出手
段３０にトレーサーガスを導く内管４１と同内管４１を
被覆する外管４２とからなる二重構造の樹脂製接続管を
採用したため、金属製接続管に比して取り扱いが容易で
使い勝手を良くすることができるとともに製造コストを
抑えて安価に実施することができる。また、トレーサー
ガスの一部が外管４２を透過して浸入したとしても、外
管４２の内側の内管４１により、同ガスが被検査物Ｍ内
へ直接透過して浸入することを抑制できるため、被検査
物Ｍ内に接続管４０を透過して浸入するトレーサーガス
量を、一重の非金属製接続管を採用した場合に比して減
らすことができ、リークテストの精度を上げることがで
きる。By the way, in the second embodiment,
The connection pipe 40 connecting the tracer gas detection means 30 and the inspection object M includes an inner pipe 41 for guiding the tracer gas from the inspection object M to the tracer gas detection means 30 and an outer pipe 42 covering the inner pipe 41. Since the resin connection pipe having the double structure is employed, it is easier to handle and easier to use than the metal connection pipe, and the manufacturing cost can be reduced and the cost can be reduced. Further, even if a part of the tracer gas permeates through the outer tube 42 and penetrates, the inner tube 41 inside the outer tube 42 can suppress the permeation and permeation of the gas directly into the inspection object M. Therefore, the amount of tracer gas permeating through the connection pipe 40 into the inspection object M can be reduced as compared with the case where a single non-metal connection pipe is employed, and the accuracy of the leak test can be increased. it can.
【００２８】また、本実施形態においては、内管４１と
外管４２との間に筒状空間Ｓを設けて、同筒状空間Ｓを
真空引き手段６０によって間欠的または連続的に真空引
きするようにしたため、外管４２を透過して筒状空間Ｓ
内に浸入したトレーサーガスを真空引き手段６０によっ
て効果的に排出することができるとともに、内管４１の
内外周の圧力差（筒状空間Ｓ内と被検査物Ｍ内との圧力
差）をほとんど無くすことができて、内管４１を透過し
て被検査物Ｍ内に浸入するトレーサーガス量をほとんど
無くすことができる。したがって、リークテストの精度
をきわめて上げることができる。In the present embodiment, a cylindrical space S is provided between the inner tube 41 and the outer tube 42, and the cylindrical space S is evacuated intermittently or continuously by the evacuation means 60. As a result, the cylindrical space S
The tracer gas entering the inside can be effectively exhausted by the vacuuming means 60, and the pressure difference between the inner and outer peripheries of the inner pipe 41 (the pressure difference between the inside of the cylindrical space S and the inside of the inspection object M) is almost completely reduced. It is possible to eliminate the tracer gas amount that penetrates the inspection object M through the inner tube 41 because it can be eliminated. Therefore, the accuracy of the leak test can be significantly increased.
【００２９】上記各実施形態においては、接続管４０と
して樹脂製接続管を採用したが、その他の非金属製接続
管、例えばゴム製接続管を採用して実施することも可能
である。また、上記各実施形態においては、接続管４０
として、内管４１と同内管４１を被覆する外管４２とか
らなる二重構造の接続管を採用したが、外管４２を多重
構造にして実施することも可能であり、この場合には、
上記各実施形態に比して、接続管４０を透過するトレー
サーガス量を更に減らすことができ、リークテストの精
度を更に上げることができる。In each of the above embodiments, a resin connection pipe is used as the connection pipe 40, but other nonmetal connection pipes, for example, rubber connection pipes may be used. In each of the above embodiments, the connection pipe 40
Although a connection pipe having a double structure composed of the inner pipe 41 and the outer pipe 42 covering the inner pipe 41 is adopted, it is also possible to implement the outer pipe 42 in a multiplex structure. In this case, ,
Compared with the above embodiments, the amount of tracer gas permeating through the connection pipe 40 can be further reduced, and the accuracy of the leak test can be further increased.
【００３０】また、上記各実施形態においては、筒状空
間Ｓ内を真空引き手段６０によって真空引きして、筒状
空間Ｓ内のトレーサーガスを排出するようにしたが、真
空引き手段６０に代えて、または真空引き手段６０に加
えて、図２の仮想線にて示したように、開閉バルブＶ８
を介装して配管６２に接続される導入管８１と、開閉バ
ルブＶ９を介装して接続具４４にて筒状空間Ｓの端部に
接続される導出管８２と、トレーサーガスを含まない窒
素ガス供給手段（図示省略）とを備えて、筒状空間Ｓ内
にトレーサーガス除去用の窒素ガスを流通させる流通手
段８０を設けて実施することも可能である。この場合に
は、筒状空間Ｓ内のトレーサーガスを除去用ガス（窒素
ガス）の流通によって筒状空間Ｓ内から排出させること
ができるため、接続管４０を透過して漏れ出る（または
浸入する）トレーサーガス量を効果的に減らすことがで
き、リークテストの精度を効果的に上げることができ
る。また、除去用ガスを流通させる流通手段８０と、筒
状空間Ｓ内を真空引きする真空引き手段６０を併用する
ことによって、更にリークテストの精度を効果的に上げ
ることもできる。なお、上記した除去用ガスは、窒素ガ
スに限らず、内管４１及び外管４２に対して浸透性に乏
しく、内管４１及び外管４２を腐食させないガスであれ
ば良く、例えば、窒素以上の分子量を有し、反応性の乏
しい炭酸ガス等を用いることも可能である。Further, in each of the above embodiments, the inside of the cylindrical space S is evacuated by the evacuation means 60 to discharge the tracer gas in the cylindrical space S. 2, or in addition to the evacuation means 60, as shown by the phantom line in FIG.
And an outlet pipe 82 connected to the end of the cylindrical space S via a connector 44 with an opening / closing valve V9 and a tracer gas not included. It is also possible to provide a nitrogen gas supply means (not shown) and to provide a circulation means 80 for circulating nitrogen gas for removing tracer gas in the cylindrical space S. In this case, since the tracer gas in the cylindrical space S can be discharged from the cylindrical space S by the flow of the removing gas (nitrogen gas), the tracer gas passes through the connection pipe 40 and leaks out (or enters). 3.) The amount of tracer gas can be effectively reduced, and the accuracy of the leak test can be effectively increased. In addition, by using the circulating means 80 for circulating the removing gas and the evacuating means 60 for evacuating the inside of the cylindrical space S, the accuracy of the leak test can be further effectively improved. The above-described removal gas is not limited to nitrogen gas, and may be any gas that has low permeability to the inner tube 41 and the outer tube 42 and does not corrode the inner tube 41 and the outer tube 42. It is also possible to use carbon dioxide or the like having a low molecular weight and a low reactivity.
【図１】 本発明によるリークテスターの第１実施形態
を概略的に示す正面図である。FIG. 1 is a front view schematically showing a first embodiment of a leak tester according to the present invention.
【図２】 図１に示した接続管とチャンバー、被検査物
等との接続関係を示す縦断正面図である。FIG. 2 is a longitudinal sectional front view showing a connection relationship between a connection pipe shown in FIG. 1, a chamber, an inspection object, and the like.
【図３】 本発明によるリークテスターの第２実施形態
を概略的に示す正面図である。FIG. 3 is a front view schematically showing a second embodiment of a leak tester according to the present invention.
１０…チャンバー、２０…トレーサーガス供給手段、３
０…トレーサーガス検出手段、４０…接続管、４１…内
管、４２…外管、６０…接続管の真空引き手段、８０…
流通手段、Ｍ…被検査物。10 chamber, 20 tracer gas supply means, 3
0: tracer gas detecting means, 40: connecting pipe, 41: inner pipe, 42: outer pipe, 60: means for evacuating the connecting pipe, 80:
Distribution means, M: Inspection object.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 馬渕 哲也 静岡県浜松市中沢町10番１号 ヤマハ株式 会社内 Ｆターム(参考） 2G067 AA03 BB03 BB05 BB11 CC13 DD17 3E072 AA01 DB03 GA30 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continued on the front page (72) Inventor Tetsuya Mabuchi 10-1 Nakazawa-cho, Hamamatsu-shi, Shizuoka F-term in Yamaha Corporation (reference) 2G067 AA03 BB03 BB05 BB11 CC13 DD17 3E072 AA01 DB03 GA30
Claims (5)
と、トレーサーガスを供給するトレーサーガス供給手段
と、前記チャンバー内のトレーサーガス量を検出するト
レーサーガス検出手段と、前記トレーサーガス供給手段
と前記チャンバー内に収容された前記被検査物を接続す
る接続管とを備えたリークテスターにおいて、前記チャ
ンバー内に配設される前記接続管として、前記被検査物
に前記トレーサーガス供給手段からトレーサーガスを導
入する内管と同内管を被覆する外管とからなる二重構造
の非金属製接続管を採用したことを特徴とするリークテ
スター。A chamber accommodating an object to be inspected therein; a tracer gas supply unit for supplying a tracer gas; a tracer gas detection unit for detecting a tracer gas amount in the chamber; a tracer gas supply unit; In a leak tester having a connection pipe for connecting the test object housed in the chamber, a tracer gas is supplied from the tracer gas supply unit to the test object as the connection pipe disposed in the chamber. A leak tester characterized by employing a non-metallic connection pipe having a double structure consisting of an inner pipe to be introduced and an outer pipe covering the same inner pipe.
と、同チャンバーにトレーサーガスを供給するトレーサ
ーガス供給手段と、トレーサーガス量を検出するトレー
サーガス検出手段と、前記トレーサーガス検出手段と前
記チャンバー内に収容された前記被検査物を接続する接
続管とを備えたリークテスターにおいて、前記チャンバ
ー内に配設される前記接続管として、前記被検査物から
前記トレーサーガス検出手段にトレーサーガスを導く内
管と同内管を被覆する外管とからなる二重構造の非金属
製接続管を採用したことを特徴とするリークテスター。2. A chamber accommodating an object to be inspected therein, a tracer gas supply unit for supplying a tracer gas to the chamber, a tracer gas detection unit for detecting a tracer gas amount, the tracer gas detection unit, and the chamber. A leak tester having a connection pipe for connecting the test object housed therein, wherein the connection pipe disposed in the chamber guides tracer gas from the test object to the tracer gas detection means. A leak tester characterized by employing a non-metallic connection pipe having a double structure consisting of an inner pipe and an outer pipe covering the inner pipe.
する請求項１または２記載のリークテスター。3. The leak tester according to claim 1, wherein the outer tube has a multiplex structure.
れる筒状空間に除去用ガスを流通させる流通手段を設け
たことを特徴とする請求項１または２記載のリークテス
ター。4. The leak tester according to claim 1, further comprising a flow means for flowing a removing gas through a cylindrical space formed between the inner pipe and the outer pipe of the connection pipe. .
れる筒状空間を真空引きする真空引き手段を設けたこと
を特徴とする請求項１または２記載のリークテスター。5. The leak tester according to claim 1, further comprising vacuum means for evacuating a cylindrical space formed between the inner pipe and the outer pipe of the connection pipe.
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|---|---|---|---|
| JP17781399A JP3430975B2 (en) | 1999-06-24 | 1999-06-24 | Leak tester |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
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Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002277342A (en) * | 2001-03-16 | 2002-09-25 | Yamaha Fine Technologies Co Ltd | Leakage testing device |
| JP2007040775A (en) * | 2005-08-02 | 2007-02-15 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Jig and apparatus for inspecting leak of ceramic tube |
| JP2011237294A (en) * | 2010-05-11 | 2011-11-24 | Denso Corp | Leakage inspection apparatus and connecting hose for leakage inspection |
-
1999
- 1999-06-24 JP JP17781399A patent/JP3430975B2/en not_active Expired - Fee Related
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| JP2011237294A (en) * | 2010-05-11 | 2011-11-24 | Denso Corp | Leakage inspection apparatus and connecting hose for leakage inspection |
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