JP3324619B2 - Package leak measuring device - Google Patents

Package leak measuring device

Info

Publication number
JP3324619B2
JP3324619B2 JP10060893A JP10060893A JP3324619B2 JP 3324619 B2 JP3324619 B2 JP 3324619B2 JP 10060893 A JP10060893 A JP 10060893A JP 10060893 A JP10060893 A JP 10060893A JP 3324619 B2 JP3324619 B2 JP 3324619B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
chamber
valve
air
pressure
package
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP10060893A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH06307972A (en
Inventor
滋 堀田
Original Assignee
高千穂精機株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 高千穂精機株式会社 filed Critical 高千穂精機株式会社
Priority to JP10060893A priority Critical patent/JP3324619B2/en
Publication of JPH06307972A publication Critical patent/JPH06307972A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3324619B2 publication Critical patent/JP3324619B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、食品、医薬品等を気密
封塞したパッケージのリークを試験するために使用され
るパッケージリーク測定装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a package leak measuring device used for testing the leak of a package in which food, medicine and the like are hermetically sealed.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来のこの種装置として、本発明の発明
者と同じ人によって発明された装置(昭和63年特許出願
第78071 号)がある。その装置は、被検パッケージを入
れるチャンバーと、真空ポンプと、前記チャンバーの内
部と真空ポンプとを連通する排気管と、その排気管に設
けられて排気流路を開閉するバルブと、前記チャンバー
の内圧を測定するとともに前記バルブを制御する測定制
御部とからなる装置において、前記排気流路の前記バル
ブと前記真空ポンプとの間に外気をリークさせるように
してなるリークバルブを設けたもので、そのリークバル
ブの外気リーク量が、チャンバー内圧が設定値に近づく
に従って増加するようにして、チャンバー内空気の排出
速度が排気流路閉止直前で遅くなるようにし、よって、
排気流路閉止直後に生ずるチャンバー内圧の脈動が小さ
くなり、チャンバー内圧が短時間で安定するようにした
ものである。
2. Description of the Related Art As a conventional apparatus of this kind, there is an apparatus invented by the same person as the inventor of the present invention (Japanese Patent Application No. 78071 in 1988). The apparatus includes a chamber for receiving a package to be tested, a vacuum pump, an exhaust pipe communicating the interior of the chamber with the vacuum pump, a valve provided in the exhaust pipe for opening and closing an exhaust flow path, In a device comprising a measurement control unit that measures the internal pressure and controls the valve, provided with a leak valve configured to leak outside air between the valve and the vacuum pump in the exhaust passage, The outside air leak amount of the leak valve is increased as the chamber internal pressure approaches the set value, so that the discharge speed of the air in the chamber is reduced immediately before closing the exhaust flow path,
The pulsation of the chamber internal pressure generated immediately after the exhaust passage is closed is reduced, and the chamber internal pressure is stabilized in a short time.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】上記従来の装置は、排
気流路閉止直後のチャンバー内圧脈動が小さいため、排
気流路閉止後のチャンバー内圧のバラツキ値が小さく、
かつ、設定圧に対する実圧の精度も高いという長所を有
するが、排気流路閉止直前のチャンバー内空気排出速度
が遅いため、被検パッケージに大きな孔があった場合、
パッケージ内部も減圧され、よって、そのパッケージが
良品と誤判定されることもあるという問題点がある。
In the above-mentioned conventional apparatus, the pulsation of the internal pressure of the chamber immediately after the closing of the exhaust passage is small, so that the variation value of the internal pressure of the chamber after the closing of the exhaust passage is small.
Also, it has the advantage that the accuracy of the actual pressure with respect to the set pressure is also high, but since the air discharge speed in the chamber immediately before closing the exhaust passage is slow, if there is a large hole in the test package,
There is a problem that the pressure inside the package is also reduced, so that the package may be erroneously determined as a non-defective product.

【0004】本発明が解決しようとる課題は、前記誤判
定をなくすために、チャンバー内空気の排出をチャンバ
ー内圧が設定値に到達するまで高速で行うこととし、そ
のように高速で排気しながら排気流路を閉止したときに
生ずるオーバーシュートによって過渡に減圧されたチャ
ンバー内圧を設定値に戻すことができるようにし、合わ
せて、排気流路を閉止したときに生ずるチャンバー内圧
の脈動を抑制し、よって、チャンバー内空気の排出開始
からチャンバー内圧が設定値上で安定するまでの時間を
短縮し、パッケージのリーク試験に要する時間を短縮し
た試験装置を提供することにある。
The problem to be solved by the present invention is to eliminate the erroneous determination by exhausting the air in the chamber at a high speed until the pressure in the chamber reaches a set value. The chamber pressure transiently reduced by the overshoot generated when the flow path is closed can be returned to the set value, and the pulsation of the chamber pressure generated when the exhaust flow path is closed is suppressed. It is another object of the present invention to provide a test apparatus in which the time required from the start of discharge of air in the chamber to the time when the pressure in the chamber stabilizes at a set value is reduced, and the time required for a leak test of the package is reduced.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題のも
とになされたものであって、被検パッケージを入れるチ
ャンバーと、真空ポンプと、前記チャンバーの内部と前
記真空ポンプとを連通する排気管と、その排気管に設け
られてその排気流路を開閉するバルブと、前記チャンバ
ー内圧を測定して前記バルブを開閉制御する測定制御部
とを備えたパッケージリーク測定装置において、前記チ
ャンバーに所定容積の大気を収容する空気収容容器をそ
の両者の内部を連通する吐気管を介して設け、その吐気
管に前記測定制御部の制御によって前記吐気管の吐気流
路を開閉するバルブを設け、前記吐気管に、空気収容容
器内の空気をチャンバー内に所定時間で吐出するように
した制御バルブを設けたものである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and has a chamber for receiving a package to be inspected, a vacuum pump, and a communication between the inside of the chamber and the vacuum pump. An exhaust pipe, a valve provided in the exhaust pipe for opening and closing the exhaust flow path, and a measurement control unit for controlling the opening and closing of the valve by measuring an internal pressure of the chamber; An air storage container that stores a predetermined volume of air is provided via an exhalation tube that communicates the inside of the two, and a valve that opens and closes the exhalation flow path of the exhalation tube under the control of the measurement control unit is provided in the exhalation tube, A control valve for discharging air in the air storage container into the chamber for a predetermined time is provided in the exhaust pipe.

【0006】また、被検パッケージが、弱体でなるた
め、前記オーバーシュートによって破損する虞れがある
場合は、上記手段に加えて、チャンバー内空気排出管に
外気をリークするようにしてなるリークバルブを併用す
るのが好ましい。
If the package to be inspected is weak and may be damaged by the overshoot, in addition to the above-described means, a leak valve configured to leak outside air to the air discharge pipe in the chamber. It is preferred to use

【0007】[0007]

【作用】チャンバー内空気を高速で排出しながら、圧力
が設定値に到達したときに空気排出流路を閉止すると、
チャンバー内圧は設定値を超えて負圧にオーバーシュー
トする。前記吐気管に設けたバルブが開くと、チャンバ
ー内に所定量の空気が所定時間で吐出され、チャンバー
内に所定の正圧が与えられる。チャンバー内に所定の正
圧が与えられると、前記負圧オーバーシュートによって
設定値を超えたチャンバー内圧は設定値に戻される。同
時に、チャンバー内圧の脈動も抑制される。
When the pressure reaches a set value while the air in the chamber is exhausted at a high speed, the air exhaust passage is closed.
The chamber internal pressure exceeds the set value and overshoots to a negative pressure. When a valve provided in the exhalation tube is opened, a predetermined amount of air is discharged into the chamber for a predetermined time, and a predetermined positive pressure is applied to the chamber. When a predetermined positive pressure is applied to the chamber, the chamber internal pressure exceeding the set value due to the negative pressure overshoot is returned to the set value. At the same time, the pulsation of the chamber internal pressure is suppressed.

【0008】チャンバー内空気排出管に外気をリークす
るようにしてなるリークバルブを併用すると、チャンバ
ー内圧が設定値に近づくに従ってチャンバー内空気の排
出速度が遅くなり、チャンバー内空気排出路を閉止した
ときに生ずるチャンバー内圧のオーバーシュートは小さ
くなり、脈動はさらに抑制される。
When a leak valve for leaking outside air is used together with the air discharge pipe in the chamber, the discharge speed of the air in the chamber becomes slower as the pressure in the chamber approaches the set value, and the air discharge passage in the chamber is closed. The overshoot of the chamber internal pressure occurring at the time of is reduced, and the pulsation is further suppressed.

【0009】図3に、本発明の装置、従来の装置、それ
ぞれにおけるチャンバー内圧変化を示す。この図におい
て、縦軸Pはチャンバー内圧を、横軸Tは時間を、PS
は設定値を、Aは本発明の装置で空気収容容器だけを設
けた装置における圧力変化を、Bは本発明の装置で空気
収容容器とリークバルブとを併用した装置における圧力
変化を、Cは従来装置でリークバルブだけを設けた装置
における圧力変化を、鎖線で示すDは、チャンバー内空
気の排出をA線に沿った速度で行ない、空気収容容器
も、リークバルブも使用しない場合の圧力変化を、aは
空気吐出流路を開いた時点を、ma,mb,mcは圧力
安定時点をそれぞれ示す。
FIG. 3 shows changes in the internal pressure of the chamber in each of the apparatus of the present invention and the conventional apparatus. In this figure, the vertical axis P indicates the chamber internal pressure, the horizontal axis T indicates time, and PS
A is a set value, A is a pressure change in the device of the present invention provided with only the air container, B is a pressure change in the device of the present invention using both the air container and the leak valve, and C is a set value. The pressure change in a conventional device provided with only a leak valve is indicated by a dashed line D is the pressure change when the air in the chamber is discharged at a speed along the line A, and neither the air container nor the leak valve is used. , A indicates a point in time when the air discharge channel is opened, and ma, mb, and mc indicate points in time at which the pressure is stabilized.

【0010】[0010]

【実施例】図1は、本発明の第1実施例を示す概念図で
ある。この図において、20はチャンバーで、被検パッ
ケージ22を出し入れする開閉部(図示せず)を備える
とともにチャンバー内部は気密封塞できるようになって
いる。チャンバーの形状および大きさは被検パッケージ
の形状および大きさを勘案して製作される。24は真空
ポンプ、26は排気管、28は外気排出口、30は電磁
駆動式真空バルブ、32は真空ポンプ駆動モータであ
る。34は空気ボンベ、すなわち、空気収容容器であ
る。36は空気吐出流路、38は電磁バルブである。4
0は空気流量制御バルブで流量調整可能となっている。
空気ボンベ34は、空気吐出流路36を画定する部材に
フランジを介してボルト締めされ、ボンベの交換ができ
るようになっている。ボンベの容積は、チャンバー内圧
設定値とチャンバー内の被検体を入れた後の残存スペー
スとによって選定され、チャンバー容積の略1〜5%と
なっている。42はチャンバー内圧検出器で、測定制御
部44の入力回路に接続にされている。46は電磁バル
ブで、チャンバーの内部と外部との空気流路を開閉する
ようになっている。48は外気流入口である。各電磁バ
ルブ30、38、46およびモータ32は、測定制御部
44によって制御され、チャンバー内圧の設定は大気圧
を基準にして行なわれている。
FIG. 1 is a conceptual diagram showing a first embodiment of the present invention. In this figure, reference numeral 20 denotes a chamber, which is provided with an opening / closing section (not shown) for taking in and out the package 22 to be tested, and which can be hermetically sealed. The shape and size of the chamber are manufactured in consideration of the shape and size of the package to be inspected. 24 is a vacuum pump, 26 is an exhaust pipe, 28 is an outside air outlet, 30 is an electromagnetically driven vacuum valve, and 32 is a vacuum pump drive motor. 34 is an air cylinder, that is, an air container. 36 is an air discharge channel, and 38 is an electromagnetic valve. 4
Numeral 0 indicates that the flow rate can be adjusted by an air flow rate control valve.
The air cylinder 34 is bolted to a member that defines the air discharge passage 36 via a flange so that the cylinder can be replaced. The volume of the cylinder is selected based on the set value of the pressure in the chamber and the remaining space after the subject is placed in the chamber, and is approximately 1 to 5% of the volume of the chamber. Reference numeral 42 denotes a chamber pressure detector, which is connected to an input circuit of the measurement control unit 44. An electromagnetic valve 46 opens and closes an air flow path between the inside and the outside of the chamber. 48 is an outside air inlet. The electromagnetic valves 30, 38, 46 and the motor 32 are controlled by the measurement control unit 44, and the setting of the chamber internal pressure is performed based on the atmospheric pressure.

【0011】次に、第1実施例の作用について説明す
る。電磁バルブ46が開いているとき、チャンバー内圧
は大気圧と等しくなり、チャンバーは被検パッケージの
出し入れ可能状態となる。そのとき、電磁バルブ38も
開いており、空気ボンベ34の内圧も大気圧と等しくな
る。チャンバー内に被検パッケージ22を入れ、電磁バ
ルブ38,46が閉止され、真空ポンプ24が駆動する
と、チャンバー内圧の減圧が進行する。チャンバー内圧
が設定値に到達すると、バルブ30が閉止される。バル
ブ30が閉止されると、チャンバー内圧は、負圧にオー
バーシュートして設定値を超えて減圧される。バルブ3
0が閉止されてから0.1 乃至0.2 秒遅れてバルブ38が
開き、空気吐出流路36が開通し、ボンベ34内空気が
チャンバー内に吐出される。ボンベ内空気が吐出される
と、チャバー内に正圧が与えられ、前記設定値を超えて
減圧されたチャンバー内圧は、設定値に戻される。空気
流量制御バルブ40の空気流量を調整すると、空気ボン
ベ34の容積を変えても、その空気の吐出に要する時間
は一定となる。図3を参照して、チャンバー内圧は、曲
線Aに沿って変化し、ma点に達すると安定し、その時
点から所定時間におけるチャンバー内圧の変化が測定さ
れ、その測定値から、被検体のパッケージの良否が判定
される。
Next, the operation of the first embodiment will be described. When the electromagnetic valve 46 is open, the pressure in the chamber becomes equal to the atmospheric pressure, and the chamber is in a state where the package to be tested can be taken in and out. At this time, the electromagnetic valve 38 is also open, and the internal pressure of the air cylinder 34 becomes equal to the atmospheric pressure. When the package 22 to be tested is placed in the chamber, the electromagnetic valves 38 and 46 are closed, and the vacuum pump 24 is driven, the pressure in the chamber is reduced. When the chamber pressure reaches the set value, the valve 30 is closed. When the valve 30 is closed, the chamber internal pressure overshoots to a negative pressure and is reduced to a value exceeding a set value. Valve 3
The valve 38 is opened 0.1 to 0.2 seconds after the 0 is closed, the air discharge passage 36 is opened, and the air in the cylinder 34 is discharged into the chamber. When the air in the cylinder is discharged, a positive pressure is applied to the chamber, and the pressure in the chamber, which has been reduced to a value exceeding the set value, is returned to the set value. When the air flow rate of the air flow rate control valve 40 is adjusted, the time required for discharging the air becomes constant even if the volume of the air cylinder 34 is changed. Referring to FIG. 3, the chamber internal pressure changes along curve A, and stabilizes when it reaches the point ma. A change in the chamber internal pressure for a predetermined time from that point is measured. Is determined.

【0012】チャンバー内圧の設定は大気圧を基準とし
て行なわれるので、チャンバー内圧が設定値に到達した
ときのボンベ内圧とチャンバー内圧との差は常に一定と
なる。
Since the setting of the chamber internal pressure is performed on the basis of the atmospheric pressure, the difference between the cylinder internal pressure and the chamber internal pressure when the chamber internal pressure reaches the set value is always constant.

【0013】次に図2を参照して第2実施例を説明す
る。第2実施例は第1実施例の構成にリークバルブ50
が付加された構成となっている。このリークバルブ50
は、排気管26に設けられ、外気を排気管内にリークす
るようになっている。52は外気流入口である。
Next, a second embodiment will be described with reference to FIG. The second embodiment differs from the first embodiment in that a leak valve 50 is provided.
Is added. This leak valve 50
Are provided in the exhaust pipe 26 so that outside air leaks into the exhaust pipe. 52 is an outside air inlet.

【0014】次に第2実施例の作用について説明する。
リークバルブ50のリーク量は、チャンバー内減圧の進
行に伴なって増加する。従って、チャンバー内の減圧速
度は、チャンバー内圧が設定値に近づくに従って遅くな
る。減圧速度が遅くなった状態でバルブ30を閉止する
と、減圧速度がより速い状態でバルブを閉止したときよ
りもオーバーシュートが小さくなる。バルブ38が開
き、ボンベ34内空気がチャンバー内に吐出されると、
その吐出された空気は、前記第1実施例においてボンベ
34内空気が吐出されたときと同様に作用する。この作
用と前記リークバルブ50の作用とが相俟って、前記オ
ーバーシュートおよび前記脈動は、第1実施例の装置よ
りも小さくなる。
Next, the operation of the second embodiment will be described.
The leak amount of the leak valve 50 increases as the pressure in the chamber increases. Therefore, the pressure reduction rate in the chamber becomes slower as the chamber pressure approaches the set value. When the valve 30 is closed in a state where the decompression speed is slow, the overshoot is smaller than when the valve is closed in a state where the decompression speed is faster. When the valve 38 is opened and the air in the cylinder 34 is discharged into the chamber,
The discharged air acts in the same manner as in the first embodiment when the air in the cylinder 34 is discharged. This action, together with the action of the leak valve 50, makes the overshoot and the pulsation smaller than in the device of the first embodiment.

【0015】[0015]

【発明の効果】チャンバー内空気排出流路を閉止した
後、チャンバー内に所定量の空気を所定時間で吐出させ
ることによって、排出流路を閉止したときに生じたチャ
ンバー内の過度の減圧を設定値に戻し、同時に、チャン
バー内圧の脈動を抑制するようにしたので、チャンバー
内を高速減圧するとともに、チャンバー内圧を設定値上
に短時間で安定させることができ、従って、チャンバー
内減圧開始からチャンバー内圧が設定値で安定するまで
の時間が短縮され、よって、食品、医薬品等の量産パッ
ケージのリーク試験における作業能率を大幅に向上させ
ることができる。
According to the present invention, after the air discharge passage in the chamber is closed, a predetermined amount of air is discharged into the chamber for a predetermined time, thereby setting an excessively reduced pressure in the chamber caused when the discharge passage is closed. Value and at the same time suppress the pulsation of the chamber internal pressure, so that the pressure inside the chamber can be reduced at a high speed and the internal pressure of the chamber can be stabilized at a set value in a short time. The time required for the internal pressure to stabilize at the set value is shortened, so that the work efficiency in the leak test of mass-produced packages of foods, medicines, etc. can be greatly improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施例を示す概念図である。FIG. 1 is a conceptual diagram showing one embodiment of the present invention.

【図2】本発明の第2実施例を示す概念図である。FIG. 2 is a conceptual diagram showing a second embodiment of the present invention.

【図3】チャンバー内圧の変化を、本発明の第1実施例
と、本発明の第2実施例と、従来装置とを比較して示す
図である。
FIG. 3 is a diagram showing a change in chamber internal pressure by comparing the first embodiment of the present invention, the second embodiment of the present invention, and a conventional apparatus.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

20 チャンバー 22 被検パッケージ 24 真空ポンプ 26 排気管 30,38 バルブ 34 空気収容容器(空気ボンベ) 36 吐気管(空気吐出流路) 40 制御バルブ 44 測定制御部 50 リークバルブ Reference Signs List 20 chamber 22 package to be inspected 24 vacuum pump 26 exhaust pipe 30, 38 valve 34 air container (air cylinder) 36 gas discharge pipe (air discharge flow path) 40 control valve 44 measurement control unit 50 leak valve

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 被検パッケージ22を入れるチャンバー
20と、真空ポンプ24と、前記チャンバー20の内部
と前記真空ポンプ24とを連通する排気管26と、その
排気管26に設けられてその排気流路を開閉するバルブ
30と、前記チャンバー20の内圧を測定し前記バルブ
30を開閉制御する測定制御部44とを備えたパッケー
ジリーク測定装置において、前記チャンバー20に所定
容積の大気を収容する空気収容容器34をその両者の内
部を連通する吐気管36を介して設け、その吐気管36
に前記測定制御部44の制御によって前記吐気管36の
吐気流路を開閉するバルブ38を設け、前記吐気管36
にその吐気流路の断面積を調整可能としてなる空気流量
制御バルブ40を設けたことを特徴とするパッケージリ
ーク測定装置。
A vacuum pump, an exhaust pipe communicating between the inside of the chamber and the vacuum pump, and an exhaust flow provided in the exhaust pipe. In a package leak measurement device including a valve 30 for opening and closing a passage and a measurement control unit 44 for measuring the internal pressure of the chamber 20 and controlling the opening and closing of the valve 30, an air container for containing a predetermined volume of air in the chamber 20 A container 34 is provided via an exhalation tube 36 communicating the inside of the container 34 and the exhalation tube 36
A valve 38 for opening and closing the exhalation flow path of the exhalation tube 36 under the control of the measurement control unit 44;
A package leak measuring device, further comprising an air flow control valve 40 for adjusting the cross-sectional area of the discharge passage.
【請求項2】 被検パッケージ22を入れるチャンバー
20と、真空ポンプ24と、前記チャンバー20の内部
と前記真空ポンプ24とを連通する排気管26と、その
排気管26に設けられてその排気流路を開閉するバルブ
30と、前記チャンバー20の内圧を測定し前記バルブ
30を開閉制御する測定制御部44と、前記真空ポンプ
24と前記バルブ30との間に設けられて前記排気管2
6内に外気をリークするリークバルブ50とを備えたパ
ッケージリーク測定装置において、前記チャンバー20
に所定容積の大気を収容する空気収容容器34をその両
者の内部を連通する吐気管36を介して設け、その吐気
管36に前記測定制御部44の制御によって前記吐気管
36の吐気流路を開閉するバルブ38を設け、前記吐気
管36にその吐気流路の断面積を調整可能としてなる空
気流量制御バルブ40を設けたことを特徴とするパッケ
ージリーク測定装置。
2. A chamber 20 in which a package 22 to be inspected is placed, a vacuum pump 24, an exhaust pipe 26 communicating the inside of the chamber 20 with the vacuum pump 24, and an exhaust flow provided in the exhaust pipe 26. A valve 30 for opening and closing a passage, a measurement control unit 44 for measuring the internal pressure of the chamber 20 and controlling the opening and closing of the valve 30, and the exhaust pipe 2 provided between the vacuum pump 24 and the valve 30.
6. A package leak measuring device comprising: a leak valve 50 for leaking outside air into the chamber 6;
An air container 34 for accommodating a predetermined volume of air is provided via an exhalation tube 36 communicating between the two, and the exhalation flow path of the exhalation tube 36 is controlled by the measurement control unit 44 in the exhalation tube 36. A package leak measuring device, comprising: a valve 38 that opens and closes; and an air flow control valve 40 that is capable of adjusting the cross-sectional area of the gas discharge passage in the gas discharge pipe 36.
JP10060893A 1993-04-27 1993-04-27 Package leak measuring device Expired - Lifetime JP3324619B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10060893A JP3324619B2 (en) 1993-04-27 1993-04-27 Package leak measuring device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10060893A JP3324619B2 (en) 1993-04-27 1993-04-27 Package leak measuring device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH06307972A JPH06307972A (en) 1994-11-04
JP3324619B2 true JP3324619B2 (en) 2002-09-17

Family

ID=14278568

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10060893A Expired - Lifetime JP3324619B2 (en) 1993-04-27 1993-04-27 Package leak measuring device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3324619B2 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7015477B2 (en) * 2018-03-19 2022-02-03 大日本印刷株式会社 Inspection and reduction method of pouch with valve for double container, inspection and reduction system of pouch with valve for double container, and pouch with valve for double container

Also Published As

Publication number Publication date
JPH06307972A (en) 1994-11-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4779449A (en) Leak detector and leak detection method
US5625141A (en) Sealed parts leak testing method and apparatus for helium spectrometer leak detection
JPH03195935A (en) Apparatus and method for detecting leakage
JP3344046B2 (en) Leak amount detection device
JPH0781927B2 (en) Hollow container sealing method and device
US3416359A (en) Method and apparatus for testing hermetically sealed transistor devices
JPH07286927A (en) Method and equipment for leakage test
JP2583880B2 (en) Pack airtightness inspection method and apparatus
JP7008986B2 (en) Dynamic vacuum attenuation leak detection method and equipment
JP4037954B2 (en) Tracer gas leak detector
JP3324619B2 (en) Package leak measuring device
JP3737132B2 (en) A method for inspecting leaks of many similar subjects
JP3383633B2 (en) Leak inspection device
JP2003065885A (en) Leak inspection device
JP2003294570A (en) Air leak measuring device
JP3502687B2 (en) Pressure leak measurement method
JP3715543B2 (en) Airtight performance test method
JP2926943B2 (en) Leak test method and device
JP3383634B2 (en) Leak inspection device
JPH09115555A (en) Inspection method and inspection device for air tightness of battery
JPS6315133A (en) Method for checking vacuum leak
SU1619085A1 (en) Method of checking air-tightness of articles
SU1628669A1 (en) Method of checking hermetic state of articles
SU1493901A1 (en) Method for testing multi-space articles for air-tightness
SU1585698A1 (en) Method of testing articles for tighteness

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20020524

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080705

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090705

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090705

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100705

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110705

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120705

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120705

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130705

Year of fee payment: 11

EXPY Cancellation because of completion of term