JP4681389B2

JP4681389B2 - Ceramic tube leak inspection system

Info

Publication number: JP4681389B2
Application number: JP2005223750A
Authority: JP
Inventors: 和男冨田; 晃志宮本; 勉前田
Original assignee: Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Current assignee: Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Priority date: 2005-08-02
Filing date: 2005-08-02
Publication date: 2011-05-11
Anticipated expiration: 2025-08-02
Also published as: JP2007040775A

Description

本発明は、セラミックス管リーク検査装置に関するものである。 The present invention relates to ceramic management over click inspection apparatus.

例えば、円筒形SOFC（Solid Oxide
Fuel Cell：固体酸化物燃料電池）には、長尺とされた円筒状の燃料電池セル管（セラミックス管）が多数用いられる。
図３には、円筒型SOFCに用いる燃料電池セル管（以下、単に「セル管」という。）２０の部分断面斜視図が示されている。
セル管２０は、基体管２１の外表面に複数のセル２５が軸線方向に並べられて形成された構成とされている。セル２５は、燃料極膜２２、電解質膜２３及び空気極膜２４から構成される。各セル２５間には、インタコネクタ２６が設けられている For example, a cylindrical SOFC (Solid Oxide
A number of elongated cylindrical fuel cell tubes (ceramic tubes) are used for fuel cells (solid oxide fuel cells).
FIG. 3 is a partial cross-sectional perspective view of a fuel cell tube (hereinafter simply referred to as “cell tube”) 20 used for a cylindrical SOFC.
The cell tube 20 is configured such that a plurality of cells 25 are arranged on the outer surface of the base tube 21 in the axial direction. The cell 25 includes a fuel electrode membrane 22, an electrolyte membrane 23 and an air electrode membrane 24. An interconnector 26 is provided between each cell 25.

基体管２１は、例えば直径約３０mm、長さ約１５００mmの長尺状とされたドーナツ状の横断面を有する多孔質のセラミック管である。基体管２１は、例えば、カルシア安定化ジルコニアやイットリア安定化ジルコニアで形成されている。 The base tube 21 is, for example, a porous ceramic tube having a donut-shaped cross section having a long shape with a diameter of about 30 mm and a length of about 1500 mm. The base tube 21 is made of, for example, calcia stabilized zirconia or yttria stabilized zirconia.

セル２５は、水素又は一酸化炭素を含む燃料ガスを燃料極膜２２（アノード電極）に供給し、かつ酸素を含む酸化剤ガスを空気極膜２４（カソード電極）に供給することにより、電解質膜２３の両端に起電力が発生し、さらに外部負荷へ接続することにより水又は二酸化炭素を合成しながら電気が流れるようになっている。
燃料極膜２２は、例えば、ニッケル／イットリア安定化ジルコニアで形成されている。電解質膜２３は、例えば、イットリア安定化ジルコニアで形成されている。空気極膜２４は、例えば、ランタンマンガネートで形成されている。 The cell 25 supplies an electrolyte membrane by supplying a fuel gas containing hydrogen or carbon monoxide to the fuel electrode membrane 22 (anode electrode) and supplying an oxidant gas containing oxygen to the air electrode membrane 24 (cathode electrode). An electromotive force is generated at both ends of 23, and electricity is made to flow while synthesizing water or carbon dioxide by being connected to an external load.
The fuel electrode film 22 is made of, for example, nickel / yttria stabilized zirconia. The electrolyte membrane 23 is made of, for example, yttria stabilized zirconia. The air electrode film 24 is made of, for example, lanthanum manganate.

インタコネクタ膜２６は、隣り合うセル２５同士を電気的に接続する。インタコネクタ膜２６は、例えば、ランタンクロマイトで形成されている。 The interconnector film 26 electrically connects the adjacent cells 25 to each other. The interconnector film 26 is made of, for example, lanthanum chromite.

セル２５は、基体管２１の外周に次のように形成される。先ず、基体管２１の長手方向に所定間隔ごとに、所定幅で、例えばスクリーン印刷によって基体管２１の燃料極膜２２が形成される。次に、その上に少し長手方向にずらした位置に、同様に所定間隔、所定幅で、電解質膜２３が形成される。続いて、隣り合う電解質膜２３と燃料極膜２２とが電気的に接続するようにインタコネクタ膜２６が形成される。そして、電解質膜２３とインタコネクタ膜２６とを覆うように、所定間隔、所定幅で空気極膜２４が形成される。 The cell 25 is formed on the outer periphery of the base tube 21 as follows. First, the fuel electrode film 22 of the base tube 21 is formed at predetermined intervals in the longitudinal direction of the base tube 21 with a predetermined width, for example, by screen printing. Next, the electrolyte membrane 23 is similarly formed at a predetermined interval and a predetermined width at a position slightly shifted in the longitudinal direction. Subsequently, the interconnector membrane 26 is formed so that the adjacent electrolyte membrane 23 and the fuel electrode membrane 22 are electrically connected. Then, the air electrode film 24 is formed at a predetermined interval and a predetermined width so as to cover the electrolyte film 23 and the interconnector film 26.

発電運転の際には、上記構成のセル管２０の内部に、水素を供給し、セル管２０の外部に酸化剤を供給する。セル管２０内の圧力は、セル管２０外の圧力よりも、例えば５０〜１００mmＡｑ（４９０〜９８０Ｐａ）程度だけ高めに設定されている。
セル管２０内を流れる水素がセル管２０の壁部を通過してセル管２０外部へとリークすると、運転に支障を来すので好ましくない。
そこで、セル管２０については、装置装着前に、リーク検査が全数について行われる。 During the power generation operation, hydrogen is supplied into the cell tube 20 having the above-described configuration, and an oxidant is supplied to the outside of the cell tube 20. The pressure inside the cell tube 20 is set higher by, for example, about 50 to 100 mmAq (490 to 980 Pa) than the pressure outside the cell tube 20.
If hydrogen flowing in the cell tube 20 passes through the wall of the cell tube 20 and leaks to the outside of the cell tube 20, the operation is hindered, which is not preferable.
Therefore, leak inspection is performed on all the cell tubes 20 before mounting the device.

図４には、セル管２０のリーク検査を行うためのリーク検査冶具１００が示されている。
リーク検査冶具１００は、セル管２０を収容する長尺円筒状の容器１０２を備えている。容器１０２の外周には、容器１０２内に窒素を流すための窒素ガス供給管１０３ａと窒素ガス流出管１０３ｂとが接続されている。
容器１０２の両端部には、セル管２０内の流路との間でガス流路を形成する接続継手１０４がそれぞれ設けられている。 FIG. 4 shows a leak inspection jig 100 for performing a leak inspection of the cell tube 20.
The leak inspection jig 100 includes a long cylindrical container 102 that accommodates the cell tube 20. A nitrogen gas supply pipe 103 a and a nitrogen gas outflow pipe 103 b for flowing nitrogen into the container 102 are connected to the outer periphery of the container 102.
At both ends of the container 102, connection joints 104 that form gas flow paths between the flow paths in the cell pipe 20 are provided.

接続継手１０４は、図４（ｂ）に示すように、セル管２０の端部に対して、２本のＯリング１０６を介して気密に接続されている。これらＯリング１０６は、３枚のリング板１０８によって内周端に形成されたＶ断面を有するＶ溝内に収容されている。これらリング板１０８は、内周面に雌ねじ部１１０ａが形成された袋ナット１１０を接続継手１０４の端部外周に形成された雄ねじ部１０４ａに螺合させることによって、軸線方向Ｌに圧着された状態で固定されている。これらリング板１０８が圧着されることにより、リング板１０８内周端に形成されたＶ溝が狭まり、Ｏリング１０６が内周側に押し出されることによって、Ｏリング１０６がセル管２０の外周に気密に固定される。 As shown in FIG. 4B, the connection joint 104 is airtightly connected to the end of the cell tube 20 via two O-rings 106. These O-rings 106 are accommodated in a V-groove having a V-section formed at the inner peripheral end by three ring plates 108. The ring plates 108 are crimped in the axial direction L by screwing a cap nut 110 having an internal thread portion 110a formed on the inner peripheral surface thereof to an external thread portion 104a formed on the outer periphery of the end of the connection joint 104. It is fixed with. When these ring plates 108 are pressure-bonded, the V-groove formed at the inner peripheral end of the ring plate 108 is narrowed, and the O-ring 106 is pushed to the inner peripheral side, so that the O-ring 106 is airtight on the outer periphery of the cell tube 20. Fixed to.

また、接続継手１０４は、図４（ｃ）に示すように、容器１０２のフランジ部１０２ａに対して、２本のＯリング１１２を介して気密に接続されている。これらＯリング１１２は、３枚のリング板１１４によって内周端に形成されたＶ断面を有するＶ溝内に収容されている。これらリング板１１４は、フランジ１０２ａの外端面とフランジ蓋１１６との間で締め付けられることによって、軸線方向に圧着された状態で固定されている。これらリング板１１４が圧着されることにより、リング板１１４内周端に形成されたＶ溝が狭まり、Ｏリング１１２が内周側に押し出されることによって、Ｏリング１１２が接続継手１０４の外周に気密に固定される。
また、フランジ１０２ａの外端面とリング板１１４との間、及び、フランジ蓋１１６の内端面とリング板１１４との間には、Ｏリング１１８がそれぞれ設けられている。
このように、Ｏリング１１２，１１８によって、容器１０２内外を気密に隔離している。 Further, as shown in FIG. 4C, the connection joint 104 is airtightly connected to the flange portion 102 a of the container 102 via two O-rings 112. These O-rings 112 are accommodated in a V-groove having a V-section formed at the inner peripheral end by three ring plates 114. These ring plates 114 are fixed in a state where they are pressed in the axial direction by being tightened between the outer end surface of the flange 102a and the flange lid 116. When these ring plates 114 are pressure-bonded, the V-groove formed at the inner peripheral end of the ring plate 114 is narrowed, and the O-ring 112 is pushed out to the inner peripheral side, so that the O-ring 112 is airtight on the outer periphery of the connection joint 104. Fixed to.
Further, O-rings 118 are provided between the outer end surface of the flange 102a and the ring plate 114, and between the inner end surface of the flange lid 116 and the ring plate 114, respectively.
Thus, the inside and outside of the container 102 are hermetically isolated by the O-rings 112 and 118.

上記のように構成されたリーク検査冶具１００により、接続継手１０４を介して水素がセル管２０内部へと導かれ、他方の接続継手１０４から水素が流出させられる。また、窒素ガス供給管１０３ａを介して窒素が容器１０２内部へと導かれ、他方の窒素ガス流出管１０３ｂから窒素が流出させられる。 The leak inspection jig 100 configured as described above introduces hydrogen into the cell tube 20 through the connection joint 104 and causes hydrogen to flow out from the other connection joint 104. Further, nitrogen is introduced into the container 102 through the nitrogen gas supply pipe 103a, and nitrogen is caused to flow out from the other nitrogen gas outflow pipe 103b.

上記構成のリーク検査冶具１００は、以下のように組み立てられる。
先ず、容器１０２の外部で、セル管２０の両端部に対して袋ナット１１０、Ｏリング１０６及びリング板１０８を挿入し、これらに接続継手１０４の端部を突き合わせた状態で袋ナット１１０の雌ねじ部１１０ａを接続継手１０４の雄ねじ部１０４ａに対して螺合させ、リング板１０８を締め付ける。これにより、Ｏリング１０６をセル管２０に対して密着させる。
次に、両端に接続継手１０４が固定されたセル管２０を容器１０２内に挿入する。そして、両端部のフランジ１０２ａの側方からリング板１１４及びＯリング１１２を挿入し、さらに、これらの外側からフランジ蓋１１６を挿入する。フランジ１０２ａとフランジ蓋１１６とをボルト及びナット（図示せず）によって締結することにより、リング板１１４を締め付ける。これにより、Ｏリング１１２が接続継手１０４に対して、Ｏリング１１８がフランジ１０２ａ及びフランジ蓋１１６に対して密着させられる。 The leak inspection jig 100 having the above-described configuration is assembled as follows.
First, outside the container 102, the cap nut 110, the O-ring 106, and the ring plate 108 are inserted into both end portions of the cell tube 20, and the end portion of the connection joint 104 is abutted against them. The portion 110a is screwed into the male thread portion 104a of the connection joint 104, and the ring plate 108 is tightened. As a result, the O-ring 106 is brought into close contact with the cell tube 20.
Next, the cell tube 20 with the connecting joints 104 fixed at both ends is inserted into the container 102. Then, the ring plate 114 and the O-ring 112 are inserted from the side of the flange 102a at both ends, and further, the flange lid 116 is inserted from the outside thereof. The ring plate 114 is fastened by fastening the flange 102a and the flange lid 116 with bolts and nuts (not shown). Accordingly, the O-ring 112 is brought into close contact with the connection joint 104, and the O-ring 118 is brought into close contact with the flange 102a and the flange lid 116.

図５には、上記構成のリーク検査冶具１００を備えたリーク検査装置２００の配管系統が示されている。
セル管２０の上流側には、接続継手１０４を介して、水素ガス供給管１３０ａが接続されている。水素ガス供給管１３０ａには、マスフローコントローラ１３２が設けられており、その下流側にはセル管２０をバイパスするように水素ガス用バイパス管１３４が接続されている。マスフローコントローラ１３２の上流側には水素ガス用元弁１３６が、マスフローコントローラ１３２の下流側でかつ水素ガス用バイパス管１３４との分岐点の下流側にはセル管上流側弁１３８が、水素ガス用バイパス管１３４には水素ガス用バイパス弁１３４ａが、それぞれ設けられている。 FIG. 5 shows a piping system of a leak inspection apparatus 200 including the leak inspection jig 100 having the above configuration.
A hydrogen gas supply pipe 130 a is connected to the upstream side of the cell pipe 20 via a connection joint 104. The hydrogen gas supply pipe 130 a is provided with a mass flow controller 132, and a hydrogen gas bypass pipe 134 is connected to the downstream side of the hydrogen gas supply pipe 130 a so as to bypass the cell pipe 20. A hydrogen gas main valve 136 is upstream of the mass flow controller 132, and a cell pipe upstream valve 138 is downstream of the mass flow controller 132 and downstream of the branch point with the hydrogen gas bypass pipe 134. The bypass pipe 134 is provided with a hydrogen gas bypass valve 134a.

セル管２０の下流側には、接続継手１０４を介して、水素ガス流出管１３０ｂが接続されている。水素ガス流出管１３０ｂには、セル管２０の下流側に、セル管下流側弁１４０が設けられている。水素ガス用バイパス管１３４の下流端は、セル管下流側弁１４０の下流側において接続されている。水素ガス用バイパス管１３４が水素ガス流出管１３０ｂに接続された位置のさらに下流には、水素ガス圧力調整弁１４４及びガスメータ１４６が順に接続されている。
水素ガス圧力調整弁１４４は、水素ガス流出管１３０ｂと窒素ガス下流配管１５０ｂとの圧力差に基づいて、その開度が制御されるようになっている。ガスメータ１４６は、水素ガスの体積を測定し、その測定結果をデジタルパネルメータ１４８に出力する。
水素ガス圧力調整弁１４４とガスメータ１４６との間には、開閉弁を備えたガスサンプリングライン１４９が設けられている。ガスサンプリングライン１４９の下流側にはガスクロマトグラフ（図示せず）が設置されており、ガス成分の分析が行われるようになっている。 A hydrogen gas outflow pipe 130 b is connected to the downstream side of the cell pipe 20 via a connection joint 104. The hydrogen gas outflow pipe 130 b is provided with a cell pipe downstream side valve 140 on the downstream side of the cell pipe 20. The downstream end of the hydrogen gas bypass pipe 134 is connected to the downstream side of the cell pipe downstream side valve 140. A hydrogen gas pressure adjustment valve 144 and a gas meter 146 are sequentially connected further downstream of the position where the hydrogen gas bypass pipe 134 is connected to the hydrogen gas outflow pipe 130b.
The opening degree of the hydrogen gas pressure adjusting valve 144 is controlled based on the pressure difference between the hydrogen gas outflow pipe 130b and the nitrogen gas downstream pipe 150b. The gas meter 146 measures the volume of the hydrogen gas and outputs the measurement result to the digital panel meter 148.
A gas sampling line 149 having an open / close valve is provided between the hydrogen gas pressure adjustment valve 144 and the gas meter 146. A gas chromatograph (not shown) is installed on the downstream side of the gas sampling line 149 to analyze the gas components.

容器１０２の外周には、図４に示したように、窒素ガス供給管１０３ａ及び窒素ガス流出管１０３ｂが接続されている。窒素ガス供給管１０３ａ及び窒素ガス流出管１０３ｂには、それぞれ、容器上流側弁１５１ａ及び容器下流側弁１５１ｂが設けられている。
窒素ガス供給管１０３ａの上流側には、窒素ガス上流配管１５０ａが接続されている。窒素ガス上流配管１５０ａにはマスフローメータ１５２が設けられている。マスフローメータ１５２の上流側には、窒素ガス用元弁１５４が設けられている。
窒素ガス供給管１０３ａと窒素ガス流出管１３０ｂとの間には、窒素ガス用バイパス管１５６が接続されている。この窒素ガスバイパス管１５６には、窒素ガス用バイパス弁１５６ａが設けられている。 As shown in FIG. 4, a nitrogen gas supply pipe 103 a and a nitrogen gas outflow pipe 103 b are connected to the outer periphery of the container 102. The nitrogen gas supply pipe 103a and the nitrogen gas outflow pipe 103b are provided with a container upstream valve 151a and a container downstream valve 151b, respectively.
A nitrogen gas upstream pipe 150a is connected to the upstream side of the nitrogen gas supply pipe 103a. A mass flow meter 152 is provided in the nitrogen gas upstream pipe 150a. A nitrogen gas main valve 154 is provided on the upstream side of the mass flow meter 152.
A nitrogen gas bypass pipe 156 is connected between the nitrogen gas supply pipe 103a and the nitrogen gas outflow pipe 130b. The nitrogen gas bypass pipe 156 is provided with a nitrogen gas bypass valve 156a.

窒素ガス流出管１０３ｂの下流側には、窒素ガス下流配管１５０ｂが接続されている。窒素ガス下流配管１５０ｂには、窒素ガス圧力調整弁１５８及びガスメータ１６０が順に接続されている。
窒素ガス圧力調整弁１５８は、窒素ガス下流配管１５０ｂの圧力値に基づいて、その開度が制御されるようになっている。ガスメータ１６０は、窒素ガス（場合によっては水素ガスが混入されたガス）の体積を測定し、その測定結果をデジタルパネルメータ１６２に出力する。
窒素ガス圧力調整弁１５８とガスメータ１６０との間には、開閉弁を備えたガスサンプリングライン１５９が設けられている。ガスサンプリングライン１５９の下流側にはガスクロマトグラフ（図示せず）が設置されており、ガス成分の分析が行われるようになっている。 A nitrogen gas downstream pipe 150b is connected to the downstream side of the nitrogen gas outflow pipe 103b. A nitrogen gas pressure adjustment valve 158 and a gas meter 160 are sequentially connected to the nitrogen gas downstream pipe 150b.
The opening degree of the nitrogen gas pressure adjusting valve 158 is controlled based on the pressure value of the nitrogen gas downstream pipe 150b. The gas meter 160 measures the volume of nitrogen gas (a gas mixed with hydrogen gas in some cases) and outputs the measurement result to the digital panel meter 162.
Between the nitrogen gas pressure regulating valve 158 and the gas meter 160, a gas sampling line 159 having an on-off valve is provided. A gas chromatograph (not shown) is installed on the downstream side of the gas sampling line 159 to analyze the gas components.

次に、上記構成のリーク検査装置２００の検査方法について説明する。
セル管２０が容器１０２内に設置される前は、セル管上流側弁１３８及びセル管下流側弁１４０が閉じられ、水素ガス用バイパス弁１３４ａが開けられている。したがって、水素ガスは、セル管２０内の流路を流れずに水素ガス用バイパス管１３４を流れて水素ガス流出管１３０ｂへと導かれる。また、容器上流側弁１５１ａ及び容器下流側弁１５１ｂが閉じられ、窒素ガスバイパス弁１５６ａが開けられている。したがって、窒素ガスは、容器１０２内へは流れずに、窒素ガスバイパス管１５６を通り窒素ガス下流配管１５０ｂへと導かれる。 Next, an inspection method of the leak inspection apparatus 200 having the above configuration will be described.
Before the cell pipe 20 is installed in the container 102, the cell pipe upstream valve 138 and the cell pipe downstream valve 140 are closed, and the hydrogen gas bypass valve 134a is opened. Accordingly, the hydrogen gas flows through the hydrogen gas bypass pipe 134 without flowing through the flow path in the cell pipe 20 and is guided to the hydrogen gas outflow pipe 130b. Further, the container upstream valve 151a and the container downstream valve 151b are closed, and the nitrogen gas bypass valve 156a is opened. Therefore, the nitrogen gas does not flow into the container 102 but is guided to the nitrogen gas downstream pipe 150b through the nitrogen gas bypass pipe 156.

そして、セル管２０が容器１０２内に設置された後に、セル管上流側弁１３８及びセル管下流側弁１４０を開け、水素ガス用バイパス弁１３４ａを閉じ、水素ガスをセル管２０内の流路に流す。また、容器上流側弁１５１ａ及び容器下流側弁１５１ｂを開け、窒素ガスバイパス弁１５６ａを閉じ、窒素ガスを容器１０２内へと流す。
このときに、窒素ガス圧力調整弁１５８によって、窒素ガス下流配管１５０ｂ内の圧力が所定値になるように制御されるとともに、水素ガス圧力調整弁１４４によって、水素ガス下流配管１３０ｂの圧力が窒素ガス下流配管１５０ｂの圧力よりも所定値（例えば５０ｍｍＡｑ）だけ高くなるように制御される。
このようにして、セル管２０の内外の圧力差を例えば５０〜１００ｍｍＡｑ（４９０〜９８０Ｐａ）に維持した状態で、リーク検査を行う。 After the cell pipe 20 is installed in the container 102, the cell pipe upstream valve 138 and the cell pipe downstream valve 140 are opened, the hydrogen gas bypass valve 134 a is closed, and the hydrogen gas is flowed through the cell pipe 20. Shed. Further, the container upstream valve 151 a and the container downstream valve 151 b are opened, the nitrogen gas bypass valve 156 a is closed, and the nitrogen gas flows into the container 102.
At this time, the pressure in the nitrogen gas downstream pipe 150b is controlled to a predetermined value by the nitrogen gas pressure adjustment valve 158, and the pressure in the hydrogen gas downstream pipe 130b is changed to nitrogen gas by the hydrogen gas pressure adjustment valve 144. The pressure is controlled to be higher by a predetermined value (for example, 50 mmAq) than the pressure of the downstream pipe 150b.
In this way, the leak inspection is performed in a state where the pressure difference between the inside and outside of the cell tube 20 is maintained at, for example, 50 to 100 mmAq (490 to 980 Pa).

リークが発生していた場合には、セル管２０内を流れる水素ガスがセル管２０の外部へと流れ、容器１０２内を流れる窒素ガスとともに窒素ガス下流配管１５０ｂへと導かれる。水素ガスが混入した窒素ガスは、ガスメータ１６０によって体積が測定される。また、ガスサンプリングライン１５９から部分的に抽出されたガスをガスクロマトグラフで分析することにより、ガス組成の成分比が測定される。これにより、窒素ガスに混入された水素が検出され、水素がリークしていることが確認される。
また、セル管２０内を流れた水素ガスについても、ガスメータ１４６で体積を測定し、ガスクロマトグラフによってガス成分を分析する。ガスメータ１４６の測定値から、水素ガスの減少量を漏れ量として算出し、水素がリークしていることを確認する。 If a leak has occurred, the hydrogen gas flowing in the cell tube 20 flows to the outside of the cell tube 20 and is led to the nitrogen gas downstream pipe 150b together with the nitrogen gas flowing in the container 102. The volume of the nitrogen gas mixed with hydrogen gas is measured by the gas meter 160. Moreover, the component ratio of a gas composition is measured by analyzing the gas partially extracted from the gas sampling line 159 with a gas chromatograph. Thereby, hydrogen mixed in nitrogen gas is detected, and it is confirmed that hydrogen is leaking.
Further, the volume of the hydrogen gas flowing through the cell tube 20 is also measured by the gas meter 146, and the gas component is analyzed by a gas chromatograph. From the measured value of the gas meter 146, the amount of decrease in hydrogen gas is calculated as a leakage amount, and it is confirmed that hydrogen is leaking.

また、特許文献１には、リーク検査を短時間で行うためのシール装置が開示されている。このシール装置は、セル管の端部外周に配置されたゴム部材と、このゴム部材の外周に配置された金属製の環状部材とを備え、ゴム部材と環状部材との間に空気を送り込みゴム部材を内周側に膨張させることによってセル管の端部外周に密着させてシールするものである。 Patent Document 1 discloses a sealing device for performing a leak test in a short time. The sealing device includes a rubber member disposed on the outer periphery of the end portion of the cell tube and a metal annular member disposed on the outer periphery of the rubber member, and air is fed between the rubber member and the annular member. The member is inflated toward the inner peripheral side to be brought into close contact with the outer periphery of the end of the cell tube and sealed.

特開２００３−１２１２９６号公報（図１及び図２）JP 2003-121296 A (FIGS. 1 and 2)

しかし、図４及び図５を用いて説明したリーク検査冶具およびリーク検査装置には、次のような問題がある。
セル管２０をリーク検査冶具１００に取り付けようとする場合、Ｏリング１０６，１１２，１１８やリング板１０８，１１４を設置する作業が繁雑であるため、セル管２０端部と接続継手１０４とを接続する作業、および、セル管２０のフランジ１０２と接続継手１０４とを接続する作業に時間がかかっていた（例えば３０分）。
また、各箇所にＯリング１０６，１１２，１１８やリング板１０８，１１４が必要となるので、部品点数が増加し、コスト高を招いていた。 However, the leak inspection jig and the leak inspection apparatus described with reference to FIGS. 4 and 5 have the following problems.
When the cell tube 20 is to be attached to the leak inspection jig 100, the work of installing the O-rings 106, 112, 118 and the ring plates 108, 114 is complicated, so the end of the cell tube 20 and the connection joint 104 are connected. It took time (for example, 30 minutes) to connect the flange 102 of the cell tube 20 and the connection joint 104.
Further, since the O-rings 106, 112, 118 and the ring plates 108, 114 are required at each location, the number of parts is increased and the cost is increased.

また、リーク検査を行う場合には、窒素ガスを容器１０２内に流してから窒素ガス圧力が所定値に整定するまでに時間がかかっていた（例えば１０分）。さらに、水素ガスと窒素ガスとの圧力差が所定値に整定するまでに時間がかかっていた（例えば２０分）。このように、従来では、１本のセル管２０を検査するのに、セル管２０の設置に３０分、圧力の整定に３０分の合計６０分もの時間を要していた。 In addition, when performing a leak test, it took time (for example, 10 minutes) for the nitrogen gas pressure to settle to a predetermined value after flowing nitrogen gas into the container 102. Furthermore, it took time until the pressure difference between hydrogen gas and nitrogen gas settled to a predetermined value (for example, 20 minutes). Thus, conventionally, in order to inspect one cell tube 20, it took 30 minutes to install the cell tube 20 and 30 minutes to set the pressure for a total of 60 minutes.

また、特許文献１に記載されたシール装置は、装着する際に空気を導入する工程が必要となり、さらなる作業時間の短縮化を図ることができない。さらに、ゴム部材を膨張させるための空気を導入する配管が必要となり、部品点数が増加する。 Further, the sealing device described in Patent Document 1 requires a step of introducing air when being mounted, and cannot further shorten the work time. Furthermore, piping for introducing air for expanding the rubber member is required, and the number of parts increases.

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、簡便な構成で、セラミックス管を容器内に容易に設置することができるセラミックス管リーク検査冶具を提供することを目的とする。
また、本発明は、リーク検査の時間を短縮し、特に圧力整定時間を短縮することができるセラミックス管リーク検査装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of such circumstances, and an object of the present invention is to provide a ceramic tube leak inspection jig capable of easily installing a ceramic tube in a container with a simple configuration.
It is another object of the present invention to provide a ceramic tube leak inspection apparatus capable of reducing leak inspection time, and particularly reducing pressure settling time.

上記課題を解決するために、本発明のセラミックス管リーク検査冶具およびセラミックス管リーク検査装置は以下の手段を採用する。
すなわち、本発明にかかるセラミックス管リーク検査冶具は、長尺状のセラミックス管を収容する容器と、該容器の端部に固定されるとともに、前記セラミックス管の端部に連結されて該セラミックス管内の流路との間でガス流路を形成する接続手段と、を備え、前記セラミックス管の壁部を通過してリークしたリークガスを検出して前記セラミックス管のリークを検査するセラミックス管リーク検査装置に用いるセラミックス管リーク検査冶具において、前記接続手段は、前記セラミックス管の端部に直列に気密状態で取り付けられ、可撓性を有する連結チューブを備えていることを特徴とする。 In order to solve the above problems, the ceramic tube leak inspection jig and the ceramic tube leak inspection apparatus of the present invention employ the following means.
That is, a ceramic tube leak inspection jig according to the present invention is a container that accommodates a long ceramic tube, and is fixed to an end portion of the container, and is connected to an end portion of the ceramic tube to be contained in the ceramic tube. A ceramic tube leak inspection apparatus for detecting a leak gas leaking through a wall portion of the ceramic tube and inspecting the leak of the ceramic tube. In the ceramic tube leak inspection jig to be used, the connection means is attached in series in an airtight state to an end portion of the ceramic tube, and includes a flexible connecting tube.

可撓性を有する連結チューブによってセラミックス管の端部と気密に接続することとしたので、セラミックス管端部と接続手段との接続や取り外しの際にはセラミックス管端部と連結チューブとを脱着させるだけで済み、セラミックス管の接続や取り外しを簡便に行うことができる。したがって、セラミックス管を取り替える際に接続手段を容器から取り外す必要がない。
また、セラミックス管の長さや直径が変わっても、セラミックス管に直列に取り付けられた連結チューブは可撓性を有し、撓ませることもできるので、これらの寸法差を吸収することができる。さらに、種々の径や長さの連結チューブに交換することにより、あらゆるセラミックス管の寸法に対応することができる。 Since the flexible tube is connected to the end of the ceramic tube in an airtight manner, the ceramic tube end and the connection tube are detached when the ceramic tube end and the connecting means are connected or detached. The ceramic tube can be easily connected and detached. Therefore, it is not necessary to remove the connecting means from the container when replacing the ceramic tube.
Even if the length or diameter of the ceramic tube changes, the connecting tube attached in series to the ceramic tube has flexibility and can be bent, so that these dimensional differences can be absorbed. Furthermore, by replacing the connecting tube with various diameters and lengths, the dimensions of all ceramic tubes can be accommodated.

さらに、本発明のセラミックス管リーク検査冶具は、前記容器には、検査位置に設置された前記セラミックス管の側周面を投影した面積よりも大きな面積の開口部が形成され、検査時に前記開口部を気密に閉じる蓋体を備えていることを特徴とする。 Furthermore, in the ceramic tube leak inspection jig according to the present invention, an opening having an area larger than an area projected from a side peripheral surface of the ceramic tube installed at an inspection position is formed in the container. It is characterized by having a lid that closes airtightly.

容器に、検査位置に設置されたセラミックス管の側周面を投影した面積よりも大きな面積の開口部を設けたので、セラミックス管を検査位置の状態と同様の姿勢のまま移動させて検査位置に設置し、また検査位置から取り外すことができる。したがって、セラミックス管を検査位置から容易に脱着することができる。 Since the container has an opening with an area larger than the projected area of the side surface of the ceramic tube installed at the inspection position, the ceramic tube is moved in the same position as the inspection position to the inspection position. It can be installed and removed from the inspection position. Therefore, the ceramic tube can be easily detached from the inspection position.

さらに、本発明の参考例としてのセラミックス管検査冶具は、前記蓋体として、可視光を透過する材料を用いることを特徴とする。 Furthermore, a ceramic tube inspection jig as a reference example of the present invention is characterized in that a material that transmits visible light is used as the lid.

可視光を透過する蓋体としたので、検査中であってもセラミックス管を視認することができる。したがって、検査の不具合を確認することにより検査の信頼性を向上させることができる。
可視光を透過する材料としては、典型的にはアクリルが用いられる。 Since the lid transmits visible light, the ceramic tube can be seen even during inspection. Therefore, the reliability of the inspection can be improved by confirming the defect of the inspection.
As a material that transmits visible light, acrylic is typically used.

また、本発明者等は、セラミック管リーク検査装置について鋭意検討した結果、圧力整定時間の長期化は、主として、測定する際にバイパスラインから測定ラインであるセラミックス管内および容器内に流路を切り替えた場合に、圧力変動が生じることに起因するものであることが見出された。そこで、本発明者等は、以下の手段を講じた。
つまり、本発明のセラミックス管リーク検査装置は、長尺状のセラミックス管を収容する容器と、前記セラミックス管内に第１ガスを供給する第１流路と、非検査時に、前記セラミックス管内の流路をバイパスして前記第１流路と接続される第１バイパス流路と、前記セラミックス管外側でかつ前記容器内に第２ガスを供給する第２流路と、を備え、非検査時に、前記容器内の流路をバイパスして前記第２流路と接続される第２バイパス流路と、前記第１流路を用いて前記セラミックス管内に第１ガスを供給するとともに、前記第２流路を用いて前記容器内に第２ガスを供給し、前記セラミックス管内から導出した第１ガスまたは前記容器内から導出した第２ガスを測定することにより、前記セラミックス管の壁部を通過してリークしたリークガスを検出して前記セラミックス管のリークを検査するセラミックス管リーク検査装置において、前記第１流路には、前記セラミックス管よりも下流側の位置に、該セラミックス管内の容積よりも１．５倍以上の容積を有する第１バッファタンクが設けられ、前記第２流路には、前記容器よりも下流側の位置に、前記容器内の容積から前記セラミックス管の体積を減じた容積よりも１．５倍以上の容積を有する第２バッファタンクが設けられていることを特徴とする。
さらに、前記第１流路は、前記容器よりも下流側の位置に第１流路下流配管を有し、前記第２流路は、前記容器よりも下流側の位置に第２流路下流配管を有し、前記第１流路下流配管の圧力が前記第２流路下流配管の圧力よりも所定値だけ高くなるように制御されることが好ましい。
さらに、前記第１流路下流配管の圧力が前記第２流路下流配管の圧力よりも５０ｍｍＡｑだけ高くなるように制御されることが好ましい。
さらに、前記容器内において、前記セラミックス管内外の圧力差を５０ｍｍＡｑに維持した状態でリーク検査を行うことが好ましい。 In addition, as a result of diligent investigations on the ceramic tube leak inspection device, the inventors of the present invention mainly switched the flow path from the bypass line to the ceramic tube, which is the measurement line, and into the container when measuring. It was found that this was due to pressure fluctuations. Therefore, the present inventors have taken the following measures.
That is, the ceramic tube leak inspection apparatus according to the present invention includes a container for accommodating a long ceramic tube, a first flow channel for supplying a first gas into the ceramic tube, and a flow channel in the ceramic tube during non-inspection. A first bypass flow path that bypasses the first flow path and is connected to the first flow path, and a second flow path that supplies the second gas to the outside of the ceramic tube and into the container. A second bypass flow path that bypasses the flow path in the container and is connected to the second flow path; a first gas is supplied into the ceramic tube using the first flow path; and the second flow path The second gas is supplied into the container using the gas, and the first gas derived from the ceramic tube or the second gas derived from the container is measured to leak through the wall of the ceramic tube. Lee In the ceramic tube leak inspection apparatus for detecting a leak of the ceramic tube by detecting a gas, the first flow path is located at a position downstream of the ceramic tube and is 1.5 times larger than a volume in the ceramic tube. A first buffer tank having the above-described volume is provided, and the second flow path is located at a position downstream of the container at a position 1. which is less than the volume obtained by subtracting the volume of the ceramic tube from the volume in the container. A second buffer tank having a volume of 5 times or more is provided.
Further, the first channel has a first channel downstream pipe at a position downstream of the container, and the second channel is a second channel downstream pipe at a position downstream of the container. It is preferable that the pressure of the first flow path downstream pipe is controlled to be higher than the pressure of the second flow path downstream pipe by a predetermined value.
Further, it is preferable that the pressure of the first flow path downstream pipe is controlled to be higher by 50 mmAq than the pressure of the second flow path downstream pipe.
Furthermore, it is preferable to perform a leak inspection in the container while maintaining a pressure difference between the inside and outside of the ceramic tube at 50 mmAq.

リーク検査を行わない非検査時には、第１ガスは第１バイパス流路を流れ、セラミックス管内の流路をバイパスして第１流路の下流側へと流れる。また、第２ガスは第２バイパス流路を流れ、セラミックス管外側でかつ容器内の流路をバイパスして第２流路の下流側へと流れる。
そして、リーク検査を行う検査時に、流路が切り替わり、第１ガスはセラミックス管内の流路を流れて第１流路の下流側へと流れる。また、第２ガスはセラミックス管外側でかつ容器内の流路を流れて第２流路の下流側へと流れる。
第１流路の下流側の容積が、バイパス管内の容積および該セラミックス管内の容積と同等とされている場合、また、第２流路の下流側の容積が、バイパス管内の容積および容器内の容積からセラミックス管の体積を減じた容積と同等とされている場合には、非検査時から検査時への切り換え時の圧力変動を下流側で吸収できずに、各流路の圧力値やバイパス管内外の圧力差が整定するまでに一定の時間がかかってしまう。
本発明は、バッファタンクを設けることにより、第１流路および第２流路の下流側の流路容積を大きくしたので、非検査時から検査時に切り替えても圧力の変動を吸収することができ、各流路の圧力値や圧力差が所定値に落ち着くまでの整定時間を短くすることができる。 At the time of non-inspection in which the leak inspection is not performed, the first gas flows through the first bypass flow path, bypasses the flow path in the ceramic tube, and flows downstream of the first flow path. The second gas flows through the second bypass flow path, and flows to the downstream side of the second flow path, bypassing the flow path inside the container and inside the container.
And at the time of the test | inspection which performs a leak test | inspection, a flow path switches and 1st gas flows through the flow path in a ceramic tube, and flows to the downstream of a 1st flow path. The second gas flows outside the ceramic tube and through the flow path in the container, and then flows downstream of the second flow path.
When the volume on the downstream side of the first flow path is equal to the volume in the bypass pipe and the volume in the ceramic pipe, the volume on the downstream side of the second flow path is equal to the volume in the bypass pipe and the volume in the container. If the volume is equal to the volume obtained by subtracting the volume of the ceramic tube from the volume, the pressure fluctuation at the time of switching from non-inspection to inspection cannot be absorbed downstream, and the pressure value of each flow path and bypass It takes a certain time for the pressure difference between the inside and outside of the tube to settle.
In the present invention, by providing the buffer tank, the flow volume on the downstream side of the first flow path and the second flow path is increased, so that it is possible to absorb pressure fluctuations even when switching from non-inspection to inspection. The settling time until the pressure value or pressure difference of each flow path settles to a predetermined value can be shortened.

本発明のセラミックス管リーク検査冶具は、可撓性を有する連結チューブを用いることとしたので、簡便な構成により、セラミックス管を容器内に容易に設置し、また容易に取り外すことができる。
本発明のセラミックス管リーク検査装置は、バッファタンクを設けることとしたので、リーク検査の時間を短縮し、特に圧力整定時間を短縮することができる。 Since the ceramic tube leak inspection jig of the present invention uses a flexible connecting tube, the ceramic tube can be easily installed and removed from the container with a simple configuration.
Since the ceramic tube leak inspection apparatus according to the present invention is provided with the buffer tank, the leak inspection time can be shortened, and in particular, the pressure settling time can be shortened.

以下に、本発明にかかる実施形態について、図面を参照して説明する。
図１には、本発明にかかるリーク検査冶具（セラミックス管リーク検査冶具）１が示されている。同図において、（ａ）はリーク検査冶具１の平面図である。（ｂ）はリーク検査装置１の正面図であるが、理解の容易のために、後述するクランプ９を削除し、基台３及び容器５のみを示した図である。（ｃ）はリーク検査冶具の右側面図である。（ｄ）はセル管２０と接続継手１４との接続部を拡大して示した部分断面図である。 Embodiments according to the present invention will be described below with reference to the drawings.
FIG. 1 shows a leak inspection jig (ceramic pipe leak inspection jig) 1 according to the present invention. In the figure, (a) is a plan view of the leak inspection jig 1. (B) is a front view of the leak inspection apparatus 1, but is a view showing only the base 3 and the container 5 by removing a clamp 9 described later for easy understanding. (C) is a right side view of the leak inspection jig. (D) is the fragmentary sectional view which expanded and showed the connection part of the cell pipe 20 and the connection coupling 14. FIG.

図１に示されているように、リーク検査冶具１は、基台３と、この基台３の下方に固定された容器５と、容器５の開口部５ｂを塞ぐ蓋体７と、蓋体７を固定する複数のクランプ９とを備えている。 As shown in FIG. 1, the leak inspection jig 1 includes a base 3, a container 5 fixed below the base 3, a lid 7 that closes the opening 5 b of the container 5, and a lid And a plurality of clamps 9 for fixing 7.

基台３は、ＳＵＳ等の金属製とされ、図１（ａ）及び（ｂ）に示すように、長方形とされた板状体である。基台３の中央部には、後述する容器５の開口部５ｂとほぼ同形状の長方形の開口部が形成されており、容器５の内部と連通している。 The base 3 is made of a metal such as SUS, and is a plate-like body having a rectangular shape as shown in FIGS. A rectangular opening having substantially the same shape as an opening 5b of the container 5 described later is formed at the center of the base 3 and communicates with the inside of the container 5.

容器５は、ＳＵＳ等の金属製とされ、図１（ｃ）に示すように、半円形の横断面を有した、円柱管を半割にした形状となっている。容器５の長さは、内部に収容される長尺状のセル管２０として想定される最大の長さよりも長い寸法とされている。したがって、容器５の開口部５ｂは、内部に設置されるセル管２０の側周面を投影した面積よりも大きな面積となっている。この開口部５ｂを介して、容器５内とのアクセスが可能となっている。
平面視した場合の容器５の側縁部は、基台３の下面に対して溶接されている。容器５の両端部には、図１（ｂ）に示すようにフランジ５ａが溶接により固定されている。この両フランジ５ａには、それぞれ、水素ガス（第１ガス）を流すための水素ガス供給管３０ａおよび水素ガス流出管３０ｂが接続されている。各フランジ５ａは、設置時に転がらずに安定するように、平らな底面を有している（図１（ｃ）参照）。
容器５の側周壁には、窒素ガス（第２ガス）を流すための窒素ガス供給管３１ａおよび窒素ガス流出管３１ｂが接続されている。 The container 5 is made of a metal such as SUS, and has a semicircular cross section and a half-divided shape of a cylindrical tube as shown in FIG. The length of the container 5 is longer than the maximum length assumed as the long cell tube 20 accommodated therein. Accordingly, the opening 5b of the container 5 has a larger area than the area projected from the side peripheral surface of the cell tube 20 installed inside. Access to the inside of the container 5 is possible through the opening 5b.
A side edge portion of the container 5 in a plan view is welded to the lower surface of the base 3. As shown in FIG. 1B, flanges 5a are fixed to both ends of the container 5 by welding. A hydrogen gas supply pipe 30a and a hydrogen gas outflow pipe 30b for flowing hydrogen gas (first gas) are connected to both flanges 5a, respectively. Each flange 5a has a flat bottom surface (see FIG. 1C) so as to be stable without rolling during installation.
A nitrogen gas supply pipe 31 a and a nitrogen gas outflow pipe 31 b for flowing nitrogen gas (second gas) are connected to the side peripheral wall of the container 5.

容器５内には、底部にスポンジ（図示せず）が敷かれており、この上にセル管２０が載置される。セル管２０の両端には、接続継手（接続手段）１４が取り付けられる。
接続継手１４は、図１（ｄ）に示すように、水素ガス供給管３０ａ又は水素ガス流出管３０ｂの一端に接続されたプラグ１４ａと、プラグ１４ａとセル管２０との間に接続された連結チューブ１４ｂとを備えている。
プラグ１４ａの先端は、先端に向かうにつれて外径が漸次減少しており（いわゆるタケノコ形状）、連結チューブ１４ｂが挿入しやすい形状となっている。
連結チューブ１４ｂは、例えば、シリコンゴム等の可撓性を有する材料で構成されている。連結チューブ１４ｂは、セル管２０の長手方向に向けて直列に、すなわちセル管２０の長手方向の長さが延長されるように取り付けられている。連結チューブ１４ｂの内径は、セル管２０の外径よりも小さいものが選定され、セル管２０の端部外周面に密着して確実に気密性を保つようになっている。 In the container 5, a sponge (not shown) is laid on the bottom, and the cell tube 20 is placed on the sponge. Connection joints (connection means) 14 are attached to both ends of the cell tube 20.
As shown in FIG. 1 (d), the connection joint 14 includes a plug 14 a connected to one end of the hydrogen gas supply pipe 30 a or the hydrogen gas outflow pipe 30 b, and a connection connected between the plug 14 a and the cell pipe 20. Tube 14b.
The distal end of the plug 14a has an outer diameter that gradually decreases toward the distal end (so-called bamboo shoot shape), and has a shape in which the connecting tube 14b can be easily inserted.
The connecting tube 14b is made of, for example, a flexible material such as silicon rubber. The connecting tube 14b is attached in series toward the longitudinal direction of the cell tube 20, that is, the length of the cell tube 20 in the longitudinal direction is extended. The inner diameter of the connecting tube 14 b is selected to be smaller than the outer diameter of the cell tube 20, and it is in close contact with the outer peripheral surface of the end of the cell tube 20 to ensure airtightness.

蓋体７は、板状体とされ、アクリル製とされており可視光を透過するものとなっている。この蓋体７は、容器５の開口部５ｂを上方からパッキン（図示せず）を介して塞ぐように配置される。蓋体７は、複数のクランプ９によってその外周部が基台３に対して押さえつけられるように固定される。 The lid body 7 is a plate-like body, made of acrylic, and transmits visible light. The lid 7 is disposed so as to close the opening 5b of the container 5 from above via a packing (not shown). The lid body 7 is fixed by a plurality of clamps 9 so that the outer periphery thereof is pressed against the base 3.

クランプ９は、図１（ａ）に示すように、基台３の４辺に沿って複数設けられている。クランプ９は、図１（ｃ）に示すように、基台３に固定されたブラケット９ａと、ブラケット９ａに下端部が回動自在に固定された駆動杆９ｂと、一端がブラケット９ａに回動自在に固定され、他端に当接杆が直交するように固定された中間杆９ｄとを備えている。中間杆９ｄの中間位置と駆動杆９ｂの中間位置とが回動自在に連結されていることにより、駆動杆９ｂの上端を回動させることで、当接杆９ｃの下端を蓋体７に対して接近・離間させることができるようになっている。 A plurality of clamps 9 are provided along the four sides of the base 3 as shown in FIG. As shown in FIG. 1C, the clamp 9 includes a bracket 9a fixed to the base 3, a drive rod 9b having a lower end rotatably fixed to the bracket 9a, and one end rotated to the bracket 9a. An intermediate rod 9d that is fixed freely and fixed so that the contact rod is orthogonal to the other end is provided. Since the intermediate position of the intermediate rod 9d and the intermediate position of the drive rod 9b are rotatably connected, the upper end of the drive rod 9b is rotated so that the lower end of the contact rod 9c is moved relative to the lid body 7. Can be moved closer to and away from each other.

上記構成のリーク検査冶具１によれば、セル管２０の脱着は以下のように行われる。
先ず、蓋体７を取り外した状態で、上方から、セル管２０を容器５内のスポンジ上に設置する。このときに、接続継手１４は容器５の両フランジ５ａに既に固定されており、セル管２０の設置・撤去作業の前後で取り外されることはない。また、接続継手１４は、プラグ１４ａに連結チューブ１４ｂが取り付けられた状態となっている。
次に、連結チューブ１４ｂの開放端に対してセル管２０の端部を挿入することによって取り付ける。この際に、連結チューブ１４ｂは可撓性を有する材料とされているので、連結チューブ１４ｂはセル管２０の外周に密着することになる。また、連結チューブ１４ｂとセル管２０との重ね代Ｌ１（図１（ｄ）参照）を調節することにより、あるいは連結チューブ１４を撓ませることにより、セル管２０の長さの変動に対応するようになっている。また、セル管２０の径や長さに応じて、セル管２０に適合するサイズの連結チューブを交換することとしても良い。 According to the leak inspection jig 1 having the above-described configuration, the cell tube 20 is attached and detached as follows.
First, with the lid 7 removed, the cell tube 20 is installed on the sponge in the container 5 from above. At this time, the connection joint 14 is already fixed to both flanges 5a of the container 5, and is not removed before and after the installation / removal operation of the cell tube 20. Further, the connection joint 14 is in a state in which the connection tube 14b is attached to the plug 14a.
Next, it attaches by inserting the edge part of the cell pipe | tube 20 with respect to the open end of the connection tube 14b. At this time, since the connecting tube 14 b is made of a flexible material, the connecting tube 14 b comes into close contact with the outer periphery of the cell tube 20. Further, by adjusting the overlap margin L1 (see FIG. 1 (d)) between the connecting tube 14b and the cell tube 20, or by bending the connecting tube 14, the variation of the length of the cell tube 20 is accommodated. It has become. Moreover, it is good also as replacing | exchanging the connection tube of the size suitable for the cell pipe 20 according to the diameter and length of the cell pipe 20. FIG.

セル管２０の両端部に接続継手１４を取り付けた後に、蓋体７を上方から容器５の開口部５ｂを塞ぐように配置し、各クランプ９によって蓋体７を容器５側に押し付けて気密に固定する。 After the connection joints 14 are attached to both ends of the cell tube 20, the lid body 7 is disposed so as to close the opening 5b of the container 5 from above, and the lid body 7 is pressed against the container 5 side by each clamp 9 to be airtight. Fix it.

以上により、リーク検査前のセル管２０の取付けが完了する。
リーク検査後のセル管２０の取り外しについては、上記手順の逆である。つまり、クランプ９を外し、蓋体７を取り外した後に、各接続継手１４の連結チューブ１４ｂをセル管２０の端部から取り外す。そして、セル管２０を容器５内から開口部５ｂを介して取り出す。 Thus, the attachment of the cell tube 20 before the leak inspection is completed.
The removal of the cell tube 20 after the leak inspection is the reverse of the above procedure. That is, after removing the clamp 9 and removing the lid 7, the connection tube 14 b of each connection joint 14 is removed from the end of the cell tube 20. And the cell pipe | tube 20 is taken out from the inside of the container 5 through the opening part 5b.

このように、本実施形態のリーク検査冶具１によれば、以下の作用効果を奏する。
可撓性を有する連結チューブ１４ｂによってセル管２０の端部と気密に接続することとしたので、セル管２０端部と接続継手との接続や取り外しの際にはセル管２０端部と連結チューブ１４とを脱着させるだけで済み、セル管２０の接続や取り外しを簡便に行うことができる。したがって、セル管２０を取り替える際に接続継手１４を容器５から取り外す必要がない。
また、セル管２０の長さや直径が変わっても、連結チューブ１４は可撓性を有するので、これらの寸法差を吸収することができる。さらに、種々の径や長さの連結チューブ１４に交換することにより、あらゆるセル管２０の寸法に対応することができる。
円管を半割にした形状の容器５とし、検査位置に設置されたセル管２０の側周面を投影した面積よりも大きな面積の開口部５ｂを設けたので、セル管２０を検査位置の状態と同様の姿勢のまま移動させて上方から検査位置に設置し、また検査位置から取り外すことができる。したがって、セル管２０を検査位置から容易に脱着することができる。
可視光を透過する蓋体７としたので、検査中であってもセル管２０を視認することができる。したがって、検査の不具合を確認することにより検査の信頼性を向上させることができる。 Thus, according to the leak inspection jig 1 of this embodiment, there exist the following effects.
Since the flexible connecting tube 14b is connected to the end of the cell tube 20 in an airtight manner, the end of the cell tube 20 and the connecting tube are connected when the end of the cell tube 20 is connected to or disconnected from the connecting joint. 14 and the cell tube 20 can be simply connected and detached. Therefore, it is not necessary to remove the connection joint 14 from the container 5 when replacing the cell tube 20.
Even if the length or diameter of the cell tube 20 changes, the connecting tube 14 has flexibility, so that these dimensional differences can be absorbed. Furthermore, it can respond to the dimension of all the cell pipe | tubes 20 by replacing | exchanging for the connection tube 14 of various diameters and lengths.
Since the container 5 has a shape in which the circular tube is halved, and the opening 5b having an area larger than the projected area of the side peripheral surface of the cell tube 20 installed at the inspection position is provided, the cell tube 20 is placed at the inspection position. It can be moved in the same posture as the state, installed at the inspection position from above, and removed from the inspection position. Therefore, the cell tube 20 can be easily detached from the inspection position.
Since the lid 7 transmits visible light, the cell tube 20 can be visually recognized even during the inspection. Therefore, the reliability of the inspection can be improved by confirming the defect of the inspection.

次に、図２を用いて、上記構成のリーク検査冶具１を用いたリーク検査装置２について説明する。
セル管２０の上流側には、接続継手１４を介して、水素ガス供給管（第１ガス流路）３０ａが接続されている。水素ガス供給管３０ａには、流量調整を行うためのマスフローコントローラ３２が設けられており、その下流側にはセル管２０をバイパスするように水素ガス用バイパス管（第１ガスバイパス流路）３４が接続されている。マスフローコントローラ３２の上流側には水素ガス用元弁３６が、マスフローコントローラ３２の下流側にはセル管上流側弁３８が設けられている。水素ガス用バイパス管３４には、マスフローコントローラ３４ｂ及び水素ガス用バイパス弁３４ａがこの順番で設けられている。 Next, a leak inspection apparatus 2 using the leak inspection jig 1 having the above configuration will be described with reference to FIG.
A hydrogen gas supply pipe (first gas flow path) 30 a is connected to the upstream side of the cell pipe 20 via the connection joint 14. The hydrogen gas supply pipe 30a is provided with a mass flow controller 32 for adjusting the flow rate, and a hydrogen gas bypass pipe (first gas bypass flow path) 34 is provided downstream of the cell pipe 20 so as to bypass the cell pipe 20. Is connected. A hydrogen gas main valve 36 is provided upstream of the mass flow controller 32, and a cell pipe upstream valve 38 is provided downstream of the mass flow controller 32. The hydrogen gas bypass pipe 34 is provided with a mass flow controller 34b and a hydrogen gas bypass valve 34a in this order.

セル管２０の下流側には、接続継手１４を介して、水素ガス流出管（第１ガス流路）３０ｂが接続されている。水素ガス流出管３０ｂには、セル管２０の下流側に、セル管下流側弁４０が設けられている。水素ガス用バイパス管３４の下流端は、セル管下流側弁４０の下流側において接続されている。水素ガス用バイパス管３４が水素ガス流出管３０ｂに接続された位置のさらに下流には、水素ガス用バッファタンク（第１バッファタンク）４３、水素ガス圧力調整弁４４及びガスメータ４６がこの順に接続されている。
水素ガス用バッファタンク４３は、水素ガスを所定量貯留しておく容器であり、セル管２０内の容積よりも１倍以上、より好ましくは１．５倍以上、さらに好ましくは２倍以上の容積を有する。
水素ガス圧力調整弁４４は、差圧センサ４４ａによって得られる圧力差（水素ガス流出管３０ｂと窒素ガス下流配管５０ｂとの圧力差）に基づいて、その開度が制御されるようになっている。
ガスメータ４６は、水素ガスの体積を測定し、その測定結果をデジタルパネルメータ４８に出力する。
水素ガス圧力調整弁４４とガスメータ４６との間には、開閉弁を備えたガスサンプリングライン４９が設けられている。ガスサンプリングライン４９の下流側にはガスクロマトグラフ（図示せず）が設置されており、ガス成分の分析が行われるようになっている。 A hydrogen gas outflow pipe (first gas flow path) 30 b is connected to the downstream side of the cell pipe 20 via the connection joint 14. The hydrogen gas outflow pipe 30 b is provided with a cell pipe downstream side valve 40 on the downstream side of the cell pipe 20. The downstream end of the hydrogen gas bypass pipe 34 is connected to the downstream side of the cell pipe downstream valve 40. A hydrogen gas buffer tank (first buffer tank) 43, a hydrogen gas pressure adjusting valve 44, and a gas meter 46 are connected in this order further downstream of the position where the hydrogen gas bypass pipe 34 is connected to the hydrogen gas outflow pipe 30b. ing.
The hydrogen gas buffer tank 43 is a container for storing a predetermined amount of hydrogen gas. The volume of the hydrogen gas buffer tank 43 is 1 or more times, more preferably 1.5 or more times, and even more preferably 2 or more times the volume in the cell tube 20. Have
The opening degree of the hydrogen gas pressure adjusting valve 44 is controlled based on the pressure difference obtained by the differential pressure sensor 44a (pressure difference between the hydrogen gas outlet pipe 30b and the nitrogen gas downstream pipe 50b). .
The gas meter 46 measures the volume of hydrogen gas and outputs the measurement result to the digital panel meter 48.
A gas sampling line 49 having an open / close valve is provided between the hydrogen gas pressure adjusting valve 44 and the gas meter 46. A gas chromatograph (not shown) is installed on the downstream side of the gas sampling line 49 to analyze gas components.

容器５の外周には、図１に示したように、窒素ガス供給管（第２ガス流路）３１ａ及び窒素ガス流出管（第２ガス流路）３１ｂが接続されている。窒素ガス供給管３１ａ及び窒素ガス流出管３１ｂには、それぞれ、容器上流側弁５１ａ及び容器下流側弁５１ｂが設けられている。
窒素ガス供給管３１ａには、容器上流側弁５１ａの上流に、マスフローメータ５２が設けられている。マスフローメータ５２のさらに上流側には、窒素ガス上流配管５０ａが接続されている。窒素ガス上流配管（第２ガス流路）５０ａの上流側には、窒素ガス用元弁５４が設けられている。 As shown in FIG. 1, a nitrogen gas supply pipe (second gas flow path) 31a and a nitrogen gas outflow pipe (second gas flow path) 31b are connected to the outer periphery of the container 5. The nitrogen gas supply pipe 31a and the nitrogen gas outflow pipe 31b are provided with a container upstream valve 51a and a container downstream valve 51b, respectively.
A mass flow meter 52 is provided in the nitrogen gas supply pipe 31a upstream of the container upstream side valve 51a. A nitrogen gas upstream pipe 50 a is connected to the upstream side of the mass flow meter 52. A nitrogen gas main valve 54 is provided on the upstream side of the nitrogen gas upstream pipe (second gas flow path) 50a.

窒素ガス供給管３１ａと窒素ガス流出管３１ｂとの間には、窒素ガス用バイパス管５６が接続されている。この窒素ガスバイパス管５６には、マスフローメータ５６ｂ及び窒素ガス用バイパス弁５６ａがこの順番で設けられている。
窒素ガス流出管３１ｂの下流側には、窒素ガス下流配管（第２ガス流路）５０ｂが接続されている。窒素ガス下流配管５０ｂには、窒素ガス用バッファタンク（第２バッファタンク）５７、窒素ガス圧力調整弁５８及びガスメータ６０が順に接続されている。
窒素ガス用バッファタンク５７は、窒素ガスを所定量貯留しておく容器であり、容器５の容積からセル管２０の体積を減じた容積よりも１倍以上、より好ましくは１．５倍以上、さらに好ましくは２倍以上の容積を有する。
窒素ガス圧力調整弁５８は、圧力センサ５８ａから得られる窒素ガス下流配管５０ｂの圧力値に基づいて、その開度が制御されるようになっている。
ガスメータ６０は、窒素ガス（場合によっては水素ガスが混入されたガス）の体積を測定し、その測定結果をデジタルパネルメータ６２に出力する。
窒素ガス圧力調整弁５８とガスメータ６０との間には、開閉弁を備えたガスサンプリングライン５９が設けられている。ガスサンプリングライン５９の下流側にはガスクロマトグラフ（図示せず）が設置されており、ガス成分の分析が行われるようになっている。 A nitrogen gas bypass pipe 56 is connected between the nitrogen gas supply pipe 31a and the nitrogen gas outflow pipe 31b. The nitrogen gas bypass pipe 56 is provided with a mass flow meter 56b and a nitrogen gas bypass valve 56a in this order.
A nitrogen gas downstream pipe (second gas flow path) 50b is connected to the downstream side of the nitrogen gas outflow pipe 31b. A nitrogen gas buffer tank (second buffer tank) 57, a nitrogen gas pressure adjustment valve 58, and a gas meter 60 are sequentially connected to the nitrogen gas downstream pipe 50 b.
The nitrogen gas buffer tank 57 is a container for storing a predetermined amount of nitrogen gas, which is 1 or more times, more preferably 1.5 or more times the volume obtained by subtracting the volume of the cell tube 20 from the volume of the container 5. More preferably, the volume is twice or more.
The opening degree of the nitrogen gas pressure adjusting valve 58 is controlled based on the pressure value of the nitrogen gas downstream pipe 50b obtained from the pressure sensor 58a.
The gas meter 60 measures the volume of nitrogen gas (gas mixed with hydrogen gas in some cases), and outputs the measurement result to the digital panel meter 62.
Between the nitrogen gas pressure regulating valve 58 and the gas meter 60, a gas sampling line 59 having an on-off valve is provided. A gas chromatograph (not shown) is installed on the downstream side of the gas sampling line 59 to analyze gas components.

次に、上記構成のリーク検査装置２の検査方法について説明する。
セル管２０が容器５内に設置される前は、セル管上流側弁３８及びセル管下流側弁４０が閉じられ、水素ガス用バイパス弁３４ａが開けられている。したがって、水素ガスは、セル管２０内の流路を流れずに水素ガス用バイパス管３４を流れて水素ガス流出管３０ｂへと導かれる。また、容器上流側弁５１ａ及び容器下流側弁５１ｂが閉じられ、窒素ガスバイパス弁５６ａが開けられている。したがって、窒素ガスは、容器５内へは流れずに、窒素ガスバイパス管５６を通り窒素ガス下流配管５０ｂへと導かれる。 Next, an inspection method of the leak inspection apparatus 2 having the above configuration will be described.
Before the cell pipe 20 is installed in the container 5, the cell pipe upstream valve 38 and the cell pipe downstream valve 40 are closed, and the hydrogen gas bypass valve 34a is opened. Accordingly, the hydrogen gas flows through the hydrogen gas bypass pipe 34 without flowing through the flow path in the cell pipe 20 and is guided to the hydrogen gas outflow pipe 30b. The container upstream valve 51a and the container downstream valve 51b are closed, and the nitrogen gas bypass valve 56a is opened. Therefore, the nitrogen gas does not flow into the container 5 but is led to the nitrogen gas downstream pipe 50 b through the nitrogen gas bypass pipe 56.

そして、セル管２０が容器５内に設置された後に、セル管上流側弁３８及びセル管下流側弁４０を開け、水素ガス用バイパス弁３４ａを閉じ、水素ガスをセル管２０内の流路に流す。水素ガスの流路を水素ガスバイパス管３４からセル管２０内の流路に切り替えた直後は、セル管２０内に滞留していたガスが下流側へと押し出され、水素ガス下流配管３０ｂを通過して水素ガス用バッファタンク４３へと導かれる。水素ガス用バッファタンク４３は、セル管２０内の容積よりも十分に大きな容積を有しているので、圧力変動を生じることなくセル管２０内に滞留していたガスを受け入れる。
また、容器上流側弁５１ａ及び容器下流側弁５１ｂを開け、窒素ガスバイパス弁５６ａを閉じ、窒素ガスを容器５内へと流す。窒素ガスの流路を窒素ガスバイパス管５６から容器５内の流路に切り替えた直後は、容器５内に滞留していたガスが下流側へと押し出され、窒素ガス下流配管５０ｂを通過して窒素ガス用バッファタンク５７へと導かれる。窒素ガス用バッファタンク５７は、容器５の容積からセル管２０の体積を減じた容積よりも十分に大きな容積を有しているので、圧力変動を生じることなく容器５内に滞留していたガスを受け入れる。 After the cell pipe 20 is installed in the container 5, the cell pipe upstream valve 38 and the cell pipe downstream valve 40 are opened, the hydrogen gas bypass valve 34 a is closed, and the hydrogen gas is flowed through the cell pipe 20. Shed. Immediately after switching the hydrogen gas flow path from the hydrogen gas bypass pipe 34 to the flow path in the cell pipe 20, the gas staying in the cell pipe 20 is pushed out downstream and passes through the hydrogen gas downstream pipe 30b. Then, it is guided to the buffer tank 43 for hydrogen gas. Since the hydrogen gas buffer tank 43 has a volume sufficiently larger than the volume in the cell tube 20, the hydrogen gas buffer tank 43 receives the gas retained in the cell tube 20 without causing a pressure fluctuation.
Further, the container upstream side valve 51 a and the container downstream side valve 51 b are opened, the nitrogen gas bypass valve 56 a is closed, and the nitrogen gas flows into the container 5. Immediately after switching the flow path of nitrogen gas from the nitrogen gas bypass pipe 56 to the flow path in the container 5, the gas staying in the container 5 is pushed out downstream and passes through the nitrogen gas downstream pipe 50b. It is guided to the buffer tank 57 for nitrogen gas. The nitrogen gas buffer tank 57 has a volume sufficiently larger than the volume obtained by subtracting the volume of the cell tube 20 from the volume of the container 5, so that the gas staying in the container 5 without causing pressure fluctuations. Accept.

上記のように水素ガスおよび窒素ガスの流路をバイパス流路から検査側の流路に切り替えた後に、窒素ガス圧力調整弁５８によって、窒素ガス下流配管５０ｂ内の圧力が所定値になるように制御されるとともに、水素ガス圧力調整弁４４によって、水素ガス下流配管３０ｂの圧力が窒素ガス下流配管５０ｂの圧力よりも所定値（例えば５０ｍｍＡｑ(４９０Pa)）だけ高くなるように制御される。本実施形態では、水素ガス用バッファタンク４３及び窒素ガス用バッファタンク５７によって切り替え時の圧力変動を吸収するので、窒素ガス下流配管５０ｂ内の圧力が所定値になるまでに要する整定時間、および水素ガス下流配管３０ｂの圧力が窒素ガス下流配管５０ｂの圧力よりも所定値（例えば５０ｍｍＡｑ(４９０Pa)）だけ高くなるまでに要する整定時間のそれぞれが極めて短くなる。 After switching the hydrogen gas and nitrogen gas flow paths from the bypass flow path to the inspection-side flow path as described above, the pressure in the nitrogen gas downstream pipe 50b is set to a predetermined value by the nitrogen gas pressure adjusting valve 58. At the same time, the hydrogen gas pressure adjusting valve 44 controls the pressure of the hydrogen gas downstream pipe 30b to be higher than the pressure of the nitrogen gas downstream pipe 50b by a predetermined value (for example, 50 mmAq (490 Pa)). In this embodiment, the hydrogen gas buffer tank 43 and the nitrogen gas buffer tank 57 absorb the pressure fluctuation at the time of switching, so that the settling time required until the pressure in the nitrogen gas downstream pipe 50b reaches a predetermined value, and hydrogen Each settling time required until the pressure of the gas downstream pipe 30b becomes higher than the pressure of the nitrogen gas downstream pipe 50b by a predetermined value (for example, 50 mmAq (490 Pa)) becomes extremely short.

このようにして、セル管２０の内外の圧力差を例えば５０ｍｍＡｑ(４９０Pa)に維持した状態で、リーク検査を行う。
リークが発生していた場合には、セル管２０内を流れる水素ガスがセル管２０の外部へと流れ、容器５内を流れる窒素ガスとともに窒素ガス下流配管５０ｂへと導かれる。水素ガスが混入した窒素ガスは、ガスメータ６０によって体積が測定される。また、ガスサンプリングライン５９から部分的に抽出されたガスをガスクロマトグラフで分析することにより、ガス組成の成分比が測定される。これにより、窒素ガスに混入された水素が検出され、水素がリークしていることが確認される。
また、セル管２０内を流れた水素ガスについても、ガスメータ４６で体積を測定し、ガスクロマトグラフによってガス成分を分析する。ガスメータ４６の測定値から、水素ガスの減少量を漏れ量として算出し、水素がリークしていることを確認する。 In this way, the leak inspection is performed in a state where the pressure difference between the inside and outside of the cell tube 20 is maintained at, for example, 50 mmAq (490 Pa).
If a leak has occurred, the hydrogen gas flowing in the cell pipe 20 flows to the outside of the cell pipe 20 and is led to the nitrogen gas downstream pipe 50b together with the nitrogen gas flowing in the container 5. The volume of nitrogen gas mixed with hydrogen gas is measured by the gas meter 60. Further, the component ratio of the gas composition is measured by analyzing the gas partially extracted from the gas sampling line 59 with a gas chromatograph. Thereby, hydrogen mixed in nitrogen gas is detected, and it is confirmed that hydrogen is leaking.
Further, the volume of the hydrogen gas flowing in the cell tube 20 is also measured by the gas meter 46, and the gas component is analyzed by a gas chromatograph. From the measured value of the gas meter 46, the amount of decrease in hydrogen gas is calculated as a leakage amount, and it is confirmed that hydrogen is leaking.

以上のように、本実施形態のリーク検査装置２によれば、以下の効果を奏する。
水素用バッファタンク４３を設けることにより、セル管２０内部よりも下流側の容積を大きくし、窒素用バッファタンク５７を設けることにより、容器５内の容積からセル管２０体積を減じた容積よりも下流側の容積を大きくしたので、バイパス管３４，５６にそれぞれ水素ガスおよび窒素ガスを流す非検査時から、セル管２０および容器５内にそれぞれ水素ガスおよび窒素ガスを流す検査時に切り替えても、圧力の変動を吸収することができる。したがって、圧力差が所定値に落ち着くまでの整定時間を短くすることができる。
本実施形態の場合、例えば、１本のセル管２０に対して、セル管２０の設置および圧力整定を含む検査工程が１５〜２０分で済む。したがって、従来に対して生産性を約２．５倍に高めることができる。 As described above, the leak inspection apparatus 2 of the present embodiment has the following effects.
By providing the hydrogen buffer tank 43, the volume downstream from the inside of the cell tube 20 is increased, and by providing the nitrogen buffer tank 57, the volume of the cell tube 20 is subtracted from the volume in the container 5. Since the volume on the downstream side has been increased, switching from the non-inspection for flowing hydrogen gas and nitrogen gas to the bypass pipes 34 and 56, respectively, to the inspection for flowing hydrogen gas and nitrogen gas into the cell tube 20 and the container 5, respectively, Pressure fluctuations can be absorbed. Therefore, the settling time until the pressure difference settles to a predetermined value can be shortened.
In the case of the present embodiment, for example, for one cell tube 20, the inspection process including the installation of the cell tube 20 and the pressure stabilization may be 15 to 20 minutes. Therefore, the productivity can be increased by about 2.5 times compared to the conventional case.

なお、本実施形態では、ＳＯＦＣに用いるセル管２０を用いて説明したが、本発明のセラミックス管リーク検査冶具およびセラミックス管リーク検査装置はこれに限定されるものではなく、セラミックス管であれば適用できるものである。
また、本発明は、例えば高温水蒸気電解装置（ＳＯＳＥ）のセル管に用いても良い。 In the present embodiment, the cell tube 20 used for SOFC has been described. However, the ceramic tube leak inspection jig and the ceramic tube leak inspection apparatus of the present invention are not limited to this, and any ceramic tube can be used. It can be done.
Moreover, you may use this invention for the cell pipe | tube of a high temperature steam electrolysis apparatus (SOSE), for example.

本発明のリーク検査冶具を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は要部の正面図、（ｃ）は側面図、（ｄ）はセル管と接続継手との接続部を示した部分断面図である。The leak inspection jig of this invention is shown, (a) is a top view, (b) is a front view of the principal part, (c) is a side view, (d) is the part which showed the connection part of a cell pipe and a connection joint. It is sectional drawing. 本発明のリーク検査装置を示した概略図である。It is the schematic which showed the leak test | inspection apparatus of this invention. 円筒形ＳＯＦＣに用いる燃料電池セル管を示した部分断面斜視図である。It is the fragmentary sectional perspective view which showed the fuel battery cell pipe | tube used for cylindrical SOFC. 従来のリーク検査冶具を示し、（ａ）は断面図、（ｂ）は接続継手の部分断面図、（ｃ）はフランジ部の部分断面図である。The conventional leak test | inspection jig is shown, (a) is sectional drawing, (b) is a fragmentary sectional view of a connection joint, (c) is a fragmentary sectional view of a flange part. 従来のリーク検査装置を示した概略図である。It is the schematic which showed the conventional leak test | inspection apparatus.

Explanation of symbols

１リーク検査装置
２リーク検査冶具
５容器
５ｂ開口部
７蓋体
１４接続継手（接続手段）
１４ｂ連結チューブ
２０セル管（セラミックス管）
４３水素ガス用バッファタンク
５７窒素ガス用バッファタンク DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Leak inspection apparatus 2 Leak inspection jig 5 Container 5b Opening part 7 Cover body 14 Connection joint (connection means)
14b Connecting tube 20 Cell tube (ceramic tube)
43 Hydrogen Gas Buffer Tank 57 Nitrogen Gas Buffer Tank

Claims

A container for containing a ceramic tube;
A first flow path for supplying a first gas into the ceramic tube;
A first bypass flow path that bypasses the flow path in the ceramic tube and is connected to the first flow path during non-inspection;
A second flow path for supplying a second gas to the outside of the ceramic tube and into the container,
A second bypass flow path that bypasses the flow path in the container and is connected to the second flow path during non-inspection;
The first gas is supplied into the ceramic tube using the first flow channel, the second gas is supplied into the container using the second flow channel, and the first gas derived from the ceramic tube or the In the ceramic tube leak inspection apparatus for detecting a leak gas leaking through the wall of the ceramic tube by measuring the second gas derived from the inside of the container and inspecting the leak of the ceramic tube,
The first flow path is provided with a first buffer tank having a volume 1.5 times or more larger than the volume in the ceramic tube at a position downstream of the ceramic tube.
The second flow path is provided with a second buffer tank at a position downstream of the container, the second buffer tank having a volume of 1.5 times or more the volume obtained by subtracting the volume of the ceramic tube from the volume in the container. Ceramic tube leak inspection device characterized by being.

  The first flow path has a first flow path downstream pipe at a position downstream of the container,
  The second flow path has a second flow path downstream pipe at a position downstream of the container,
  2. The ceramic pipe leak inspection apparatus according to claim 1, wherein the pressure of the first flow path downstream pipe is controlled to be higher than the pressure of the second flow path downstream pipe by a predetermined value.

3. The ceramic pipe leak inspection apparatus according to claim 2, wherein the pressure of the first flow path downstream pipe is controlled to be higher by 50 mmAq than the pressure of the second flow path downstream pipe.

The ceramic tube leak inspection apparatus according to any one of claims 1 to 3, wherein a leak inspection is performed in the container while a pressure difference between the inside and outside of the ceramic tube is maintained at 50 mmAq.

In the container, both ends of the ceramic tube and the first flow path are flexible.
The ceramic tube leak inspection apparatus according to any one of claims 1 to 4, wherein the ceramic tube leak inspection apparatus is connected by a connection tube having the following.

In the container, an opening having an area larger than an area projected from the side peripheral surface of the ceramic tube is formed,
The ceramic tube leak inspection apparatus according to any one of claims 1 to 5, further comprising a lid body that hermetically closes the opening during inspection.